JPS5987743A - 四重極質量分析計 - Google Patents
四重極質量分析計Info
- Publication number
- JPS5987743A JPS5987743A JP57197571A JP19757182A JPS5987743A JP S5987743 A JPS5987743 A JP S5987743A JP 57197571 A JP57197571 A JP 57197571A JP 19757182 A JP19757182 A JP 19757182A JP S5987743 A JPS5987743 A JP S5987743A
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- JP
- Japan
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- electrode
- electrodes
- flat
- pairs
- hyperbolic
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/421—Mass filters, i.e. deviating unwanted ions without trapping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/068—Mounting, supporting, spacing, or insulating electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/42—Stability-of-path spectrometers, e.g. monopole, quadrupole, multipole, farvitrons
- H01J49/4205—Device types
- H01J49/4255—Device types with particular constructional features
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は四重物質量分析計に係り、特に、イオン伝搬路
に沿って２対の電極が互いに対向して配置され、対向す
る各列の表面が双極線状に形成されている四重物質量分
析計に関する。
に沿って２対の電極が互いに対向して配置され、対向す
る各列の表面が双極線状に形成されている四重物質量分
析計に関する。
四重物質量分析計としては、第１図にその断面が示され
るように、円柱状の２対の電極ｍ１０がイオン伝搬路に
沿って配ばされたもの、あるいは第２図にその断面が示
されるように、２対の車極衣面が双＠！、線状に形成さ
れている電極棒１２がイオン屯搬路に沿って配置されて
いるものが従来から用いられていた。
るように、円柱状の２対の電極ｍ１０がイオン伝搬路に
沿って配ばされたもの、あるいは第２図にその断面が示
されるように、２対の車極衣面が双＠！、線状に形成さ
れている電極棒１２がイオン屯搬路に沿って配置されて
いるものが従来から用いられていた。
第１図に示される分析計の場＠は、各電極棒】０の製作
精度と支持リング１４０′製作精度が充分公差内に入る
ならば、組立精度の同上を図ることカモできる。しかし
、質量数が１００ぐらいから増加すると、第３図の実線
Ａで示されるようにイオンの四重極部の透過率ｔｒが低
下し、感度が低くなるという欠点があった。そのため、
正しい質１１［スペクトルゲ得るには補正を行なう必快
があった。
精度と支持リング１４０′製作精度が充分公差内に入る
ならば、組立精度の同上を図ることカモできる。しかし
、質量数が１００ぐらいから増加すると、第３図の実線
Ａで示されるようにイオンの四重極部の透過率ｔｒが低
下し、感度が低くなるという欠点があった。そのため、
正しい質１１［スペクトルゲ得るには補正を行なう必快
があった。
一方、εＡ２図に示されるように分析Ｇ１の場合は、１
°９３図の実線Ｂで示されるように、質ｈｉ：数が５０
０ぐらいまで増加しても四重極部のイオン透過率ｔｒが
減少しないので１．正しい質量スペクトルを得ることが
できる。しかし第２図に示される分析計の場合は、電極
棒１２の双極面に対する反対（ｔ！＋１の而が支持リン
グ１６に接触して固尾されているが、このような固定方
法では、電極棒１２の製作時に双極線面の軸と支持リン
グ１６に接触する面の軸とを一致させることが困ｔＩＧ
であった。又さらに２対の’ｔ１Ｔ、極棒１２金棒１２
れ双極線の原点に対して白変するような位置決めが困難
であった。又２対の電極棒１２の相対距離の精度が悪い
と四重極質量分析の分解能も低下する。一般に四重極質
量分析の分解能は電極間の相対距離の精度で定まり分解
能＃１ｉ！を保つためには電極間の距離が１２ｍのとき
電極の組立精度は”３μｍでなければならない。
°９３図の実線Ｂで示されるように、質ｈｉ：数が５０
０ぐらいまで増加しても四重極部のイオン透過率ｔｒが
減少しないので１．正しい質量スペクトルを得ることが
できる。しかし第２図に示される分析計の場合は、電極
棒１２の双極面に対する反対（ｔ！＋１の而が支持リン
グ１６に接触して固尾されているが、このような固定方
法では、電極棒１２の製作時に双極線面の軸と支持リン
グ１６に接触する面の軸とを一致させることが困ｔＩＧ
であった。又さらに２対の’ｔ１Ｔ、極棒１２金棒１２
れ双極線の原点に対して白変するような位置決めが困難
であった。又２対の電極棒１２の相対距離の精度が悪い
と四重極質量分析の分解能も低下する。一般に四重極質
量分析の分解能は電極間の相対距離の精度で定まり分解
能＃１ｉ！を保つためには電極間の距離が１２ｍのとき
電極の組立精度は”３μｍでなければならない。
即ち分解能は次式の関係を有する。
分解能Ｓ７石な
このように第２図に示される質量分析計の場合２谷、°
電極棒１２の表面を双極線状に切削することは容易に行
なえるが、電極棒１２間の距離ｆ、精度よく固定するこ
とが困難であった。
電極棒１２の表面を双極線状に切削することは容易に行
なえるが、電極棒１２間の距離ｆ、精度よく固定するこ
とが困難であった。
本発明は、ＭｉＪ記従来の課題に鑑みて為されたもので
あ・す、その目的は、双極線面を有する２刈の電極の相
対用＋ｆ＋ｌｒを高精度に保って各電極を固定すること
ができる四電極質量分析計を提供することにある。
あ・す、その目的は、双極線面を有する２刈の電極の相
対用＋ｆ＋ｌｒを高精度に保って各電極を固定すること
ができる四電極質量分析計を提供することにある。
前記目的を４１戊するために、本発明は、双４枳線面を
有する２対の電極の双極線面と反対側となる面を平面状
に形成し、かつ各電極を保持する保持部材の各電極との
接触面を平面状に形成し、各電極の表面形状によって形
成される双極線の焦点の延長線が双極線の点と直交する
ように、各電極の平面部と保持部材の平面部と全固着す
るようにしたことを特徴とする。
有する２対の電極の双極線面と反対側となる面を平面状
に形成し、かつ各電極を保持する保持部材の各電極との
接触面を平面状に形成し、各電極の表面形状によって形
成される双極線の焦点の延長線が双極線の点と直交する
ように、各電極の平面部と保持部材の平面部と全固着す
るようにしたことを特徴とする。
し発明の実施例〕
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する
。
。
第４図には、本発明の好適な実施例の四重僕質州分析計
の外観が示されており、第５図には四重極質量分析計の
断面が示されている。
の外観が示されており、第５図には四重極質量分析計の
断面が示されている。
本実施例における四重極質量分析計は、第５図に示され
るように、イオン伝搬路２ｏに沿って２対の電極棒２２
が互いに対向して配置され、対向する各列の′ｉ４！極
棒２２の表面が双＆線状に形成されている。そして各電
極棒２２の双極線面と反対側となる面２４が平面状に形
成され、各電極棒２２を保持する保持部材を構成する支
持リング２６の各電極棒２２との接触面が平面状に形成
され、各電極棒２２の表面形状によって形成される双極
線の焦点の延長線が双極線の原点０と直交するように、
各電極棒２２の平面部と支持リング２６の平面部とがボ
ルトナツト２８によって固着されている。
るように、イオン伝搬路２ｏに沿って２対の電極棒２２
が互いに対向して配置され、対向する各列の′ｉ４！極
棒２２の表面が双＆線状に形成されている。そして各電
極棒２２の双極線面と反対側となる面２４が平面状に形
成され、各電極棒２２を保持する保持部材を構成する支
持リング２６の各電極棒２２との接触面が平面状に形成
され、各電極棒２２の表面形状によって形成される双極
線の焦点の延長線が双極線の原点０と直交するように、
各電極棒２２の平面部と支持リング２６の平面部とがボ
ルトナツト２８によって固着されている。
電イ返棒２２と支持リング２６との固着は、第４１図に
示されるように、電極棒２２の表面形状によって形成さ
れる双極線の焦点の延長線が双極線の原点Ｏと直交する
ように、ジグポーラによって電極棒２２の裏面（平面部
）と支持リング２６に穴をあけ、ビン３ｏによって形置
決めが行なわれる。
示されるように、電極棒２２の表面形状によって形成さ
れる双極線の焦点の延長線が双極線の原点Ｏと直交する
ように、ジグポーラによって電極棒２２の裏面（平面部
）と支持リング２６に穴をあけ、ビン３ｏによって形置
決めが行なわれる。
そのため、本実施例における質量分析計は、双極線面の
軸が正確に直交し、かつ電極［２２間の相対距離？、２
ｒ６を高精度に保つことができ、さらに電極棒２２の組
立も一義的に行なえる。
軸が正確に直交し、かつ電極［２２間の相対距離？、２
ｒ６を高精度に保つことができ、さらに電極棒２２の組
立も一義的に行なえる。
又本実施例においては、第５図に示されるように、支持
リング２６が内接する外枠体３２と同電位の補助′ｉｔ
ｔ、極３４が電極棒２２に沿って支持リング２６と電極
棒２２間の４隅に挿入されている。
リング２６が内接する外枠体３２と同電位の補助′ｉｔ
ｔ、極３４が電極棒２２に沿って支持リング２６と電極
棒２２間の４隅に挿入されている。
各補助電極３４は、隣接する電極棒２２の表面形状によ
って形成される双４！ｉ、線の延長線と交わるように形
成されて発散イオンを吸収４ることかできる。即ち、補
助電極３４は接地電位の支持リング２６に接続されてい
るので、発散イオンが補助電極３０によって接地され、
発散イオンを吸収することができる。そのため発散イオ
ンが支持リング２６に衝突しないので、チャージアップ
による四重極亀界の乱れがなく、分析計の性能向上と長
寿命化を図ることができる。
って形成される双４！ｉ、線の延長線と交わるように形
成されて発散イオンを吸収４ることかできる。即ち、補
助電極３４は接地電位の支持リング２６に接続されてい
るので、発散イオンが補助電極３０によって接地され、
発散イオンを吸収することができる。そのため発散イオ
ンが支持リング２６に衝突しないので、チャージアップ
による四重極亀界の乱れがなく、分析計の性能向上と長
寿命化を図ることができる。
以上説明したように、本発明によれば、双極線面を有す
る２対の電極な一硫的に正確に直交させて固定すること
ができると共に、各電極間の相対距離を高硝度に医つこ
とができるので、高分子量まで感度の高い四重極質ｊ：
分析計を容易に製作できるという優れた効果がある。
る２対の電極な一硫的に正確に直交させて固定すること
ができると共に、各電極間の相対距離を高硝度に医つこ
とができるので、高分子量まで感度の高い四重極質ｊ：
分析計を容易に製作できるという優れた効果がある。
第１図は円柱状の電極を有する従来の分析計の断面図、
第２図は双也線面０電極を有する従来の分析計の断面図
、第３図は質量数と透過率との関係を示す線図、第４図
は本発明の好適な実施例を示す構成図、第５図は第４図
に示す四重極質凪分析計の断面図である。 ２２・・・電ｑｉ＜棒、２６・・・支持リング、３２・
・・外枠体、３４・・・補助電極。 ゛噸゛、＋−１”：・− 第 Ｉ閉 Ｏ 某２ｍ 茅３ｍ 筑（質量数）−
第２図は双也線面０電極を有する従来の分析計の断面図
、第３図は質量数と透過率との関係を示す線図、第４図
は本発明の好適な実施例を示す構成図、第５図は第４図
に示す四重極質凪分析計の断面図である。 ２２・・・電ｑｉ＜棒、２６・・・支持リング、３２・
・・外枠体、３４・・・補助電極。 ゛噸゛、＋−１”：・− 第 Ｉ閉 Ｏ 某２ｍ 茅３ｍ 筑（質量数）−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 イオン伝搬路に沿って２対の電極が互いに対向し
て配ｊｉ４ｊされ、対向する各列の」↓Ｌ極表面が双極
線状に形成されている四重極質量分析削において、谷’
ＥＩＬ４ｉｉ＋＜の双極線面と反対側となる而を平面状
に形成し、かつ各電極′ｆ：ｔｉ持する保持部材の各電
極との接触面を平面状に形成し、各電極の表面形状によ
って形成される双極線の焦点の延長１１曲が双極線の原
点と直交するように、各電極の平面部と保持部利の平（
０１部とを固層することを特徴とする四基（）ソ質ｈ［
分析計。 ２ 萌ＮＬＪ保持部材が内接する外枠体と同電位の補助
屯４勿が２対の電極に沿って前記保持部相とも幅間の四
隅に挿入され、各補助電極は、隣接する電極の表面形状
によって形成される双極線の延長線と交わるように形成
されて発散イオンを吸収すること全特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の四Ｎ極ｔｌｉ武分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197571A JPS5987743A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 四重極質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197571A JPS5987743A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 四重極質量分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987743A true JPS5987743A (ja) | 1984-05-21 |
Family
ID=16376710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57197571A Pending JPS5987743A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 四重極質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987743A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4731533A (en) * | 1986-10-15 | 1988-03-15 | Vestec Corporation | Method and apparatus for dissociating ions by electron impact |
| JPS63152846A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-25 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | マスフィルター |
| JPH0574411A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Japan Atom Energy Res Inst | 四重極電極 |
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| WO2011011742A1 (en) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Varian, Inc | Linear ion processing apparatus with improved mechanical isolation and assembly |
| WO2019115354A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Shimadzu Corporation | Multipole device and manufacturing method |
| WO2019230001A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタおよび分析装置 |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP57197571A patent/JPS5987743A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4731533A (en) * | 1986-10-15 | 1988-03-15 | Vestec Corporation | Method and apparatus for dissociating ions by electron impact |
| JPS63152846A (ja) * | 1986-11-19 | 1988-06-25 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | マスフィルター |
| JPH0574411A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-26 | Japan Atom Energy Res Inst | 四重極電極 |
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
| JP4511505B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2010-07-28 | エムディーエス アナリティカル テクノロジーズ | 軸電界を有する分析計 |
| US8173976B2 (en) | 2009-07-24 | 2012-05-08 | Agilent Technologies, Inc. | Linear ion processing apparatus with improved mechanical isolation and assembly |
| WO2011011742A1 (en) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Varian, Inc | Linear ion processing apparatus with improved mechanical isolation and assembly |
| CN102473580A (zh) * | 2009-07-24 | 2012-05-23 | 安捷伦科技有限公司 | 具有改善的机械隔离和组装性的线性离子处理设备 |
| WO2019115354A1 (en) * | 2017-12-14 | 2019-06-20 | Shimadzu Corporation | Multipole device and manufacturing method |
| US11205567B2 (en) | 2017-12-14 | 2021-12-21 | Shimadzu Corporation | Multipole device and manufacturing method |
| US11664209B2 (en) | 2017-12-14 | 2023-05-30 | Shimadzu Corporation | Multipole device and manufacturing method |
| WO2019230001A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタおよび分析装置 |
| JPWO2019230001A1 (ja) * | 2018-06-01 | 2021-05-20 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタおよび分析装置 |
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