JPS5950311A - 変位測定装置 - Google Patents
変位測定装置Info
- Publication number
- JPS5950311A JPS5950311A JP16136182A JP16136182A JPS5950311A JP S5950311 A JPS5950311 A JP S5950311A JP 16136182 A JP16136182 A JP 16136182A JP 16136182 A JP16136182 A JP 16136182A JP S5950311 A JPS5950311 A JP S5950311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- scale
- sensing body
- connecting shaft
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は変位測定装置に係り、特に、第1部材に取(
dけられた第1検知休と、第2部材に取f1けられ、か
つ、この第2部材とと2もに前記第1検知体に沿って往
復動可能どされた第2検知休と、基端部が前記第2部材
に取付けられ、先端部において前記第2検知体を第1検
知体に対して、往復動方向ど略直交する方向に押圧し、
前記第1検知体と第2検知体との相対移動から、前記第
1および第2部材の相対変位を測定する変位測定装置の
改良に関する。
dけられた第1検知休と、第2部材に取f1けられ、か
つ、この第2部材とと2もに前記第1検知体に沿って往
復動可能どされた第2検知休と、基端部が前記第2部材
に取付けられ、先端部において前記第2検知体を第1検
知体に対して、往復動方向ど略直交する方向に押圧し、
前記第1検知体と第2検知体との相対移動から、前記第
1および第2部材の相対変位を測定する変位測定装置の
改良に関する。
2個の、′@象物の相対的な位置を測定しIこり、或い
は調整したすするための測長S4置の一種に、例えば第
゛1図〜第3図に示されるように構成されているしのが
ある。
は調整したすするための測長S4置の一種に、例えば第
゛1図〜第3図に示されるように構成されているしのが
ある。
図において、1lIll長ケース1はIrぼ方形の中空
断面を有す゛るどともに、第1図の紙面と直交方向に細
長に形成され、更に長手方向の一側面に沿つ℃はぼ全長
に4つたり間L12を備えている。
断面を有す゛るどともに、第1図の紙面と直交方向に細
長に形成され、更に長手方向の一側面に沿つ℃はぼ全長
に4つたり間L12を備えている。
前記細長ケース゛lの開口2側の端面には移動部材どし
【の検出(幾構3が摺動部材4を介して当接され、細長
ケース1の長手方向に沿って移動可能とされ−(いる。
【の検出(幾構3が摺動部材4を介して当接され、細長
ケース1の長手方向に沿って移動可能とされ−(いる。
この検出機構・3の一ト面には、前記間1」2から細長
り“−ス1内に延在す“る腕部5が一体的に形成されて
いる。また前記間口2の近傍における細長ケース1の外
側面には該IM長ケース1の長手方向に沿って−灼のマ
グネット6が設けられ、このマグネツ1−6に該間し」
2を被うように薄肉の鉄板13目らなる閉塞部材7が吸
着され、該開口2から細長ケース1内への塵埃等が侵入
り−ることを防止するよこの時、検出);l!侶3の腕
部5が挿入される部分の閉塞部材7は、該検出機483
にilけられるとともに、両端が検出1幾格3の土面に
間口された側面山形の溝8内に仲人され、この溝8によ
り跨がれた状態の腕部5は細長ケース1内への挿入が可
能となるようにされ−Cいる。
り“−ス1内に延在す“る腕部5が一体的に形成されて
いる。また前記間口2の近傍における細長ケース1の外
側面には該IM長ケース1の長手方向に沿って−灼のマ
グネット6が設けられ、このマグネツ1−6に該間し」
2を被うように薄肉の鉄板13目らなる閉塞部材7が吸
着され、該開口2から細長ケース1内への塵埃等が侵入
り−ることを防止するよこの時、検出);l!侶3の腕
部5が挿入される部分の閉塞部材7は、該検出機483
にilけられるとともに、両端が検出1幾格3の土面に
間口された側面山形の溝8内に仲人され、この溝8によ
り跨がれた状態の腕部5は細長ケース1内への挿入が可
能となるようにされ−Cいる。
前記細長ケース1内の長手方向に設りられた溝9内には
、ガラス等からなり、−側面(目盛面)′IOBに縦縞
状の目盛10A’(第2図参照)が形成されたメインス
ケール10の下端辺が挿入され、接着剤11等により固
定されている。
、ガラス等からなり、−側面(目盛面)′IOBに縦縞
状の目盛10A’(第2図参照)が形成されたメインス
ケール10の下端辺が挿入され、接着剤11等により固
定されている。
前記検出機構3の腕部5は前記メインスケール10の近
1労まで延長され、この先端部には連結手段12を介し
てスライダー13が移動01能に取イ」けられている。
1労まで延長され、この先端部には連結手段12を介し
てスライダー13が移動01能に取イ」けられている。
この連結手段12は、例えば、先端に三角形の環状部1
2Aを一体的に形成され、基端を腕部5に[ノツシr
1.2 Bおよびねじ12Cで止められた線状のハ持ば
ね12弾性部材と、前記環状部12Aに係合される円錐
台12Eとから構成されている。
2Aを一体的に形成され、基端を腕部5に[ノツシr
1.2 Bおよびねじ12Cで止められた線状のハ持ば
ね12弾性部材と、前記環状部12Aに係合される円錐
台12Eとから構成されている。
前記片持ばね12Dは、スライダー13をメインスケー
ル10の第1の走査基準面と兼用された目盛面10B側
に押圧づ”るJ:うにされるどどもに、スライダー13
をメインスケール10の目盛面10Bど直焚する第2の
走査基準面である端面10C側にも押jJX51−るよ
うにされている。
ル10の第1の走査基準面と兼用された目盛面10B側
に押圧づ”るJ:うにされるどどもに、スライダー13
をメインスケール10の目盛面10Bど直焚する第2の
走査基準面である端面10C側にも押jJX51−るよ
うにされている。
前記スライダー13は、板材から略し字状に形成された
接触子爪イ」部材13Aとこの接触子爪イ」部材13△
の一端折曲げ短辺にねじ止めされるとともに、前記メイ
ンスケール10の目盛10△が形成されでいない面に対
向された肉厚の発光素子数イ1部1,113 Bと、前
記接触子爪イ1部材13Aの他端折曲げ長辺にねじ(図
示省略)止めされるどどもに、前記メインスケール10
の目盛面10Bに対向された肉厚の受光素子取付部材1
3Cとにより構成されている。
接触子爪イ」部材13Aとこの接触子爪イ」部材13△
の一端折曲げ短辺にねじ止めされるとともに、前記メイ
ンスケール10の目盛10△が形成されでいない面に対
向された肉厚の発光素子数イ1部1,113 Bと、前
記接触子爪イ1部材13Aの他端折曲げ長辺にねじ(図
示省略)止めされるどどもに、前記メインスケール10
の目盛面10Bに対向された肉厚の受光素子取付部材1
3Cとにより構成されている。
前記スライダー13の接触子爪イ」部材13Aの前記メ
インスケール10の目盛面10Bに対向した面には、メ
インスケール10と同様な縦縞状の目盛(図示省略)を
有するインj−゛ツクススケール14が固定されCいる
。このインア゛ツクススケール14とメインスケール1
0とを挟んだ状態で光源とじての発光素子15ど受光素
子16どが配置されている。
インスケール10の目盛面10Bに対向した面には、メ
インスケール10と同様な縦縞状の目盛(図示省略)を
有するインj−゛ツクススケール14が固定されCいる
。このインア゛ツクススケール14とメインスケール1
0とを挟んだ状態で光源とじての発光素子15ど受光素
子16どが配置されている。
この場合1発光素子15は前記接触子爪f4部月13A
のL字の)、(i辺に固着された発光素子数f−J部材
13Bに、また受光素子16は前記接触子取f=J部材
13△のL字の長辺に固着された受光素子爪イ1部材1
3Cに各々2側内着されている。
のL字の)、(i辺に固着された発光素子数f−J部材
13Bに、また受光素子16は前記接触子取f=J部材
13△のL字の長辺に固着された受光素子爪イ1部材1
3Cに各々2側内着されている。
前記接触子爪イ」部材13AのL字の内曲げなわら前記
メインスケール10の第1の走査基準面である目盛面1
0Bおよびこの目盛面に直交した第2の走査基準面であ
る端面10Cに対向した面には、それぞれ、各々ポリア
セタール樹脂のような低摩擦係数の樹脂からなる摺動駒
17.18が複数個固定され、これらの摺動駒17.1
8は前記片持ばね12Dの付勢力によりメインスケール
10の目盛面10Bおよびこの目盛面10Bに直交した
端面10Gに当接するようにされている。
メインスケール10の第1の走査基準面である目盛面1
0Bおよびこの目盛面に直交した第2の走査基準面であ
る端面10Cに対向した面には、それぞれ、各々ポリア
セタール樹脂のような低摩擦係数の樹脂からなる摺動駒
17.18が複数個固定され、これらの摺動駒17.1
8は前記片持ばね12Dの付勢力によりメインスケール
10の目盛面10Bおよびこの目盛面10Bに直交した
端面10Gに当接するようにされている。
この土う/、’i tM l戊におい(、細ト、)l−
ス゛1.1コ、ノ、(>移動部(4どしくの(・)冒1
1間fl”+ 13のい覆れか一ノ)を・、191え1
.1: io:出!U’! IM (!被測’tQ物に
IIM (Jけ、1也IJす4「わら細1ぐノノース1
ヲ敗(f((のl\ツ1−15)の取f−1面19△、
l !l 1.Jに固定しく被測定1+!Iを(3動4
るど、メインスケ−ル′10のl=l lj咎’I U
△とインノックススケール1/′lσ月−1盛との間(
明暗の槁(り仔かyト」シ、この縞模様を受光系J′−
16(詩み取“−〕−(iつ測定1カの(多qJJ i
l、iを6〕CみIIMす、(則j’i ’、c o
5 bの(’ 9)る。
ス゛1.1コ、ノ、(>移動部(4どしくの(・)冒1
1間fl”+ 13のい覆れか一ノ)を・、191え1
.1: io:出!U’! IM (!被測’tQ物に
IIM (Jけ、1也IJす4「わら細1ぐノノース1
ヲ敗(f((のl\ツ1−15)の取f−1面19△、
l !l 1.Jに固定しく被測定1+!Iを(3動4
るど、メインスケ−ル′10のl=l lj咎’I U
△とインノックススケール1/′lσ月−1盛との間(
明暗の槁(り仔かyト」シ、この縞模様を受光系J′−
16(詩み取“−〕−(iつ測定1カの(多qJJ i
l、iを6〕CみIIMす、(則j’i ’、c o
5 bの(’ 9)る。
このJ、−うな変位測定+−買にJiい(は、メインス
ケール1(−)どrジノツクススケール1/1どの隙間
、串f」I身青(、V測定昂1見に(Φめ(申入な影響
を5える。
ケール1(−)どrジノツクススケール1/1どの隙間
、串f」I身青(、V測定昂1見に(Φめ(申入な影響
を5える。
例えば10μIll稈曳の間1:1jのスリン1〜をh
!lる光学式測定装置におい((31、IvI定の測定
1^度’に111f (イ:!する/jめ(lは、隙間
を20μmどじなけれ(3Lならない。
!lる光学式測定装置におい((31、IvI定の測定
1^度’に111f (イ:!する/jめ(lは、隙間
を20μmどじなけれ(3Lならない。
しかる(こ前V己メーrンスノ7−ルJ Q 1t−7
よひイン1′ツクススケールI /I LL、([1幻
りる1川が必ずししQ゛1を而ど(ま限らl”りJ(−
り等か/J”在す−る。従っ(、メインスケール′1(
→どイン1′ツクススケール1111Jtinに121
動抵抗が極め(小さく、か゛つ、一方が他方に追1j;
Ij L−’c前記隙間を一2l +二j’i’、持す
ることが必要どなる。
よひイン1′ツクススケールI /I LL、([1幻
りる1川が必ずししQ゛1を而ど(ま限らl”りJ(−
り等か/J”在す−る。従っ(、メインスケール′1(
→どイン1′ツクススケール1111Jtinに121
動抵抗が極め(小さく、か゛つ、一方が他方に追1j;
Ij L−’c前記隙間を一2l +二j’i’、持す
ることが必要どなる。
−て−のための一] fJよとしく、前記第゛1図〜第
3図の変位測、r装置にd3いIは、Ii持ばね12[
)の先端により、での先端のlI’、Il状部゛12へ
をインデックススケール14側の円811台12Fに逅
面さけている。
3図の変位測、r装置にd3いIは、Ii持ばね12[
)の先端により、での先端のlI’、Il状部゛12へ
をインデックススケール14側の円811台12Fに逅
面さけている。
≧1、た曲の態様どし−(は、第5図に示されるよう(
こ、j′l持は4212 Dの先端を球121−とじ(
、イン1′ツクススケール′14の受は側をV字溝12
Gどじlごものかある。
こ、j′l持は4212 Dの先端を球121−とじ(
、イン1′ツクススケール′14の受は側をV字溝12
Gどじlごものかある。
このような、J21持の線状ばねは、メインスケールと
イン−フックススケールを相Uに押圧ツるとどもに、こ
れらスウールの長手方向の相対移動時にイン7ツクスス
ケールを摺動抵抗にス・j抗しC:Il’l定対象物の
一方に対して定位置に相持するものである。
イン−フックススケールを相Uに押圧ツるとどもに、こ
れらスウールの長手方向の相対移動時にイン7ツクスス
ケールを摺動抵抗にス・j抗しC:Il’l定対象物の
一方に対して定位置に相持するものである。
前記11持はね12Dは埋!」的には、あらかじめ第4
図に示されるように1尭み曲線に1aつC成型さf!
’c d3き、取(J状態においCは第5図に示される
よ゛うにメインスケール10の移動方向と平行どなるよ
うにし、これによつ(、スライダ−13+Ijよびこれ
ど一1本の−rシj”ツクススlノール1 ’I ’w
liイjに摺動さI!(もハ持1.r 4212 D
には引張り3j、た(311」」1a荷重のみ(′1川
し、スライダ−13の往復連動かイ則ンj二11〜1哀
(こ影響を5えないようにりる。
図に示されるように1尭み曲線に1aつC成型さf!
’c d3き、取(J状態においCは第5図に示される
よ゛うにメインスケール10の移動方向と平行どなるよ
うにし、これによつ(、スライダ−13+Ijよびこれ
ど一1本の−rシj”ツクススlノール1 ’I ’w
liイjに摺動さI!(もハ持1.r 4212 D
には引張り3j、た(311」」1a荷重のみ(′1川
し、スライダ−13の往復連動かイ則ンj二11〜1哀
(こ影響を5えないようにりる。
しかしながら実際には、ハ持ばね121つ4侶成りるI
Jね累伺の弾tjt係数のばらつき、はね形状の理想的
イヱ撓み曲線に灼りる工9i差、111ノ1(,1ね1
2 D以外の部品、 ’flll IQ Iノース゛1
、メインスフノール10、検出数構33等の寸法の1.
’K”)つき、さ1)(こ(よ測定具’N?+’を1作
i3¥械等に取1・」(]た状態での上作機(への取f
j+面と測定装置の取(、J面の平行度の(Jら一つき
等により、例えば第6図(△)、([3)に小されるよ
う(こなり、メインスケール(こ文・jしC・l7−f
jなi人態(二■1覧f・」(ノることがII fll
どなる。
Jね累伺の弾tjt係数のばらつき、はね形状の理想的
イヱ撓み曲線に灼りる工9i差、111ノ1(,1ね1
2 D以外の部品、 ’flll IQ Iノース゛1
、メインスフノール10、検出数構33等の寸法の1.
’K”)つき、さ1)(こ(よ測定具’N?+’を1作
i3¥械等に取1・」(]た状態での上作機(への取f
j+面と測定装置の取(、J面の平行度の(Jら一つき
等により、例えば第6図(△)、([3)に小されるよ
う(こなり、メインスケール(こ文・jしC・l7−f
jなi人態(二■1覧f・」(ノることがII fll
どなる。
このよ′うな状態て取(=1けられた1′1持(Jね1
20には、スライダ−13をノ「右に1習勅さUた場合
、引張りおよび汁縮問重の他に曲げt−メン1−か作用
しく摺動方向に1尭みが発生りるため、測定Ii度に悪
影響4うえるどい・う問題点が生じる。
20には、スライダ−13をノ「右に1習勅さUた場合
、引張りおよび汁縮問重の他に曲げt−メン1−か作用
しく摺動方向に1尭みが発生りるため、測定Ii度に悪
影響4うえるどい・う問題点が生じる。
1:11・fll:’Jはね121)の揺動り向の撓み
λを求める。
λを求める。
まヅ゛、第(5[〆1に小されるような実際の取イリ状
態にJ:ifJるIi Pi IJね121J ’、i
、第°を図に小さ1するよi> lj 1111率半
径1くの曲り県ど仮定−(きる。ハ持ばね12D先端に
よるスライダー13のメインスケール10にλ]りる押
1土力をN=240g、摩擦係数1−1−0 、3 、
I’+ I:tUね(1)lj端から先”Q L で(
1) l1lli FlfをL (vn) 、ハ持ばね
を形成りる線何の(A買をS〜・V1〕−△、かつ、そ
の直径をΦ(ll1m’)とした条件(、スライダー1
3のメインスケール10に対する図の矢印へ方向の相対
移動に際して、ハ持ばねの先端には第8図に示されるよ
うにそれぞれ1:1.1−2のツノが作用する。
態にJ:ifJるIi Pi IJね121J ’、i
、第°を図に小さ1するよi> lj 1111率半
径1くの曲り県ど仮定−(きる。ハ持ばね12D先端に
よるスライダー13のメインスケール10にλ]りる押
1土力をN=240g、摩擦係数1−1−0 、3 、
I’+ I:tUね(1)lj端から先”Q L で(
1) l1lli FlfをL (vn) 、ハ持ばね
を形成りる線何の(A買をS〜・V1〕−△、かつ、そ
の直径をΦ(ll1m’)とした条件(、スライダー1
3のメインスケール10に対する図の矢印へ方向の相対
移動に際して、ハ持ばねの先端には第8図に示されるよ
うにそれぞれ1:1.1−2のツノが作用する。
まず第7図より
F+=2N・・・(1)
ト2−2μN・・・(2〉
(1)<2)式より
1−2−μF1・・・(3)
第8図より、ハ持ばね12し)の固定端J:り測つた距
離s o5任憑のm ++ lUi而の1−2にJ、る
1110y゛−c=’メンi−M t;L、 M = 「 2 1< (cos Φ
−COS θ )・・・ (4) くここでφは固定端・から、m n l’lJi而間の
中面角、θは固定端から自由端まtの中心角を承り。)
この区間に蓄えられる歪上ネルVUsは・・・(5)) (Sは固定端からm n Pli而まての距Nt、1−
はキト(づII’ 11係数、IZはI!Jt面二次モ
ーメントを承り。〉(5)式に(/I)式を代入し、 IJs = となる。この1メ間の荷車方向(摺動方向)の変位(λ
S)はカステリノ7ノの定理によりソ・−一θユじ− θ1 □ ・・・ (−7) 従つし、仝1〆間(L)の荷重り向(Ii’J 1FJ
Jh向)の変位(λ)は偵分化囲を配慮し ・・・(8) となるCなお、前車方向(摺動方向)の全変位は第7図
の矢符Ah向と逆方向の変位も考慮して22文ある。
離s o5任憑のm ++ lUi而の1−2にJ、る
1110y゛−c=’メンi−M t;L、 M = 「 2 1< (cos Φ
−COS θ )・・・ (4) くここでφは固定端・から、m n l’lJi而間の
中面角、θは固定端から自由端まtの中心角を承り。)
この区間に蓄えられる歪上ネルVUsは・・・(5)) (Sは固定端からm n Pli而まての距Nt、1−
はキト(づII’ 11係数、IZはI!Jt面二次モ
ーメントを承り。〉(5)式に(/I)式を代入し、 IJs = となる。この1メ間の荷車方向(摺動方向)の変位(λ
S)はカステリノ7ノの定理によりソ・−一θユじ− θ1 □ ・・・ (−7) 従つし、仝1〆間(L)の荷重り向(Ii’J 1FJ
Jh向)の変位(λ)は偵分化囲を配慮し ・・・(8) となるCなお、前車方向(摺動方向)の全変位は第7図
の矢符Ah向と逆方向の変位も考慮して22文ある。
ここ文検出(大+?4 :3 t−I−j’「!浅域等
へ取イ・」(〕たとき、取f」け精度や工作(チW械自
身の摺動方向に対する真直度等により、検出(幾偶3が
三次元的にある稈度変動してもスライダ゛−13はスケ
ール面に正確に押しイ」けられ−(いなければならない
ので、片持ばka ’I 2 l)の♀iβ(¥191
、検出数(143に′l−1りるスライダー i L)
tb−一一定ノ自11.11.!J ’c 形成−(
Oルf’、iJ l暑J −C’ +ll’r −j>
t’−どが必リレ(゛ある。
へ取イ・」(〕たとき、取f」け精度や工作(チW械自
身の摺動方向に対する真直度等により、検出(幾偶3が
三次元的にある稈度変動してもスライダ゛−13はスケ
ール面に正確に押しイ」けられ−(いなければならない
ので、片持ばka ’I 2 l)の♀iβ(¥191
、検出数(143に′l−1りるスライダー i L)
tb−一一定ノ自11.11.!J ’c 形成−(
Oルf’、iJ l暑J −C’ +ll’r −j>
t’−どが必リレ(゛ある。
また、1作例域自白のlit、勅によ゛二〕(し、ス−
I −7’9’ −13がスケール面からン゛2き」二
かI5ないχミ1′1り配慮し、さらに装置の人きさも
考えるど、I’+I−”1ば4w 121−)の枕形q
I= O,8″3〜1.(つIll lit、長さ1−
30〜5 (−) mmどなり、ここCは、形状的にt
)過当ど省えられる()i = (−1、t3m川、l
−、−Ll ’1 、 S:’l n1lll?p14
III l、 /、、:つま/J、I’l持ば4−の何
才!l S Wl)−へのキi(弾1り係数はl二=
2 、 1 X 10 ’ l(g、’mm’てd)る
。
I −7’9’ −13がスケール面からン゛2き」二
かI5ないχミ1′1り配慮し、さらに装置の人きさも
考えるど、I’+I−”1ば4w 121−)の枕形q
I= O,8″3〜1.(つIll lit、長さ1−
30〜5 (−) mmどなり、ここCは、形状的にt
)過当ど省えられる()i = (−1、t3m川、l
−、−Ll ’1 、 S:’l n1lll?p14
III l、 /、、:つま/J、I’l持ば4−の何
才!l S Wl)−へのキi(弾1り係数はl二=
2 、 1 X 10 ’ l(g、’mm’てd)る
。
」二た)1持はね12[)の先端の球と球軸受けの刀り
は41いものど11に定づ゛る。
は41いものど11に定づ゛る。
このキー、甲、第1表に示されイ)ように41り測定精
度に大幅な51じνをもたらり。これLL実験11′1
宋ともより−12しCいイ)ことか111f n2され
ている。
度に大幅な51じνをもたらり。これLL実験11′1
宋ともより−12しCいイ)ことか111f n2され
ている。
ト1;Cのような問題点に刻しく、)1持(まねの剛1
1−を強化りることも考え1′)れるか、この揚台には
、剛性を強化りるため(1持はねの長さを変えづ゛、線
(¥を太く了jると検出(幾tf4 c3にス4りるス
ライダー13の自由度が減少したり、さらにスライダー
のメインスケールにλ・1する押1土力が増大し、1.
′〔つてスライダーの1,14動抵抗の増大による操1
′]性の低トあるいLL接触力過大による第7図に示9
四動駒1Bの淳托の増加性の♀Ii 1.:な問題点を
牛しる。
1−を強化りることも考え1′)れるか、この揚台には
、剛性を強化りるため(1持はねの長さを変えづ゛、線
(¥を太く了jると検出(幾tf4 c3にス4りるス
ライダー13の自由度が減少したり、さらにスライダー
のメインスケールにλ・1する押1土力が増大し、1.
′〔つてスライダーの1,14動抵抗の増大による操1
′]性の低トあるいLL接触力過大による第7図に示9
四動駒1Bの淳托の増加性の♀Ii 1.:な問題点を
牛しる。
これに拓1して、例えは、スライダーを線状ばねにより
昌faj+、土ねの基端方向に引張った状rさC,腕部
に支1.’J L、これによって移動方向の力による片
持(Jねの撓みによる測定誤差のざC牛を抑制づるよ−
)にした変位測定装置が考えられる。
昌faj+、土ねの基端方向に引張った状rさC,腕部
に支1.’J L、これによって移動方向の力による片
持(Jねの撓みによる測定誤差のざC牛を抑制づるよ−
)にした変位測定装置が考えられる。
しかしながらこの変位測定装置は、スライダーをメイン
スケールに押圧するためイ・」勢手段を別に設けな【ノ
ればならず、装置寸法が増大し小型化できず、まlこ、
スライダーがメインスケールの表1r11にjQ随しく
移動りるためには、メインスケールの表面のうねりの範
囲内Cスフイタ−1)1変位できるように線状ばねの(
尭みをa′[容りる構成としな(Jればならず、従つ(
スライダーの移動方向の力による該線状ばねの撓みによ
る測定誤差を充分に小さくできないという間m魚が残る
。
スケールに押圧するためイ・」勢手段を別に設けな【ノ
ればならず、装置寸法が増大し小型化できず、まlこ、
スライダーがメインスケールの表1r11にjQ随しく
移動りるためには、メインスケールの表面のうねりの範
囲内Cスフイタ−1)1変位できるように線状ばねの(
尭みをa′[容りる構成としな(Jればならず、従つ(
スライダーの移動方向の力による該線状ばねの撓みによ
る測定誤差を充分に小さくできないという間m魚が残る
。
このyこ明は上記<、’C>l<の問題点に鑑み延なさ
れたものであつ(、ス/7−ルの<−L復動による1′
!)動抵抗がスライダー支持部(4に影響を与えないよ
う(こし−C1測定精度を向上さけることができるよう
にした変位測定装置を提供jることを目的とづる。
れたものであつ(、ス/7−ルの<−L復動による1′
!)動抵抗がスライダー支持部(4に影響を与えないよ
う(こし−C1測定精度を向上さけることができるよう
にした変位測定装置を提供jることを目的とづる。
また口の光明は、装置寸法が小さく小型化できるように
した変位測定装置を提供す°ることを目的とげる。
した変位測定装置を提供す°ることを目的とげる。
まlζこの発明は、スフイタ−を支持するための支持部
拐およびスフイタ゛−をメインスケールに押圧するため
のイー]勢千fジの取付けが容易な変位測定装置を提供
り゛ることを[」的どす゛る。
拐およびスフイタ゛−をメインスケールに押圧するため
のイー]勢千fジの取付けが容易な変位測定装置を提供
り゛ることを[」的どす゛る。
この光明は、第1部材に取で」けられた第1検知1月−
と、第2部(Aに)l’< tJけられ、かつ、この第
2部材ととも(こ前記第1検知14\に治ってtj復動
可能どされた第2検知休と、基端部が前記第2部月に取
(=Jけられ、先端部において前記第2検知体を第1検
知体に夕=J t、 T 、往復動方向ど略直交する方
向に押圧し、前記第′1検り、11体と第2検知休との
相対移動から、前記第1 、i:;よひ第2部材の相対
変位を測定づ゛る変(rx測定賃間【二おいC1前記第
2部材おJ:び第2検知体のそれぞれに、その往1隻1
IIJ 7’j向ど平行な同一直線上に位置する受座を
設け、かつ、一端が前記第2 Fil′S ’t3の受
座に、他端が前記第2検り、11体の受座に、ぞれぞれ
回動可能に係合され、これによって該第2部材と第2検
知体を連結する高剛性連結軸部材と、この高剛性連結軸
部材を前記位置111隻動力向ど略直交し、かつ、その
両端部を前記第2部4号および第2検知体受座に押圧す
る方向に付勢丈る付勢手段とを設けることにより上記目
的を達成り−るものである。
と、第2部(Aに)l’< tJけられ、かつ、この第
2部材ととも(こ前記第1検知14\に治ってtj復動
可能どされた第2検知休と、基端部が前記第2部月に取
(=Jけられ、先端部において前記第2検知体を第1検
知体に夕=J t、 T 、往復動方向ど略直交する方
向に押圧し、前記第′1検り、11体と第2検知休との
相対移動から、前記第1 、i:;よひ第2部材の相対
変位を測定づ゛る変(rx測定賃間【二おいC1前記第
2部材おJ:び第2検知体のそれぞれに、その往1隻1
IIJ 7’j向ど平行な同一直線上に位置する受座を
設け、かつ、一端が前記第2 Fil′S ’t3の受
座に、他端が前記第2検り、11体の受座に、ぞれぞれ
回動可能に係合され、これによって該第2部材と第2検
知体を連結する高剛性連結軸部材と、この高剛性連結軸
部材を前記位置111隻動力向ど略直交し、かつ、その
両端部を前記第2部4号および第2検知体受座に押圧す
る方向に付勢丈る付勢手段とを設けることにより上記目
的を達成り−るものである。
またこの発明は、前記変位測定装置において、前記高剛
性連結軸部材の前記第2部材および第2倹り、11体の
受座に係合りる両端部を球4](とじ、かつ、前記両受
座を、該球状端部(こス・jl、ちづ“る形状としC1
同一り向に間1」さU−(、前記第2部材および第2検
知体に設(Jることにより上記目的を達成づるしのであ
る。
性連結軸部材の前記第2部材および第2倹り、11体の
受座に係合りる両端部を球4](とじ、かつ、前記両受
座を、該球状端部(こス・jl、ちづ“る形状としC1
同一り向に間1」さU−(、前記第2部材および第2検
知体に設(Jることにより上記目的を達成づるしのであ
る。
以−ド本発明をn5記第′1図ないし第3図iこ小され
るJ:・)な従来ど同様の変位測定装置に適用しlこ実
施例につき説明りる。この実施例において、前記第1図
ないし第8図に示される変位測定装置と同一または相当
部分にはこ枕らと1ij−の符号をY)・]−ツること
ににり説明を省略り゛るものとり°る。
るJ:・)な従来ど同様の変位測定装置に適用しlこ実
施例につき説明りる。この実施例において、前記第1図
ないし第8図に示される変位測定装置と同一または相当
部分にはこ枕らと1ij−の符号をY)・]−ツること
ににり説明を省略り゛るものとり°る。
口の実施例は、第9図ないし第11図に小されるよう(
こ、前記従来と同様の変位測定装置において、前記検出
)浅場3におけるメインスケール10の近傍まで延長さ
れた腕部5の先端およびスライダー13に、それぞれ、
ぞの往復動力向ど平i′Jな同一直線」−に位置す゛る
受座20および21を設け、かつ、一端が前記腕部すの
受座20に、他端が前記スライダー′13の受座21に
、それぞれ回動司能に係合され、これによって該検出機
構3とスライダー13を連結り゛る高Mll性連結軸部
材22と、この高剛性連カ、′、軸部材22を前記往復
動方向と略直交し、かつ、その両端部を前記腕部5 J
jよぴスライダー13の受座20 a3よぴ21に押j
土する方向に1・49″3リ−61・」勢手段たるj1
縮コイルはね23を設け、これによって前記高I’lN
生連結軸部材22の先端によりスライダー13がメイン
スケール10の第1の操作基準面と並用された目盛面1
0△側およびメインスケール10の目盛面10Bと直交
づ−る第2の操作阜準面である端面10C側にそれぞれ
押L[′?lるようにしたものである。
こ、前記従来と同様の変位測定装置において、前記検出
)浅場3におけるメインスケール10の近傍まで延長さ
れた腕部5の先端およびスライダー13に、それぞれ、
ぞの往復動力向ど平i′Jな同一直線」−に位置す゛る
受座20および21を設け、かつ、一端が前記腕部すの
受座20に、他端が前記スライダー′13の受座21に
、それぞれ回動司能に係合され、これによって該検出機
構3とスライダー13を連結り゛る高Mll性連結軸部
材22と、この高剛性連カ、′、軸部材22を前記往復
動方向と略直交し、かつ、その両端部を前記腕部5 J
jよぴスライダー13の受座20 a3よぴ21に押j
土する方向に1・49″3リ−61・」勢手段たるj1
縮コイルはね23を設け、これによって前記高I’lN
生連結軸部材22の先端によりスライダー13がメイン
スケール10の第1の操作基準面と並用された目盛面1
0△側およびメインスケール10の目盛面10Bと直交
づ−る第2の操作阜準面である端面10C側にそれぞれ
押L[′?lるようにしたものである。
前記高剛性連結軸部(A22は、前記珪縮コイルばね2
3によるはね力を、はとんど撓みを生じることなくスラ
イダー13に伝jヱT:きる程度の曲げ1(]!l性を
有するものでi15る。
3によるはね力を、はとんど撓みを生じることなくスラ
イダー13に伝jヱT:きる程度の曲げ1(]!l性を
有するものでi15る。
前記腕部5側の受座20は、前記スフイタ−13の往復
動方向と略直交方向、かつ、メインスケール10から離
間する方向に間口されに筒状であつ又、底面が断面字形
状の円錐!M 2 OAどされ、また前記受座21は、
前記スライダー13の111見動方向と18i自2Ii
向、か゛つ、メインスケール10h)らt’lf1間り
るIノ向に間口された筒状であつ−(1代面は断面V字
形状の円>It R2’l△とされ、また、両者は1つ
、剛性連結軸部材22の棒状部22Cの(1通をル′1
容する1、−めに、筒状壁の相対りる位置に軸fG+方
向のスリブh 20 S 13 J、び′21Sが形成
され(いる。
動方向と略直交方向、かつ、メインスケール10から離
間する方向に間口されに筒状であつ又、底面が断面字形
状の円錐!M 2 OAどされ、また前記受座21は、
前記スライダー13の111見動方向と18i自2Ii
向、か゛つ、メインスケール10h)らt’lf1間り
るIノ向に間口された筒状であつ−(1代面は断面V字
形状の円>It R2’l△とされ、また、両者は1つ
、剛性連結軸部材22の棒状部22Cの(1通をル′1
容する1、−めに、筒状壁の相対りる位置に軸fG+方
向のスリブh 20 S 13 J、び′21Sが形成
され(いる。
前記高剛性連結軸部(A?2の両端にはJJ(状端部2
2△、2213が形成され、これら球状端部22A、2
213 Lt、前記腕部すの先端に形成された筒状の受
座20おJ:び前記スライダー13の中央部に取イ」(
ノられた筒状の受小21とにそれぞれ1■合され、これ
によって高剛性連結軸部材20を介してスライダー゛1
33が腕部5と連動して往復動Cきるようにされるとと
もに、球状端部22Δ、2213ど前記円相溝20.2
′IAとの接触により、前記スリブh 2 OSおよび
213に治った若−(の揺動を具′1容するようにされ
−Cいる。
2△、2213が形成され、これら球状端部22A、2
213 Lt、前記腕部すの先端に形成された筒状の受
座20おJ:び前記スライダー13の中央部に取イ」(
ノられた筒状の受小21とにそれぞれ1■合され、これ
によって高剛性連結軸部材20を介してスライダー゛1
33が腕部5と連動して往復動Cきるようにされるとと
もに、球状端部22Δ、2213ど前記円相溝20.2
′IAとの接触により、前記スリブh 2 OSおよび
213に治った若−(の揺動を具′1容するようにされ
−Cいる。
また、従来の1:11動駒の代りに、前記メインスケー
ル10の目熱面1013ならびに端面10Cに転接りる
1」−゛ノ271△および24Bかスライダー193に
取f、Iけl)れ−Cいる。
ル10の目熱面1013ならびに端面10Cに転接りる
1」−゛ノ271△および24Bかスライダー193に
取f、Iけl)れ−Cいる。
前記スライダ−13の、メインスケール10の目盛面1
0[3にΦ11接づる[−1−ラ2/IAはスライダー
13の移動方向前後端部の、前記端面10Gに近い側に
一如IJ3よひこ1しと反夕・j側てかつ移動方向中央
部に1個、訓33個取イ・」けられるどどもに、前記O
M ln+ 10 G (:1転If f ルD −ラ
2 /I [3ハスy イクー’+ 3の住1(コ動万
面前後−11設+)られ−しいる。
0[3にΦ11接づる[−1−ラ2/IAはスライダー
13の移動方向前後端部の、前記端面10Gに近い側に
一如IJ3よひこ1しと反夕・j側てかつ移動方向中央
部に1個、訓33個取イ・」けられるどどもに、前記O
M ln+ 10 G (:1転If f ルD −ラ
2 /I [3ハスy イクー’+ 3の住1(コ動万
面前後−11設+)られ−しいる。
この実施例においては、検出+FW (f’f 3側の
腕部5どスライダー133どかほどんど撓みが3ユしな
い高剛性連結軸部材22によって連結され、かつ、廿ツ
1−状態で高剛性連結軸部材22かスライダー13の移
動lj向と平(jにされているので、スライダー13の
往復動に際し−Cの移動方向の力によって高剛性連結軸
部(A20がほど/Vど撓むことがなく、測定の誤差を
太幅に小さくすることCきる。
腕部5どスライダー133どかほどんど撓みが3ユしな
い高剛性連結軸部材22によって連結され、かつ、廿ツ
1−状態で高剛性連結軸部材22かスライダー13の移
動lj向と平(jにされているので、スライダー13の
往復動に際し−Cの移動方向の力によって高剛性連結軸
部(A20がほど/Vど撓むことがなく、測定の誤差を
太幅に小さくすることCきる。
例えば、前jホの(8)式かられかるように、高剛性連
結軸部(第22の球状端部2213における荷重方向の
変位λは、該高剛性連結軸部材22のIlh而2面t−
メン1〜に逆比則り−るので、第1図ないし第ε3図に
示される従来の連結部材であるIJl持ばね12]3の
線仔Q、8n1mに対しく、本実施例にお()る高剛性
連結+1’+t+部(A22の心任2nll11を比軸
りるど、その断面2次t−メン1〜は約3918となり
、従って、本実施例にd3(〕るスライダー13の往1
9動方向の誤差【よ、前記?、を末の変位測定装置の場
合と比較して約39分の1となり太幅に改善(きること
になる。
結軸部(第22の球状端部2213における荷重方向の
変位λは、該高剛性連結軸部材22のIlh而2面t−
メン1〜に逆比則り−るので、第1図ないし第ε3図に
示される従来の連結部材であるIJl持ばね12]3の
線仔Q、8n1mに対しく、本実施例にお()る高剛性
連結+1’+t+部(A22の心任2nll11を比軸
りるど、その断面2次t−メン1〜は約3918となり
、従って、本実施例にd3(〕るスライダー13の往1
9動方向の誤差【よ、前記?、を末の変位測定装置の場
合と比較して約39分の1となり太幅に改善(きること
になる。
また、一般的に本実施例のようにスライダー13どメイ
ンスケール10の間にこまの代りに1.1−ラ24△、
24「3を取イ・」けるど、摩1察抵抗が;賎少して1
8動方向の何重が低減りるために、該荷車に基づく測定
誤差は減少り−るが、本発明におけるJ、うな変位測定
装置が取イ」(〕られる■作1幾械等の摺動Ij向の振
動の加速度による影響を受け、結果としC大幅な測定誤
差が生じてしまうという問題点があるが、この実施例の
場合は、高剛性連結軸部材の剛性を1−介入きくできる
ので、高剛性連結軸部(422がほどんど1尭むことが
なく、T作機械等の振動がスライダー13にりえる影響
を抑制することがてさる。
ンスケール10の間にこまの代りに1.1−ラ24△、
24「3を取イ・」けるど、摩1察抵抗が;賎少して1
8動方向の何重が低減りるために、該荷車に基づく測定
誤差は減少り−るが、本発明におけるJ、うな変位測定
装置が取イ」(〕られる■作1幾械等の摺動Ij向の振
動の加速度による影響を受け、結果としC大幅な測定誤
差が生じてしまうという問題点があるが、この実施例の
場合は、高剛性連結軸部材の剛性を1−介入きくできる
ので、高剛性連結軸部(422がほどんど1尭むことが
なく、T作機械等の振動がスライダー13にりえる影響
を抑制することがてさる。
g′なりら、i、c来は、スラーrター13の自由度を
支仝な飴だtJ’ Mt jl’、 シな(Jれ(,1
,ならないのて、ハ持ばねの摺動り向の剛性を1分人き
くできず、i]fつて171動駒のか4つりに、抵抗の
少ない「1−ラを取で」()た場合、IIIJ11j向
の振動の加速度がスライダ−13に作用し、 、1−1
1持ばねに摺動力向の撓みが生ずることを防止−Cきな
かったか、本実施例τ′は、高剛性連結軸部材22によ
り、この撓Iノ光生を直重てきる。
支仝な飴だtJ’ Mt jl’、 シな(Jれ(,1
,ならないのて、ハ持ばねの摺動り向の剛性を1分人き
くできず、i]fつて171動駒のか4つりに、抵抗の
少ない「1−ラを取で」()た場合、IIIJ11j向
の振動の加速度がスライダ−13に作用し、 、1−1
1持ばねに摺動力向の撓みが生ずることを防止−Cきな
かったか、本実施例τ′は、高剛性連結軸部材22によ
り、この撓Iノ光生を直重てきる。
またこの実施例におい−(は、例え1;1高剛性連結軸
部(A22の一端にねじりコイルは4Dを装架した場合
と比較し又、付勢手段たる圧縮コイルはね23のばね力
変動が小さいので、スライダー13をメインスケール1
0に押圧づ′る力を一定とすることができ、更に、メイ
ンスケール10の目盛面10△または10Bのうねり等
へのスライダー13の追従性を良好にすることができる
という利点がある。
部(A22の一端にねじりコイルは4Dを装架した場合
と比較し又、付勢手段たる圧縮コイルはね23のばね力
変動が小さいので、スライダー13をメインスケール1
0に押圧づ′る力を一定とすることができ、更に、メイ
ンスケール10の目盛面10△または10Bのうねり等
へのスライダー13の追従性を良好にすることができる
という利点がある。
史に、この実施例は、同一のプj向に聞1−」シた受座
20.21(ご高11す性連結軸部拐22の両端を押圧
しているのC11宍+ f’l’l性連結軸部(422
の反力を安定しく支持Cさ、かつ、受用20.21(二
よつ゛(高rlllll 1it一連結軸部U 22
ヲ、スライダー13の移IJJ方向ど平tjに支持して
いるので撓み変形し史(J小さくてき、f、u ′つ℃
測定?5度を向上さけることができる。
20.21(ご高11す性連結軸部拐22の両端を押圧
しているのC11宍+ f’l’l性連結軸部(422
の反力を安定しく支持Cさ、かつ、受用20.21(二
よつ゛(高rlllll 1it一連結軸部U 22
ヲ、スライダー13の移IJJ方向ど平tjに支持して
いるので撓み変形し史(J小さくてき、f、u ′つ℃
測定?5度を向上さけることができる。
なJ′3上記実施例【よ、スジイタ−13かメインスケ
ール′10の目盛面10△、10[3に押1(−qるこ
とによ一つC1両者間の距11+1を一定に1h1つも
の(d)るが、本発明はこれに限定されるしの−(なく
、スライダー′13がメインスケール゛10を抱込むよ
うにしで配置され、該メインスケール′10の目盛面1
(、)へ、1013から81[間り−るij向にf」勢
す−ることによって、両者間の距Rffを一定にり−る
ような型式の変位測定器にも適用されるものである。
ール′10の目盛面10△、10[3に押1(−qるこ
とによ一つC1両者間の距11+1を一定に1h1つも
の(d)るが、本発明はこれに限定されるしの−(なく
、スライダー′13がメインスケール゛10を抱込むよ
うにしで配置され、該メインスケール′10の目盛面1
(、)へ、1013から81[間り−るij向にf」勢
す−ることによって、両者間の距Rffを一定にり−る
ような型式の変位測定器にも適用されるものである。
従って、この場合は、第12図に示されるようtこ、受
座20.210fJ向を前記第9図ないし11図に示さ
れる第1実施例と逆方向にづるとどもに、f=J勢1・
段として1干縮二1(ル(Jね230代りに引張り=1
()1.r IJ ;1.p 23△(二より、高1’
lll l’l連結部伺22を検出数R’f +3方向
に引張り、これによつ4、月(4人端部22△、221
3が受14り20.21(こぞれそ1し押)1吏るよう
にりる。
座20.210fJ向を前記第9図ないし11図に示さ
れる第1実施例と逆方向にづるとどもに、f=J勢1・
段として1干縮二1(ル(Jね230代りに引張り=1
()1.r IJ ;1.p 23△(二より、高1’
lll l’l連結部伺22を検出数R’f +3方向
に引張り、これによつ4、月(4人端部22△、221
3が受14り20.21(こぞれそ1し押)1吏るよう
にりる。
また、図に(j示され−(いないが、1−1−ラ24△
+)jよび2 /l 13 Lll、目盛面゛10△、
10[3ど反対方向からメインスフノール10に1転接
りるよ′うに配置り る 。
+)jよび2 /l 13 Lll、目盛面゛10△、
10[3ど反対方向からメインスフノール10に1転接
りるよ′うに配置り る 。
さらにまた、前記実施(ウリは高1411性)虫帖軸部
月を丸棒形状どじlども03Cあるか、木光明はこれに
限 定されるしの(なく、高剛性連結軸部942
2は細長部(号であれはよく、従゛つて、例えは中空の
バイブ形状等であ゛つ(もよい。
月を丸棒形状どじlども03Cあるか、木光明はこれに
限 定されるしの(なく、高剛性連結軸部942
2は細長部(号であれはよく、従゛つて、例えは中空の
バイブ形状等であ゛つ(もよい。
このバイブIlj 4jtの場合は、その車量に比較し
く大きな断面2次し−メン1〜をIfられるのC1前記
実施例に比較しくよりIf適であるどい′)利点かある
。
く大きな断面2次し−メン1〜をIfられるのC1前記
実施例に比較しくよりIf適であるどい′)利点かある
。
また上記実施例は、スライダー13をメインスケール1
0の2つの基準面によってカイトづるいわυ)る2面カ
イトの型式をどるしのであるが、本ざを明けこれに限定
されるものでなく、メインスケール以外の他の而例えば
細1にケース1にカイト而を作りこれを刀イドとして利
用りるもの−(あっ(もよい。
0の2つの基準面によってカイトづるいわυ)る2面カ
イトの型式をどるしのであるが、本ざを明けこれに限定
されるものでなく、メインスケール以外の他の而例えば
細1にケース1にカイト而を作りこれを刀イドとして利
用りるもの−(あっ(もよい。
また上記実施例(:、東、本光明を光q′烙子を40用
した変位測定装置に利用した場合のものでdうるが。
した変位測定装置に利用した場合のものでdうるが。
本発明は、第゛1部1才に取イ」りられた第1(う目、
+1 f4Vと、第2部材に取(J+、Jられ、かつ、
この第2部材どどちに前記第゛1倹知陣に沿って往復動
可能とされた第2検知体と、前記絹2検知体を第1検知
1本に対しで、i11!、z動り向ど略直交す−る方向
に押紅りるf=J勢手段ど、を有し、前記第1検知体と
第2検知休との相対移Φ1ノから、前記第1 +3よび
第2部材の1.1対変位を1lill定りる変位測定装
置1こつき一般的にiU用されるもので゛ある。
+1 f4Vと、第2部材に取(J+、Jられ、かつ、
この第2部材どどちに前記第゛1倹知陣に沿って往復動
可能とされた第2検知体と、前記絹2検知体を第1検知
1本に対しで、i11!、z動り向ど略直交す−る方向
に押紅りるf=J勢手段ど、を有し、前記第1検知体と
第2検知休との相対移Φ1ノから、前記第1 +3よび
第2部材の1.1対変位を1lill定りる変位測定装
置1こつき一般的にiU用されるもので゛ある。
従って、゛疫位の検出手段どしC接点式、電U1式、静
電容hN式専の、2つの検知体の相対移動から2つの部
+4の相対変位を測定する変位測定装置に一般的に適用
されるものである。
電容hN式専の、2つの検知体の相対移動から2つの部
+4の相対変位を測定する変位測定装置に一般的に適用
されるものである。
本発明は上記のように(1へ成したの−C12つの検知
体の相対移動の際における11!1動抵抗ノJ +3
J:び゛IH動方向の振動の1jt1速度の13¥AI
に基づく第2検知休と第2部イオを連動さく!る高剛性
連結軸部(、イの撓jJ、ならびにこの撓みに呈つく測
定誤着を解消もしくは大幅に;成牛さヒることか(−き
るという慢れた効果を角りる。
体の相対移動の際における11!1動抵抗ノJ +3
J:び゛IH動方向の振動の1jt1速度の13¥AI
に基づく第2検知休と第2部イオを連動さく!る高剛性
連結軸部(、イの撓jJ、ならびにこの撓みに呈つく測
定誤着を解消もしくは大幅に;成牛さヒることか(−き
るという慢れた効果を角りる。
1□1に高1ツリ性連結軸部(イは、2つの倹7.11
(41の(目り4移mJノ方向ど平tJに配回されて
いるので、摺動抵抗力による曲げ力が生じないという効
果がある。
(41の(目り4移mJノ方向ど平tJに配回されて
いるので、摺動抵抗力による曲げ力が生じないという効
果がある。
第1図は従来の変位測定装置を示づ一断面図、第2図は
第1図ノJT −II 線ニ沿う[Ui iR+ 図、
第3図は第1図のIll −lit線に沿う断面図、第
4図は該従来の変位測定装置にお(〕るハ持ばねの形状
を示り明示正面図、第5図は同片持ばねの理想的使用状
態を示づ゛明示正面図、第6図は同11持ばねの実際の
使用状態における形状を示丈略示正面図、第7図は同ハ
持ばねの実際の使用状態の解#li ’Lア゛ルを示?
J′略示正面1.第8図は第7図に示される11持ばね
の変形状態を示り略小正面図、第9図(よホ冗明を第1
図と間柱の変位測定装置に適用した場合の実施例を小す
一部++h面どした正面面図、第10図は第9図のI
X−I X線断面図、第11図は第9図のX 、I −
X 1♀iil I’Ji而図、面12図【五本光明の
第2実施例の要部を承り止面図Cある。 ′1・・・細■(ケース(第1部材)、3・・・検出機
(j4〈第2部材)、 10・・・インj“ツクススケール(第1検知体)、1
J・・・スフイタ−(第2検知体)、14・・・イン
ラックススケール(第2検知休)、20.21・・・災
座 22・・・高剛性連結軸部伺、 22△、2213・・・球状端部、 23・・・圧キ宿=Jイル(まね(イ・」勢手段)、2
3Δ、23+3・・・コイルばね(イ・」勢手段)。 代理人 松 山 十 Bjくほか1名) 第 1 図 第2図 11 1′7篇3図 第4図 第5図 第6 図 第7図 第8図
第1図ノJT −II 線ニ沿う[Ui iR+ 図、
第3図は第1図のIll −lit線に沿う断面図、第
4図は該従来の変位測定装置にお(〕るハ持ばねの形状
を示り明示正面図、第5図は同片持ばねの理想的使用状
態を示づ゛明示正面図、第6図は同11持ばねの実際の
使用状態における形状を示丈略示正面図、第7図は同ハ
持ばねの実際の使用状態の解#li ’Lア゛ルを示?
J′略示正面1.第8図は第7図に示される11持ばね
の変形状態を示り略小正面図、第9図(よホ冗明を第1
図と間柱の変位測定装置に適用した場合の実施例を小す
一部++h面どした正面面図、第10図は第9図のI
X−I X線断面図、第11図は第9図のX 、I −
X 1♀iil I’Ji而図、面12図【五本光明の
第2実施例の要部を承り止面図Cある。 ′1・・・細■(ケース(第1部材)、3・・・検出機
(j4〈第2部材)、 10・・・インj“ツクススケール(第1検知体)、1
J・・・スフイタ−(第2検知体)、14・・・イン
ラックススケール(第2検知休)、20.21・・・災
座 22・・・高剛性連結軸部伺、 22△、2213・・・球状端部、 23・・・圧キ宿=Jイル(まね(イ・」勢手段)、2
3Δ、23+3・・・コイルばね(イ・」勢手段)。 代理人 松 山 十 Bjくほか1名) 第 1 図 第2図 11 1′7篇3図 第4図 第5図 第6 図 第7図 第8図
Claims (2)
- (1)第1部材に取付けられた第1検知休ど、第2部−
材に取イ]けられ、かつ、この第2部材どどもに前記第
1検知体に沿って往復動可能とされた第2検知体と、基
端部が前記第2部材に取イ」けられ、先端部において前
記第2検知体を第1検知体に対して、往復動方向と略直
交する方向に押圧し、前記第1検知体と第2検知体との
相対移動から、前記第1および第2部材の相対変位を測
定する変位測定装置において、前記第2部材および第2
検知体のそれぞれに、その往復動力向と平行な同一直線
上に位置する受座を設置ノ、かつ、一端が前記第2部材
の受座に、他端が前記第2検知体の受座に、それぞれ回
動可能に係合され、これによって該第2部材と第2検知
体を連結する高剛性連結軸部材と、この高剛性連結軸部
材を前記位置往復動方向と略直交し、かつ、その両端部
を前記第2部材および第2検知体の受座に押圧する方向
に付勢するイ」約手段とを設りたことを特1Gとりる変
位測定装置。 - (2)前記高剛性連結軸部材の前記第2部材Jjよび第
2検知体の受座に係合づる両端部を球状どし、かつ、前
記両受席を、該球状端部に対l卜する形状として、同一
方向に開口させて、前記第2部材および第2検知休に設
けたことを特徴とする特9′[請求の範囲第1項起載の
変位測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16136182A JPS5950311A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16136182A JPS5950311A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 変位測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5950311A true JPS5950311A (ja) | 1984-03-23 |
Family
ID=15733622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16136182A Pending JPS5950311A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 変位測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5950311A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60247108A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-06 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 直線型変位測定装置 |
JP2006191963A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Kiyoyuki Takenaka | ファスナー |
CN102426002A (zh) * | 2011-08-31 | 2012-04-25 | 天津大学 | 钢模合模在线测量***和方法 |
CN110967171A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-07 | 中车大同电力机车有限公司 | 螺旋弹簧横向刚度的测量装置及测量方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6325284A (ja) * | 1987-07-17 | 1988-02-02 | 旭化成株式会社 | 化粧alc板 |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP16136182A patent/JPS5950311A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6325284A (ja) * | 1987-07-17 | 1988-02-02 | 旭化成株式会社 | 化粧alc板 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60247108A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-06 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 直線型変位測定装置 |
JP2006191963A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Kiyoyuki Takenaka | ファスナー |
CN102426002A (zh) * | 2011-08-31 | 2012-04-25 | 天津大学 | 钢模合模在线测量***和方法 |
CN110967171A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-07 | 中车大同电力机车有限公司 | 螺旋弹簧横向刚度的测量装置及测量方法 |
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