JPS5992191A - レ−ザ−スクライビング方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背量 本発明は高速レーザー走を装置と、この走査装置を用い
て強磁性相のシート（鋼板）を高速レーザーけがき（ス
クライビング）シフ、磁区の間隔を改良することにｌ？
ｊする。

高透磁率の方向性珪素銅の開発によｐ５特に／、ＪＴ　
（／ｊ−ＫＧ）より大きな誘起電力において、鉄損が大
きく改善されるようになった。この鉄損の減少は主に結
晶粒の配向度の改善によって達成されていた。全鉄損に
寄与する鉄損成分の分離は、鉄損の改善が鉄損のヒステ
リシス成分の減少によって達成されることにより示され
た〇鉄損を更に減少させることは、７１０°磁区壁間隔
を改゛良し、鉄損のｉｌｉ！７１電流成分を低減させる
ことにより達成される。

最近数年間にシート中の静磁気エネルギー或いは磁気弾
性エネルギーを変更することによって磁区壁間隔を減少
させる技術が開発さｔＮた。

圧延方向と平行に引張応力を力える絶縁板＋１ｉは、磁
区壁間隔及び鉄損を減少させる上に有効であった。シー
トの圧延方向と直角に機械的又は物理的にけがき（スク
ライビング）することは、磁区の間隔を減少させ鉄損を
低下させる上に有効なことが判明した別の技術である。

機械的スクライビングの欠点は、絶縁被膜が乱さｎ１占
積率が減少することにある。

上述した欠点の・ないスクライビングの利点を確保する
努力は、パルスレーサースクライビング技術の使用を中
心としてなされてきた。周知のように、充分な電力密度
のレーザーパルスにより鉄−珪素合金を照射すると、合
金表面の材料が気化し、圧力衝撃波が合金内部に流れ、
転位及び双晶を生ずる（　Ａ、　Ｆｉ、り２ウアーほか
著、「パルスレーザーによシ誘起されるＦθ−３Ｗｔ。

Ｐａｔ　Ｓｉ　　合金の変形」、Ｍｅｔａｌｌｕｒｇｉ
Ｏａ’ＩＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　Ａ、　　第ｆｆＡ
巻、　／／９−／２ｒ頁、１９７７年７月参照）。この
変形は機械的スクライビングによって生じた変形と同様
に、磁区の１１ｉ月−＜４を制御するために使用できる
。実際に、パルスレーザ−は、衝撃波によって誘起され
た変形の配列（ａｒｒａｙ）　　を生ずるために、方向
性電磁細板に適用されている（例えば米国特許第りλり
Ｊ　３ｊ　０　４　、フランス特許類ざ０７２２２３７
号（７９ｇ７年７月３０日　７２ンス特許第２１Ｉ６ざ
７２１号として公告）並びにヨーロッパ特許頻用００３
３ｇ７１：Ａ２参照）。

これらの努力にも拘らず、高容量高処理能力ペースで実
用的な強磁性材料の大きなロント或いはヒー）　（ｈθ
ａｔｓ）　　にスクライビングする上に必要な、高速ス
クライビングを可能にする計装及び７＋法の開発がなお
も望まｎている。本発明はこの要請に応えたものである
。

発明の概要 本発明者らは、これらの要請に応え得る装置及び方法を
開発した。本発明によれば、この装置１デは、レーザー
ビームを偏向させるための回動手段と、スクライビング
される被処理物にレーサービームを合焦（集束）させる
合焦手段（集束手段）とを備える。さらにこの装置はレ
ーサービームの光路を通って被処理物を移動させる移動
手段を備えている。レーサービームを偏向させるための
回転手段は、回転中にレーサービームを被処理物の移動
方向に対し実質的に横方向に（即ち該移動方向と直角方
向の±４Ｚ＆０方向以内に）並進させる。

本発明の一実施態様によｎば、上記合焦手段及び偏向手
段は同一の装置中に組込ｉｎるが、他の実施態様におい
てはこｎらを別々に配置し、上記合焦手段すなわち集束
手段は好適にはビームの偏向手段と破処理材のシートと
の間に配置さｎる。

レーザービームを偏向させる回転手段は、好ましくは、
可変速度モータに結合された鏡（ミラー）である。

合焦手段はレンズ又はミラーとしてもよい。

好まし７くは合焦手段は、スクライビングさするシート
上ＶＣａｌＥｃいビームスポット　（ビーム光点）を形
成するように円筒状とする。

本発明の装置にはレーザービーム源、好ましくは持続波
或いは拡張されたパルスモードにおいて動作可能なレー
サービーム源例えば００．レーザー、ネオジムＹＡＧレ
ーザー又はネオジムガラスレーサーが含まれる。

レーザーを通ってシートを走行させる手段は、好ましく
は日−ル又は真空チャック或いは磁気チャックをα６え
たテーブルを含み、このテーブルは、シートを弾性的に
湾曲させ、それによりスクライビングさｔているシート
面を、レーサーの全通路を横切って集束手段の焦点面か
ら所定距離内に保つように、適切な形状を備えている。

シート表面は好ましくは集束手段の焦点面にできるだけ
近くに保持される。

さらに水元１１ｊによれば、スクライビングの間シート
面を平面形状に保ってもよい。本発明のこの実施態様に
よれば、レーザービームを（Ｊｍ向させる回転子役は、
共通の回転軸線の回りに円周上及び軸方向に分布さｎた
複数のミラーの群全備えている。この共通の回転軸線０
１シートの走行方向（即ち圧延方向）に対し実質的に曲
角に配向され、各群のミラ一群の各ミラーに１、上記回
転軸と平行でシートの幅に実質的に等しい成る長さに亘
り規則的に分布さｊている。各ミラーは回動に際しレー
ザービームの光路中に次々にもって来らｒｌそれによシ
レーザービームをシート面に向ってＧｄ向させ、シート
面を横切ってレーサービームを増分的に移動させる。

さらに本発明によれば、上述したレーザービーム・ｒピ
ング装置の使用方法も開示される。第１方向に速就Ｂ１
で走行する強磁性（オのシートは、該第７方向と実質的
に直角の第一方向に速度ｓ２−？’走行するレーサービ
ームによってスクライビングされる。レーザービームは
シート上に所定の大きさ及び形状のビームスポットを形
成し、所定間隔の線をスクライビングする。この方法に
よれば、上記第一速度Ｓ２及びレーザービームの入射電
力Ｐは、次の条件を満たすように選定される： （１）弐〇、／≦Ｆ　Ｂ、　−／　／２≦７（ここにＰ
はワットで、Ｓはインチ７分でそｆＬぞｎ表わさｎる）
が満足されること。

（１１）　　レーサービーム電力密度が衝撃変形を生じ
ないこと。

（Ｉｌｌ）　　レーサービーム・入射エネルギー密度が
７０ジユール／　ｃｍ　　よりも大きく且つ約コθ０ジ
ュール／　（、ｍｔ”よりも小さいこと。

不発すノは強磁性シー′ト材料に高速レーザースクライ
ビングする装置直、及びこの装置の使用方法に間する。

尚業者ならば、以下の説明に基づいて本発明をそれぞれ
の用途に適合させることができよう。持続波モード又は
拡張さｎたパルスモードで動作するレーザービームによ
って、絶縁被覆した強磁性材料シートをスクライビング
することによシ、この絶縁被覆した強磁性材料シートの
Ｉ？ｕ力損失を減少させイＵることが見出された。適切
な１／−サー走査パラメーターの下に、上記強磁性材料
の磁区の大きさを被膜の絶縁性或いは表面粗さ特性を低
下させることなく改善し得ることが見出さｎた。

本発明者らの推定によｎば、本発明の好ましい結果は材
料の狭い帯域が固相線以下の高温にレーザーにより急速
に加熱されることと、上記制別の帯域がその直後に魚、
檄に自己急冷さ朴ることとによるものである。、上記材
ネ４のうちレーサ処理された部分とその周囲の処理され
ない部分との間に温度差が生じ、この温度差は処理を行
うときに周囲の比較的低部の材料による熱膨張に際して
起こる応力のため、ｋＡ処理さｎた帯域中に塑性変形を
生ずるｉ１．斤は残留応力を生ずる程度に大きくなる。

これらの条件を達成し一方被膜の損傷を回避するために
は、レーザー（ｄ衝撃波を発生させずに、また好ましく
は強磁性材料を融解させずに、強磁性材料の狭い帯域を
所要の高温まで急速に加熱し得るものでなけｊばならな
い。この装作は、材料中に衝撃変形をもたらすのに必要
な値以下の電力密度をもったビームを牛するレーザ−を
使用することにより得られる（　Ａ、　Ｈ，クララ７−
　（Ａ、　ＨｌＯ１ａｕｅｒ　）ほか、「金属における
レーザー誘起衝撃波の効果」及び［衝撃波と金属におけ
る高ひずみ率現象ＪＭ、Ａ、マイヤー（Ｍ、Ａ。

Ｍｅｙｅｒ　）ほか編、プレナム・パブリッシング・コ
ーポレイシｓ　７　（Ｐｌｅｎｕｍ　Ｐｕｂｌｉｓｈｉ
ｎｇ　０ｏｒｐ、）刊行（／９ｆｆ／）Ａ’ｉ’＆頁参
照、この論説の第６７６〜ｂｇθ　頁は本明細壱中に引
用）と共に、ＩＯジュール／Ｃが　より大きく約２００
ジユール／　ｃｒｌより小さい入射エネルギー密度を実
現することにより溝ださね得ることが見出された。この
目的のためには滞留時間を約７０９９秒以下としく溶融
を避けるため）約／×１０’ワット／Ｃｎｌ”よりも低
い電力密度とし、上記エネルギー密度を与えることが適
切であると考えられる。絶縁波膜、を；角する冒透磁率
方向性珪累鋼を使用し、入射エネルギー密度約ｌ／〜５
０ジュール／ｃｒｎ”を得るように入射′電力密度を約
／×１０〜／×ＩＯワット／　Ｃａｎ”　、ｊ’ｌｉｊ
シ貿時間を好ましくは約・０．７−１ミｌＪ秒とした場
合、電力損失か著しく改善さｎることが見出された。上
記の要件に適合する持続波モード或いは拡張さ扛たパル
スモードで動作するレーザーは有用であることが見出さ
れた。

このようになされた改良は、レーザーによって生じた変
形帯域の幅と、変形帯域の間隔とにも依存する。

特に理論にこだわらないが、本発明の理解と、そｎによ
って得らする利点の活用の点から、次の理論的な説明が
有用と考えら口る： 衝撃変形効果かない場合、局所加熱の程度Ｃ熱膨張が拘
束さｎるためにおそらく局所変形をもたらす型費な一要
因であると考えられる。本発明に使用する大部分の滞留
時間及びレーサービームの光点の大きさについて、近似
的に大部分の熱が強磁性材料中に下方に流れ、その他の
方向には熱損失はほとんど起こらないと考えられる。理
想化された／次元熱流モデルにおいて、温度変化は次の
式（１）によって表わすことができる： 式中、△Ｔ−表面温度の最大増加（０Ｋ）■＝入射ビー
ム電力（Ｗ／♂） ｔ＝表面上のビームの滞留時間（秒） に＝熱拡散率（ＣｒｒＬ”　７秒） ｋ＝熱伝導率（Ｗ／α、。Ｋ） α＝吸収率 チニ、レーザービームの光点が典型的なガウス分布の代
りにその直径或いは長さｄに亘って均一な電力密度を有
するものと想定すると、ビーム軌跡ないしはスクライプ
ライン（けがき線）の中心における滞留時間は式 ％式％（２） （ここに日＝走介速度） によって表わさｎる。

入射ビーム電力Ｐは式 （ここｌ／ＣＡは−（ポな電力密度を有するビーム光点
の面積である） によって表わされる。式＋１１　、　（２１及び（３）
の組合せによって、 また、成る与えらｎた材料、レーザービームの形状と大
きさ及び波長については、 △Ｔ、ｘＰ、８””／’コ　　　　　　　　　　（５）
式（４）がレーザー処理の間実際に存在する４・！雑な
状態に対し定量的に正確な△Ｔ　を力えるとは考えられ
ないにしても、式（４１１ｄ異なる材旧間の’ｔＪｌ、
力、速度及びエネルギー要件の定性的比較或いは定性的
予測を行う／ζめには有用であろうと考えられる。所定
材料、レーサー波長、ビームの形状と大きさ、及びスフ
シイプライン間隔について、パラメーターＰ・Ｓ−／／
２は本発明によって生ずる鉄損の変化にとって有用な作
図変数であることが見出さｎている。

パラメーターＰ−ｓ　−／／４は、直線的ｒ（ｃ増大す
る走査速度に対し電力を直線的に増大させる必υなしに
高速レーサースクライビングが可能なことを示している
。しかし走査速度が増大するにつｎて、滞留時間は所定
円形光点の直径について減少し、Ｊｉ終的には所要のエ
ネルギー密度を（＆るのに必要な高電力密度によって生
じた衝撃誘起効果のため、被膜が損傷する。レーサービ
ームの光点の幾何学的形状を円形から細長い形状に変形
し、光点の長軸を走査方向と平行に整列させることによ
り、走査速度に対する制限を克服できることが見出され
た。このように、被覆損傷を避ける本発明方法に必要な
レーザー滞留時間、電力密度及びビーム幅を保ちながら
走査速度を著しく増大させることができる。この細長い
光点は例えば円筒レンズを利用することによってイＵら
れる。

細長い光点によって今や可能となった潜在的な高走査速
度を有効に得るためには、一定速度でレーサービームを
高速操作する有効な方法が必要になる。

ｊＭ’ｆ　／図及び第ａ図σ本発明による高速レーサー
走査装置、及び高速レーサー走査方法の実施例で使用し
た装置が図示さｎている。８７図はレーサー走査装置の
一部切取側面図である。対角ミラーｌ／θ４１は、円筒
レンズ／／θ６を一端で調節可能に支持した支持アーム
／１０ｇの回転中心に図示のように取付けらハている。

対角ミラー　Ｉ１０’ｌは円筒レンズ／１０６に光学的
に整列されており、対角ミラーＩ１０’ｌの回転軸１ｉ
！　ＶＣ整列さｆＬだレーザー光の入射ビーム／１０２
が対７Ｑミラー／１０グにより偏向さｔて円筒レンズ／
１０６を通るようになっている。円筒レンズ／１０６は
次に強磁性材料シー）　／／、／、５の表ｍｉ上の、細
長い光点に入射ビームｌ／θ、２金集光させる。下記の
実施例には、金波Ｍを有するステンレス鋼の対角ミラー
ｌ１０Ｑとセレン化亜鉛の円筒レンズ／１０６とが用い
ら７１．ている。

円筒レンズ１１０６は第２図及び第３図に一層詳細に示
すように、支持アーム／１０ざ上にねじ３３により保持
きれ′＃、取付はカシ−３７中のｂ’ｉ＋定位置に保持
さｊている。ねじ３３は支持アーム／１０ｇのスロット
Ｊｊを通り延長している。

スロット３左の長さは充分に大きクシ、いろいろの焦点
距離を有する円筒レンズ／１０１ａを取付け、強（瀬性
材料シート／／３！’Ｄ表面を円筒レンズ／１０６の焦
点面又けそｎから外れた位置にするために円筒レンズ／
１０Ａの位置を所定量調節し、そｎによシシー）　／／
３ｊｔの表面上に生ずる光点の大きさを増減させ得るよ
うになっている。

第１図に示すように、支持アーム／／θｇは鋼製の軸／
ｌ／２に取付けてあり、鋼軸／／／Ｌは可変速度直流モ
ータ／／１０に継手／／／ｇにより連結さｎている。ｙ
ｔｌ′Ｉ軸／／／２はボールベアリングを収納したヨー
ク／／／ｌＩ中に回動自在に取付けらｎている。ヨーク
／／／’ｌは中空の底部材／／−−中に取付けら７＋、
ている。゛また銅軸／／／コ」二にはタコメーターリン
グ／／／６が堰付けられている。

第Ｓ（メ１及び第６図に示すように、タコメーターリン
グ／／／ｂ＋ｒｉ内１１！！ｌの円周上に配された一連
の・１１１１方向の穴Ｓθと、これらの穴の円周と異な
る半径上にある少くとも１つの軸方向の穴！、２とを備
えている。こｊらの穴は、中空の底部′４４／／２コ上
に取付けたコ対のＬＥｊＤ（発光ダイオード）と光電セ
ンサー／ｌ−〇との組間を通過する。

第１対のＬＥＤ　　及び光電センサーの組Ｖま、円形に
配列した穴ｊＯの環により唾断さｊ、るようになってお
り、’Ｌｌ！！Ｄ　　により放出さｎる光の遮断される
周波数に基づいて７分間当りの回転数を示す電気的信号
をディスプレイ装置に送出する０ 第一対のＬＩＤ　　及び光電センサーのｍは、穴５コに
配置されている。この配置から得られた電気信号は、レ
ーザー源に送出さｔｌ　ビームが強磁性材料シー）　／
／Ｊ！；に入射した時にのみ、所望によりシート／／３
！上の二回目、３回目等の通過についてレーザービーム
を発射させる。

第１図及び第２図に示すように、レーザーによってスク
ライビングされる強磁性材料シート／／３３を保持する
ためのシートテーブル／７．２６は、中空の底部材／ｌ
ココ中に配さｎているが、シートテーブル／／　、２６
は、底部材／／、２．２の一体的な部分をなしていない
。シートテーブル／／、２６は、端側からＪＦｌだ時に
第２図に示すように凹面に見える上方に指向した円筒面
／／コクを備えている。円筒面／１２７は、第２図に示
すように、円筒面／／、２７と対角ミラーＩ１０’ｌの
回転軸線との間の距随に管しい曲率半径の円弧を画定す
るため、円筒面／／、２？上に保持されたシー）　／／
３！に沿ったその全経路について焦点合せの程度が同一
になる。

第３．を図に示すように、強磁性材シート／／３りは、
真壁チャック装置によって、円筒面／ｌλ７に接するよ
うに保持さむている。円筒面／／ココア下方の、シート
テーブル／／２６中には、一連の通路／／３０が円弧状
のアレイに従って配列さね１通路／／３０は、円筒面ｌ
／λ７上に開口するスロツ）　／／３２に連通されてい
る。可撓性の真空配管３７は通路／／３０にポー）　１
／、２ｇにおいて接続している。シー）　／／Ｊ３は、
通路／／３０及びスロツ）　／／３２に部分的な真空が
設定されると、円筒面／／２りに接して固定される。そ
のためシー）　／／３！；の上面は凹面形状になり、こ
の凹面形状は、レーザー処理ザイクル全体を通じて保持
さｎる。

第１，２図に示すように、シートテーブル／／２乙の下
部は、車輪／／３６を有するトラック／７３タ上に取付
けてあり、シートテーブル／／、２６とトラック／／ｊ
ｌＩとから成る全体の組立体はそれによって軌道即ちチ
ャンネル／／タタ中を転動することができる。トラック
／／３４ｔは、回動可能な長いねじ／／ＩｌＯ上に回動
不１−リー能に取付けらｎｌまたねじ係合さｎｌねじ／
／ｌＩＯは別のり変速度の電動機／／４’、２に連結さ
れ、これに↓ よって駆動さｎる。ねじ／／ダθを回動させるシートテ
ーブル／／、２６はねじ／／’７０の長さに沿って軸方
向に移動する。

第２図を参照するとわかるように、シートテーブル／／
２４は、円１ｉ＠　？ｆｆ！上のシー　）　／／３３の
回転中上・線が対角ミラー／／θりの回１１ツク中ノ［
ｔとできるだけ正確に合致するように整列さＪｌている
。

底部オ／／ココの下方に延長する可調節の脚部／／、２
４’によって正確な整列が実現される０第１．．２図の
装置を使用して、公称厚さ０，３，７１１ｍ　（／　２
ミル）、幅グθ、ＩＣＩｎＣｌ４インチ）、長さｂ　ｂ
、０ｃ１１Ｌ　（２６インチ）のカーライト−３被ｔｄ
　）　７ンーコールＨシート上の一側のみに、表Ｉに示
した処理パラメーターを用いてスクライビングすること
ができる。

トラン−コールＨは、米国オハイオ州ミツドルトン、ア
ームコ・インコーホレイテッドの商標名である。この商
標に係る商品は、２次再結晶を助けるためのＡ　Ｌ　Ｎ
　　禁止を用いた高透磁率の方向１生珪素鋼である。カ
ーライト−３は、θ、０２！Ｈａｍ　（／　ミル）のガ
ラス被膜上に接合された、典型的には約３〜ダμｍ　の
アルミニウムーマグネシウム−燐１イλ塩−クロムーシ
リカ断熱ガラス応力岐膜のアース・コ・インコーホレイ
テッドの商’ｌ’ｌ（名である。カーライト−３応力被
膜は典Ｂｑ的には６００Ｃよりも高い温度でキユアリン
グする。この応力被膜はその下方にあるシリコン鋼に張
力をかけることにょシ磁区の改良をする。カー２イト−
３が所属する７群の断熱応力被膜及びこ扛をシリコン鋼
及びガラス被膜付シリコン鋼に適用する方法は、引用に
よってこの明細書の一部となる米国特許第３バリア１１
４　号に記載さねている。

／ テーブル移動方向に対し直角に整列された有効領域が約
０．７　Ａ　〜／、Ｏ７ｒｎｍ　（０，０３〜０．Ｏ１
１インチ）×ハ、２７ｍｍ（θ、ＯＳインチ〕の長楕円
形の光点を各々の場合に形成するために、円筒レンズを
使用した。またフォトン・ソーシズ・モデルｖｓｏｏ、
ｓｏθワットレーザーにより供給されるＣ０２ＣＷ　　
Ｌ／−ザーを使用した。円筒レンズに入った時のビーム
は断面が円形であり、エネルギー分布はガウス分布であ
った。

処理された全幅の畦−シートについて測定し一１／ま たＰ−３の関数としての、誘起を力１Ｏｋ（０、ム、・
印）及び１ＳｋＧ　（口、△、○印）においての鉄心損
の変化は、第７図及び第ｇ図に、焦点距離／　、２．７
θｃｍ　（５インチ）、４．ｊｊｃｍｆ（，２，ｊイン
チフの一つのレンズについて図示されている。図かられ
かるように、鉄心損が最小になるＰ、Ｓ−１／２　　の
最適値は、７．０〜７．０ワツト（ｍｉｒｌ／インチ）
、好ましくはハ０〜ｓ、ｏの間にある。おそらくはシー
ト上に形成される光点の大きさに電力の大きな変化が影
響をもつことに′よって、成る与えられた誘起電力にお
いて別々の鉄心損曲線が、各々の評価されたレーザー電
力（／３０（＠、口）、３００（ム、△）及びｔｉ−ｓ
ｏ（傍、０）Ｗ）について得られる。

第７１ｇ１ＡＶｃ示したデータは０．Ａ　Ｊ　ｃａｎ　
（００，２５インチ）の呼びスクライビング間隔を使用
している。成る与えられた′電力、光点の大きさ及び幾
何学的形状について、走査速／ｆ、’ｌ″−異なると、
鉄心損の最適の改善を生ずるための最適のスクライビン
グ間隔ｄ、相違したものＶ（なる。鉄心指について大き
な改善がなされると、典型的には、被膜て牛じたスクラ
イビングの可視的な痕跡はほとんどなく、損傷は見られ
ない。図示したＰ、Ｓ−１／２　　り比較的大きな値（
即ち’１．！；−３．θよりも大きな値については、被
膜面の既存のきすのところで被膜が多少融解することが
ある。

図示したｐｓｓ−１／２の比較的小さい値（即ち／より
も小さい値）Ｖこついては、エネルギー分布或いは電力
分布が不充分になり、評価しているスクライビング間隔
についてドメイン（磁区）の大きさＶＣ著しく影響する
応力を生ずるに足りる急激な温度の上昇は起こらないと
考えられる。

円形の光点を用いた過程に対しては、約θ、／ワンド（
ｍｉｎ、／インチ〕１″の低いや＋＋３−＋７２値が検
ぼ・１されろ。

第り図は、ｔｉ！ｉｏｗのビームを用いて、約７９７Ａ
Ｏｃｍ（３／４ｔθＯインチ９７分（○印）及び約／ｑ
り３りＯｃｍ（’）Ｉｆ！；００インチ）７分の走査ｉ
ＵＩ＆についてスクライビング間隔と／　！；　ｋＧに
おいての鉄心積の減少率との関係をプロットした線図で
ある。７９’／ｌθｃａ＋／分のけ書き速度に対する最
適スクライビング間隔は約ｔ、グｍｍ　（０，２５イン
チ）、／ｑｑ３ｑｏｃｍ／分のスクライビング速度に対
する最適スクライビング間隔は約／、７ｇ　〜、３．０
ｒｍｒｎ（θ、０７〜０．／　２インチ）である。

誘起７ｒｉ　ＩＥ　ａ）関数としての鉄心用減少率の変
化は、スクライビングｌ−ｊ、ｌ　隔、ｒ、　、１．ｔ
　ｍｍ　（θ、２９インチ）、？　？　？　ｂ　ｎ　＋
３ｍ　／　５）　（ｐ’ｐ　ｌ：ｌＪ　）　Ｈ，びスク
ライビング間隔、Ｌ２　ｍｍ　（０，／　、２　！；イ
ンーｆ　）　（（ｒ）印）でスクライビングするためｙ
ｃｌＩｓｏワットのビームを用いたそれぞれの場合につ
いて、第７０図に図示されている。

約７．０．２×９．３３ｍｍ　（０，００１１ＸＪ／ｇ
インチ〕の７一ト面上に楕円形の光点を形成するために
直径−７，２，７ｍｍ　（−／／２インチ　）、＋、１
θソツトの円形の到来ビームの光路中て直径９．！ｉＪ
ｍｍの円形アパーチュアをおいた場合の、７９７乙θＣ
ｂ分、約３．０！；ｍｍ　（ｏ、７１インチ）に対する
結果も、第１０図にプロットされている。

第１図に示した装置は、第１／図に概略斜視図により示
したほとんど無限に長い強磁性材シートに高速レーサー
スクライビングするように適合させることができる。第
１１図ＹＣは、電動機駆動される巻戻しリールコｌＩｓ
上に取付けた平泪な強磁性材のシートのコイルが取付け
られている。シートは一対の自由に回動可能な区画され
たロール対、２．Ｏ３，２，２０に通される。各々のロ
ール対コθ３，１．２０　は、凸面ロール、２１０と、
これに整合する凹面ロールλ／Ｓとを有し、これらのロ
ールコ／θｌλ／ｓ　　ハシート２グθを塑性変形させ
ることなくシート、２ダＯＶＣ湾曲形状を付与する。各
々のロールユ１０．２／！；　　の各々の区画は、他の
区画に対し独立に回動し得る。

厚さ０．２１：ｒｎｍ　（０，０７７インチ）、幅ｌＩ
ｔ、クコｃｍ（／＆インチ）のシートの場合、−〇、３
Ｊｃｍ（１１インチ）より大きな曲率半径とすると、鋼
に対する有害な効果を生じないことがわかっており、約
ＪＩ１．１０−＋５．７．２ｃｍ（／　ｊ　〜／　１イ
ンチ）の半径が検討されている。最小曲率半径はもちろ
ん材料の厚さに依存する。

レーザー操作装置は、ロール対、２ｏｓ＋コ、２０の間
に配設されている。レーザー源ないしレーザｇｆｆ１２
００＜パルスレーザ−でＬ連続波レーザーでもよ（、Ｃ
Ｏ，、ネオジミウムＹＡＧ　　或いはネオジミウムガラ
スでもよい）は、固定ミラーｌ１０ＹＣレーザービーム
を送出、し、固定ミラー／　／　０は、矢印への方向に
回転する回転光学系ｌ／Ｓてレーザービームを整列させ
る。回転光学系／　／　！ｒ　ｌｑｌ：、回転レンズ９
０及び回転ミラー／、２θを有し、回転レンズタ０と回
転ミラーノコ０とはいっしょに回転して、シート、２Ｖ
Ｏの移動方向（矢印Ｃによってボす）に関し固定された
配向の細長い光点９Ｓを形成する。ビームは回転ミラー
／、２θの表面によって反射され、矢印Ｂの方向に進み
、レーザービームの下方を矢印Ｃの方向に進行するシー
ト、２ｐｏの表面にスクライビングライフ、２３ｊｔを
形成する。け占き線、２３Ｓは説明の目的で第２図には
示されているが、実際は、肉眼では見えないことが望ま
しいと考えられる。

可変速度の電動機、２６Ｓは回転光学系ｌ／Ｓを回転可
能に駆動する。可変速度の電動機、２Ａ３と回転光学系
ｌｌＳとを連結する軸にＶ、１、回転光学系／／Ｓの速
度及び配向を測定し、レーザービームｌＯ３がジートコ
弘Ｏの方に反射される時にのみオンとなるようにレーザ
ービーム／θＳを励起させる時期をレーザー装Ｎコθθ
に通報するために、タコメーター族＠２７θが取付けら
れている。

シート、２ｑＯの移動速度と回転光学系／／ｊの回転速
度とは、鋼材上のけ書き線の所望の間隔を与えるよって
互に整合されている。

−例として、単一の回転光学系の場合、成るスクライビ
ング間隔を得るのに必要なレーザービームの最小走査速
度は、次式 ％式％（６） （式中Ｗはシート幅、Ｌはスクライビング間隔、Ｓ、は
シート移動速度、Ｓ、はレーザー走査速度である） によって計算される。

ここでは、成る７本のスクライビングラインが完成する
と直ちに、レーザービームが次のスクライビングライン
を形成し始める準備状態になっているものと想定されて
いる。係属中の米国特許願　　　　　　号（ｔＨ願人の
作置！０７．３ｇ号）又は光学系の１回転の間に複数の
スクライビングラインを形成し得る本明細１１Ｍ第１弘
〜／り図に示された光学系は、上式により計算されろ最
小速度Ｖζおいてこのスクライビング間隔を実現するよ
うに変更することができる。しかし光学系の１回転につ
いて只１回のスクライビングを行う光学系の場合、１つ
の回転光学系が所望のスクライビング間隔を達成する最
小速度は、式 （式中ＲはシートコグＯの曲率半径である）によって与
えられる。

各々が自己のレーザービームによってスクライビングす
る複数の回転光学系を使用する（ここにレーザービーム
は、単一のレーザー装置と／　Ｉｌｉ’！以上のビーム
分割器とを用いて、又は？Ｍｇ！ｌのレーザー源によっ
て発生させる）場合には、所望の最終的なスクライビン
グ間隔を実現するために、式ｔｅｌ　、　（７１によっ
て計算された速度よりも低い走査速度を用いることがで
きる。この条件の下では、最小のレーザー走査速度は、
次式（式中ｎはシー１４スクライビングするために使用
されている回転光学系の数である）−て従って計算する
ことができる。

区画されたロール対、２−〇を通過した後に、弾性的に
湾曲したシート２１ＩＯは、その元の平たんな形状に戻
され、電動機駆動される巻取りリールコＳｏ上に巻取ら
れる。

ｆｆ！　／　／図にｒｌｌ、ユーザー又はメーカーのプ
ラントに配設され得る特別の処理ラインとして本’ｚｌ
　Ｆ’ＪＪによるレーザースクライビング装置を用いる
ことを示しているが、本発明によるレーザースクライビ
ング装置は、シートの移動速度が７分間約３θ〜３００
ｍ（１００ＮＩＯ００フイート）となり得る標準的な処
理連鎖内において連続又は半連続の既存のラインに組込
むこともできる。

シートの移動速度がシート面上のレーザービーム、走査
速度の相当大きな分数値（例えば１０チ以、）、　）と
なる応用例の場合には、スクライビング帯域幅を最小に
するように円筒レンズを調節することが望ましい。例え
ば、シートがビーム走査方向と直角ＶＣ移動する場合、
円筒レンズの軸線もシートの移動方向と直角であると、
成る量の細長いビームのてじみが生じ得る。このにじみ
はシートのレーザースクライビング帯域の幅を広くする
ことがある。このてじみ効果を度、Ｓ、はレーザービー
ム走査速度を表わす）に等しい角度円筒レンズの軸線を
回転させることにより、ビーム走査方向に延長する時に
シートの移動方向に関して後方に延長する細長い光点が
シート面上に形成される。そのため細長い光点の長軸は
、ビームの移動方向に対しもはや平行では々く、それと
の間に角度θを形成する。

シート移動方向と直角又は他の所望の角度に走査経路（
或いは、形成されるスクライビングライン〕をもって来
るために、ビーム回転面を回転させてもよい。

第１／図に示した本発明によるレーザースクライビング
装置には、第７３図に示した回転光学系ｌｌＳが用いら
れているか、それ以外の光学系、例えば第１１／、２図
に示したソ３．学糸を使用することもでき、これらの光
学系も、いろいろの応用例に特有の要件の下に適切であ
る。

第１図に示した回転光学系の利点は１、第１３図の装置
によって必要とされる（成る到来ビーム径に対する）焦
点距離の長い円筒レンズよりも小さい光点を与え得る焦
点距離の短い円筒レンズを使用できることにある。しか
し第１図の回転光学系は、レンズに作用する求心力が性
能に影響するほど高く彦る場合には、最適ではない。こ
れらの場合には、レンズに対する求心力が最小になる第
１．２，１３図に示す回転光学系が好適である。第１−
図には心違い放物面の反対面りθを有する回転ミラー７
５が図示され、この回転ミラーは、スクライビング中の
シートコニの細長い光点にレーザーを反射合焦させるよ
うに作用する。

本発明の別の実施例を第１グ＋７３図に示す。

この実施例ＶＣよれば、細長い固定円筒レンズ／３１０
は、矢印Ｃの方向に移動するスクライビング中の平たん
な強磁性材のシート／！ｒ、３θと回転光学系／　３　
Ｊ、　０との間に配置される。細長い円筒レンズ／３１
０ば、シー）　／！；３０の幅を横切って横方向に配置
され、シート幅て少くとも等しい長さを有する。

回転光学系／！；、２θＣＬ、シート幅を横切って横方
向に延長し細長いレンズ／Ｓ／θの長さて対し平行に整
列された軸線Ａ　−Ａ　（１）回り匡回転するように駆
動される。複数群のミラーは、ドラム／！４１００周面
の回りに強（しかし交換可能に取付けられている。第１
３図にはダつの群Ｗ、　Ｘ。

Ｙ、　Ｚ　　を示したが、これより多いか又は少い数の
ミラ一群を用いて回転レンズ系を設計してもよい。各＃
Ｗ、　Ｘ、　ｙ、　ｚは複数個即ち１個（１＝コ、３．
’Ａ−，−）のミラーを備えている。

図示した例では１＝ｆｆである。これらのミラーは、円
周に沿い分布されていると共に、共通の回転軸、腺Ａ　
、Ａの回りに軸方向に分布され、１紬線ｊｙ　Ａから成
る共通の半径にある。例えば１ｉ）Ｘでは、３個のミラ
ーＸ／〜ｘｇは、少くともシート幅に実質的て等しい長
さに亘って、共通の回転軸線と平行に規則的に分布され
ている。ここで規則的とは、成る群中罠おいてｌっのミ
ラーからそれと円周方向に瞬接した次のミラーに移行す
る際に、ミラー間の移行が第１ダ図に示すようにシート
幅を横切って階段状に連続して行われろことを意味する
。

各々の平たんなミラーにより限定される平面の法線は、
軸線ＡＡから延長して各々のミラーの円弧を２等分する
径方向線と軸線ＡＡとてよって形成される平面と平行な
平面内にある。

これらのミラーを、レーザービーム／！；３０の光路て
入るよって、矢印Ｑに示す方向に回転させると、レーザ
ービーム／５ｋｉｄξラーニよって、細長い円筒レンズ
／！１０の力に反射され、円筒レンズ／り１０はレーザ
ービーム／！！ｉｆを、シー１７！、３０の表面上り細
長いスボントを形成するように合焦する。隣接したミラ
ーがレーザービーム／！；！；０の光路に入るように移
動すると反射レーザービームはシー）　／！；３０の幅
を横切って成る距離増分的に移動する。この過程はその
ｒ＋１ｉの最後のミラーまで続けられ、この時点でレー
ザーはシートｔｓａＯの全幅をｊｍ過しており、ここで
自動的に遮断され、次の群の最初のミラーカレーザービ
ームを遮えぎるまで続けられる。

好ましくは、該次の酢のミラーは、先行する群の最後の
ミラーの直後にレーザービームラ遮えぎるようにする。

そのため回転光学系／３．２゜の１回転ごとにシー）　
／！；３０の全幅に亘り複数のスクライビングラインが
形成される。ミラ一群の数及び回転光学系／！ｔ、ｌＯ
の回転速度は、シート／ｊｔ３０の移動速度に対してス
クライビングライン間の所望の間隔が得られるように選
定する。

また７つの群中リミシーの軸方向間１４は、図示した鎖
線状又は７本の連続したスクライビングラインを与える
よう罠、所望のようＶＣ調節する。

第１り＋／ｊ図に示した実施例の変形例として、第１Ａ
図に示した＃Ｊの軸方向ｐて分布されたずシーＪ／、・
・＠−Ｊ１０は、そのミラー面に対する法線が第１ｓ図
の実施例に示すように径方向に整列される代りに互に平
行になるように整列されている。尚、群Ｊ中のミラーは
、その回転１ｉＱｉ線Ｂ−Ｂから共通の７つの半径に全
て位置されて１ハ４）わゆではない。ｍＢＨの回りに矢
印Ｖり方向ンこ回転するミラーＪ／−ＪｌＯＱＪ、レー
ザービーム、／１１０を遮えぎる時てぞれを反射し、矢
１−ＩＴ　ｒｔの方向に移動するシート／６３０の幅を
横ｖＪって延びる固定の細長い円筒レンズ１６２０をｊ
ｌｌつて、レーザービームを送出する。

ｌ洋中の各々のミラーがレーザービーム／ｌ、、２０ｆ
遮エキる時しこ、ノー１ｒ−ビ〜ム／６．ｌθは、シー
）　／！；３０の幅を横切って増分的に移動する。円筒
レンズ／ｂ、２０はコ個以上の別々の円筒レンズにその
長さに沿い区画してもよい。

第１Ａ図を吟味することによって、ミラー列が回転する
時、ξシー区画から反射されるレーザービームも、円筒
の回転軸線と合致する回転中心の回りに回転することが
わがる。円筒レンズ上のし〜ザービームの位置は、この
回転運動のためＫＭ動する。第７６図に示した条件の下
では、この運動ｔ１、右方がら左方に向って生ずる。簡
単な幾何光学上の考察によって、円筒レンズ１ｔａｏに
より生じた合焦された線分の位１ａも、速度ｖ′−ωＦ
（ここにωは円筒体の角速１ａ、Ｆは第１Ａ図に示すよ
うに円筒レンズ／Ａ−〇の焦点距離である。鋼材上のス
クライビング線の輪郭がぼけないようにするために、こ
の像形成速度をシート／Ａ３０の移動速度ｖＶこ整合さ
せ（即ちｙ　−ｖ　／　　）でもよい。ｆを円筒体の回
転速度とすると、必要条件ｔま、ａπＦｆ＝ｖである。

典型的ｈパラメーターの値例えばｖ−ｂｏ、６ｍ／分（
，２００フイ一ト／分）　＝　／、０　／　Ｉｎ／秒（
グθ他の装置パラメーター即ちミラー列中のεシー区画
数、円筒体に固定したミラー列の数、レーザービームの
エネルギー及びプロフィルその他は、鋼材の所望の磁気
的特性を最適にするＪ二うに調節することができる。

湾曲したシート／７ＡＯ上に１回転当り複数のスクライ
ビングラインをＪｉｔ成する光学系が、第７７図に図示
されている。この実施例によれ１・ｆ１角錐４にのξシ
ー／り／θの回転中心は、εシー／７／θの底面／７／
３の幾何学的中心及びその頂点／’１．２０を通って延
びる回転軸線ＣＣ上におかれている。外側に指向した傾
斜ミラー面／７．３０は、底面／７／Ｓの周縁部から上
方に延長する際７ζ回転軸線に向って延長する。円筒レ
ンズ７１ダＯは円錐ミラー／７１０と共に回動可能に取
付けられている。各々のξシー面／７３θりこついて７
個の円筒レンズ／ｌ’ＩＯが設けられ、ミラー面／’／
、ｊＯＶこ光学的に整列されている。回転軸線ＣＣ上に
Ｖよないがこれと平行にシート／７ＡＯ上に集光される
、到来したレーザービーム／７ｊθは、成る特定のεシ
ー面／’）３０から、このミラー面／７３０ＶＣ整列さ
れてこれと共に回転する円筒レンズ７７グＯを経て反射
される。そのためレーザービーム／７ＳＯは細長い光点
として、湾曲したシー）　／　７　Ａ　ｏ、ｌ−に合焦
され、矢印りによって示す幅方向（・（、シート／７乙
θの移動方向と実質的に直ｆ（Ｉ′／ζ走Ｉ′ｒ−され
イ）。ｌ／−＋ｌＳＩｌＳノリ１ｑｑｏを有−ｊ　７）
グ面り角凪ξシー／７／θｔｊ１、ミラー／り／θ及び
レンズ／ワクθの７回転ごとにグ本の、腺を湾曲［７た
シート１ｑｂｏ上にスクライビングする。７個よりも多
いか又は少い数のミラー面／７３ｏとレンズ／７’ＩＯ
との組を備えた構成もｉＴ能である。

本発明は、上述した実施例のはかＶ（もいろいろと変形
して実施でき、上述した１１１宇の構成ｏｊ、単なる例
に過ぎず、本発明を限定すイ）もので（ｊ、ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を一部切欠いて示す側面図、
第、２図は第１図に示した実施例の正面図、第３図は第
１図に示した合焦糸及び真空チャック装置を示す１％分
的な側面図であり、一部断面によって示す図、第１図は
第λ図ンζ示す真空チャンク装置の部分的な正面図であ
り、一部断面てよって示す図、第Ｓ図及び第を図に１、
第２図て示したタコメーター装置ａのそれぞれ正面図及
び側面図、第７図及び第ｇ図？、１、柚々の高速レーザ
ー走査パラメーターＶ（ついて、本発明により実現され
２．鉄心用減少率をＰｘＳ−””の閃数として示す線図
、第９図はλつの高速レーザー走査点ｉ！ｃついて、鉄
心用の減少率を、スクライビングライン間隔の関数とし
て示す線図、第１θ図は３絹のレーザー走査パラメータ
ーについて鉄心用減少率を誘起電力の関数として示す線
図、第１／図は本発明の一実施例を示す概略的な斜視図
、第１２図及び第７３図は第１図及び第１／図に示した
本発明の実施例に使用する回転光学系の変形実施例を示
す配列図、第１１図は平たんなシートについて高速レー
−ＬＪ’　−スクライビングを行う本発明の一実施例を
示す部分的な側面図、第１Ｓ図は第１＜Ｚ図の矢印ＸＶ
−ＸＶの方向に見た端面図、第７６図は第１ｙ図及び第
１Ｓ図に示した本発明の実施例の変形例を示す）１（１
分的な正面図、第１７図は第１図及び第１１図に示した
本発明の実施例に使用する回転光学系の別の実施例を示
す部分的な配列図である。 符号の説明 ・円筒レンズ（合焦手段、光学手段）、／／２６・・シ
ートテーブル（移動手段）　　／／３３・・シート。 特許出願人代理人　　曽　　我　　道　　照′１！　　
′ 手続補正書（自発） 昭和５碌弔　１１ｆＪ２８日 ４５゛許庁長官殿 １、　事件の表示 昭和ｓｒ年特許願第　／り！Ｊ？３　号２、　発明の名
称 レーザースクライビング方法及びその装置３、　　Ｐ＋
ｌｉ正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　　（７／／）ウェスチングハウス・エレクトリッ
ク・コーポレーション ４、代理人 ５　　１’＋ｌｉ＋１のス・ｊ象 （１）明細書の特許請求の範囲の欄 ６、補正の内科 （１１特許Ｉｉ＋Ｙ求の範囲を別紙の通り補正する。 別 特許請求の範囲 ／　レーザービームを偏向さぜるための回動手段と、 該レーザービームを集束する合焦手段と、該レーザービ
ームによって処理されるべき強磁性材のシートのシート
面を該レーザービームの光路中へと移動させる移動手段
と、を有し、 上記移動手段は、−上記合焦手段の焦点面から所定の距
離内において上記シート面を合焦されたレーザービーム
が通るように移動させ。 上記回動手段の偏向のための回動は、上記シート面の移
動方向に対して実質的に横方向に、上記合焦されたレー
ザービームを並進させ、 上記合焦手段は、上記シート面を横切るレーザービーム
の並進方向に対し実質的に平行に整列された艮輔を有す
る細長いビ、−ム断面を生ずる光学手段を含むレーザー
スクライビング装置１０ ユ　レーザービームを合焦する合焦手段が、レーザービ
ームを偏向させるための回動手段とシート面との間に配
された特許請求の範囲第１項記載のレーザースクライビ
ング装置。 ３　シート面を湾曲させる手段を更に有し、上記シート
の表面ば回動手段からの該表面の距離に実質的に等しい
曲率半径を有し５合焦手段はレーザービームを偏向させ
るための回動手段とシートの間に配されてなる特許請求
の範囲第１項記載のレーザースクライビング装置。 ｑ　合焦手段がレーザースクライビング装置の作動の間
レーザービームを偏向させる回動手段から一定の距離に
保たれ、該回動手段と共に回動する特許請求の範囲第１
項記載のレーザースクライビング装置。 ！　上記レーザービーム源が持続波レーザービーム源で
ある特許請求の範囲第１項記載のレーザースクライビン
グ装置ｉｔ、。 ム　持Ａａ［レーザービーム源がＣＯ，レーザーである
特許請求の範囲第１項記載のレーザースクライビング装
置。 ７　持続波レーザービーム源がネオジミウムＹＡＧレー
ザーである時許釉求の範囲第１項記載のレーザースクラ
イビング装置。 ｇ　持続波レーザービーム源がネオジミウムガラスレー
ザーである特許請求の範囲第１項記載のレーザースクラ
イビング装置。 タ　入力電力Ｐを有するレーザービームを用いて電力損
失を減少させるために強磁性材のシートにスクライビン
グするに肖す、 上記強磁性材を第１方向に速度Ｓ、で走行させ、上記レ
ーザービームは第１方向と実質的１こ直角の第一方向に
速度Ｓ、で移動させ、上記レーザービームを上記強磁性
材のシートの表面に反復衝突させ、該シートの表面に所
定の大きさ及び形状の光点を発生させ、スクライビング
ライン間に所定の間隔を保って、スクライビングライン
を形成し、 上記′１圧力Ｆ及び第一速度Ｓ、は 係が満足され、 （Ｉｌｌ　　ｋ／−サ−４＝”−ム入射電力密度がショ
ック蛮形をもたらさず、 （Ｉｌｌ）　　レーザービーム入射エネルギー密度が１
０ジュール／−２より大きく約、２ｏｏジユール１０ｎ
ｈ２　より小さい 条件を満すように選定することを含むレーザ−スクライ
ビング装置。 ／θ　光点の形状は細長い形状とし、Ｐ　、　３２は／
＜ＰＳ、　／２　＜７　の条件が満たされるようｌこ選
定する特許請求の範囲第り頃日ｆ２載のレーザースクラ
イビング方法。 ／ｌ　　Ｓ、を０゜Ａ〜Ｊ　００　ｍ／９　（コ〜１０
００　　フィート７分）とする特許請求の範囲第り項ｄ
ｆｉ載のレーザースクライビング方法。 ／、２．　　Ｓ、を少くとも１０　Ｓ、とする特ｈ゛１
１請求の範囲第デ項ｈ１シ載のレーザースフライビニノ
ブ方法。 −七

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／　レーザービームを偏向させるための回動手段と、 該レーザービームを集束する合焦手段と、該レーザービ
   ームによって処理されるべき強磁性材のシートのシート
   面を該レーザービームの光路中へと移動させる移動手段
   と、を有し、 上記移動手段は、上記合焦手段の焦点面から所定の距離
   内において上記シート面を合焦されたレーザービームが
   通るように移動させ、上記回動手段の偏向のための回動
   は、上記シート面の移動方向に対して実質的に横方向に
   、上記合焦されたレーザービームを並進させ、 上記合焦手段は、上記シート面を横切るレーザービーム
   の並進方向に対し実質的に平行に整列された長軸合有す
   る細長いビーム断面を生ずる光学手段を含むレーザース
   クライビング装置。 ユ　レーザービーム源を更に有し、該レーザービーム源
   はレーザービームを偏向させるために回動手段に光学的
   に心合せされた特許請求の範囲第１項記載のレーザース
   クライビング装置。 ３　レーサービームを合焦する合焦手段が、レーサービ
   ームを偏向させるための回動手段とシート面との間に配
   さｎた特許請求の範囲第１項または第一項記載のレーザ
   ースクライビング装置。 侶　シート面を湾曲させる手段を更に有し、上記シート
   の表面は回動手段からの該表面の距離に実質的に等しい
   曲率半径を有し合焦手段はレーザービームを偏向させる
   ための回動手段とシートとの間に配されてなる特許請求
   の範囲第１項ま、−ｆ＆は（第一項記載のレーザースク
   ライビング装置。 Ｓ　ば焦手段がレーザースクライビング装置の作動の間
   レーザービームを偏向させる回動手段から一定の距離に
   保たれ、該回動手段と共に回動する特許請求の範囲第Ｖ
   項記載のレーザースクライビング装置。 ム　上記レーザービーム源が持続波レーザービーム源で
   ある特許請求の範囲第２項記載のレーサースクライビン
   グ装置。 ７　持続波レーザービーム源がＣＯ，レーザーである特
   許請求の範囲第６項記載のレーサースクライビング装置
   。 ざ　持続波レーザービーム源がネオジミウムＹＡＧ　　
   レーサーである特許請求の範囲第６項記載のレーザース
   クライビング装置。 ９　持続波レーザービーム源がネオジミウムガラスレー
   ザーである特許請求の範囲第６項記載のレーサースクラ
   イビング装置。 ＩＯレーサービームを偏向させるための回動手段の回動
   軸線がシートの移動方向と実質的に平行としてなる特許
   請求の範囲第ｙ項記載のレーザースクライビング装置。 ／ｌ　上記レーザーのトリガ一手段を更に有し、レーザ
   ービームはその光路が上記シートに入射する時にのみオ
   ンとなる特許請求の範囲第７項または第２項記載のレー
   サースクライビング装置。 ７．２　シート面を平たん面とした特許謹青止、の範囲
   第１項または第２項５「）載のレーザースクライビング
   装置。 １／、７　　回動手段が各々複数のミラーから成る複数
   のミラ一群から成り、とｎ、らのミラーに共通の回転軸
   線の回りに円周上に分布されていると共に、軸方向に分
   布され、 各々の上記ミラ一群の各々の上記ミラーは強磁性材の上
   記シートの幅に少くとも実質的に等しい長さに亘υ上記
   回転軸線と平行に規則的に分布され、 上記共通の回転軸線は上記シートの運動方向と実質的に
   直交し、 レーザービームを偏向させるための回動手段は１つの上
   記ミラ一群中の各々のミラーを上記レーザービームの光
   路中に移行させるととＫよって、」二記レーザービーム
   を上記シート面の方に偏向させ、上記レーザーと一ムを
   」二記シート面の幅を横切って移動させる特許ＤＩ’４
   求の範囲第１２項記載のレーサースクライビング装置。 ／Ｑ　　合焦手段がレーザービームを偏向させるための
   回動手段とシート面との間において上記レーザービーム
   の光路中に配された特許請求の範囲第１３項記載のレー
   サースクライビング装置。 ／Ｓ　入力電力Ｐを有するレーザービームを用い１′屯
   力損失を減少させるために強磁性材のシートにスクライ
   ビングするＶＣ，当り、上記強磁性制を第１方向に速度
   もで走行させ、上記レーザービームは第１方向と実質的
   に直角の第２方向に速度日、で移動させ、」１記レーサ
   ービームを上記強磁性材のシートの表面に反仮価失させ
   、該シートの表面に所定の大きさ及び形状の光点を発生
   させ、スクライビングライン間に所定の間隔を保って、
   スクライビングラインを形成し、 （ＩＩ）　　レーザービーム入射電力密度がショック変
   形をもたらさず、 （Ｉｌ＋）　　レーザービーム入射エネルギー密度が１
   ０ジユール／　ｏａ　”　より犬きく約２００ジユール
   ／　ｒｘ　”　より小さい 条件を満すように選定することを含むレーザースクライ
   ビング方法。 ｌム　光点の形状は細長い形状とし、Ｐ、８２は／　＜
   　ＰＥ３ｔ−’／’　＜　’７の条件が満たされるよう
   に選定する特許請求の範囲第１Ｓ項記載のレーザースク
   ライビング方法。 Ｑ　　Ｅ＋、をθ、ｂ〜３ｏｏｍ／分（２〜１０ＯＯフ
   イ一ト／分）とする特許請求の範囲′ＭＳ１５項または
   第７６項記載のレーザースクライビング方法。 １ｇ、　　８２を少くとも１０Ｓ、とする特許請求の範
   囲第７７項記載のレーデ−スクライビング方法。