JPS5946502A - 干渉光の位相検出器 - Google Patents
干渉光の位相検出器Info
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- JPS5946502A JPS5946502A JP15707382A JP15707382A JPS5946502A JP S5946502 A JPS5946502 A JP S5946502A JP 15707382 A JP15707382 A JP 15707382A JP 15707382 A JP15707382 A JP 15707382A JP S5946502 A JPS5946502 A JP S5946502A
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- JP
- Japan
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- optical fiber
- light
- interference fringes
- interference
- polarization
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- Pending
Links
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 37
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシングルモード光ファイバを用いた光干渉計に
係シ、特に、干渉光の位相検出器に関するものである。
係シ、特に、干渉光の位相検出器に関するものである。
従来の干渉縞の測定方法は、一旦干渉光をテレビカメラ
で撮影してその像の明るさを部分毎に測定する方式であ
った。
で撮影してその像の明るさを部分毎に測定する方式であ
った。
第１図は従来の干渉光の位相検出器の系統図である。シ
ングルモード光ファイノ＜１ａ、１ ｂより放出された
光束は集束性レンズ２α、２ｂを通って平行光束となり
、・・−フミラーで夫々透過又は反射して合成され、集
束性レンズ２Ｃによって集束される。この時集束性レン
ズ２のいずれかの焦点位置からシングルモード光ファイ
ノく１の端面位置をずらすと同心円状の干渉縞を生じる
ので、これをテレビカメラ４で撮影するとテレビ５のフ
゛ラウン管上に同心縞模様の拡大像を生じている。この
画像によって干渉光の位相等を検出していたのである。
ングルモード光ファイノ＜１ａ、１ ｂより放出された
光束は集束性レンズ２α、２ｂを通って平行光束となり
、・・−フミラーで夫々透過又は反射して合成され、集
束性レンズ２Ｃによって集束される。この時集束性レン
ズ２のいずれかの焦点位置からシングルモード光ファイ
ノく１の端面位置をずらすと同心円状の干渉縞を生じる
ので、これをテレビカメラ４で撮影するとテレビ５のフ
゛ラウン管上に同心縞模様の拡大像を生じている。この
画像によって干渉光の位相等を検出していたのである。
しかるにこの場合はテレビカメラが大形のために干渉計
全体が大形となり、これを設置するのに相当の場所を要
するという欠点をもっていた。
全体が大形となり、これを設置するのに相当の場所を要
するという欠点をもっていた。
また、この欠点を除くために第１図の集束性レンズ２ｃ
によって集束された所に直線状のイメージセンサを装着
すれば、小形の検出器で干渉光の位相を検出することが
可能である。しかしこの場合は干渉光の極めて一部分の
光だけしか利用できないので効率が悪く、元来干渉縞の
明るさは微弱であるので、測定精度が低下する等の問題
点をもっていた。
によって集束された所に直線状のイメージセンサを装着
すれば、小形の検出器で干渉光の位相を検出することが
可能である。しかしこの場合は干渉光の極めて一部分の
光だけしか利用できないので効率が悪く、元来干渉縞の
明るさは微弱であるので、測定精度が低下する等の問題
点をもっていた。
本発明は上記従来技術の欠点を解消し、小形高性能であ
る干渉光の位相検出器を提供することを目的とし、その
特徴とするところは、干渉光を集束する集束性レンズの
焦点にバンドル光ファイバノ入口端面を設置し、このバ
ンドル光ファイバの他端は人口端面の輪帯毎に受光検知
する手段を設けて構成したことにある。
る干渉光の位相検出器を提供することを目的とし、その
特徴とするところは、干渉光を集束する集束性レンズの
焦点にバンドル光ファイバノ入口端面を設置し、このバ
ンドル光ファイバの他端は人口端面の輪帯毎に受光検知
する手段を設けて構成したことにある。
第２図は本発明の一実施例である干渉光の位相検出器の
系統図で、第１図と同じ部分には同一符号を付しである
。この場合は集束性レンズ２によって生じた干渉縞の所
にバンドル光ファイバ７の人口端面を設置し、同一干渉
縞を導びいた光ファイバの他端は互いに集合させて複数
本の光ファイバ束Ｌ１〜Ｌ５とし、各光ファイバ束の導
ひいた光を別個の受光素子で検出している。
系統図で、第１図と同じ部分には同一符号を付しである
。この場合は集束性レンズ２によって生じた干渉縞の所
にバンドル光ファイバ７の人口端面を設置し、同一干渉
縞を導びいた光ファイバの他端は互いに集合させて複数
本の光ファイバ束Ｌ１〜Ｌ５とし、各光ファイバ束の導
ひいた光を別個の受光素子で検出している。
第６図は第２図のＡ−Ｂ視拡犬図である。この端面には
太さ１００μｍ程度の光ファイバが無数に結束されて密
に配列されているが、干渉縞の明るい光を導入するＬｌ
、＋ ” Ｂ＋ Ｌ５以外の部分は光ファイバ８を画い
ていない。また、このバンドル光ファイバ７の右半分は
省略しである。
太さ１００μｍ程度の光ファイバが無数に結束されて密
に配列されているが、干渉縞の明るい光を導入するＬｌ
、＋ ” Ｂ＋ Ｌ５以外の部分は光ファイバ８を画い
ていない。また、このバンドル光ファイバ７の右半分は
省略しである。
このように構成した干渉光の位相検出器の操作を次に説
明する。偏波面保存光ファイバ６α、６ｂより導入され
た偏光はハーフミラ−６で合成されて同心円状の干渉縞
を生じているので、バンドル光ファイバ７の分岐束Ｌ１
〜Ｌ５で測定するとＬ１＋ Ｌ９ｒ ” ５の他端に対
向している受光素子は出力を生じる。
明する。偏波面保存光ファイバ６α、６ｂより導入され
た偏光はハーフミラ−６で合成されて同心円状の干渉縞
を生じているので、バンドル光ファイバ７の分岐束Ｌ１
〜Ｌ５で測定するとＬ１＋ Ｌ９ｒ ” ５の他端に対
向している受光素子は出力を生じる。
次に、伺等かの物理的変化によって偏波面保存光ファイ
バ６ｂの偏光面が回転したとすると、バンドル光ファイ
バ７の人口端面における干渉縞が拡大、或いは縮少して
第３図のＬ ２． Ｌ ４の部分が明るくなる。したが
って、バンドル光ファイバ７のＬ２．Ｌ４に対向する受
光素子は光を受光して出力が増加し、他の受光素子の出
力は低下するので、上記測定個所の物理的変化を高感度
で知ることができる。
バ６ｂの偏光面が回転したとすると、バンドル光ファイ
バ７の人口端面における干渉縞が拡大、或いは縮少して
第３図のＬ ２． Ｌ ４の部分が明るくなる。したが
って、バンドル光ファイバ７のＬ２．Ｌ４に対向する受
光素子は光を受光して出力が増加し、他の受光素子の出
力は低下するので、上記測定個所の物理的変化を高感度
で知ることができる。
本実施例の干渉光の位相検出器は、偏波面保存光ファイ
バを通った偏光を・・−フミラーで合成し、第６の集束
性レンズで集束させて干渉縞を生じさせる。これをバン
ドル光ファイバの人口端より導入して各輪帯毎に分岐さ
せて結束した光ファイバ束に導びいて検出することによ
り、上記偏波面保存光ファイバに加わる歪等を検出して
作用する物理量を高感度で測定できるという効果が得ら
れる。
バを通った偏光を・・−フミラーで合成し、第６の集束
性レンズで集束させて干渉縞を生じさせる。これをバン
ドル光ファイバの人口端より導入して各輪帯毎に分岐さ
せて結束した光ファイバ束に導びいて検出することによ
り、上記偏波面保存光ファイバに加わる歪等を検出して
作用する物理量を高感度で測定できるという効果が得ら
れる。
上記実施例においてはバンドル光ファイバの分岐端り、
〜Ｌ５の各々に受光素子を対向させてその出射光を検出
しているが、これらの分岐端を直線状に配列し、直線状
に配列したイメージセンサを配置して検出するようにす
ることもできる。この場合はその出力信号の状況から干
渉縞の移動が良く知れるという利点が得られる。
〜Ｌ５の各々に受光素子を対向させてその出射光を検出
しているが、これらの分岐端を直線状に配列し、直線状
に配列したイメージセンサを配置して検出するようにす
ることもできる。この場合はその出力信号の状況から干
渉縞の移動が良く知れるという利点が得られる。
また、バンドル光ファイバを分岐させることなくイメー
ジガイド光ファイバを用いたときは、バンドル光ファイ
バ７の他端で干渉縞の変化を直接光ることができる。
ジガイド光ファイバを用いたときは、バンドル光ファイ
バ７の他端で干渉縞の変化を直接光ることができる。
本発明の干渉光の位相検出器は次のような効果をもって
いる。
いる。
（１） テレビカメラ等の大形のものを使用しないの
でコンパクトな干渉計とすることができる。
でコンパクトな干渉計とすることができる。
（２） 干渉縞の光量をできるだけ利用するようにし
ているので、検出感度が向上する。
ているので、検出感度が向上する。
（３）干渉部とバンドル光ファイバ７の光出力を受光検
知する部分とを分離して使い易い検出器を構成すること
ができる。
知する部分とを分離して使い易い検出器を構成すること
ができる。
第１図は従来の干渉光の位相検出器の系統図、第２図は
本発明の一実施例である干渉光の位相検出器の系統図、
第６図は第２図のＡ−Ｅ視拡大図である。 １ニシングルモード光フアイバ、 ２：集束性レンズ、６：ハーフミラ−，４：テレビカメ
ラ、５：テレビ、 ６：偏波面保存光ファイバ、
本発明の一実施例である干渉光の位相検出器の系統図、
第６図は第２図のＡ−Ｅ視拡大図である。 １ニシングルモード光フアイバ、 ２：集束性レンズ、６：ハーフミラ−，４：テレビカメ
ラ、５：テレビ、 ６：偏波面保存光ファイバ、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一対の直線偏光による円形干渉縞の縞移動を検出し
て行う光干渉光の位相検出器において、上記干渉光を集
束する集束性レンズの焦点にバンドル光ファイバの人口
端面を設置し、このバンドル光ファイバの他端面は上記
人口端面の輪帯毎に受光検知する手段を用いて構成した
ことを特徴とする干渉光の位相検出器。 ２、上記人口端面の輪帯毎に受光検知する手段が上記他
端面を上記輪帯毎に集束して夫々の受光素子に対向させ
る手段である特許請求の範囲第１項記載の干渉光の位相
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15707382A JPS5946502A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 干渉光の位相検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15707382A JPS5946502A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 干渉光の位相検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946502A true JPS5946502A (ja) | 1984-03-15 |
Family
ID=15641643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15707382A Pending JPS5946502A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 干渉光の位相検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946502A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209103A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-21 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 距離測定装置および距離測定方法 |
| JPH01187406A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Rikagaku Kenkyusho | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP15707382A patent/JPS5946502A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209103A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-21 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 距離測定装置および距離測定方法 |
| JPH0569161B2 (ja) * | 1984-03-16 | 1993-09-30 | Hewlett Packard Co | |
| JPH01187406A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-26 | Rikagaku Kenkyusho | 等間隔干渉縞の位置検出法ならびに位置検出装置 |
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