JPS5984486A - 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 - Google Patents
内部ミラ−形ガスレ−ザ管Info
- Publication number
- JPS5984486A JPS5984486A JP19428082A JP19428082A JPS5984486A JP S5984486 A JPS5984486 A JP S5984486A JP 19428082 A JP19428082 A JP 19428082A JP 19428082 A JP19428082 A JP 19428082A JP S5984486 A JPS5984486 A JP S5984486A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- laser tube
- mirror type
- bellows
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は内部ミラー形のガスレーザ管に係る。
通常の内部ミラー形ガスレーザ管は、レーザ活性ガスを
封入した真空外囲器の中にレーザプラズマを発生する細
管と少くとも１対の陽極と陰極を備え、真空外囲器の両
端の細管の延長上に１対のミラーを接続してなる。
封入した真空外囲器の中にレーザプラズマを発生する細
管と少くとも１対の陽極と陰極を備え、真空外囲器の両
端の細管の延長上に１対のミラーを接続してなる。
陽極陰極間に電圧を加え細・ａ全通してガスを放 ・
電させてレーザ媒質を形成し、両端のミラーを調整し、
正対させることによってレーザ＠撮ヲ得る。
電させてレーザ媒質を形成し、両端のミラーを調整し、
正対させることによってレーザ＠撮ヲ得る。
ミラーを調整するため、内部ミラー形レーザでは、金属
喪の可とり性材料を介してガラス製真空外囲器とミラー
を接続し、放電させなからレーザ出力の調整を行う。最
大出力パワーが得られれば調整は完了するが、内部ミラ
ー形し−ザ青は外部ミラー形レーザにくらべてブルーメ
タ窓やミラー而の汚れが少く、保守が容易であるという
利点があるが、真空外囲器とミラーの平行性を保つ材料
とが共用のため、放電発熱によるミラーのずれが生じや
すい。このため長大なレーザ管では安定な出力が得にく
い。
喪の可とり性材料を介してガラス製真空外囲器とミラー
を接続し、放電させなからレーザ出力の調整を行う。最
大出力パワーが得られれば調整は完了するが、内部ミラ
ー形し−ザ青は外部ミラー形レーザにくらべてブルーメ
タ窓やミラー而の汚れが少く、保守が容易であるという
利点があるが、真空外囲器とミラーの平行性を保つ材料
とが共用のため、放電発熱によるミラーのずれが生じや
すい。このため長大なレーザ管では安定な出力が得にく
い。
さらに安定な出力を得るためにミラーの保持と調整機構
を真空外囲器と分離しようとすると、放′を訂はる電位
がミラー保持の金属曲回とう材料に生じ、電気的な絶縁
の必要性があり、構造が複雑となり、実現が困難であっ
た。
を真空外囲器と分離しようとすると、放′を訂はる電位
がミラー保持の金属曲回とう材料に生じ、電気的な絶縁
の必要性があり、構造が複雑となり、実現が困難であっ
た。
本発明の目的は、保守が容易な内部ミラー形レーザの特
長を生かし、しかも温度的に安定な出力特性を持ったレ
ーザ管を提供することにある。
長を生かし、しかも温度的に安定な出力特性を持ったレ
ーザ管を提供することにある。
本発明の別の目的は、内部ミラー形で容易に安全にミラ
ー調整が可能なレーザ盲ヲ提供することにある。
ー調整が可能なレーザ盲ヲ提供することにある。
本発明によれば、ベローズ等の可とう性部品と絶縁性材
料とを用いて、真空気密を保ちつつミラーを保持し、該
絶縁性材料には７ランジが取つけられ、４ｇフランジを
介してミラー調整を行う内部ミラー形ガスレーザ管を得
る。
料とを用いて、真空気密を保ちつつミラーを保持し、該
絶縁性材料には７ランジが取つけられ、４ｇフランジを
介してミラー調整を行う内部ミラー形ガスレーザ管を得
る。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は従来の内部ミラー形１ｉｅ−Ｎｅレーザ管の例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
従来の内部ミラー形レーザ管は、１対の反射鏡１．１′
と陽極２と陰極３とガラス製プラズマ細管４と全備え
、ガラス製の真空外囲器５にこれらを接続してなる。
と陽極２と陰極３とガラス製プラズマ細管４と全備え
、ガラス製の真空外囲器５にこれらを接続してなる。
陽極２．陰極３．プラズマＡ：ｌｌＩ管４と真空外囲器
とは、従来から知られた金属−ガラス、ガラス−カラス
のＪｔＮ続技術で接続可能であるが、ミラー１゜１′は
ミラーの光学特性全損うこと無くしかも放電中にもミラ
ーの微調が可能なように、フランジ状の可とう性ミラー
１ｌＪＪ整金属６．６’ 、低融点ガラスシール材料７
．７′を用いて真空外囲器５に接続される。
とは、従来から知られた金属−ガラス、ガラス−カラス
のＪｔＮ続技術で接続可能であるが、ミラー１゜１′は
ミラーの光学特性全損うこと無くしかも放電中にもミラ
ーの微調が可能なように、フランジ状の可とう性ミラー
１ｌＪＪ整金属６．６’ 、低融点ガラスシール材料７
．７′を用いて真空外囲器５に接続される。
しかし放電による発熱のため、ガラス製真空外囲器５に
は温度分布が生じ、結果としてミラー１゜１′の調整が
狂い、出力パワーは変動する。特にこの現象はレーザ管
が長大になったり、発熱量が太きいときには著しく、こ
のためｔｏｍｗ以上のＨｅ−Ｎｅレーザや、 アルゴン
イオンレーザでは安定度の良い内部ミラー形レーザの実
現は困難であった。
は温度分布が生じ、結果としてミラー１゜１′の調整が
狂い、出力パワーは変動する。特にこの現象はレーザ管
が長大になったり、発熱量が太きいときには著しく、こ
のためｔｏｍｗ以上のＨｅ−Ｎｅレーザや、 アルゴン
イオンレーザでは安定度の良い内部ミラー形レーザの実
現は困難であった。
また安定度を良好に保つため、可とう性金属６゜６′を
、外部ミラー形レーザと同様に、真空外囲器とは別の熱
的に安定なインバー等の材料で平行に保持しようと１〜
ると、放電時に金属６．６′には電位が生じているため
、保持が困難であった。
、外部ミラー形レーザと同様に、真空外囲器とは別の熱
的に安定なインバー等の材料で平行に保持しようと１〜
ると、放電時に金属６．６′には電位が生じているため
、保持が困難であった。
／！４２図は本発明に基づく内部ミラー形ガスレーザ管
の一実施例を示す部分詳細断面図である。
の一実施例を示す部分詳細断面図である。
本発明による内部ミラー形ガスレーザ管の、１つのミラ
ーを含む端部は、第１図に示す従来の内部ミラー形ガス
レーザ管に比較して、真空外囲器５に、ベローズ等の可
とり性のある、ガラスと接続可能な金属８と、セラミッ
ク等の固い、絶縁性のすぐれた金属と接続可能な材料９
と、ミラー７と絶縁材料９とを接続する金属１ｏと、金
属１゜と低融点ガラス７によって接続されたミラー１と
によって構成されている。さらに絶縁材料９には、金ｌ
ｒ＠製の強固な７ランジ１１がロー付にょシ、金）Ｐ４
８，１０と絶縁されて取つけられている。フランジ１１
は複数のネジ１２．１２’・旧・・を介して、熱的機械
的に強固な共振器支持体１３に取つけられ、ネジ１２，
１２’・・印・を回転することにより。
ーを含む端部は、第１図に示す従来の内部ミラー形ガス
レーザ管に比較して、真空外囲器５に、ベローズ等の可
とり性のある、ガラスと接続可能な金属８と、セラミッ
ク等の固い、絶縁性のすぐれた金属と接続可能な材料９
と、ミラー７と絶縁材料９とを接続する金属１ｏと、金
属１゜と低融点ガラス７によって接続されたミラー１と
によって構成されている。さらに絶縁材料９には、金ｌ
ｒ＠製の強固な７ランジ１１がロー付にょシ、金）Ｐ４
８，１０と絶縁されて取つけられている。フランジ１１
は複数のネジ１２．１２’・旧・・を介して、熱的機械
的に強固な共振器支持体１３に取つけられ、ネジ１２，
１２’・・印・を回転することにより。
７ランジ１１．絶縁体９を弁して、可とり性材料８の可
とり範囲でミラー７の傾きを調整できる。
とり範囲でミラー７の傾きを調整できる。
共振器支持体１３／ｒＪ′、、真空外ｔ！１４ ｅと分
離されているため、ガラス材料以外の熱的に安定なイン
バー等の金属材料を用いることができるし、機械的にも
強固な構造をと９得る。
離されているため、ガラス材料以外の熱的に安定なイン
バー等の金属材料を用いることができるし、機械的にも
強固な構造をと９得る。
また金属８．１０には放電中電位が生じるが、 ゛絶縁
性材料９全介しているため調整ネジ１２．１２’は安全
な接地電位とすることができる。絶縁性材料９ Ｋはア
ルミナ等のセラミックを円筒状にして用いればよく、金
属とのロー付も容易である。
性材料９全介しているため調整ネジ１２．１２’は安全
な接地電位とすることができる。絶縁性材料９ Ｋはア
ルミナ等のセラミックを円筒状にして用いればよく、金
属とのロー付も容易である。
以上のように内部ミラー形のミラーやブルーメタ窓の汚
れが少く保守が容易な特長と、外部ミラー形のミラー調
整が安全に可能という特長とを兼ね備えたガスレーザ管
が実現できる。このガスレーザ管はＨｅ−Ｎｅレーザ以
外にアルゴンレーザでもよく、ベローズ８の代９にダイ
ヤフラム等の部品を用いてもよい。
れが少く保守が容易な特長と、外部ミラー形のミラー調
整が安全に可能という特長とを兼ね備えたガスレーザ管
が実現できる。このガスレーザ管はＨｅ−Ｎｅレーザ以
外にアルゴンレーザでもよく、ベローズ８の代９にダイ
ヤフラム等の部品を用いてもよい。
またフランジ１１は円板状以外に複数片の分割したもの
であってもよい。
であってもよい。
なお第２図の実施例はレーザ管の一端の構造を示してい
るが、他端も同様な構造を用い得ることは自明なので省
略しである。
るが、他端も同様な構造を用い得ることは自明なので省
略しである。
Claims (1)
- ベローズ等の可とり性部品と絶縁性材料とを用いて、真
空気密を保ちつつミラーを保持し、該絶縁性材料ｖｃ／
Ｉ′ｉ７ランジが取つけられ、該フランジを介してミラ
ー調整全行う内部ミラー形ガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19428082A JPS5984486A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19428082A JPS5984486A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984486A true JPS5984486A (ja) | 1984-05-16 |
Family
ID=16321977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19428082A Pending JPS5984486A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 内部ミラ−形ガスレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984486A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348875A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-01 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4732615U (ja) * | 1971-04-24 | 1972-12-12 | ||
| JPS4915251U (ja) * | 1972-05-13 | 1974-02-08 | ||
| US3883820A (en) * | 1973-04-27 | 1975-05-13 | Coherent Radiation | Gas laser having improved multiple-part resonator adjustment |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19428082A patent/JPS5984486A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4732615U (ja) * | 1971-04-24 | 1972-12-12 | ||
| JPS4915251U (ja) * | 1972-05-13 | 1974-02-08 | ||
| US3883820A (en) * | 1973-04-27 | 1975-05-13 | Coherent Radiation | Gas laser having improved multiple-part resonator adjustment |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348875A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-01 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器 |
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