JPS5994711A - 自動焦点検出装置 - Google Patents
自動焦点検出装置Info
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- JPS5994711A JPS5994711A JP20478482A JP20478482A JPS5994711A JP S5994711 A JPS5994711 A JP S5994711A JP 20478482 A JP20478482 A JP 20478482A JP 20478482 A JP20478482 A JP 20478482A JP S5994711 A JPS5994711 A JP S5994711A
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- light
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/30—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line
- G02B7/32—Systems for automatic generation of focusing signals using parallactic triangle with a base line using active means, e.g. light emitter
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- Focusing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カメラヤ顕微鏡等の光学系に用いられる自動
焦点検出装置に関するものである。
焦点検出装置に関するものである。
従来の自動焦点検出装置としては、色補正の異なった光
学系を考慮したものはなかった。例えば、−眼レフカメ
ラのTTL方式による自動焦点検出装置の場合、レンズ
を交換することがあるが、交換レンズの色補正はぼとi
ど同様に補正されておシ、又多少補正量が異なってもカ
メラの焦点深度を考えるとほとんど問題がないので、従
来は赤外光カットフィルターを画像センサーの前につけ
て有害な赤外光の影響を除くことが行われていた処遇ぎ
なかった。そのため、色補正の異なる光学系を交換して
使用すると、焦点が合わないかもしくは精度が悪化する
という欠点があった。又、色フィルターを用いたシ或は
光源の波長分布を変化させた場合に焦点が合わなくなる
という問題があった。
学系を考慮したものはなかった。例えば、−眼レフカメ
ラのTTL方式による自動焦点検出装置の場合、レンズ
を交換することがあるが、交換レンズの色補正はぼとi
ど同様に補正されておシ、又多少補正量が異なってもカ
メラの焦点深度を考えるとほとんど問題がないので、従
来は赤外光カットフィルターを画像センサーの前につけ
て有害な赤外光の影響を除くことが行われていた処遇ぎ
なかった。そのため、色補正の異なる光学系を交換して
使用すると、焦点が合わないかもしくは精度が悪化する
という欠点があった。又、色フィルターを用いたシ或は
光源の波長分布を変化させた場合に焦点が合わなくなる
という問題があった。
以下、これらの点について詳細に説明する。
自動焦点検出装置を構成する要素の中で光と関係するも
のに光源、光学系、受光素子があるが、この内変更され
得るものは光源及び光学系である。
のに光源、光学系、受光素子があるが、この内変更され
得るものは光源及び光学系である。
例えば光源の場合自然光からハロゲンランプ等による人
工光への変更が考えられるし、光学系の場合はカメラな
ら各種交換レンズが有シ、顕微鏡なら各種対物レンズが
有る。そして、各要素すなわち光源、光学系、受光素子
はそれぞれ分光分布。
工光への変更が考えられるし、光学系の場合はカメラな
ら各種交換レンズが有シ、顕微鏡なら各種対物レンズが
有る。そして、各要素すなわち光源、光学系、受光素子
はそれぞれ分光分布。
色収差1分光感度という波長依存性を有しているから、
ある−組の光源と光学系の組合せの場合に焦点合わせが
正確に行なえる様に焦点位置調整が行なわれている。そ
の為に、例えば色補正の異なる光学系と交換すると焦点
位置即ち最大光量検出位置が異なってくる。
ある−組の光源と光学系の組合せの場合に焦点合わせが
正確に行なえる様に焦点位置調整が行なわれている。そ
の為に、例えば色補正の異なる光学系と交換すると焦点
位置即ち最大光量検出位置が異なってくる。
第1図はCIE(国際照明委員会)が規定したOIE昼
光D65を示しておシ、これは色温度が6504 Kに
近似する昼光で照明される物体色を表示する場合に用い
られている(新編色彩科学ハンドブック・東海大学出版
会)、又、第2図はMOS型のリニアイメージセンサ−
の分光感度の例を示してオシ、一般的にこの種のセンサ
ーは赤外側の感度が高い。この様に、発光側も受光側も
分光分布を持っているのが普通であシ、全可視域波長に
限ったとしても全波長に対して分光分布はフラットでは
あシ得ない。
光D65を示しておシ、これは色温度が6504 Kに
近似する昼光で照明される物体色を表示する場合に用い
られている(新編色彩科学ハンドブック・東海大学出版
会)、又、第2図はMOS型のリニアイメージセンサ−
の分光感度の例を示してオシ、一般的にこの種のセンサ
ーは赤外側の感度が高い。この様に、発光側も受光側も
分光分布を持っているのが普通であシ、全可視域波長に
限ったとしても全波長に対して分光分布はフラットでは
あシ得ない。
第3図は色補正の異なる光学系の例として顕微鏡の二種
類の対物レンズの球面収差の色の補正状況を表わした図
であって、(a)がアポロマート補正の対物レンズの場
合を、(b)が(a)とは異なる色補正のアポクロマー
トの対物レンズの場合を夫々示している。(a)と(b
)との色収差補正状況を比較すると、収差量そのものは
(b)の方が極端に少なくなっている。又、色補正のツ
クランスも(a)では短波長側が軽視されて補正されて
いないのに対し、(b)では長波長側と同様に補正され
ていることがわかる。
類の対物レンズの球面収差の色の補正状況を表わした図
であって、(a)がアポロマート補正の対物レンズの場
合を、(b)が(a)とは異なる色補正のアポクロマー
トの対物レンズの場合を夫々示している。(a)と(b
)との色収差補正状況を比較すると、収差量そのものは
(b)の方が極端に少なくなっている。又、色補正のツ
クランスも(a)では短波長側が軽視されて補正されて
いないのに対し、(b)では長波長側と同様に補正され
ていることがわかる。
第4図は第3図における開口数×0.7の色補正の様子
を横軸を波長として表わした図である。(a)がアクロ
マートの場合を、(b)がアポクロマートの場合を夫々
示しておシ、アクロマートがC、f”でアポクロマート
がC、d 、 Fで夫々補正されていることがわかる。
を横軸を波長として表わした図である。(a)がアクロ
マートの場合を、(b)がアポクロマートの場合を夫々
示しておシ、アクロマートがC、f”でアポクロマート
がC、d 、 Fで夫々補正されていることがわかる。
第5図は目の分光感度を表わす比視感度曲線を示してお
シ、これは波長555nmを中心とした山状の分布形状
をしている。第6図はカラーフィルム及び白黒フィルム
の分光感度を示している。
シ、これは波長555nmを中心とした山状の分布形状
をしている。第6図はカラーフィルム及び白黒フィルム
の分光感度を示している。
第7図は受光素子のリニアイメージセンサ−に補正用と
して近赤外カットフィルターを用いた時の分光感度を示
している。
して近赤外カットフィルターを用いた時の分光感度を示
している。
さて、第5図と第7図で示したように目の感度の分光分
布とセンサーの分光分布の様子がかなシ違っておシ、そ
のため実際にそれぞれでピント合わせした場合の焦点位
置は違ってくる。その様子を示したのが第8図であって
、目で合わせた場合の焦点位置は波長555nm付近の
収差で決まる位置にあるが、センサーで合わせた場合は
かなp広範囲の波長の影響を受ける。色収差の補正の程
度がほとんど同じ場合には、あらかじめ焦点位置の差を
考慮してセンサーを設置しておけば良いが、第8図(a
) 、 fb)のように色補正の異なる光学系の場合は
その差の量がかなシ違っているので両方を同時に満たす
ことは出来ない。尚、第6図によるとカラーフィルムの
分光感度が比視感度よシセンサーの分光感度に近いから
、写真撮影にはセンサーによるピント合わせの方が適し
ているようにも思えるが、写真を見る場合はやはシ比視
感度に従うので目で合わせたピントで撮影するほうが良
い。
布とセンサーの分光分布の様子がかなシ違っておシ、そ
のため実際にそれぞれでピント合わせした場合の焦点位
置は違ってくる。その様子を示したのが第8図であって
、目で合わせた場合の焦点位置は波長555nm付近の
収差で決まる位置にあるが、センサーで合わせた場合は
かなp広範囲の波長の影響を受ける。色収差の補正の程
度がほとんど同じ場合には、あらかじめ焦点位置の差を
考慮してセンサーを設置しておけば良いが、第8図(a
) 、 fb)のように色補正の異なる光学系の場合は
その差の量がかなシ違っているので両方を同時に満たす
ことは出来ない。尚、第6図によるとカラーフィルムの
分光感度が比視感度よシセンサーの分光感度に近いから
、写真撮影にはセンサーによるピント合わせの方が適し
ているようにも思えるが、写真を見る場合はやはシ比視
感度に従うので目で合わせたピントで撮影するほうが良
い。
又、第9図は色温度がそれぞれ4000に、5500に
、7000にの場合の光源の分光分布を示している。
、7000にの場合の光源の分光分布を示している。
光源の分光分布がこの様に変化した場合、目で合わせる
場合は比視感度が狭帯域であることやその波長付近(5
5’5.nm付近)の収差は一般に光学系によシよ〈補
正されてbて波長変化による収差の変動が少ないことか
らピントの移動は少ないが1センサーの場合は分光感度
の範囲が広く且つ光学系も広範囲の色収差まで補正しき
れないのでピントが大幅に移動する。従って、光源の分
光分布が変化すると第10図(a)に示した如く目での
焦点位置とセンサーでの焦点位置の差の量が変化し、そ
の差をあらかじめ補正してセンサーを設置しておいても
ピントの移動は避けられない。例えば顕微鏡の写真撮影
時は一般に55’00にの光源が用いられるが、第10
図(b)に示したようにあらかじめ目でのピント位置と
センサーのピント位置が一致するヨウニセンサーの位置
をαだけ調整しておいても、何らかの理由で光源の色温
度が7000Kに変った場合自動焦点検出装置ではピン
トがβだけずれ □ていることになる。この様に光
学系の色補正が変化しなくても光源の分光分布が変れば
ピントはずれが生じる。
場合は比視感度が狭帯域であることやその波長付近(5
5’5.nm付近)の収差は一般に光学系によシよ〈補
正されてbて波長変化による収差の変動が少ないことか
らピントの移動は少ないが1センサーの場合は分光感度
の範囲が広く且つ光学系も広範囲の色収差まで補正しき
れないのでピントが大幅に移動する。従って、光源の分
光分布が変化すると第10図(a)に示した如く目での
焦点位置とセンサーでの焦点位置の差の量が変化し、そ
の差をあらかじめ補正してセンサーを設置しておいても
ピントの移動は避けられない。例えば顕微鏡の写真撮影
時は一般に55’00にの光源が用いられるが、第10
図(b)に示したようにあらかじめ目でのピント位置と
センサーのピント位置が一致するヨウニセンサーの位置
をαだけ調整しておいても、何らかの理由で光源の色温
度が7000Kに変った場合自動焦点検出装置ではピン
トがβだけずれ □ていることになる。この様に光
学系の色補正が変化しなくても光源の分光分布が変れば
ピントはずれが生じる。
又、顕微鏡撮影時、白黒フィルムの場合[[−+ントラ
ストを良くする為にグリーンフィルターを入れるが、こ
のグリーンフィルターの分光透過率は第5図の比視感度
の分光分布とほとんど同じである。そのため、この様な
狭帯域のフィルターが光路中に入った場合センサーの分
光感度は比視感度と同様となシ、それぞれの色温度にお
ける焦点位置には差がなくなる。従って、先の例の様に
センサーの設置位置をあらかじめαだけ補正しておいた
場合には−αだけピントがはずれることになる。
ストを良くする為にグリーンフィルターを入れるが、こ
のグリーンフィルターの分光透過率は第5図の比視感度
の分光分布とほとんど同じである。そのため、この様な
狭帯域のフィルターが光路中に入った場合センサーの分
光感度は比視感度と同様となシ、それぞれの色温度にお
ける焦点位置には差がなくなる。従って、先の例の様に
センサーの設置位置をあらかじめαだけ補正しておいた
場合には−αだけピントがはずれることになる。
本発明は、上記問題点に鑑み、検出光路中に狭帯域のパ
ントノミス型フィルターを配置して受光素子が受ける光
の帯域を制限することによシ、光学系の色補正或は光源
の分光分布の変化に関係なく正確な合焦が行われ得るよ
うにした自動焦点検出装置を提供せんとするものである
が、以下第11図及び第12図に示した一実施例に基づ
きこれを説明すれば、第11図は顕微鏡自動焦点検出装
置の光学系を示しており、1は光源、2はコンデンザー
レンズ、3は標本が載置されるステージ、4は対物レン
ズ、5はハーフミラ−16は接眼レンズ、7は写真接眼
レンズ、8はフィルムである。
ントノミス型フィルターを配置して受光素子が受ける光
の帯域を制限することによシ、光学系の色補正或は光源
の分光分布の変化に関係なく正確な合焦が行われ得るよ
うにした自動焦点検出装置を提供せんとするものである
が、以下第11図及び第12図に示した一実施例に基づ
きこれを説明すれば、第11図は顕微鏡自動焦点検出装
置の光学系を示しており、1は光源、2はコンデンザー
レンズ、3は標本が載置されるステージ、4は対物レン
ズ、5はハーフミラ−16は接眼レンズ、7は写真接眼
レンズ、8はフィルムである。
9は例えば白黒フィルム撮影時に用いるグリーンフィル
ターで、光路中に入れることができる。10はMOS型
のリニアイメージセンザーであシ、画像情報を得るため
のものである。尚、センサーの前に拡大光学系を配置し
ても良b011は信号処理回路で、いわゆるコントラス
ト法の処理を行なっている。12はステージ駆動回路で
、信号処理回路11からの信号を受けてステージ3を駆
動しピントを合わせるもdである。光源1はライトバラ
ンスフィルターと適切な印加電圧によシ写真撮影時には
色温度5500Kに調整される。一般には顕微鏡の使用
者が観、察し易いように光源の明るさを勝手に調整する
ので、色温度は一定していない。もちろん光源の明るさ
をNDスフイルター調整することによシ色温度を一定に
しておいてもよい。13は狭帯域のノ々ンドノぐス型フ
”柔ルターであシ、本実施例ではイメージセンサ−10
の直前の検出光路中に設けられている。もちろんグリー
ンフィルター9と同様に合焦時だけ光路中に入れるとい
う方式でもかまわない。
ターで、光路中に入れることができる。10はMOS型
のリニアイメージセンザーであシ、画像情報を得るため
のものである。尚、センサーの前に拡大光学系を配置し
ても良b011は信号処理回路で、いわゆるコントラス
ト法の処理を行なっている。12はステージ駆動回路で
、信号処理回路11からの信号を受けてステージ3を駆
動しピントを合わせるもdである。光源1はライトバラ
ンスフィルターと適切な印加電圧によシ写真撮影時には
色温度5500Kに調整される。一般には顕微鏡の使用
者が観、察し易いように光源の明るさを勝手に調整する
ので、色温度は一定していない。もちろん光源の明るさ
をNDスフイルター調整することによシ色温度を一定に
しておいてもよい。13は狭帯域のノ々ンドノぐス型フ
”柔ルターであシ、本実施例ではイメージセンサ−10
の直前の検出光路中に設けられている。もちろんグリー
ンフィルター9と同様に合焦時だけ光路中に入れるとい
う方式でもかまわない。
本発明による自動焦点検出装置は上述の如く構成されて
いるから、ノ々ンドノξス型フィルター13の作用によ
りイメージセンサ−10が受ける光の帯域が制限される
。従って、対物レンズ4にアクロマートとアポクロマー
トのいずれを用いても、光源1の色温度を変化させても
、グリーンフィルター9を光路中に挿入しても最大光量
検出位置がほとんど移動することはなく、その結果これ
らに関係なく正確にピント合わせを行うことが出来る。
いるから、ノ々ンドノξス型フィルター13の作用によ
りイメージセンサ−10が受ける光の帯域が制限される
。従って、対物レンズ4にアクロマートとアポクロマー
トのいずれを用いても、光源1の色温度を変化させても
、グリーンフィルター9を光路中に挿入しても最大光量
検出位置がほとんど移動することはなく、その結果これ
らに関係なく正確にピント合わせを行うことが出来る。
尚、グリーンフィルター9を光路中に挿入する場合は光
量が急激に変化するので、センサー信号のフィードバッ
クによシイメージセンサー10の蓄積時間の増加や光源
1の印加電圧のアップが自動的に行われるようにしてお
くと便利である。
量が急激に変化するので、センサー信号のフィードバッ
クによシイメージセンサー10の蓄積時間の増加や光源
1の印加電圧のアップが自動的に行われるようにしてお
くと便利である。
又、パントノぐス型フィルター13は理想的には比視感
度と同様な特性のフィルターがよい。そうすれば、目で
ピントを合わせた焦点位置とセンサーで合わせた位置が
一致するので、予めその差を補正しておく必要がなくな
る。第12図によシ本実施例で用いているフィルターの
例を示す。実質上のセンサーの分光感度は(光源の分光
分布)×(フィルター透過率)×(センサーの分光感度
)であるが、波長555nm近辺ではフィルター透過率
がセンサーの分光感度に対応すると考えてもさしつかえ
ないので第12図で説明する。
度と同様な特性のフィルターがよい。そうすれば、目で
ピントを合わせた焦点位置とセンサーで合わせた位置が
一致するので、予めその差を補正しておく必要がなくな
る。第12図によシ本実施例で用いているフィルターの
例を示す。実質上のセンサーの分光感度は(光源の分光
分布)×(フィルター透過率)×(センサーの分光感度
)であるが、波長555nm近辺ではフィルター透過率
がセンサーの分光感度に対応すると考えてもさしつかえ
ないので第12図で説明する。
特性が比視感度特性によく似ているのばG−530゜G
7533(保谷ガラス)フィルターであるが、透過率が
悪いので光源は明るいものが必要である。
7533(保谷ガラス)フィルターであるが、透過率が
悪いので光源は明るいものが必要である。
又、フィルターの厚さを薄くして透過率をあげると波長
帯が広くなるので不適当である。IF550は550n
mにピークをもつ干渉型バンド・ξスフイルターである
。0M500.+Y 46 (−保谷ガラス)は赤外カ
ットフィルター(0M5’OO)とイエローフィルター
(Y46 )を用いたもので光量的には有利となるが、
帯域が広いので光源の色温度の大幅な変化に対しては不
適当である。
帯が広くなるので不適当である。IF550は550n
mにピークをもつ干渉型バンド・ξスフイルターである
。0M500.+Y 46 (−保谷ガラス)は赤外カ
ットフィルター(0M5’OO)とイエローフィルター
(Y46 )を用いたもので光量的には有利となるが、
帯域が広いので光源の色温度の大幅な変化に対しては不
適当である。
本発明は合焦検出部として受光素子を有する装置であれ
ば合焦の原理のいかんにかかわらず成り立つものである
。例えば、第13図及び第14図は第二の実施例を示し
ておシ、これは二つの検出器(イメージセンサ−)を仮
想焦点の前後において雨検出器からのコントラストを比
較して合焦を検出する方式のものであシ、ハーフミラ−
15を用いて光を分割し且つ仮想焦点14の前後に二つ
のイメージセンサ−10、10’を配置している。
ば合焦の原理のいかんにかかわらず成り立つものである
。例えば、第13図及び第14図は第二の実施例を示し
ておシ、これは二つの検出器(イメージセンサ−)を仮
想焦点の前後において雨検出器からのコントラストを比
較して合焦を検出する方式のものであシ、ハーフミラ−
15を用いて光を分割し且つ仮想焦点14の前後に二つ
のイメージセンサ−10、10’を配置している。
この場合の信号処理は、第14図に示した如くイメー−
)セフ”)−−10、10’からのコントラスト16
、16’が等しくなる位置を捜す方式で行われる。
)セフ”)−−10、10’からのコントラスト16
、16’が等しくなる位置を捜す方式で行われる。
以上はいわゆるコントラスト法の実施例であるが、本発
明はいわゆる位相差法にも有効であるので、以下第15
図乃至第17図によシ瞳分割法による位相差法の実施例
即ち第三の実施例について説明する。
明はいわゆる位相差法にも有効であるので、以下第15
図乃至第17図によシ瞳分割法による位相差法の実施例
即ち第三の実施例について説明する。
第15図は瞳分割法の原理を示しておシ、第15図(8
1において21は結像レンズ、22は結像レンズ21の
前で瞳の近傍に配設された開口22aを有する遮光板、
23は像面であシ、合焦時には像面23上に像Qが結像
されるが、非合焦時には前ピン、後ピンに対応して@Q
に関して各々光軸0に垂直な方向で反対方向にずれた位
置にボケた像Ql、Q2が像面23上に形成される。第
15図(b)は遮光板22の開口22aを光軸Oに関し
て反対側に移動させた場合を示しておシ、合焦時には像
面23上に像Q′が結像されるが、非合焦時には各々前
ピン、後ピンに対応してボケた(’J Q’t 、 Q
’2が像面23上に形成される。従って、遮光板22の
開口を例えば第15図(a)の位置から(b)の位置へ
移動させると、合焦時には像Q及びQ′が同じ位置にあ
るので像は移動しないが、前ピンの場合には像はQlか
らQ′1の位置へ移動しまた後ピンの場合には像はQ2
からQ’2の位置へ移動する。
1において21は結像レンズ、22は結像レンズ21の
前で瞳の近傍に配設された開口22aを有する遮光板、
23は像面であシ、合焦時には像面23上に像Qが結像
されるが、非合焦時には前ピン、後ピンに対応して@Q
に関して各々光軸0に垂直な方向で反対方向にずれた位
置にボケた像Ql、Q2が像面23上に形成される。第
15図(b)は遮光板22の開口22aを光軸Oに関し
て反対側に移動させた場合を示しておシ、合焦時には像
面23上に像Q′が結像されるが、非合焦時には各々前
ピン、後ピンに対応してボケた(’J Q’t 、 Q
’2が像面23上に形成される。従って、遮光板22の
開口を例えば第15図(a)の位置から(b)の位置へ
移動させると、合焦時には像Q及びQ′が同じ位置にあ
るので像は移動しないが、前ピンの場合には像はQlか
らQ′1の位置へ移動しまた後ピンの場合には像はQ2
からQ’2の位置へ移動する。
第16図は顕微鏡に上記瞳分割法を応用した例を示して
おシ、1〜13の部材=JIJi、4−の実施例(第1
1図)と同じであシ、信号処理回路11で行なう処理方
法が異なっている。17は結像レンズであって、イメー
ジセンサ−10上に標本の像を結ばせるだめのものであ
る。18は瞳位置におかれだ瞳分割部材であって、第1
7図に示しだ如く、開口2oを有する回転可能な一趣光
部材21から成シ、これを矢印方向に振動させることに
ょシ瞳を通る光束19を分割するようになっている。従
って信号処理回路11からの同期信号によって遮光部材
21とセンサー10の撮像のタイミングを合わせ第15
図で説明した一組の画像信号を得る。
おシ、1〜13の部材=JIJi、4−の実施例(第1
1図)と同じであシ、信号処理回路11で行なう処理方
法が異なっている。17は結像レンズであって、イメー
ジセンサ−10上に標本の像を結ばせるだめのものであ
る。18は瞳位置におかれだ瞳分割部材であって、第1
7図に示しだ如く、開口2oを有する回転可能な一趣光
部材21から成シ、これを矢印方向に振動させることに
ょシ瞳を通る光束19を分割するようになっている。従
って信号処理回路11からの同期信号によって遮光部材
21とセンサー10の撮像のタイミングを合わせ第15
図で説明した一組の画像信号を得る。
そして、得られた二つの画像信号の位相差を例えば相関
の計算によって求めて焦点ずれの方向と量を計算し、こ
れ釦対応する信号をステージ駆動回路12に入力するこ
とにより合焦を行なう。
の計算によって求めて焦点ずれの方向と量を計算し、こ
れ釦対応する信号をステージ駆動回路12に入力するこ
とにより合焦を行なう。
尚、この場合に瞳の位置にハーフミラ−を設けるなどし
て第15図における(a)状態の像とfb)状態の像を
二個のイメージセンサ−1oで撮像し同様の処理を行な
うこともできる。また、像の位置のずれを検出すること
ができれば良いから、イメージセンサ−10のかわりに
半導体装置検出器を用いれば相関計算等の処理も不要に
なシ都合が良い。
て第15図における(a)状態の像とfb)状態の像を
二個のイメージセンサ−1oで撮像し同様の処理を行な
うこともできる。また、像の位置のずれを検出すること
ができれば良いから、イメージセンサ−10のかわりに
半導体装置検出器を用いれば相関計算等の処理も不要に
なシ都合が良い。
かくして、この第三の実施例の場合も、パントノミス型
フィルター13の作用によシイメージセンサー10が受
ける光の帯域が制限されるので、対物レンズ4に色補正
の異なるレンズを用いても、光源10色温度が変化して
も、グリーンフィルター9を光路中に挿入しても正確な
ピント合わせが可能である。父、ノ々ンドパス型フィル
ター13の透過特性を比視感度特性と同様にすれば、目
で合わせた焦点位置とセンサー10で合わせた焦点位置
との差を予め補正しておく必要がない。
フィルター13の作用によシイメージセンサー10が受
ける光の帯域が制限されるので、対物レンズ4に色補正
の異なるレンズを用いても、光源10色温度が変化して
も、グリーンフィルター9を光路中に挿入しても正確な
ピント合わせが可能である。父、ノ々ンドパス型フィル
ター13の透過特性を比視感度特性と同様にすれば、目
で合わせた焦点位置とセンサー10で合わせた焦点位置
との差を予め補正しておく必要がない。
上述の如く、本発明による自動焦点検出装置は、光学系
の色補正或は光源の分光分布の変化に関係なく正確な合
焦を行い得るという極めて重要な利点を有している。
の色補正或は光源の分光分布の変化に関係なく正確な合
焦を行い得るという極めて重要な利点を有している。
第1図はOIE昼光D65の分光放射照度を示す図、第
2図はイメージセンサ−の分光感度を示す図、第3図は
二種の対物レンズの球面収差の補正状況を示す図、第4
図は第3図における開口数×0.7の色補正の様子を波
長に基いて示した図、第5図は比視感度を示す図、第6
図はフィルムの分光感度を示す図、第7図は近赤外カッ
トフィルタ−を用いた時のイメージセンサ−の分光感度
を示す図、第8図は目で合わせた場合の焦点位置とセン
サーで合わせた場合の焦点位置の差を示す図、第9図は
色温度が異なる場合の光〜源の分光分布を示す図、第1
0図は目での焦点位置とセンサーでの焦点位置の差の量
の変化を示す図、第11図は本発明による自動焦点検出
装置の一実施例の光学系を示す図、第12図は上記実施
例に用いられるバンドパス型フィルターの透過特性を示
す図、第13図は第二の実施例の光学系を示す図、第1
4図は上記第二の実施例のイメージセンサ−からのコン
トラストを示す図、第15図は第三の実施例の原理を示
す図、第16図は上記第三の実施例の光学系を示す図、
第17図は上記第三の実施例に用しられる瞳分割部材の
正面図である。 1・・・光源、2・・・コンデンサーレンズ、3・・・
ステージ、4・・・対物レンズ、5・・・ハーフミラ−
16・・・接眼レンズ、7・・・写真接眼レンズ、8・
・・フィルム、9・・・グリーンフィルター、10・・
・イメージセンサ−111・・・信号処理回路、12・
・・ステージ駆動回路、13・・・ノ々ンドノぐス型フ
ィルター。 第1N 第2N ミ& 長 (−1−) 第3図 第4図 (a) (b) 儂長い−) ミ皮 +(九− 18図 (G) (b);Iktc(−
”ノ 19図 オー10図 (CI)(b) 月・閂■図 ム ミ皮長(−) 114図 イ針隈、を艷1 テ゛2オーn人1(115図 ff1−17図 1
2図はイメージセンサ−の分光感度を示す図、第3図は
二種の対物レンズの球面収差の補正状況を示す図、第4
図は第3図における開口数×0.7の色補正の様子を波
長に基いて示した図、第5図は比視感度を示す図、第6
図はフィルムの分光感度を示す図、第7図は近赤外カッ
トフィルタ−を用いた時のイメージセンサ−の分光感度
を示す図、第8図は目で合わせた場合の焦点位置とセン
サーで合わせた場合の焦点位置の差を示す図、第9図は
色温度が異なる場合の光〜源の分光分布を示す図、第1
0図は目での焦点位置とセンサーでの焦点位置の差の量
の変化を示す図、第11図は本発明による自動焦点検出
装置の一実施例の光学系を示す図、第12図は上記実施
例に用いられるバンドパス型フィルターの透過特性を示
す図、第13図は第二の実施例の光学系を示す図、第1
4図は上記第二の実施例のイメージセンサ−からのコン
トラストを示す図、第15図は第三の実施例の原理を示
す図、第16図は上記第三の実施例の光学系を示す図、
第17図は上記第三の実施例に用しられる瞳分割部材の
正面図である。 1・・・光源、2・・・コンデンサーレンズ、3・・・
ステージ、4・・・対物レンズ、5・・・ハーフミラ−
16・・・接眼レンズ、7・・・写真接眼レンズ、8・
・・フィルム、9・・・グリーンフィルター、10・・
・イメージセンサ−111・・・信号処理回路、12・
・・ステージ駆動回路、13・・・ノ々ンドノぐス型フ
ィルター。 第1N 第2N ミ& 長 (−1−) 第3図 第4図 (a) (b) 儂長い−) ミ皮 +(九− 18図 (G) (b);Iktc(−
”ノ 19図 オー10図 (CI)(b) 月・閂■図 ム ミ皮長(−) 114図 イ針隈、を艷1 テ゛2オーn人1(115図 ff1−17図 1
Claims (2)
- (1)合焦検出部として受光素子を有する自動焦点検出
装置において、検出光路中に狭帯域のノ々ンドノξス型
フィルターを配置したことを特徴とする自動焦点検出装
置。 - (2) パントノミス型フィルターの透過波長帯域が
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57204784A JPH0718969B2 (ja) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57204784A JPH0718969B2 (ja) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | 顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5994711A true JPS5994711A (ja) | 1984-05-31 |
JPH0718969B2 JPH0718969B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=16496284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57204784A Expired - Lifetime JPH0718969B2 (ja) | 1982-11-22 | 1982-11-22 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0718969B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147117A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡調整検査装置 |
JPH0381913U (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-21 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5523631A (en) * | 1978-08-07 | 1980-02-20 | Sony Corp | Focus detector for pick up unit |
JPS55130524A (en) * | 1979-03-26 | 1980-10-09 | Honeywell Inc | Optical device using a plurality of lenslet |
JPS5886504A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラ |
-
1982
- 1982-11-22 JP JP57204784A patent/JPH0718969B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5523631A (en) * | 1978-08-07 | 1980-02-20 | Sony Corp | Focus detector for pick up unit |
JPS55130524A (en) * | 1979-03-26 | 1980-10-09 | Honeywell Inc | Optical device using a plurality of lenslet |
JPS5886504A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | カメラ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63147117A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-20 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡調整検査装置 |
JPH0381913U (ja) * | 1989-12-14 | 1991-08-21 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0718969B2 (ja) | 1995-03-06 |
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