JPS597219B2 - ペレットボンデイング装置 - Google Patents
ペレットボンデイング装置Info
- Publication number
- JPS597219B2 JPS597219B2 JP12447477A JP12447477A JPS597219B2 JP S597219 B2 JPS597219 B2 JP S597219B2 JP 12447477 A JP12447477 A JP 12447477A JP 12447477 A JP12447477 A JP 12447477A JP S597219 B2 JPS597219 B2 JP S597219B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- holder
- arm
- fixed
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェハシート上に粘着されたペレットを１個ず
つ吸着ノズルで吸着して半導体基板へ移送してボンディ
ングするペレットボンディング装置に関するものである
。
つ吸着ノズルで吸着して半導体基板へ移送してボンディ
ングするペレットボンディング装置に関するものである
。
一般にウェハシートに粘着されたペレットを吸着ノズル
に吸着させるために、ウェハシートの裏側（下側）にペ
レットの中心を突き上げる突き上げ針が吸着ノズルの真
下に配設されている。
に吸着させるために、ウェハシートの裏側（下側）にペ
レットの中心を突き上げる突き上げ針が吸着ノズルの真
下に配設されている。
このために、吸着ノズルの中心に突き上げ針を位置させ
る調整作業は困難性が伴なう。ところで、従来のペレッ
トボンディング装置は、第６図に示すような構造よりな
る。
る調整作業は困難性が伴なう。ところで、従来のペレッ
トボンディング装置は、第６図に示すような構造よりな
る。
即ち、架台７０にははか孔７０ａが設けられ、架台７０
はばか孔７０ａを通して固定ねじ７１により架台ベース
Ｔ２に固定されている。前記架台ＴＯの支持部Ｔ０ｂに
はパイプ１３が固定されている。このパイプＴ３には、
一端にパイプＴ３と直角かつ垂直方向に円筒状の吸着体
Ｔ４が固定され、他端に図示しない真空ポンプに連結さ
れたホースＴ５が接続されている。また前記架台ＴＯに
は図示しないモータで駆動されるカム軸７６が回転自在
に支承されており、このカム軸７６にカムJモVが固定さ
れている。更に架台７０には軸７８が回転自在に支承さ
れており、この軸７８にアーム７９が固定されている。
前記アーム７９の一端には前記カムJモVに対応してカム
フオロア８０が回転自在に支承されており、アーム７９
はカムフオロア８０がカムJモVに圧接するようにばね８
１で付勢されている。前記アーム７９の他端にはペレツ
ト突き上げ用の針８２の下端に固定されたホルダ８４に
儂設されたピン８３を挟持する形で針８２が保持されて
いる。前記針８２は前記吸着体７４に摺動自在に挿通さ
れている。なお、９０はペレツト、９１はペレツト９０
を粘着したウエハシート、９２はウエハシート９１を固
定する枠体、９３はペレツト９０を吸着してボンデイン
グ位置へ移送する吸着ノズルを示す。
はばか孔７０ａを通して固定ねじ７１により架台ベース
Ｔ２に固定されている。前記架台ＴＯの支持部Ｔ０ｂに
はパイプ１３が固定されている。このパイプＴ３には、
一端にパイプＴ３と直角かつ垂直方向に円筒状の吸着体
Ｔ４が固定され、他端に図示しない真空ポンプに連結さ
れたホースＴ５が接続されている。また前記架台ＴＯに
は図示しないモータで駆動されるカム軸７６が回転自在
に支承されており、このカム軸７６にカムJモVが固定さ
れている。更に架台７０には軸７８が回転自在に支承さ
れており、この軸７８にアーム７９が固定されている。
前記アーム７９の一端には前記カムJモVに対応してカム
フオロア８０が回転自在に支承されており、アーム７９
はカムフオロア８０がカムJモVに圧接するようにばね８
１で付勢されている。前記アーム７９の他端にはペレツ
ト突き上げ用の針８２の下端に固定されたホルダ８４に
儂設されたピン８３を挟持する形で針８２が保持されて
いる。前記針８２は前記吸着体７４に摺動自在に挿通さ
れている。なお、９０はペレツト、９１はペレツト９０
を粘着したウエハシート、９２はウエハシート９１を固
定する枠体、９３はペレツト９０を吸着してボンデイン
グ位置へ移送する吸着ノズルを示す。
このように、吸着体７４が取付けられたパイプ７３は架
台７０に固定され、かつ針８２を保持するアーム７９は
架台７０に回転自在に支承されているので、吸着ノズル
９３の中心に針８２を位置させるには、固定ねじ７１を
緩め、前記突き上げ針機構ユニツト全体が取付けられた
架台７０を移動させて位置合せを行わなければならない
。このために、微調整が困難で、かつ調整作業時間が非
常にかかり、作業性が悪いという欠点があつた。本発明
は上記欠点に鑑みなされたもので、ウエハシート上に粘
着された吸着ノズルの中心位置に突き上げ針を容易に位
置合せすることのできるようにペレツトの突き上げ微調
整機構を備えたペレツトボンデイング装置を提供するこ
とを目的とする。以下本発明を図示の実施夕Ｕに基づい
て説明する。
台７０に固定され、かつ針８２を保持するアーム７９は
架台７０に回転自在に支承されているので、吸着ノズル
９３の中心に針８２を位置させるには、固定ねじ７１を
緩め、前記突き上げ針機構ユニツト全体が取付けられた
架台７０を移動させて位置合せを行わなければならない
。このために、微調整が困難で、かつ調整作業時間が非
常にかかり、作業性が悪いという欠点があつた。本発明
は上記欠点に鑑みなされたもので、ウエハシート上に粘
着された吸着ノズルの中心位置に突き上げ針を容易に位
置合せすることのできるようにペレツトの突き上げ微調
整機構を備えたペレツトボンデイング装置を提供するこ
とを目的とする。以下本発明を図示の実施夕Ｕに基づい
て説明する。
図は本発明になるペレツトボンデイング装置のペレツト
突き上げ微調整機構の一実施例を示し、第１図は正面図
、第２図は上面図、第３図は第１図における３−３線失
視図、第４図は第１図における４−４線断面図、第５図
は第４図における５５線断面図である。１０は架台、１
１は架台１０に固定されたボス、１２はボス１１の内筒
部に軸方向に摺動可能に嵌合されたハウジング、１３は
ベアリング１４を介してハウジング１２に回転自在に設
けられた軸、１５はベアリング１４の抜け止め用ストツ
パ一で、軸１３の両端に固定されている。
突き上げ微調整機構の一実施例を示し、第１図は正面図
、第２図は上面図、第３図は第１図における３−３線失
視図、第４図は第１図における４−４線断面図、第５図
は第４図における５５線断面図である。１０は架台、１
１は架台１０に固定されたボス、１２はボス１１の内筒
部に軸方向に摺動可能に嵌合されたハウジング、１３は
ベアリング１４を介してハウジング１２に回転自在に設
けられた軸、１５はベアリング１４の抜け止め用ストツ
パ一で、軸１３の両端に固定されている。
１６は後記する針が取付けられたアームを保持するホル
ダーで、上端は軸１３にネジ１７で固定され、下端には
摺動自在にスリーブ１８が嵌合している。
ダーで、上端は軸１３にネジ１７で固定され、下端には
摺動自在にスリーブ１８が嵌合している。
２０は後記する真空吸引するパイプを保持す−るホルダ
ーで、下端はスリーブ１８に固定され、上端にはホルダ
ー１６に設けた溝１６ａに沿つて摺動可能なガイドピン
２１が固定されている。
ーで、下端はスリーブ１８に固定され、上端にはホルダ
ー１６に設けた溝１６ａに沿つて摺動可能なガイドピン
２１が固定されている。
２２は真空吸引するパイプ２３が固定された駒で、ホル
ダー２０に設けられた長孔２０ａに配設され、ホルダー
２０に植設されたピン２４にパイプ２３Ｊの延出方向に
揺動可能に軸支されている。
ダー２０に設けられた長孔２０ａに配設され、ホルダー
２０に植設されたピン２４にパイプ２３Ｊの延出方向に
揺動可能に軸支されている。
また前記パイプ２３はホルダー１６に設けたパイプ逃げ
穴１６ｂを通して、一端はビニール等のホース２５によ
り図示しない真空ポンプに配設されている。２６はパイ
プ２３と略平行にスリーブ１８に固定された針固定用ア
ームで、一端にはペレツト突き上げ用の針２７がアーム
２６に直角かつ垂直方向に固定されている。
穴１６ｂを通して、一端はビニール等のホース２５によ
り図示しない真空ポンプに配設されている。２６はパイ
プ２３と略平行にスリーブ１８に固定された針固定用ア
ームで、一端にはペレツト突き上げ用の針２７がアーム
２６に直角かつ垂直方向に固定されている。
２８はパイペ２３の一端にパイプ２３と直角かつ垂直方
゛向に一体に固定された円筒形状の吸着体で、針２７が
摺動自在に挿通されている。
゛向に一体に固定された円筒形状の吸着体で、針２７が
摺動自在に挿通されている。
また吸着体２８の上端には中心に針２７が上下動可能な
孔２８ａと、この孔２８ａの周りに真空吸引用の複数個
の孔２８ｂが設けられている。３０はアーム２６の針２
７固定側寄りに固定されたガイドホルダーで、上端に設
けた長孔３０ａにパイプ２３が遊合している。
孔２８ａと、この孔２８ａの周りに真空吸引用の複数個
の孔２８ｂが設けられている。３０はアーム２６の針２
７固定側寄りに固定されたガイドホルダーで、上端に設
けた長孔３０ａにパイプ２３が遊合している。
３１はパイプ２３とアーム２６を互いに反発させるバネ
で、パイプ２３に固定されたバネホルダー３２とガイド
ホルダー３０間に配設されている。
で、パイプ２３に固定されたバネホルダー３２とガイド
ホルダー３０間に配設されている。
３３はアーム２６を軸方向に付勢するバネで、ホルダー
１６とスリーブ１８のストツパ一音Ｐｌ８ａとの間に配
設されている。
１６とスリーブ１８のストツパ一音Ｐｌ８ａとの間に配
設されている。
３４はアーム２６の一端に固定されたストッパガラ一で
ある。
ある。
４０は針２７及び吸着体２８の軸（Ｙ−Ｙ●方向を調整
するＹ方向微調整ネジで、ホルダー１６に固定されたプ
ロツク４１に螺合している。
するＹ方向微調整ネジで、ホルダー１６に固定されたプ
ロツク４１に螺合している。
４２はＹ方向微調整ネジ４０が圧接するストツパ一で、
アーム２６に固定されている。
アーム２６に固定されている。
４３は吸着体２８の高さ（Ｚ−Ｚ●方向を調整するＺ方
向微調整ネジで、架台１０に固定したホルダー４４に螺
合している。
向微調整ネジで、架台１０に固定したホルダー４４に螺
合している。
４５はＺ方向微調整ネジ４３に対応してパイプ２３に固
定されたストツパ一である。
定されたストツパ一である。
４６は針２７及び吸着体２８を軸方向と直角（Ｘ→０方
向に調整する偏心ピンで、架台１０に固定された上部ホ
ルダー４７にネジ４８で固定されている。
向に調整する偏心ピンで、架台１０に固定された上部ホ
ルダー４７にネジ４８で固定されている。
この偏心ピン４６の一端はボス１１の孔１１ａを通して
ハウジング１２の外筒中央部に軸中心と直角方向に設け
られた長孔１２ａに嵌合されており、偏心ピン４６を回
すことによつてハウジング１２は軸中心方向に移動する
ようになつている。４９はハウジング１２をボス１１に
固定するためのネジである。
ハウジング１２の外筒中央部に軸中心と直角方向に設け
られた長孔１２ａに嵌合されており、偏心ピン４６を回
すことによつてハウジング１２は軸中心方向に移動する
ようになつている。４９はハウジング１２をボス１１に
固定するためのネジである。
５０は一端かホルダー１６に固定され、他端にカムフオ
ロア５１を有するレバー、５２はカム５３が固定された
カム軸で、架台１０と架台１０に固定した軸受ホルダー
５４に回転自在に支持されており、図示しない駆動装置
により，駆動される。
ロア５１を有するレバー、５２はカム５３が固定された
カム軸で、架台１０と架台１０に固定した軸受ホルダー
５４に回転自在に支持されており、図示しない駆動装置
により，駆動される。
５５はカムフオロア５１をカム５３に圧接させる引張バ
ネで、一端はレバー５０に、他端は架台１０に固定され
たバネかけ５６に掛けられている。
ネで、一端はレバー５０に、他端は架台１０に固定され
たバネかけ５６に掛けられている。
５７は針２７の高さ方向（Ｚ−Ｚ７）の上限を設定する
Ｚ方向微調整ネジで、レバー５０の中央部に固定された
ホルダー５８に螺合しており、このＺ方向微調整ネジ５
７に対向して架台１０にストツパ一５９が固定されてい
る。
Ｚ方向微調整ネジで、レバー５０の中央部に固定された
ホルダー５８に螺合しており、このＺ方向微調整ネジ５
７に対向して架台１０にストツパ一５９が固定されてい
る。
６０はペレツト、６１はペレツト６０を粘着したウエハ
シート、６２はウエハシート６１を固定する枠体、６３
はペレツト６０を吸着してボンデイング位置へ移送する
吸着ノズルである。
シート、６２はウエハシート６１を固定する枠体、６３
はペレツト６０を吸着してボンデイング位置へ移送する
吸着ノズルである。
次に本発明になる装置の動作について説明する。
まず各種微調整ネジ４０，４３，５３及び偏心ピン４６
を調整して吸着ノズル６３の中心位置に針２７及び吸着
体２８が位置するようにＸ，Ｙ，Ｚ方向の調整を行う。
Ｘ−〜方向の調整（第１，２，４図参照）偏心ピン４６
を回すとハウジング１２は軸１３と共に軸（Ｘ−Ｖ）方
向に移動する。
を調整して吸着ノズル６３の中心位置に針２７及び吸着
体２８が位置するようにＸ，Ｙ，Ｚ方向の調整を行う。
Ｘ−〜方向の調整（第１，２，４図参照）偏心ピン４６
を回すとハウジング１２は軸１３と共に軸（Ｘ−Ｖ）方
向に移動する。
軸１３にはホルダー１６が固定され、このホルダー１６
にはスリーブ１８を介してアーム２６が取付けられ、さ
らにスリーブ１８に固定されたホルダー２０にはピン２
４を介してパイプ２３が固定された駒２２が取付けられ
ているので、軸１３の移動によつてパイプ２３及びアー
ム２６もＸ−〜方向に移動する。このようにして針２７
及び吸着体２８のＸ−〜方向の微調整を行う。調整後ネ
ジ４８，４９を締め、偏心ピン４６及びハウジング１２
を固定する。Ｙ−ゾ方向の調整（第１，２，５図参照）
Ｙ方向微調整ネジ４０を回すと、アーム２６はストツパ
一４２を介してスリーブ１８がホルダー１６に対してＹ
−ゾ方向に摺動する。
にはスリーブ１８を介してアーム２６が取付けられ、さ
らにスリーブ１８に固定されたホルダー２０にはピン２
４を介してパイプ２３が固定された駒２２が取付けられ
ているので、軸１３の移動によつてパイプ２３及びアー
ム２６もＸ−〜方向に移動する。このようにして針２７
及び吸着体２８のＸ−〜方向の微調整を行う。調整後ネ
ジ４８，４９を締め、偏心ピン４６及びハウジング１２
を固定する。Ｙ−ゾ方向の調整（第１，２，５図参照）
Ｙ方向微調整ネジ４０を回すと、アーム２６はストツパ
一４２を介してスリーブ１８がホルダー１６に対してＹ
−ゾ方向に摺動する。
スリーブ１８にはホルダー２０が固定され、このホルダ
ー２０にピン２４を介してパイプ２３が固定された駒２
２が取付けられているので、スリーブ１８の摺動により
パイプ２３もアーム２６と共にＹ−ゾ方向に移動する。
これにより針２７及び吸着体２８のＹ−Ｙ方向の調整を
行うことができる。Ｚ−Ｚ′方向の調整（第１，２図参
照）Ｚ−Ｚ′方向は針２７の上限位置を決める調整と、
吸着体２８のＺ−Ｚ′方向の調整の２つが設けられてい
る。
ー２０にピン２４を介してパイプ２３が固定された駒２
２が取付けられているので、スリーブ１８の摺動により
パイプ２３もアーム２６と共にＹ−ゾ方向に移動する。
これにより針２７及び吸着体２８のＹ−Ｙ方向の調整を
行うことができる。Ｚ−Ｚ′方向の調整（第１，２図参
照）Ｚ−Ｚ′方向は針２７の上限位置を決める調整と、
吸着体２８のＺ−Ｚ′方向の調整の２つが設けられてい
る。
針２７の上限位置の調整はＺ方向微調整ネジ５７によつ
て行う。
て行う。
カム５３の凹部がカムフオロア５１に当接する時にＺ方
向微調整ネジ５７をストツパ一５９に当てて回ずと、調
整ネジ５７の取付けられたレバー５０はホルダー１６と
共に軸１３を中心として揺動する。これにより、ホルダ
ー１６に保持されたアーム２６もＺ−Ｚ′方向に移動し
、針２７かウエハシート６１の裏側より突出してペレツ
ト６０を突き上げる上限位置を設定することができる。
吸着体２８のＺ−Ｚ！方向の調整はＺ方向微調整ネジ４
３によつて行う。
向微調整ネジ５７をストツパ一５９に当てて回ずと、調
整ネジ５７の取付けられたレバー５０はホルダー１６と
共に軸１３を中心として揺動する。これにより、ホルダ
ー１６に保持されたアーム２６もＺ−Ｚ′方向に移動し
、針２７かウエハシート６１の裏側より突出してペレツ
ト６０を突き上げる上限位置を設定することができる。
吸着体２８のＺ−Ｚ！方向の調整はＺ方向微調整ネジ４
３によつて行う。
パイプ２３とアーム２６はバネ３１で反発しており、Ｚ
方向微調整ネジ４３を回してパイプ２３に固定されたス
トツパ一４５を上下動させると、パイプ２３はピン２４
を中心として揺動するので、吸着体２８はＺ−Ｚ′方向
に移動する。これにより吸着体２８がウエハシート６１
の裏面に密接する位置を調整することができる。このよ
うにしてＸ，Ｙ，Ｚ方向の微調整完了後、図示しないＸ
Ｙ駆動機構のＸＹテーブルにペレツト６０を粘着したウ
エハシート６１を枠体６３に固定させ、吸着すべきペレ
ツト６０を針２７の上方に位置させる。
方向微調整ネジ４３を回してパイプ２３に固定されたス
トツパ一４５を上下動させると、パイプ２３はピン２４
を中心として揺動するので、吸着体２８はＺ−Ｚ′方向
に移動する。これにより吸着体２８がウエハシート６１
の裏面に密接する位置を調整することができる。このよ
うにしてＸ，Ｙ，Ｚ方向の微調整完了後、図示しないＸ
Ｙ駆動機構のＸＹテーブルにペレツト６０を粘着したウ
エハシート６１を枠体６３に固定させ、吸着すべきペレ
ツト６０を針２７の上方に位置させる。
その後本装置を始動させる。カム５３の回転によつてレ
バー５０が軸１３を第１図において時計方向に回動させ
、ホルダー１６、スリーブ１８を介してパイプ２３及び
アーム２６が回動し、吸着体２８及び針２７が上昇する
。吸着体２８は上昇してウエハシート６１の裏面側に密
接し、真空ポンプからの吸引によつてウエハシート６１
を吸着する。さらにカム５３が回転しても吸着体２８は
ストツパ一４５と調整ネジ４３との関係により上昇しな
いが、針２７は調整ネジ５７がストツパ一５９に当接す
るまで上昇し、ウエハシート６１の裏面側より１個だけ
ペレツト６０を吸着ノズル６３に接近するように突き上
げ、ペレツト６０を吸着ノズル６３に吸着させる。さら
にカム５３が回転すると、レバー５０は前記と逆方向に
回動し、軸１３、ホルダー１６も第１図において反時計
方向に回動し、まず針２７が下降する。針２７が下降す
る途中でガイドホルダー３３０に設けられた長孔３０ａ
の内壁３０ｂでパイプ２３を一緒に下降させる。これに
より吸着体２８はウエハシート６１の裏面側より離れる
。以上の説明から明らかな如く、本発明になる装置によ
れば、ペレツトを突上げる針の位置調整はそれぞれ独自
に設けられたＸ，Ｙ，Ｚ方向の微調整機構によつて調整
されるので、位置合せが容易に行える。
バー５０が軸１３を第１図において時計方向に回動させ
、ホルダー１６、スリーブ１８を介してパイプ２３及び
アーム２６が回動し、吸着体２８及び針２７が上昇する
。吸着体２８は上昇してウエハシート６１の裏面側に密
接し、真空ポンプからの吸引によつてウエハシート６１
を吸着する。さらにカム５３が回転しても吸着体２８は
ストツパ一４５と調整ネジ４３との関係により上昇しな
いが、針２７は調整ネジ５７がストツパ一５９に当接す
るまで上昇し、ウエハシート６１の裏面側より１個だけ
ペレツト６０を吸着ノズル６３に接近するように突き上
げ、ペレツト６０を吸着ノズル６３に吸着させる。さら
にカム５３が回転すると、レバー５０は前記と逆方向に
回動し、軸１３、ホルダー１６も第１図において反時計
方向に回動し、まず針２７が下降する。針２７が下降す
る途中でガイドホルダー３３０に設けられた長孔３０ａ
の内壁３０ｂでパイプ２３を一緒に下降させる。これに
より吸着体２８はウエハシート６１の裏面側より離れる
。以上の説明から明らかな如く、本発明になる装置によ
れば、ペレツトを突上げる針の位置調整はそれぞれ独自
に設けられたＸ，Ｙ，Ｚ方向の微調整機構によつて調整
されるので、位置合せが容易に行える。
第１図は本発明になるペレツトボンデイング装置のペレ
ツト突き上げ微調整機構の一実施例を示す正面図、第２
図は第１図の上面図、第３図は第１図における３−３線
矢視図、第４図は第１図における４−４線断面図、第５
図は第４図における５−５線断面図、第６図は従来例の
断面図である。 １０・・・・・・架台、１２・・・・・・ハウジング、
１３・・・・・・軸、１６・・・・・・ホルダー、２６
・・・・・・アーム、２７・・・・・・針、４０・・・
・・・Ｙ方向微調整ネジ、４２・・・・・・ストツパ一
、４６・・・・・・Ｘ力向微調整ネジ、５０・・・・・
・レバー、５３・・・・・・カム、５７・・・・・・Ｚ
方向微調整ネジ、５９・・・・・・ストツパ一、６０・
・・・・・ペレツト、６１・・・・・・ウエハシート、
６３・・・・・・吸着ノズル。
ツト突き上げ微調整機構の一実施例を示す正面図、第２
図は第１図の上面図、第３図は第１図における３−３線
矢視図、第４図は第１図における４−４線断面図、第５
図は第４図における５−５線断面図、第６図は従来例の
断面図である。 １０・・・・・・架台、１２・・・・・・ハウジング、
１３・・・・・・軸、１６・・・・・・ホルダー、２６
・・・・・・アーム、２７・・・・・・針、４０・・・
・・・Ｙ方向微調整ネジ、４２・・・・・・ストツパ一
、４６・・・・・・Ｘ力向微調整ネジ、５０・・・・・
・レバー、５３・・・・・・カム、５７・・・・・・Ｚ
方向微調整ネジ、５９・・・・・・ストツパ一、６０・
・・・・・ペレツト、６１・・・・・・ウエハシート、
６３・・・・・・吸着ノズル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ウェハシート上に粘着されているペレットをウェハ
シートの裏面側より針で突き上げて１個ずつ吸着ノズル
で吸着して半導体基板へ移送してボンディングするペレ
ットボンディング装置において、架台に水平方向に摺動
自在に設けられたハウジングと、このハウジングに回転
自在に設けられた軸と、この軸を回動させる駆動手段と
、前記軸に固定されたアーム保持用ホルダーと、このホ
ルダーに摺動自在にかつ一方向に付勢されて設けられ一
端に前記針を保持するアームと、このアームに固定され
たパイプ保持用ホルダーと、このホルダーに揺動自在に
設けられたパイプと、このパイプの一端に固定され前記
針が上下動可能に挿通された吸着体と、前記ハウジング
を摺動させるＸ方向用調整部材と、前記アームを摺動さ
せるＹ方向用調整部材とを備えたことを特徴とするペレ
ットボンディング装置。 ２ ウェハシート上に粘着されているペレットをウェハ
シートの裏面側より針で突き上げて１個ずつ吸着ノズル
で吸着して半導体基板へ移送してボンディングするペレ
ットボンディング装置において、架台に水平方向に摺動
自在に設けられたハウジングと、このハウジングに回転
自在に設けられた軸と、この軸を回動させる駆動手段と
、前記軸に固定されたアーム保持用ホルダーと、このホ
ルダーに摺動自在にかつ一方向に付勢されて設けられ一
端に前記針を保持するアームと、このアームに固定され
たパイプ保持用ホルダーと、このホルダーに揺動自在に
設けられたパイプと、このパイプの一端に固定され前記
針が上下動可能に挿通された吸着体と、前記ハウジング
を摺動させるＸ方向用調整部材と、前記アームを摺動さ
せるＹ方向用調整部材と、前記針の上限位置を決めるた
めに前記針の上下動機構部に対応して設けられた針のＺ
方向用調整部材と、吸着体の上限位置を決めるために吸
着体を保持する吸着体保持機構部に対応して設けられた
吸着体のＺ方向用調整部材とを備えたことを特徴とする
ペレットボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12447477A JPS597219B2 (ja) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | ペレットボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12447477A JPS597219B2 (ja) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | ペレットボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5458357A JPS5458357A (en) | 1979-05-11 |
| JPS597219B2 true JPS597219B2 (ja) | 1984-02-17 |
Family
ID=14886404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12447477A Expired JPS597219B2 (ja) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | ペレットボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597219B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61186734U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
| JPS61186733U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
| JPH0612196Y2 (ja) * | 1985-06-17 | 1994-03-30 | トヨタ自動車株式会社 | デイ−ゼルエンジンの副燃焼室 |
-
1977
- 1977-10-19 JP JP12447477A patent/JPS597219B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61186734U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
| JPS61186733U (ja) * | 1985-05-14 | 1986-11-21 | ||
| JPH0612196Y2 (ja) * | 1985-06-17 | 1994-03-30 | トヨタ自動車株式会社 | デイ−ゼルエンジンの副燃焼室 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5458357A (en) | 1979-05-11 |
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