JPS5991361U - 被膜蒸着装置 - Google Patents

被膜蒸着装置

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JPS5991361U
JPS5991361U JP18735082U JP18735082U JPS5991361U JP S5991361 U JPS5991361 U JP S5991361U JP 18735082 U JP18735082 U JP 18735082U JP 18735082 U JP18735082 U JP 18735082U JP S5991361 U JPS5991361 U JP S5991361U
Authority
JP
Japan
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film deposition
deposition equipment
cylindrical chamber
rail
holder
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JP18735082U
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English (en)
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JPH0238928Y2 (ja
Inventor
竹内　広達
俊雄 御器谷
Original Assignee
日東工器株式会社
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Publication date
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    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/40—Solar thermal energy, e.g. solar towers

Landscapes

  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１図はこの
考案の概略正面図、第２図はカル−セルアッセンブリを
レール上走行させた状態を示す説明図、第３図はこの考
案の概略平面図である。 １・・・筒形チャンバー、２・・・被処理物、４・・・
開口端部、１０・・・レール、１６・・・カル−セルア
ッセンブリ、１７・・・ホルダー、１８・・・垂直蓋。 ［／２　ｆ−−−Ｉｆ″、０ ト十 １１１　　　　　　１ 、ｂ　ｄ　　　　　　　／　　　　　　　　　　　　　
　　　θ１／　　　　−／−７

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被処理物の外表面に被膜を蒸着させるための一端部が開
    口のままの筒形チャンバーを床面上に水平に設置し、同
    筒形チャンバーの真下床面上にはレールを水平に敷設し
    て、該レール上には、被処理物を水平に支持するホルダ
    ーと該ホルダーの基部側に上記筒形チャンバーの開口端
    を閉鎖する垂直蓋を固定したカルーセルアッセンブリ牽
    走行自在に載せたことを特徴とする被膜蒸着装置。
JP18735082U 1982-12-12 1982-12-12 被膜蒸着装置 Granted JPS5991361U (ja)

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JP18735082U JPS5991361U (ja) 1982-12-12 1982-12-12 被膜蒸着装置

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JPS5991361U true JPS5991361U (ja) 1984-06-21
JPH0238928Y2 JPH0238928Y2 (ja) 1990-10-19

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52150790A (en) * 1976-06-10 1977-12-14 Univ Sydney Process and apparatus for reactionary vacuum evaporation
JPS5732368A (en) * 1980-08-05 1982-02-22 Ulvac Corp Vacuum treating apparatus
JPS5912867U (ja) * 1982-07-19 1984-01-26 富士電機株式会社 電子写真用感光体製造装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5912867B2 (ja) * 1975-10-13 1984-03-26 日産自動車株式会社 電子燃料噴射装置の検査装置

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