JPS59501233A - 光ディスク書き込み／読み出し用の焦点・トラッキング制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光ディスク書き込み／読み出し用の焦点・トラッキング制御装置本発明は光ディ スクにおいて光学的に清報を書き込み／読ろ出すための装置に関するものである 。特に、本発明は光ディスクの所望のトラックの上に鋭い焦点において書き込み ／読み出しビームを維持することの問題について書かれている。

従来の光デイスク技術では、微小で（通常１ミクロン或はそれ以下の大きさ）光 学的に検出可能なマークのらせん又は同心トラックを有するディスク素子を使用 している。そのようなマークを記録する（書き込む）技術の１つは、ディスクを 放射（例えばレーザーから）の小さく焦点に集束したスポットを用いて走査する という方法による。そのスポットは省き込まれる情報を示す電気信号によりｊ− ＯＦＦ又はＯＮ」　に変調される。情報（・ま、変調されておらず、同じように 小さく、鋭く焦点を合わされたスフピットを用いてトラックを走査することによ って再生されろ（読み出される）。再生されたｉ情報は、光検出器より得られる 変動電気信号として得られ、その光検出器は記録されたディスクより反射される 変調された読み出し光を感知する。

このような微小なマークとしての情報を書き込み且つ読み出すために、比較的高 い開口数（例えばＮ、Ａ、　）０．３　）の光システムが相等に微小なスポット に光の焦点を合わせるのに使用される。そのような光学システムは非常に浅い焦 点を持ち、書き込み／読み取りをするスポットを鋭い焦点に保ちさらにディスク が回転するのに従って所望のトラック上に中心を置いておくことは困難である。

２ 上記の焦点／トラッキングの問題の−っの解決策は、高精度のターンテーブルを 、光ディスクをあらかじめ定められた平面に維持し且つ回転させるために利用す ることであった。そのような装置は高価であるが、そういう高価なターンテーブ ルを使用してもその」二に複雑な焦点サーボ装置が普通必要とされる。

その装置は集束レンズに関連する光ディスクの記録表面の位置の微小な変動に応 答してレンズ調節に影響を及ぼすものである。

そのような記録表面の微小な変動は、ディスク又はターンテーブルの厚さ変動及 び非均一性、及び装置の振動に起因する。ディスクは高速度（例えば１　ｓ　ｏ 　ｏ　Ｒ，ＰＭ）で回転するため、これらの焦点サーボ装置は高周波数（例えば すりガラス基板のディスクの場合には５００Ｈｚ、型取りプラスティック基板の ディスクの場合は１０６０から３０００Ｈｚの範囲）に応答しなければならない 。高い開口数のレンズは比較的に大型であり、必要なレンズの焦点加速と減速を 行うことをさらに困難にしている。従って、これらの焦点サーボ装置も又高価で あり、こわれ易い。米国特許第４．１９３，０９１号及び第４，３６５，３２． ３号がそのような焦点制御装置の例を開示している。

集束レンズ素子の調節移動を避けるための一つの方法が米国特許第３，６７３， ４１２号及び第４，０５１，５２９号に述べられている。これらの特許の焦点制 御システムにおいては、集束レンズの像の共役関係は、光路の一部分を形成し、 焦点エラー信号に応答して光学軸に沿って調節される可動ミラーによって調節さ れる。これらのシステムは、光路に沿って別の光素子をもたらし、これらは整列 を更に困難にし、加えてディスク表面にて利用可能な光出力を減少させる。この ようなパワー減少は望ましくなく、特に利用できるパワー量が非常に限られてい る高速での記録においてはそうである。米国特許第４，０３７，９２９号及び第 ４，１２４，２７３号は、光電変調器を用いて、集束レンズの像の共役関係を調 節して焦点制御を行う同様の方法を開示している。これらのシステム（・工、同 様に光学的に効率が悪べ、結果として記録表面で利用できる記録能力の低下をも たらす。

前述の視点より、この発明の１つの目的は、上記のようなタイプのデータ記憶と 検索システムに使用する焦点・ｌ・ラッキング制御装置てあり、」二点のような 問題点のないものを提供することである。従来の焦点・トラッキング制御装置の 技術とは対照的に、本発明の装置の特徴は、１き込み／読み出しのスポットがデ ィスク」−の焦点とトラックをはずれている程度を表わした信号に応答して、定 められた光学システムに関係する低量のビームを発生する光源（例えばグイオー ド・レーザー）を移動する装置にある。そのような信号に応答して光源を適当に 移動することによって、書き込み／読み取りスポットは當に焦点の合ったトラン ク上にある。光源は焦点・トラッキング・エラー信号に例外的に素甲−い応答を 示す複数の圧電可撓体に設けられるのが好ましい。

本発明の好適な具体例の下記の説明は次の図面に関するものである。

第１図は本発明を具体化した装置の透視図である。

第２図は第１図の装置の一部分の拡大透視図である。

第３図は第１図に示された装置の他の一部分の拡大断面図である。

第４図は本発明に有用な典型的な光ディスクの断面図である。

第５図は本発明の一具体例の光学図である。

第６図は本発明による焦点検出制御システムの一具体例の構成図である。

下記の説明では、本発明は国際出願ＡＰＣＴ／ＵＳ８１１００７０４に明らかに された型の光ディスク、データ記憶、検索システムに具体化されたものとして示 され、１９８１年１２月２４日に公開された。そのようなシステムは、下記のよ うに、可撓性光ディスクと、それを無理なく中心軸の回りで回転させる装置とを 使用する。この技術は、回転面を非常に良く安定させ、ディスクの記録層の厚さ の変動によるものを除いた焦点合わせのニジ−を最小限にとどめる。この発明は この型のシステムには特に有効であるが（焦点及びトラッキングの修正が最小限 になるため）、この発明の装置は光源（下記のような）のわずかに太きな動きを 鋭い焦点とトラッキングを維持するために必要とするシステムにも使用可能であ ることが明らかであろう。

第１図と第３図には、本発明の実施として、可撓性光ディスクを正確に安定させ るための一つの好適な具体例が示されている。第１図に示された書き込み／読み 取り装置のノ・ウジフグ３０内には、回転可能な駆動シャフト３１がそのデツキ ３３に垂直な回転軸を伴なって設けられている。安定した基準面３４はシャフト ３１と同心状にデツキ３３上に調節可能なように取りイ」けてある。光ディスク １３はキャップ３６で駆動シャフト３１０頂部３５に取り付けられている。

シャフト３１はモーター（図示せず）に結合されており、そのモーターはシャフ ト軸がデツキ３３にほぼ垂直である状態に調節するのを容易にするために調節可 能なように取り付けられており、シャフト３１０頂部面３５Ｇ’ｌ：安定した基 準面３４上のあらかじめ定められた高さにある。頂部面３５は回転シャフト軸に 垂直となるように精密に作られろ、。この表面のディスクの中心合わせに関係す る部分は手でシャフトを回して計測された場合回転シャフト軸に垂直な平面から ±０２ミリラジアン以下の変動であるのか望ましい。調節可能な素子（図示せず ンが、基準面３４が頂部面３５に正確（Ｃ平行となり、シャフト３１０回転軸に 正確（（垂直となるように設けられろ。

第３ン）（（最も良く示されているように、クランプ３６は突出した環状クラン プ部分と、シャフト３１の頂部の凹部にぴったり合うよう１ｔこ作られたセンタ リング部分を有する。ディスク１３中の止（イ「に心出しされ且つ寸法を計られ た開口は、このようにして、クランプ３６のセンタリング部分と共にディスクの 中心をシャフト回転軸に正確に合わせることができる。クランプ３６がシャフト の凹部の場所にあって、例えばポル）／１．ＯＫよって、固定されている時、そ の周囲の環状クランプ部分がディスクの下になっている部分をシャフト頂部３５ に、すなわち基準面３４０頂部に平行に固定する。さらに、この周囲のクランプ 部分はディスク１３の周囲部分の外側をその中心・開口の構造により形成される いかなる応力からも分離する。クランプ３６とシャフト３１との周囲はこの回転 軸からの半径方向の距離に関しては±０．００２５ｍｍを越えない変動であるこ ともまた６ 強くめられる。このことは、ディスクとの係合領域が軸に対称であり、ディスク に平均した応力をかけるために重要である。

また、シャフトは与えられたディスクの直径に関し少くともあらかじめ定められ た最低限の直径を有し、ディスクが回転中に半径方向又は接線方向のいずれの方 向ても過度に圧力がかげられないようになっていることが強く望まれる。２８ｎ ｖａで回転している直径３０αのディスクには、直径約２８６ｃｍＩｎ（１＋イ ンチ）のシャフトが大変有用である。

基準面３４中の中心開口は、シャフト３１の直径より大きく、ディスク】３と基 準面３４との間の範囲の半径方向の中心領域に環状の空気通路を残すようになっ ていることがわかる。図示の構造によれば、シャフト３１の２８朋の外径と基準 面３４の開口の３０７１１ｍの内径との間の環状通路は極めて有用である。しか し、との開口の寸法は、回転している間、ディスクと基準面との間が接触するほ ど空気が厳密に絞られずまたそのギャップへの空気の流入が隠かである（即ち、 激しくない）限り、変化し得る。環状通路は基準面の下の７４−スとハウジング ３０の内部を介して大気と自由に連通ずることが望ましい。

第１図と第３図に示された装置がどのようにして書き込みと読み取りのためにデ ィスク１３を回転させることができるのかを説明する前に、ディスク１３自体の 特徴をさらに詳細に説明するのが適当と思われる。特定のディスクの特徴が重要 であるからである。第４図は、断面である有用なディスク１３の一部分を表わし １．そこに示されたディスク装置は支持体４３０反射面４２を覆う記録層４１１ から成って′いることが理解できる。望ましい検出モードは、光に対して、記録 層及び反射層４１．４２から検出器へ反射されるようにすることであり、それ故 、記録層４１は光を読み取るために透明で（そして光を書き込むために吸収可能 で）あることが望ましい。他方、記録層は、書き込み光及び読４出し光の双方に 対して吸収性であり得る。

ディスクの中性面（すなわちその中の拐質が回転時に圧縮されも伸長されもしな いディスク内の平面）を正しく安定回転させるためには、光ディスクが良好な平 坦性と厚さを有することが重要である。ディスクがその中心の開口に対して半径 方向で対称である滑らかで、はぼ円筒状の周囲を有することも又強く望まれる。

平坦１’４ｇ　Ｋ関しては、支持体とディスク自体がほとんどｄ＋＋＃′；つて いずに心がしつかりしていることが非常に望ましい。そのような支持体の拐質の テストとして、薄い、厚さが約０．０１ｍｍで直径が３０ＣＴｎの、提案された 材料で出来ているディスク素子を、平らな面に何の力も加えない状態で置く。デ ィスク素子の周囲又は中心部分がその平面より０．８　ｍｍ以上上がらないこと が望ましい。そのような素子の部分がそのようなテストで０．４ｍｍ以上浮き上 がることは好ましくない。大体において平らであるという特徴を持っていること がわかっている望ましい拐質の１つはＳ　ＩＪエチレン・テレフタレート・フィ ルムベースである。しかしながら、有用な結果は前記の望ましい規準に合致しな （・はぼ平らな支持体材質から得ることも可能であることを理解すべきである。

例えば、有効な環状部分にわたる良好なディスクの安定状態は、ディスク周囲が ６ｍｍ又は１２ｍｍも曲がってし・るディ・８ スフ支持体−でも達成された− 厚さの均一性に・関して、ディスク支持体とディスク自身の厚さの変動は釣上− ２５マイクロメートル以下であることが望ましい。前述のニスター（Ｅｓｔａｒ ）フィルム支持体はこの規定された特性に合致する。また、本発明によれば、さ らに均一の厚さの支持体材質もある応用に有用であることが理解されるべきであ る。例えば、読み出し専用の応用例のように、それ程焦点の深さが要求されない 場合は、有用な材料は定められた規準を越えた厚さ変動を持つことが可能であっ た。

有用であり望ましいディスクの特性を説明したので、安定度の高い状態で中性面 上でディスクを回転するための望ましい装置の説明にはいる。一般的に、この発 明の光学的実施には、安定した基準面３４が正しく配置され、シャフト３１０頂 部面（つまりディスクのオリエンテーション面）の高塔が基準面３４に関して適 当に配置されることが、非常に重要である。

さらに特筆すべきことは、望ましい基準面の配置には３つ重要な特注があること である。第一に、それは空気力学的に滑らかで特徴のないものでなければならな い。′特徴のない”というのはみそ、開口、センサーが表面にあった従来の技術 と異なった連続的な表面を意味する。削られてみがかれた金属面又はクロムめっ きされた面が滑らかさという点では望ましいことがわかった。第二に、基準面が シャフト３１０回転軸に関して半径方向で対称であり、シャフト頂部３５（すな わち、ディスクオリエンテーション面）の面について突出していないことがめら れる。図に示されている装置の環状基準部材３４により与−えられる表面は当然 この要件に合致する。しかし、基準部材３４０表面形状を、対称的な凹面にし、 つまり、中心軸がら周辺方向へ上に向かって傾いている曲がりによって画、成さ れる回転面として、変更することが望ましいがもしれない。そのような変更は回 転しているディスクが現実により平らになるように安定した状態にすることに有 効である。対称性についてに：、与えられた半径について、基準面はシャフト３ １０回転軸に垂直な平面からｂ４の高さの変動が０．００２５ｍｍ（最も望まし い値は士Ｑ、０１３ｍｍ）以下であることが強く望まれることが見出された。最 後に、基準面の周囲は少なくともディスクの周囲まで伸びているということであ る。すなわち、それはディスクの円周からほぼ半径方向で内側に終端すべぎでは なく、そうでなければ空気がかくはんされ回転しているディスクの効果的安定が 失われる。

上記（で記されているように、シャフト３１０頂部面３５、に関ずろ基準面３４ の高さも又重要である。この距離（第３図中のｈ）の変化の望ましい範囲は、デ ィスクの回転中にディスクと基準面との間に生じる特定の周囲の状態に関して機 能的に最も多（記述できる。つまり、高さｈの最大の望ましい数値は、ディスク が公称速度で回転している時、ディスク周囲の過剰な乱流の状態をちょうど防ぐ 位である。図示のように、厚さ０．１　ｍｍで直径５５ｃｍＩｎのディスクが平 らな基準面上で１８０　ＯＲＰＭ　で回転している場合、最大の高さｈは約０． ３８１ｍとなる。

高さｈの最小値は空気中にある粒子の関数であり、その値（、まどのような場合 においてもディスクと基準面との間の周囲の空１０ 隙を約０’、０１５ｍｍに保つことが可能な値より小さくてはいけない。周囲の ギャップが小さいと２つの逆効果が生じ、効果的な安定状態を妨げる。第一に、 ０．０２５ｍｍのちり粒子が通路にひっかかり空気の流れの薄層状態を乱丁。第 二に、粒子が空気通路をふさぐ程にひっが力りてぃなくても、それらは接近して 相対する表面に静電チャージを起こすように強く衝突する。そのようなチャージ は当該技術においては安定したディスクの飛行に対する大きな障害と見なされて いる。

静電気障害を生じるもう一つの問題は、ディスクが回転を始める間、即ち、その 離面の際に、起こり得る。この段階においては本来ディスクと基準面との間に摩 擦がある。この影響の程度は、基準面の形状（例えばくぼませる）や材質の選択 （すなわちクロムめっきの基準面はプラスティック支持体と関連して静電摩擦的 （で（ま都合良く直列となっている。）によって減少させることができる。ディ スクが素早く離面し始めるようにするのは（望ましくは、例えば、高トルクモー ターと可動部品の比較的軽い材質の使用によって）、有用である。他方周囲を持 ち上げる素子、例えばソレノイド等を使用することも可能であるが、これら（ま 正確に描成され、ディスクが離面し始めた後は素早く引込められ、基準面を特命 の無いようにしなければならない。他の方法としては、例えば、空気注入や異な ったディスク安定化表面配向を、回転開始時のディスクの接触を避けるために用 いることができる。

ディスクの公称回転速度は信号フォーマットに対し選択可能であるが、その速度 は、力学的力がディスクを基準面上の変更された平面状態に合うように十分に高 いものでなければならない。中心領域への空気供給は、大気圧程度のものが望ま しいが、我々は、適当な安定状態がわずかに負の圧力源より得られるということ を見出した。しかし、大気圧に関して、圧力源が正であってはならない。空気導 入手段はその周辺に沿って均一な流れを作ることが望ましく、従って、シャフト と基準面との間の環状の開口が適当である。

従って、適当な形状のディスクが回転のために正しく支えられ、この空気の外へ 向かった動きが全ての半径方向（でついて非常に均一であるならば、高度に安定 した平衡状態がディスクに働く力学的、弾゛注、液体性、引力性の力の間に得ら れる。これはディスクの大きな環状部分の垂直方向の変位に注目すべき安定をも たらし、参照のため引用した前記の国際特許出願ａｇ、ＰｃＴ／ＵＳ８１１００ ７０４　Ｋより詳細に述べられている。回転性平衡平面の安定したその中性面と 共に回転する可撓性の光ディスクと共に、本発明の焦点・トラッキング制御装置 は、第１．２．５．６図に関して下記に述べられるように使用される。

第１図に示されている書き込み／読み出し光学システムは、一般に回転している ディスク１３から光学軸Ａに沿ってほぼ一定の距離にある取り付は装置５２によ って支持された高い開口数（Ｎ、Ａ）の集束レンズ５１を含む。同じように、取 り付は装置５２によって軸Ａに沿って一定に支持されているのは、光源５７（ダ イオードレーザーであることが望ましい）のための移動手段６０（下記により詳 細な説明）と規準レンズ５４である。

光電検出器５８はダイオード８・レーザー５７からの背面放射を２ 受けるように、そして焦点・トラッキング制御回路７１と検出回路８０に出力を 提供するように配置されている。背面放射の強さは、もちろん、ディスクの表面 から反射される光の量によって決まる。レーザー・ビームが鋭く焦点を結ぶ時、 ディスクから反射された光の量はビームが焦点を結んでいない時よりも　−多い 。ビ　−ムが読み取られようとしている光学的マークの上に正しく当たっている ときも同じことが言え、すなわち、ディスクより反射された光はレーザー・ビー ムがデータ・トラック上に正しく当たっている時（（、それがはずれている時よ りも強い（従って背面放射が強い）。焦点・トラッキング・エラー信号発生の詳 細はよく知られている。米国特許第４，３６５，３２３号に詳しい説明がある。

取り付は装置５２は、ディスク１３上の種々の同心状或いはらせん状トラック位 置に光学軸Ａを配置するため匠、ディスク】３に関して半径方向に動くように取 り付けられている。取り付は装置５２はまた、ディスク１３と集束レンズ間の１ はぼ一定の７間隔を維持するように取り付けられている。例えば、取り付は装置 の半径方向に移動する通路は、基準面３４とレンズ５１間の間隔の粗調整を可能 にし、ディスクの種々の半径方向の領域が飛行する種々の高さに関して補償を行 う。

本発明の焦点調節方法の光学的機構は第５図を参照して容易に理解され得る。図 示のように、規準レンズ５４は光源からの焦点距離Ｓにおよそ位置しており、集 束レンズ５１はディスク１３の記録層からの焦点距離Ｏにおよそ位置している。

焦点を調節する方法は、光源５７を光学軸Ａに沿って（焦点レンズ５１に向かっ てもしくはから離れて）レンズ５】を通る光の発散（もしくは集束）の角度を調 整する量ΔＳだけ、はぼ固定された集束レンズ５１に関してディスク記録層面の シフトΔＯを修正する量によって移動することである。

場合、記録面のシフトΔＯを補償するための調整量ΔＳはおよ図に示されている 焦点修正の方法は、０５から１０程度の拡大０（支）を持つ光学システムや、± ６μ以下程度のシフトΔＯを伴なって（前述のように）空気力学的に安定化した 尤ディスクと共に使用するのに非常に適していることがわかる。例えば、コンピ ューターによる光線トレースによって次のことが明らか（（なった。ＮＡ値か０ ．８５の集束レンズとＮＡ値か０５の修正レンズにより、光学システムの収差に よって与えられる幾何学的スポット（レンズ系の設計上の共役関係で作用しない ことによって生ずる）かスカラー回折によって与えられる物理的なスポット寸法 と比較できるようになる前に、２０μの調節範囲が存在するということが見出さ れた。

移動装置６０の好ましい構造は第２図により詳しく示されている。この実施例に おいては、移動装置６０（佳、それぞれ一端が自在な接着剤によって支禍体５２ Ｋｇ持ちばつのように付けである４つの圧電可撓体素子６１．６２．６３．６４ から成る。

可撓体素子はそれぞれ電圧源（特に図示せず）により選択的に作動するために制 御器７０に結合されている。可撓体素子６Ｉと６２は、焦点調整のためにｙ方向 に光源５７を移動する（動１４ 作詩に）ように構成され且つ配向されており、可撓体素子６３と６４はトラック 調整のためＫｘ方向に光源５７を移動する（動作時に）ように配向されている。

第２図（ままた本発明による光源５７と検出器５８の好ましい構造をより明らか に示している。ダイオード・レーザー５７は、光学軸Ａに光を放射するように置 かれたその前面６Ｇとファイバー光束６８に背面放射をもたらすように置かれた 背面６７と共に配向され、この光束はヒート・シンク６９を通り、このヒート・ シンクに設けられた光電検出器５８に達する。書き込みと読み出しの操作中に、 制御器７０は検出器５８がら信号を受け取り、光源５７を光学軸ＡＫ沿って配し 、それによってレンズ５１がディスク記録層にレーザー・ビームを正確に焦点合 わせする可撓体素子６］、、６２に電気信号を送る。

第６図（丈、制御器７０が第２図の構造ｊ（より連続的に焦点調整できろような 典型的な回路を示している。この具体例では、移動装置６０の可撓体素子６１． ６２が（発振器７１からの信号に応答して）連続的に振動され、光源５７をレン ズ５１が正確なスポット焦点を結ぶ範囲内で前後に動かし、レンズ５１がディス ク１３の記録層の前後の間の場所でり移動するようにする。ディスク記録層から 反射される光の振幅は、記録層上のスポット焦点の精度に比例する。反射された 光によってトリガーされたダイオード・レーザー５７の背面放射は、ディスクか ら反射された光の振幅と同期して変化し、検出器５８から対応する可変振幅信号 を出力する。検出器５８からの電気信号は、その出力が回路７３によって発振器 ７１からの連続的な振動信号に加算される同期検出器７２に入力される。同期検 出器７２からの出力信号は、必要とされる調整の大きさに関する情報に加えて、 その入力信号の位相に基く方向に関する１吉報（例えば前方向もしくは後方向） を提供する。増幅回路７４は、修正信号を出力し、光源５７を適当に前後にシフ トする（従って、集束レンズ５１からのビームの焦点修正を行う）可撓体素子に 電圧を与える。

第２図及び第６図はまた本発明のもう１つの非常に有用な面を示している。前述 のように、圧電可撓体６３と６４は光源５７（及び検出器５８）を光学軸Ａに垂 直な方向（ｘ）　Ｋシフトするように取り伺けられている。トラック修正信号に 応答して、ｌ・ラック制御回路８０（当該技術分野で知られているどのようブよ タイプのものでもよい）は、集束レンズ５１の視野内て光源５７を横力間にシフ トさぜる可撓体素子６３．６４に電圧を供給し、トランク調節を行う。図示実施 例のトラック修正は、半径方向のトラッキングが目的であるが、移動装置６０の 適切な再配向によって、接線方向のトラッキング調節を、焦点調節と単に協同し て行うことができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　光源ｌ５７１から放出する光のビームが光学装置（５１，５４）によって回 転する光学ディスク０３）上に集束され、その上で情報のトラックを書き込み又 は読み出すタイプのデータ記憶及び検索システムに使用する焦点及び／又はトラ ッキング制御装置であって、ＭｉＪ記焦点焦点制御装置前記光のビームが前記デ ィスクのトランク上に集束される程度を示す信号を発生する光電装置（５８，７ ０）より成るように構成された前記焦点及Ｏ・／又はトラッキング制御装置にお いて、前記焦点制御装置（′！、更に、前記ビームが最も尖鋭に集束される位置 を変化させるために、前記光学装置に関して前記光源を選択的に移動ずろ移動装 置（６０）より成り、該移動装置は、前記信号に応答して、前記ビームを前記デ ィスク上の尖鋭な焦点に維持するために前記光源の位置を連続旧に調節するよう に構成さ２ｔたことを特徴とする焦点及び／又はトラッキング制御装置。 ２　前記光源間は、低質量のソリッド・ステート光エミッターより成り、前記移 動装置（６０）は圧電可撓体装置（６ｔ−６４）より成ることを特徴とする請求 の範囲第１項記載の装置。 ３　前記ソリッド９・ステー　ト光エミッターがダイオード・レーザーより成る ことを特徴とする請求の範囲第２項記載の装置。