JPS5989571U - フオトレジスト剥離装置 - Google Patents
フオトレジスト剥離装置Info
- Publication number
- JPS5989571U JPS5989571U JP18486982U JP18486982U JPS5989571U JP S5989571 U JPS5989571 U JP S5989571U JP 18486982 U JP18486982 U JP 18486982U JP 18486982 U JP18486982 U JP 18486982U JP S5989571 U JPS5989571 U JP S5989571U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist stripping
- stripping equipment
- processed
- substrate
- heat exchange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のフォトレジスト剥離装置の概要を示す図
、第２図および第３図は本考案に係るフォトレジスト剥
離装置の構成を示す図である。 図において、１は入口、２は被処理基体、３はコンベア
ー、４は出口、５はノズル、６は種部、７は水冷管、８
はフィン、９は隔室、１０はローラーである。
、第２図および第３図は本考案に係るフォトレジスト剥
離装置の構成を示す図である。 図において、１は入口、２は被処理基体、３はコンベア
ー、４は出口、５はノズル、６は種部、７は水冷管、８
はフィン、９は隔室、１０はローラーである。
Claims (2)
- （１）フォートレジスト剥離装置において、被処理基体
の出入口のそれぞれの近傍に溶剤を凝縮させるための熱
交換機構を設けたことを特徴とするフォトレジスト剥離
装置。 - （２）フォトレジスト剥離装置内に被処理基体の出入口
と剥離処理室との間に、熱交換機構を設置した隔室を設
けたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載のフォトレジスト剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18486982U JPS5989571U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | フオトレジスト剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18486982U JPS5989571U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | フオトレジスト剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5989571U true JPS5989571U (ja) | 1984-06-18 |
Family
ID=30399724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18486982U Pending JPS5989571U (ja) | 1982-12-07 | 1982-12-07 | フオトレジスト剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5989571U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54126636A (en) * | 1978-02-28 | 1979-10-02 | Applic Gen Erekutorishite E Do | Surface treating apparatus using at least one solvent |
-
1982
- 1982-12-07 JP JP18486982U patent/JPS5989571U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54126636A (en) * | 1978-02-28 | 1979-10-02 | Applic Gen Erekutorishite E Do | Surface treating apparatus using at least one solvent |
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