JPS5969287A - ロボツト - Google Patents

ロボツト

Info

Publication number
JPS5969287A
JPS5969287A JP16309882A JP16309882A JPS5969287A JP S5969287 A JPS5969287 A JP S5969287A JP 16309882 A JP16309882 A JP 16309882A JP 16309882 A JP16309882 A JP 16309882A JP S5969287 A JPS5969287 A JP S5969287A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
robot
pressure
detection
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16309882A
Other languages
English (en)
Inventor
大津 芳明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP16309882A priority Critical patent/JPS5969287A/ja
Publication of JPS5969287A publication Critical patent/JPS5969287A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はアーノ・部に高感歴の触覚センサーを設けたロ
ボットに関するものである。
従来技術 ロボットのアームには触覚センサートシテヒエゾ素子、
歪り゛−ジ半導体圧力センザニ等を用いるものが知られ
ていたが、検出機構が複雑となり、大型化してしまうも
のでおった。
目   的 本発明は薄いフィルムよシ成る圧電フィルムを触覚セン
サーとして用いることによシ、機構が簡単で小型軽量の
ロボットを提供するものである。
gl実施例 第1図において11.12で示すのは軸13を回転中心
として矢印Fl 、F2方向に回転自在なアームであシ
、このアーム11,12の動きはパイプ14′よルカ1
1えられる油圧又は輩気圧、又Qよアームに内蔵したモ
ーフによシ制御されるものである。
夫々のアーム11.12はその先端に第1検出部14.
15を有し、その内側には第2検出部16゜17を有す
るものである。、41検出部14.15は第2図に示す
如き構成より成り、半球状の抑圧部20−2を有する検
出部20が取付部材21に上下動自在に設けられている
。検出ヘッド20−1と成句部材21の間にはバネ22
が設ってわ勺、検出ヘッド20−1を取付部材21から
遠ざかる方向(図において上方)に付勢している。数句
部材21の下方には端部が開放した筒よ構成る動体23
が配Wぢれており、仁の開放端部に1よりりえeよ、渦
分子フィルム材にピエゾ粉体をも6布して形成しに1圧
’にフィルム24が張られている。この圧電フィルム2
4は前記押圧部20−2と做少距猷隔てて対向しでいる
ので、検出ヘッド20−1をバネ22に抗して矢印W方
向1/Cfi2動して押圧部2〇−2を矢印W方向に移
ルbすることにより、該抑圧部20−2によシ圧電フィ
ルム24を押して電極25から、押圧にLiL、じた信
号を取シ出丁ことが出来るものである。
第3図は第2検出部16.17を示すものであるが、第
2図に示した第1検出部との相異は、検出ヘッド20’
−1及び抑圧部20′−2が、i、11面が半球状で一
力向に伸びた形状を6し、一対の保持部26−1.26
−2の間に保持された圧型、フイルノ・24′が前記抑
圧部20’−2に対向して長手方向に延出して設けであ
ることである。従って、第2検出部1617においては
、検出ヘッド20′−1のいづれかの個所が板バネ27
に抗して押圧されると、これに対応して押圧部20’−
2が下がり、圧電フィルム24′を押して′1i1極2
5′から抑圧に応じた信号を取り出すことが出来るもの
である。
!4図は第11¥1に示したロボットの制御回路を示す
ものでるる。31で示すのは前記アーム11゜12を駆
動するアクチュエータであり1紬子32から不図示のワ
ーク全挾持する如き信号を印加すると、アーム11.1
2は互に接近する方向に駆動される。アーム11.12
がワニクをつかむと、感圧フィルム24から信号がi−
ラインヒーダンスの増幅器33に出力された後、その出
力がシ変換り 器34でデジタル変換された後、比較器35に出力され
る。この比較器35には基準値設定器36からの基準値
が出力されているので、この基準値と比較して基準値と
の差信号を信号形成器37に送シ出し、信号形成器37
の出力でアクチュエータ31を制御フる。従つ−C1ア
ーム11.12によるワークの挾持圧が)、J+定圧(
(建しないときは比較器35からの出力でアーム11,
1211kに駆動される。そして、挾持圧がDi定圧に
達づ−ると比較器35から0出力が出力系れす′−ム1
1.12の駆動が何重され、予め定め7(−)i’il
すな圧力でワークが挾持されるものである。逆にアーム
11.12によるワークの挾持圧が大きい場合は24の
センサーから大きな信号かイ5ts出され、比較器35
によシ、基準値にもどる貰でアーム11.12が駆動さ
れる。これによシ前記と四仰に予め定めた適(すな圧力
で・ワークが挾持される。
第2実施例 1@5図は第1図に示した第l検出部の他の実施例を示
すものであル、41で示すのVよ先端が半球状の検出ヘ
ッドで、この検出ヘッド41に連接して抑圧部42が設
けられている。この押圧部42は断面が図に示り如き楕
円球状を程し−ぐいるものである。43で示すのは円筒
状の保持部制であシ、その開放端部には第1の圧電フィ
ルム44−1が固着してあり、この圧電フィルム44−
1は前記抑圧部42と微少距離隔てている。前6己保持
部材43の内径の延長線上には、前記押圧部42の側部
と接する如く円筒状に第2の圧電フィルム44−2を設
けである。要するに外周が円状の抑圧部の該外周と接す
る如く、円筒状に第2の圧電フィル444−2が設けで
あるものである。従って、検出ヘッド41がバネ45に
抗してX方向に移動すると抑圧部42により圧電フィル
ム44−1を押すので検出信号を得ることが出来、又、
検出ヘッド41がY又は−Y方向に移動することによシ
押圧部が−Y又はY方向に移動して圧電フィルム44−
2を押すので、同様にして検出13号を得ることが出来
るものである。
第5図に示した如く、抑圧部42のX方向もしくはY方
向への移動を検出出来る様に構成しておくならば、ワー
クをアームでつかんだ時ワークが滑るのを検出出来るの
で、滑ったことを検出してワークを更に強く保持して、
ワークが脱落するのを防止することが出来るものである
効果 以上述べた如く、本発明によるロボットは感圧フィルム
をセンサーとして用いたアームを有しているので、アー
ム機構が小型となり、かつ、高感度となって、高1a度
の制御(+が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用したロボットのアームを示す側面
図、 第2図はセンサーを示す断面図、 第3図は他の実施例によるセンサーを示す斜視図、 第4図はロボットの制御回路を示す回路図、第5図は他
の実施例によるセンサーをボす断面図である。 ここで、11.12はアーム、14.15は第1検出部
、16.17は第2検出部、24.44−1.44−2
は圧電フィルムである。 特許出願人  キャノン株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. アーム部に圧電フィルムよシ成る触覚センサーを設けた
    ことを特徴とするロボット。
JP16309882A 1982-09-21 1982-09-21 ロボツト Pending JPS5969287A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16309882A JPS5969287A (ja) 1982-09-21 1982-09-21 ロボツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16309882A JPS5969287A (ja) 1982-09-21 1982-09-21 ロボツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5969287A true JPS5969287A (ja) 1984-04-19

Family

ID=15767137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16309882A Pending JPS5969287A (ja) 1982-09-21 1982-09-21 ロボツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5969287A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61241082A (ja) * 1985-04-17 1986-10-27 株式会社日立製作所 把持装置
JP2013145227A (ja) * 2011-12-13 2013-07-25 Canon Inc 力検出センサ、ロボットハンド及びロボット装置
CN112847410A (zh) * 2021-01-04 2021-05-28 深圳市迈斯艾尔科技发展有限公司 一种压电式柔性夹爪

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61241082A (ja) * 1985-04-17 1986-10-27 株式会社日立製作所 把持装置
JP2013145227A (ja) * 2011-12-13 2013-07-25 Canon Inc 力検出センサ、ロボットハンド及びロボット装置
CN112847410A (zh) * 2021-01-04 2021-05-28 深圳市迈斯艾尔科技发展有限公司 一种压电式柔性夹爪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10516348B2 (en) MEMS actuator package architecture
EP0704837B1 (en) Hard disk head control
JP2010525413A5 (ja)
JP2017513446A (ja) 光電子デバイスを動作させるアクチュエータ
CN106018269B (zh) 一种应用于电子元件的键合强度测试装置及方法
EP1154496A3 (en) Piezoelectric actuator and information storage apparatus
JP2006170856A (ja) 加速度センサ
JPS5969287A (ja) ロボツト
JPH0982745A (ja) クランプ装置
US10644616B2 (en) Piezoelectric package-integrated motor
CN1288559A (zh) 写/读头支撑机构以及写/读***
Ok et al. Pneumatically driven microcage for microbe manipulation in a biological liquid environment
JP2019512703A (ja) 特にタッチパッドのための力センサ
CN215118872U (zh) 晶片夹具
JPWO2008099632A1 (ja) 積層型圧電素子及び駆動装置
Polla et al. Microelectromechanical systems using piezoelectric thin films
JPH0926433A (ja) 加速度センサ
JPH06143163A (ja) 微小変位機構
JPH0420864A (ja) 回転検出装置
JP3349760B2 (ja) 内視鏡用測長装置
JPS62254669A (ja) 超音波モ−タ
JPH07270559A (ja) 密封式超精密微動装置
JP3204793B2 (ja) 内視鏡装置
JPH06155355A (ja) 把持装置
JPS60189182A (ja) 電極端子取り出し構造体