JPS5961723A - 光スペクトル分析装置 - Google Patents
光スペクトル分析装置Info
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- JPS5961723A JPS5961723A JP17343482A JP17343482A JPS5961723A JP S5961723 A JPS5961723 A JP S5961723A JP 17343482 A JP17343482 A JP 17343482A JP 17343482 A JP17343482 A JP 17343482A JP S5961723 A JPS5961723 A JP S5961723A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2889—Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、たとえば、レーザーやＬＥＤなどの発光素子
の発光スペクトルの分析、光ファイバーや干渉フィルタ
ーなどのスペクトル分析のための光スペクトル分析装置
に関するものである。
の発光スペクトルの分析、光ファイバーや干渉フィルタ
ーなどのスペクトル分析のための光スペクトル分析装置
に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、たとえば、半導体レーザーの開発、あるいは、光
センザー、光記録、光通信などの半導体レーザーの利用
技術分野において、性能、信頼性などの向−］−ヲ目的
にして半導体レーザーの発光スペクトルの動的変化の族
４１１１装置が望丑才ｌている。
センザー、光記録、光通信などの半導体レーザーの利用
技術分野において、性能、信頼性などの向−］−ヲ目的
にして半導体レーザーの発光スペクトルの動的変化の族
４１１１装置が望丑才ｌている。
以下に従来の光スペクトル分析装置について説明する。
第１図は従来の光スペクトル分析装置の構成例を示すも
のであり、１は光ファイバー、２１−Ｊ、Ｘ Ｙ Ｚ微
動装置、３は分散型分）し器、４は入射“スリット、６
は平面鏡、６および７は凹面鏡、８は回折格子、９は回
転ガラス板、１ｏは出射スリ７１・、１１ｄ１回折格子
８の手動回転装置、１２は光電子増倍管、１３は光電子
増倍管用の高圧電源、１４は前置増幅器、１５はトリガ
ー回路、１６はオンロスコープである。
のであり、１は光ファイバー、２１−Ｊ、Ｘ Ｙ Ｚ微
動装置、３は分散型分）し器、４は入射“スリット、６
は平面鏡、６および７は凹面鏡、８は回折格子、９は回
転ガラス板、１ｏは出射スリ７１・、１１ｄ１回折格子
８の手動回転装置、１２は光電子増倍管、１３は光電子
増倍管用の高圧電源、１４は前置増幅器、１５はトリガ
ー回路、１６はオンロスコープである。
」ソ、１−の」：りに構成さ才また従来の九スペクトル
分析装置について、以下その動作について説明する。
分析装置について、以下その動作について説明する。
測定光は光ファイバー１によって分光器３の入射スリッ
ト４に導か几る。その位置合わせはＸＹＺ微動装置２に
よっておこなわｎる。入射スリット４１ｄ：０解能を高
めるためＫＴ＠るだけしぼりこむ。
ト４に導か几る。その位置合わせはＸＹＺ微動装置２に
よっておこなわｎる。入射スリット４１ｄ：０解能を高
めるためＫＴ＠るだけしぼりこむ。
入射スリット４を通過した光は凹面鏡６および平面鏡６
を介して回折格子８に導かｎｌそこで波長および入射角
に対応した回折角を持った光に分けらｆＬる。その回折
光は凹面鏡７によって出射スリット１０に結像さｎ背後
の光電子増倍管１２でその光強度が検出さ１’Ｌるが、
検出波長の選択および掃引は凹面鏡７と光電子増倍管１
２の間に配置さ１′した回転ガラス板９と出射スリット
１０によっておこなわｎる。すなわち、凹面鏡７からの
反射光は回転ガラス板９に入射しそこでざらに屈折さ几
て出射スリン）１０に導か１．るが、波長に対応した位
置に結像されるため、出射スリット１０’（ｚしばりこ
むことによって波長の選択がおこなえる。
を介して回折格子８に導かｎｌそこで波長および入射角
に対応した回折角を持った光に分けらｆＬる。その回折
光は凹面鏡７によって出射スリット１０に結像さｎ背後
の光電子増倍管１２でその光強度が検出さ１’Ｌるが、
検出波長の選択および掃引は凹面鏡７と光電子増倍管１
２の間に配置さ１′した回転ガラス板９と出射スリット
１０によっておこなわｎる。すなわち、凹面鏡７からの
反射光は回転ガラス板９に入射しそこでざらに屈折さ几
て出射スリン）１０に導か１．るが、波長に対応した位
置に結像されるため、出射スリット１０’（ｚしばりこ
むことによって波長の選択がおこなえる。
第２図は、従来の光スペクトル分析装置の出射部の拡大
図で、前述の波長の選択の様子を示したものである。図
中、・・・・・λ１．・・・・・・λ２．・・・・λ３
・・・・・・は光の波長を示すもので、ここでは、λ
２の波長の光強度が検出さ几ている。検出波長の掃引は
回転ガラス板９を回転して屈折角を変えることによりお
こなわ７しる。回転ガラス板９０回転すなわち波長の掃
引は、トリガー回路１５によっておこなわ几る。光電子
増倍管１２で検出さ才１．た光は電気信号に変換さ才′
シてオシロスコープ１６に送ら几る。
図で、前述の波長の選択の様子を示したものである。図
中、・・・・・λ１．・・・・・・λ２．・・・・λ３
・・・・・・は光の波長を示すもので、ここでは、λ
２の波長の光強度が検出さ几ている。検出波長の掃引は
回転ガラス板９を回転して屈折角を変えることによりお
こなわ７しる。回転ガラス板９０回転すなわち波長の掃
引は、トリガー回路１５によっておこなわ几る。光電子
増倍管１２で検出さ才１．た光は電気信号に変換さ才′
シてオシロスコープ１６に送ら几る。
オシロスコープ１６はトリガー回路１６によって掃引さ
才１．ており、光スペクトル分布が表示さ！しる。
才１．ており、光スペクトル分布が表示さ！しる。
なお、分析波長領域は回折格子８への入射角を回転装置
１１によって変えることによっておこなえる。
１１によって変えることによっておこなえる。
しかしながら、従来の光スペクトル分析装置では、Ｊ−
記のように波長掃引が回転ガラス板９の回転という機械
的掃引方式をとっているため、高速掃引が困難となる。
記のように波長掃引が回転ガラス板９の回転という機械
的掃引方式をとっているため、高速掃引が困難となる。
したがって、たとえば、半導体レーザーのモード跳び現
象などの高速変化の解析に対しては有効でないといつ欠
点があった。現在、市販さ扛ている光スペクトル分析装
置は、その掃引外ＩＷは数１０ミリ秒から数秒程度で定
常状態での光スペクトルを分析するものである。
象などの高速変化の解析に対しては有効でないといつ欠
点があった。現在、市販さ扛ている光スペクトル分析装
置は、その掃引外ＩＷは数１０ミリ秒から数秒程度で定
常状態での光スペクトルを分析するものである。
発明の目的
本発明は」１記問題点を解消するもので、たとえば、温
度や反射物などの外乱時あるいは変調時などに生じる半
導体レーザーのモード跳び現象のようｌ高速変化のスペ
クトル分析を可能にする光スペクトル分析装置を提供す
ることにある。
度や反射物などの外乱時あるいは変調時などに生じる半
導体レーザーのモード跳び現象のようｌ高速変化のスペ
クトル分析を可能にする光スペクトル分析装置を提供す
ることにある。
発明の構成
本発明の光スペクトル分析装置は、分散型分光器と、上
記分光器に測定光を導くためのマルチモードの光ファイ
バーと、」二記光ファイノぐ−の（ＩＡ方力光上記分光
器の入射スリットに位置合わせするためのＸＹＺ微動装
置と、上記分光器の出射側の結像面上に分光面に合わせ
て配置した一次元配列の多チャンネル型光検Ｈ−を器と
、−４二記光検出器の出力を入力としてオシロスコープ
に光スペクトルの表示全行なうための信号処理回路を備
えたものであり、かかる構成によ扛ば、分光器の出射側
の結像面」−に分光面に合わせて一次元配列のクチへ・
ンネル型光検出器全配置したので、波長掃引全機械的方
式から電気式方式Ｖ？−変えることにより従来の機械掃
引方式では得らｎＺかった高速掃引全可能にできる利点
を有する。
記分光器に測定光を導くためのマルチモードの光ファイ
バーと、」二記光ファイノぐ−の（ＩＡ方力光上記分光
器の入射スリットに位置合わせするためのＸＹＺ微動装
置と、上記分光器の出射側の結像面上に分光面に合わせ
て配置した一次元配列の多チャンネル型光検Ｈ−を器と
、−４二記光検出器の出力を入力としてオシロスコープ
に光スペクトルの表示全行なうための信号処理回路を備
えたものであり、かかる構成によ扛ば、分光器の出射側
の結像面」−に分光面に合わせて一次元配列のクチへ・
ンネル型光検出器全配置したので、波長掃引全機械的方
式から電気式方式Ｖ？−変えることにより従来の機械掃
引方式では得らｎＺかった高速掃引全可能にできる利点
を有する。
実施例の説明
第３図は本発明の光スペクトル分析装置の−実雄側の構
成を示すものである。第３図においＣ１２１はマルチモ
ードの光ファイバー、２２１．．１’、ＸＹＺ微動装置
、２３は焦点距離５ｏｏｍｍの非対称型変形ツエルニ・
ターナマウント方式の分散型分光器、２４は入射スリッ
ト、２５は平面鏡、２６および２７は凹面鏡、２８は溝
数１２００本／關、ブレーズ波長７５０間の回折格子、
２９は回折格子の手動回転装置、３ｏ１ｄ、自己掃引型
の一次元配列シリコンホトダイオードアレイ（ピッグ；
２５７ｚ。
成を示すものである。第３図においＣ１２１はマルチモ
ードの光ファイバー、２２１．．１’、ＸＹＺ微動装置
、２３は焦点距離５ｏｏｍｍの非対称型変形ツエルニ・
ターナマウント方式の分散型分光器、２４は入射スリッ
ト、２５は平面鏡、２６および２７は凹面鏡、２８は溝
数１２００本／關、ブレーズ波長７５０間の回折格子、
２９は回折格子の手動回転装置、３ｏ１ｄ、自己掃引型
の一次元配列シリコンホトダイオードアレイ（ピッグ；
２５７ｚ。
ビット（素子）数１５１２）、３１ばＣＰＵ内蔵の信号
処理回路、３２は１６ＫＢのメモＩＪ−１３３はオシロ
ス：ｊ−プである。
処理回路、３２は１６ＫＢのメモＩＪ−１３３はオシロ
ス：ｊ−プである。
第４図は第３図の光分光器２３の出射部の拡犬斜祝１ン
１て、３０Ｊ：↓ホトダイオードアレイ３０の受光部、
３０″ｌま端子である。［ンｊ中、・・・・・・λ１．
・・・・・・λハ・・・・・λ３・・・・・・は尤の波
長全示す。ホトダイオードアレイ３Ｑは）Ｙ、分−）Ｙ
、器２３の出射側の結像面Ｉ・に分光Ｈ向とアレイの配
列方向’１（ｒ−−一致させて配列しており、ホトダイ
オードアレイ３Ｑの各ビットと光の波長がそス′シぞ１
を対応する。なお、）℃分）を器２３の出射側には第１
図のような従来の光スペクトル分析装置にあった出射ス
リットは無い。
１て、３０Ｊ：↓ホトダイオードアレイ３０の受光部、
３０″ｌま端子である。［ンｊ中、・・・・・・λ１．
・・・・・・λハ・・・・・λ３・・・・・・は尤の波
長全示す。ホトダイオードアレイ３Ｑは）Ｙ、分−）Ｙ
、器２３の出射側の結像面Ｉ・に分光Ｈ向とアレイの配
列方向’１（ｒ−−一致させて配列しており、ホトダイ
オードアレイ３Ｑの各ビットと光の波長がそス′シぞ１
を対応する。なお、）℃分）を器２３の出射側には第１
図のような従来の光スペクトル分析装置にあった出射ス
リットは無い。
第６図は第３図の信号処理回路３１およびメモリー３２
の回路ブロック図を示したものである。
の回路ブロック図を示したものである。
図中、４０はホトダイオードアレイ３０の駆動回路、４
１および４２は同一の出力ゲインコントロール回路、４
３および４４は、同一のＡ／Ｄ変換器（８ビツト）、４
５はセレクター、４６はＤ ／ Ａ変換器、４７は増幅
器、４８はセレクター、４９は１ｓＫＢ（３２画面）の
ＲＡＭ（第３図の３２に対応）、６０はセレクター、５
１はアドレスカウンター、６２はタイミングコントロー
ル回路、５３は装置内蔵回路用のＩｌｏ、６４はＣＰＵ
（ＺａＯ）、６６は外部ＣＰＵとの接続のためのインタ
ーフェイス、６６はパネルスイッチ、５７は電源である
。
１および４２は同一の出力ゲインコントロール回路、４
３および４４は、同一のＡ／Ｄ変換器（８ビツト）、４
５はセレクター、４６はＤ ／ Ａ変換器、４７は増幅
器、４８はセレクター、４９は１ｓＫＢ（３２画面）の
ＲＡＭ（第３図の３２に対応）、６０はセレクター、５
１はアドレスカウンター、６２はタイミングコントロー
ル回路、５３は装置内蔵回路用のＩｌｏ、６４はＣＰＵ
（ＺａＯ）、６６は外部ＣＰＵとの接続のためのインタ
ーフェイス、６６はパネルスイッチ、５７は電源である
。
以上のように構成された本実施例の光スペクトル分析装
置について、以下その動作全説明する。
置について、以下その動作全説明する。
まず、第３図において、測定光は光ファイバー２１によ
シ分光器２３に導か１２る。その時、分光器２３の入射
スリノＩ・２４と光ファイバー２１との位置合わせはｘ
ＹＺ微動装置２２によっておこなう。入射スリット２４
を通過し７た光は分光器内でスペクトルにＯＭさ几てホ
トダイオードアレイ３０に入射する。以下、第４図を用
いて説明する。
シ分光器２３に導か１２る。その時、分光器２３の入射
スリノＩ・２４と光ファイバー２１との位置合わせはｘ
ＹＺ微動装置２２によっておこなう。入射スリット２４
を通過し７た光は分光器内でスペクトルにＯＭさ几てホ
トダイオードアレイ３０に入射する。以下、第４図を用
いて説明する。
ホトダイオードアレイ
２３の出射（［１１の結像面一ヒに分光方向とアレイの
配列方向と全一致させてあり、ホトダイオードアレ・ｆ
３０の各ヒ゛ノド（１ビット目，・・・・・・、Ｎビッ
ト目，・・・・・・、５１２ヒ′ノド目）と光の４支長
（λ１，・・・、λ２，・・・・、λ３）とがそ才′シ
ぞ几対応して検出さｆＬる。
配列方向と全一致させてあり、ホトダイオードアレ・ｆ
３０の各ヒ゛ノド（１ビット目，・・・・・・、Ｎビッ
ト目，・・・・・・、５１２ヒ′ノド目）と光の４支長
（λ１，・・・、λ２，・・・・、λ３）とがそ才′シ
ぞ几対応して検出さｆＬる。
以下、信号処理部の説明を第５図を用いておこなう。ホ
トダイオードアレイ３ｏのｆ１７１１信１１はタイミン
グコントロール回路５２によっておこなゎｎる。
トダイオードアレイ３ｏのｆ１７１１信１１はタイミン
グコントロール回路５２によっておこなゎｎる。
ホトダイオードアレイ３ｏの各ビットの出力は、光強１
反と積分時間（照射口４間）の積でＬｊえら才゛シ、積
分時間（ｄｏ．５ｍｓｅｃ 、 １ｍｓｅｃ， ２ ｍ
ｓｅｃ 、 ５ｍｓｅｃ 。
反と積分時間（照射口４間）の積でＬｊえら才゛シ、積
分時間（ｄｏ．５ｍｓｅｃ 、 １ｍｓｅｃ， ２ ｍ
ｓｅｃ 、 ５ｍｓｅｃ 。
１ｏｍｓｅｃの６段階をパネルスイッチ５６が選択する
ことができる。ホトダイオードアレイ３０の５１２ビツ
トの一回の掃引時間はｏ．５ｍｓθＣに設定しである。
ことができる。ホトダイオードアレイ３０の５１２ビツ
トの一回の掃引時間はｏ．５ｍｓθＣに設定しである。
今、タイミングコントロール回路５２から自己掃引型の
ホトダイオードアレイ３０に掃引開始の信号が入力さｎ
るとＯ−５ ｍｓｅｃががって５１２ヒ’ｚｌ・分の出
力が順次転送さｉＬ，出力転送が完了すると自動的に転
送を停止する。なお、転送全完了したピントは順次刷副
孕開始する。上記掃引開始の信号は、上記積分時間の間
隔分おいて繰り返えさｎる。なお、ホトダイオードアレ
イ３。
ホトダイオードアレイ３０に掃引開始の信号が入力さｎ
るとＯ−５ ｍｓｅｃががって５１２ヒ’ｚｌ・分の出
力が順次転送さｉＬ，出力転送が完了すると自動的に転
送を停止する。なお、転送全完了したピントは順次刷副
孕開始する。上記掃引開始の信号は、上記積分時間の間
隔分おいて繰り返えさｎる。なお、ホトダイオードアレ
イ３。
の出力は奇数番ビットと偶数番ビット全分離して取り出
し、そ几ぞ几ゲインコントロール回路４１（４２）、Ａ
／Ｄ変換器４３ （ ４４ ）を介（〜てセレクター４
５で時系列的に並び換えら扛、Ｄ／Ａｆｍ器４６，増幅
器４７を介してオシロスコープ３ ３ （７） Ｙ 軸
に与えらｎる。一方、オンロスコープ３３のＸ 軸には
タイミングコントロール回路６２から制呻信号が力えら
ｎており、光スペクトル全常時モニターすることができ
る。セレクター４６のデジタル信号は上記オシロスコー
プ３３でのモニターと同時に１６ＫＢ（３２画面分に相
当）のＲＡ、 Ｍ ４９に順次外す換えら２”しており
、パネルスイッチ５６からＲＡＭ４９内の書す換えの停
止信号を送るこ々により、成る時間の３２画面分のデー
タを保持することができる。上記停止イハ号はブリとボ
スト全選択でさる。ＲＡＭ４９への書さ込み、読み取り
はアドレスカウンター５１によって側斜さ几ている。Ｒ
ＡＭ４９に川さ込１′ｉ′Ｌ保持さｔ′Ｌだデータは、
パネルスイッチ５６がら読み取りのための命令金送るこ
とにより、オンロスコープ３３への入力はセレクター４
５の出力からセレクター４８の１昌力に切り換えら几、
ＲＡＭ４９内のデータをオシロスコープ３３上に表示す
ることができる。なお・ ＲＡＭ４９内の３２画面分の
内の’ｌ’！＋定画商の表示、あるいし］、３３２画の
全画面を順次視覚が追従できる速［−て′繰り返し表示
することがでさるＣ） さらにインターフェイス５５ＶＣよっ”’Ｃ外部ｃＰＵ
によって本装置のリモートコントロ−ル次に本発明の光
スペクトル分析装置にょる＃１７１ｉｌ１例を第６図り
， ｂに示す。自己結合効果の強い近赤外用の半導体
レーザーの発光スペクトル全、半導体レーザーの発光端
面がら１馴程度に光ファイバーに近接して時系列的に３
−１測し外部ＣＰＵｉ用いて描いたものである。ａけ積
分時間を１０ｍｓｅｃにした時、ｂは積分時間音。Ｊ５
ｍｓｅｃにした時である。図中、縦軸は光強度、横軸
は光波長である。
し、そ几ぞ几ゲインコントロール回路４１（４２）、Ａ
／Ｄ変換器４３ （ ４４ ）を介（〜てセレクター４
５で時系列的に並び換えら扛、Ｄ／Ａｆｍ器４６，増幅
器４７を介してオシロスコープ３ ３ （７） Ｙ 軸
に与えらｎる。一方、オンロスコープ３３のＸ 軸には
タイミングコントロール回路６２から制呻信号が力えら
ｎており、光スペクトル全常時モニターすることができ
る。セレクター４６のデジタル信号は上記オシロスコー
プ３３でのモニターと同時に１６ＫＢ（３２画面分に相
当）のＲＡ、 Ｍ ４９に順次外す換えら２”しており
、パネルスイッチ５６からＲＡＭ４９内の書す換えの停
止信号を送るこ々により、成る時間の３２画面分のデー
タを保持することができる。上記停止イハ号はブリとボ
スト全選択でさる。ＲＡＭ４９への書さ込み、読み取り
はアドレスカウンター５１によって側斜さ几ている。Ｒ
ＡＭ４９に川さ込１′ｉ′Ｌ保持さｔ′Ｌだデータは、
パネルスイッチ５６がら読み取りのための命令金送るこ
とにより、オンロスコープ３３への入力はセレクター４
５の出力からセレクター４８の１昌力に切り換えら几、
ＲＡＭ４９内のデータをオシロスコープ３３上に表示す
ることができる。なお・ ＲＡＭ４９内の３２画面分の
内の’ｌ’！＋定画商の表示、あるいし］、３３２画の
全画面を順次視覚が追従できる速［−て′繰り返し表示
することがでさるＣ） さらにインターフェイス５５ＶＣよっ”’Ｃ外部ｃＰＵ
によって本装置のリモートコントロ−ル次に本発明の光
スペクトル分析装置にょる＃１７１ｉｌ１例を第６図り
， ｂに示す。自己結合効果の強い近赤外用の半導体
レーザーの発光スペクトル全、半導体レーザーの発光端
面がら１馴程度に光ファイバーに近接して時系列的に３
−１測し外部ＣＰＵｉ用いて描いたものである。ａけ積
分時間を１０ｍｓｅｃにした時、ｂは積分時間音。Ｊ５
ｍｓｅｃにした時である。図中、縦軸は光強度、横軸
は光波長である。
ａにおいては、３本のスペクトルがあり、がっ、同時に
２本ないし３本のスペクトルが存在すること（マルチモ
ード）を示しているが、ｂにおいては、３本のスペクト
ルは同時に存在しないことを示している。すなわち、シ
ングルモードて゛モード跳びが生していることを示して
いる。このように高速測光によって現象が明らかになる
。
２本ないし３本のスペクトルが存在すること（マルチモ
ード）を示しているが、ｂにおいては、３本のスペクト
ルは同時に存在しないことを示している。すなわち、シ
ングルモードて゛モード跳びが生していることを示して
いる。このように高速測光によって現象が明らかになる
。
このように分散型分光器と、上記分光器に測定光を導く
ためのマルチモードの光ファイバーと、」二記光ファイ
バーの出力光全上記分光器の入射スリットに位置合せす
るためのＸＹＺ微動装置と、上記分光器の出射側の結像
面」二に分光面に合わせて配置した一次元配列の多チヤ
ンネル型光検出器と、、上記光検出器の出力を入力とし
てオシロスコープに光スペクトルの表示を行なつ／辷Ｍ
）の４１Ｔ”Ｊ処Ｊψ回路を備えるため、波長掃引を機
（戒的方式から電気的方式に変えることが′Ｔ：’＠、
こ）王により、従来の機１＆的掃引力式では得ら２’Ｌ
なかーた高速掃引を゛可能にし？：Ｉるものである。し
かも、信号処理回路が１−記）℃検出器のゲインコント
ロール回路と、１−記ゲインコントロール回路のアナｒ
Ｊグ（ｌｉ号出力全デジタル信号に変換する／ζめのＡ
／Ｄ変換器と、上記Ａ／Ｄ変換器の出力を記録するため
の少くともＩ−記検出器の配列ビット分のデータの記憶
容量を持ったメモリーと、上記光検出器の出力もしくは
上記メモリー中のデータをアナログ変換し一１記オシロ
スコープのＹ軸に送るためのＤ ／ Ａ変換器と、−１
記光検出器，上記Ｄ／Ａ変換器，Ｌ記Ａ／Ｄ変換器，手
記メモリーおよび上記オシロスコープのＸｉｌｉｌ帯引
を測針する／ヒめのタイミングコントロール回路と、装
置全体を開側１するためのＣＰＵと、外部ＣＰＵとの接
続を可能＋（するためのインターフェイスを具備してな
るものであるため発光素子の発光スペクトルなどの高速
測光， ｎ−′；系列変化の観測を可能にし得るもので
ある。
ためのマルチモードの光ファイバーと、」二記光ファイ
バーの出力光全上記分光器の入射スリットに位置合せす
るためのＸＹＺ微動装置と、上記分光器の出射側の結像
面」二に分光面に合わせて配置した一次元配列の多チヤ
ンネル型光検出器と、、上記光検出器の出力を入力とし
てオシロスコープに光スペクトルの表示を行なつ／辷Ｍ
）の４１Ｔ”Ｊ処Ｊψ回路を備えるため、波長掃引を機
（戒的方式から電気的方式に変えることが′Ｔ：’＠、
こ）王により、従来の機１＆的掃引力式では得ら２’Ｌ
なかーた高速掃引を゛可能にし？：Ｉるものである。し
かも、信号処理回路が１−記）℃検出器のゲインコント
ロール回路と、１−記ゲインコントロール回路のアナｒ
Ｊグ（ｌｉ号出力全デジタル信号に変換する／ζめのＡ
／Ｄ変換器と、上記Ａ／Ｄ変換器の出力を記録するため
の少くともＩ−記検出器の配列ビット分のデータの記憶
容量を持ったメモリーと、上記光検出器の出力もしくは
上記メモリー中のデータをアナログ変換し一１記オシロ
スコープのＹ軸に送るためのＤ ／ Ａ変換器と、−１
記光検出器，上記Ｄ／Ａ変換器，Ｌ記Ａ／Ｄ変換器，手
記メモリーおよび上記オシロスコープのＸｉｌｉｌ帯引
を測針する／ヒめのタイミングコントロール回路と、装
置全体を開側１するためのＣＰＵと、外部ＣＰＵとの接
続を可能＋（するためのインターフェイスを具備してな
るものであるため発光素子の発光スペクトルなどの高速
測光， ｎ−′；系列変化の観測を可能にし得るもので
ある。
尚、上記の実施例では光検出器としてホ）・ダイオード
アレイを用いたが、こ才ｔは他にＣＯＤイメージセンザ
であってもよいことは云う甘″Ｔ：もｌい。
アレイを用いたが、こ才ｔは他にＣＯＤイメージセンザ
であってもよいことは云う甘″Ｔ：もｌい。
発明の効果
以上のように本発明によノ１ば、、−次元配列の多チヤ
ンネル型検出器を用い、波長掃引全機械的方式から電気
的方式に変えること（でより、従来の機械的掃引方式で
は得ら几なかった高速掃引を可能にし、装置にメモリー
を内蔵することにより、発光素子の発光スペクトルなど
の高速測光，時系ｔｌｌ変化の観測を行なうことができ
る利点を有する。
ンネル型検出器を用い、波長掃引全機械的方式から電気
的方式に変えること（でより、従来の機械的掃引方式で
は得ら几なかった高速掃引を可能にし、装置にメモリー
を内蔵することにより、発光素子の発光スペクトルなど
の高速測光，時系ｔｌｌ変化の観測を行なうことができ
る利点を有する。
第１図は従来の光スペクトル分析装置の（１♂）成ブロ
ック図、第２図は同装置の分光器の出射部の拡大図、第
３図は本発明の光スペクトル分析装置の一実施例を示す
構成ブｒｌｌツク図、第４図は同装置の分光器の出射部
の拡大図、第６図は同装置の信号処理回路およびメモリ
一部の構成ブロック図、第６図は本発明の光スペクトル
分析装置によるｔ１側倒を示す図である。 ２１・・・・・光ファイバー、２２・・・・・・ＸＹＺ
微動装置、２３・・・・分光器、３０・・・・・ホトダ
イメーードアレイ、３１・・・・・・イボ号処理回路、
３２・・・・・・メモリー、３３・・・・・オシロスコ
ープ。 代理人の氏名 ｊ−Ｆｌｊ士 中 尾 敏 男 ほか１
名。 （’ｎｐ）
ＳＮ”府〔ｎ ｐ）ＳＮコＷｆ
ック図、第２図は同装置の分光器の出射部の拡大図、第
３図は本発明の光スペクトル分析装置の一実施例を示す
構成ブｒｌｌツク図、第４図は同装置の分光器の出射部
の拡大図、第６図は同装置の信号処理回路およびメモリ
一部の構成ブロック図、第６図は本発明の光スペクトル
分析装置によるｔ１側倒を示す図である。 ２１・・・・・光ファイバー、２２・・・・・・ＸＹＺ
微動装置、２３・・・・分光器、３０・・・・・ホトダ
イメーードアレイ、３１・・・・・・イボ号処理回路、
３２・・・・・・メモリー、３３・・・・・オシロスコ
ープ。 代理人の氏名 ｊ−Ｆｌｊ士 中 尾 敏 男 ほか１
名。 （’ｎｐ）
ＳＮ”府〔ｎ ｐ）ＳＮコＷｆ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）分散型分光器と、上記分光器に測定光を導くため
のマルチモードの光ファイバーと、」１記光ファイバー
の出力光を」１記分光器の入射スリットに位置合わせす
るためのｘＹＺ微動装置と、上記分光器の出射（１１！
ｌの結像面上に分光面に合わせて配置した一次元配列の
多チヤンネル型光検出器と、上記元栓；１１」器の出力
を入力としてオンロスコープに光スペクトルの表示を行
なうだめの信号処理回路を具備してなる光スペクトル分
析装置。 （９））信号処理回路は、光検出器のゲインコントロー
ル回路と、上記ゲインコントロール回路のアナログ信号
出力全デジタル信号に変換するためのＡ／Ｄ変換器と、
上記Ａ ／ Ｄ変換器の出力を記録するだめの少くとも
上記光検出器の配列ビット分（両面分）のデータの記憶
容量を持ったメモリーと、上記光検出器の出力もしくは
上記メモリー中のデータをアナログ信号に変換しオシロ
スコープのＹ軸に送るためのＤ／Ａ変換器と、上記光検
出器、上記Ａ／Ｄ変換器、上記Ｄ／Ａｆｆ換器、上換器
上上記メモリー記オンロスコープのＸ軸掃引を制御する
ためのタイミングコントロール回路と、装置全体を制御
するためのＣＰＵと、外部ＣＰＵとの接続全可能にする
ためのインターフェイスを具備してなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光スペクトル分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17343482A JPS5961723A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 光スペクトル分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17343482A JPS5961723A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 光スペクトル分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961723A true JPS5961723A (ja) | 1984-04-09 |
Family
ID=15960385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17343482A Pending JPS5961723A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 光スペクトル分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961723A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124723A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Otsuka Denshi Kk | 分光器 |
| US5493406A (en) * | 1992-07-31 | 1996-02-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Apparatus for measuring spectral characteristics of an optical fiber component |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5249078A (en) * | 1975-09-12 | 1977-04-19 | Perkin Elmer Ltd | Plotter |
| JPS5443082A (en) * | 1977-08-16 | 1979-04-05 | Neotec Corp | Optical device for analyzing sample |
| JPS5760231A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | Hitachi Ltd | Multi-wavelength spectrometer |
-
1982
- 1982-10-01 JP JP17343482A patent/JPS5961723A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5249078A (en) * | 1975-09-12 | 1977-04-19 | Perkin Elmer Ltd | Plotter |
| JPS5443082A (en) * | 1977-08-16 | 1979-04-05 | Neotec Corp | Optical device for analyzing sample |
| JPS5760231A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | Hitachi Ltd | Multi-wavelength spectrometer |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01124723A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Otsuka Denshi Kk | 分光器 |
| US5493406A (en) * | 1992-07-31 | 1996-02-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Apparatus for measuring spectral characteristics of an optical fiber component |
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