JPS5930006A - 長尺スケ−ル装置 - Google Patents

長尺スケ−ル装置

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JPS5930006A
JPS5930006A JP14016482A JP14016482A JPS5930006A JP S5930006 A JPS5930006 A JP S5930006A JP 14016482 A JP14016482 A JP 14016482A JP 14016482 A JP14016482 A JP 14016482A JP S5930006 A JPS5930006 A JP S5930006A
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JP
Japan
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scale
graduation
scales
adjustment
coupler
Prior art date
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Pending
Application number
JP14016482A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunio Toshimitsu
邦夫 利光
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
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Publication date
Application filed by Nikon Corp, Nippon Kogaku KK filed Critical Nikon Corp
Priority to JP14016482A priority Critical patent/JPS5930006A/ja
Publication of JPS5930006A publication Critical patent/JPS5930006A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/02Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、測長器の継合わせスケール、特に光学測長器
における継合わせによる長尺スケール装置に関する。
大型工作機械などのように移動台の移動量が大きく、そ
の測定長が1メートル以上にもなると、もはや1本の鵬
“密ガラススケールではその目盛の長さが不足する。そ
れ故、複数のスケールを長手方向に継ぎ合わせた継合わ
せ長尺スケールが用いられる。この継合わせに長尺スケ
ールとしては、例えば特公昭53−33071号の特許
公報に記載されているように、複数のガラススケールを
継ぎ合わせ、その上に長い透明ガラス板を貼り付は固定
して1本の透明な継合わせ長尺スケールに形成したもの
や、特開昭54・−161・3“54号の公開特許公報
により公開されている如く、継ぎ合わされた枚数のガラ
ススケールの幅方向の縁部を補強板で挟んで接着固定し
て一本の継合わせ長尺スケールに形成したものなどが知
られている。
上記の継合せ長尺スケールは、いずれも比較的短い別の
基準スケールをその継合わせ部に重ね合わせて設置し、
継合わせ部の間隔調整が行われるが、その際、前者の公
知例は、目盛の重なり部に生じるモアレ縞の喰違いを観
察して間隔調Il1行うもので、細かいピッチの目盛の
場合には、モアレ縞の間隔が細かくなるか、縞の幅が広
くなって、目視により正確な読み取りおよび位置決めを
行うとと−は困難である。また後者の公知例は目盛の明
部と暗部を重ね合せることにより間隔調整を行うもので
あるが、その重なり状態を検出するだめの光電変換器か
らの電気信号は、目盛のピッチずれ、モアレ縞、継合わ
せスケール同士のギャップ変化等すべてを電蝕した結果
であって、その電気信号に基づいてスクール間隔が調整
されても、そのスケールの位置決めが必ずしも正確にな
されたことにはならず、信頼性の高い長尺スケールは得
られない。
さらにまた、上記の2つの公知例のものは、その間隔調
整のために、いずれも、2本のスケールを継ぎ合わせた
長さにほぼ等しい長さの大型微動調整台を設備巳な・け
ればな)゛らず、工作機械などが設置された現地におい
て継合わせ作業を行うことは極めて困難である。
また一方、上記のような長大な微動調整台を使用するこ
となく、直接、工作機械のベッドなどにスケールを固定
して継ぎ合せを行う第1A図に示されるような測長器が
例えば特開昭54−9962号の公開特許公報により公
開されている。この継合わせ長尺スケールは、ガラスス
ケール1.1′をそれぞれ支持する中間支持部材2.2
′が第1B図のととくゴムのような弾性を有する中間層
3.3′を介して中空型材4.4′に接着され、この中
空型材4.4′が例えば工作機械のベッドに固定される
ように構成されている。また、各中間支持部材2.2′
にはそれぞれ両端面に調節ねじ5.5′が設けられ、継
合わせ長尺スケールの両端末に設けられた端末片6に支
持された圧力ばね7によってこの調節ねじ5.5′の頭
部が当接するように中間支持部材2.2′は付勢されて
いる。その調節ねじ5.5′の一方または双方を調節す
ることによって、ガラススケール1.1′の間隔が調整
されるので、この継合わせ長尺スケールは、向隔調整の
際忙前述の2つの公知例のような微動調整台を特に設備
することを必要としない利点がある。しかし、この継合
わせ長尺スケールには、スケール面上で各スケールの長
手方向に直角な方向の違い、つまり各スク−ル間隔の測
長方向における直線性(曲り)を修正する手段が設けら
れていないので、目盛帯のピッチが細かい場合には、継
合わせスケール同士の非直線性のために、継目で検出信
号を不正確なものにするという欠点が生じていた。
本発明は、上記のような公知の長尺スケールの欠点を解
決し、各継合わせスクール同士の継目の間隔を調整する
と共に、各スケールの直線性をも調整可能にした正確で
信頼性の高い継合わせによる長尺スケ;−ル装置を得る
ことを目的とする。
以下、添付の図面に示された実施例に基づいて本発明の
詳細な説明する。
第2図は本発明の一実施例を示す継合わせ長尺スケール
の平面図、第3図は第2図の実施例を目盛スケール側か
ら見た立面図、また第4図は第2図の長尺スケールに光
電検出装置を装着し九A−A断面図である。第2図にお
いて、2本の目盛スケール11.11′はこの目盛スケ
ールと膨張係数のほぼ等しい一組の連結器12により継
ぎ合わされ、目盛スケールのほぼ2本分に相当する長さ
を有する基板13上に取付は支持されている。この連結
器12は、基板13の一部に第3図の如く形成された切
欠き溝13aの底面13b上に取付けられたスケール支
持体14.14′と、このスケール支持体14.14′
上にそれぞれ固設された結合金具15.15′と、その
結合金具15.15′金互い・に連結する3本の調整ね
じ16a、16b、16Cとから構成されている。
結合金具15および15′は、第3図に示されている如
くそれぞれ突出部15aおよび15′aを有して左右対
称なL字形に形成され、また、その裏側には第4図の如
くそれぞれ段部15b、15′bが形成されている。ま
た、ポルト17によりて基板13の溝底面13b上に取
り付けられたスケール支持体14.14′と、このスケ
ール支持体14.14′上にそれぞれボルト18によっ
て固設された結合金具15.15′の段部15b、15
’bとの間に目盛スケール11.11′の端部がそれぞ
れ挿入される。その段部15b、15′bと対向するス
クール支持体14、] 4’の目盛スケール接着面14
a、14′aには接着剤が塗付され、挿入された目盛ス
ケール11.11′はその接着剤によって、接着面14
a、14′aにそれぞれ接着固定される。
なお、その目盛スク°−ル11.11′が、接着固定さ
れる際には、結合金具15.15′の段部15b115
′bに螺設されたセット小ねじ19により接着剤の硬化
するまで押え板20を介して押圧され、目盛スケール1
1.11′はスケール支持体14.14′に強固に接着
固定される。
一方、結合金具15.15′の突出部15a、15′a
の両側には第2図の如く調整ねじ1.6a、16bが螺
設されており、一方の結合金具15の突出部15aの中
央には受は金21が植設され、この受は金21に当接す
る別の調整ねじ16cが他方の結合金具15′の突出部
1.5’aの中央部分に螺設されている。この3本の調
整ねじ16a、16b、16cにより、目盛スケール1
1.11′は第2図に示された矢印Xの左右方向および
受は金21の接触部を中心とする矢印yの揺動方向に相
対変位可能に構成されている。
また、基板13の溝13aの深さhは第3図の如くスケ
ール支持体14.14′の厚さに等しく形成され、スケ
ール支持体14.14′が溝底面13bに接したときに
、目盛スケール11.11′は基板13の上面13cに
接するように構成されている。更に基板13の上面には
、わずかな段差の形成された目盛スケール接合部13d
を有し、目盛スケール11.11′は、ゴムのような弾
性を有す中間#22を介して目盛スケール結合部13d
に結合されている。なお、目盛スケール11.11′、
連結器12は、両目盛スケールの調整後に、一方の端縁
にシールリップ23全セnイ八肩する上カバー24およ
び下カバー25により保護される。
第5図は、本発明の要部をなす連結器の別の実施例で、
この連結器112は、基板113および右側の目盛スケ
ール11を支持するスケール支持体114以外は第2図
乃至第4図と同じであるから、その同じ部分の説明は省
略する。第5図において、左側のスケール支持体14′
は、右側のスケール支持体114から左方に伸びた突出
部114b上に固設され、結合金具15.15′を含む
連結器112は一体に形成されている。従って、この場
合には、スケール支持体114.14′ヲ基板113」
−に取付けることなく、目盛スケール11.11′を予
め継ぎ合わせた状態に保つことができる利点がある。尚
、第5図において中間層22はスケール支持体114.
114′と基板113との間まで延設してもよい。
さて、上カバー24が除かれた第2図の状態において、
連結器12と共に目盛スケール11.11’が取付けら
れた基板13が、例えば工作機械のベッドに取付けられ
た後に、測長のための光電検出装置が第4図の如く取付
けられる。この光電検出装置は、例えば工作機械の移動
台に設けられ、目盛スケール1】、11′の長手方向に
沿って移動可能な検出ペース26と、シールリップ23
に接する連結部27を介してこの検出ベース26と接続
された光電検出部28とから構成されている。この光電
検出部28は、光源とコンデンサーレンズを備えたラン
プハウス28aと、目盛スケールをはさんでランプハウ
ス28aと対向すると共に、検出用インデックススケー
ルと受光素子を備えた検知部28bとから構成されてい
る。
尚、検出用インデックススケールは、継ぎ合わされる目
盛スケール11.11′の裏面に不透明線と透明スリツ
トを交互に配列して形成された目盛帯11 ab 11
a’ (第2図参照)と同じスケール目盛を有する。
次だ上記の実施例の作用および組立て調整作用について
説明する。
まず、目盛スケール11.11’を連結器12に取付け
ふ前に、連結器12の左右の結合金具15.15′を連
結している両端の2本の調整ねじ]、 6 a、16b
をはずして、ボルト18によってスケール支持体14.
14′に固定された結合金具15.15′を左右に分離
する。次に、スケール支持体14.14′の目盛スケー
ル接着面14a、14a′にそれぞれ接着剤を塗布する
。そして、この面14a、14a′と結合金具15.1
5′の段部15b、15′bとの間に目盛スケール11
.11′がそれぞれ挿入されるように目盛スケール11
.11′及び結合金具15.15’を配置する。さらに
目盛スケール11.11’の端縁が結合金具15.15
′の突出部15a、15a’の端面から第2図の如くわ
ずかに突出する如く、スケール支持体14.14′を目
盛スケール11.11’に対してそれぞれ設置する。
スケール支持体14.14’を目盛スケール11.1 
]’の端部に設置する位IUが決定したならば、目盛ス
ケール】】、11′と段部15b、15b′との間にそ
れぞれ押え板20を挿入し、ボルト18を締め付ける。
さらにこの押え板20を介して・それぞれ3個のセント
小ねじ19により、目盛スケール接着面14a、14a
’の接着剤が硬化するまで目盛スケール11.11′を
抑圧する。
目盛スケール1.L11’がスケール支持体14.14
′にそれぞれ強固に接着されたならば、次に、基板]3
の目盛スケール接合部13dに硬化しても弾性を有する
接着剤例えばゴム系の接着剤を塗布して中間N22を形
成するか、または予め形成された弾性を有する板状の部
材、例えばゴム系の中間層22上に接着剤を塗布する。
そして、その接着剤が乾かないうちに、目盛スケール1
1.11′全基板1・3上に載置する・と共にい目盛ス
ーケール゛11.11′の端部に設けられたスケール支
持体14.14′が基板13の溝底部13bに接するよ
うに目盛スケール11.11′の位置を定める。さらに
、その目盛スケール11.11′の長手方向と基板13
の長手方向とがほぼ平行にhるように目盛スケール11
.11′の方向を定めた後に、それぞれ3本のボルト1
7にてスケール支持体14.14′ヲ基板13上に固定
する。
さて、目盛スケール11.11′の基板13への数句け
が終了したならば、結合金具15と15′を調整ねじ1
6 a、 16 b、 16 cで連結した後、第2図
中、左側のスケール支持体14′を固定している3本の
ポル)17’にわずかに緩める。そして、調整ねじ16
a、16b、16c’e回転して、結合金具15′、ス
ケール支持体14′及び目盛スケール11′を基板13
に対して微動させて、継目間隔と目盛帯J 1. a、
11a′の平行度(直線性)とをlI!l整する。この
場合、調整ねじ16Cは継目間隔を規定するように働き
、両側の調整ねじ16aと16bは目盛スケール11′
を調整ねじ168と受は金21との当接点を中心にして
目盛帯11a111a’u−含む平面内で第2図の如く
y方向に揺動するように働く。このため、調整ねじi6
aと16bは締め付けることによって結合金具15′を
結合金具15の方へ引き寄せ、調整ねじ16cは締め付
けることによって結合金具15′ヲ結合金具15から押
し離すように設けられている。
以上のようにして、目盛スケール11′を微動させて継
目における目盛帯の連続性、すなわち継目間隔を目盛ピ
ンチの整数倍にする調整と、目盛帯11aと11a′と
の測長方向における直線性の調整とを行なう。尚、この
際、目盛スケール11′は基板13に対してわずかに移
動するが、弾性変形する中間層22が設けられているの
で、目盛スケール11′が目盛帯11a′を含む面内で
湾曲することはない。
そして、この調整が終ったら、左側のスケール支持体1
4′を3本のボルト17で基板13に締結し、カバー2
4.25を取り付けることによって長尺スケール装置が
完成する。
このように、本実施例によれば3本の調整ねじ16a、
16b、16Qk各々押しねじ、引きねじとして使って
いるので、目盛スケール11と11′の連結が極めて強
固なものと力る。
なお、上記の実施例においては、スケール支持体14.
14′、114と結合金具15.15′全それぞれ別体
にて構成したが、両者を一体に形成しても差支えない。
また調整手段としての3本の調整ねじのうち、中央部の
調整ねじ16cは間隔を拡げるだめの押しねじ、両端の
調整ねじ16a116X)は間隔を狭めるど共に目盛ス
ケールを屈曲させるだめの引きねじとして作用するよう
に構成した75よ、逆に中央部を引きねじとし両端を押
L7ねじに41に成しても同様の作用、効果が得られる
ことd、言う壕でもない。
次に、本発明における調整手段のその他の実施例を第6
図に基づき説明する。第6図において、前述の各実施例
と同一の部材については同一の符号を与えである。この
実施例では、前述の3本の調整ねじのうち、調整ねじ1
6bを設けた位置に引張バネ30を設け、結合金具15
と15′を引っ張るJ:うにする。その他の調整ねじ1
6a、16Cは前述の実施例と同一に設ける。このよう
か構成において、調整ねじ16aを調整すると、2つの
目盛スケール11と11′は調整ねじ16eと突出部1
5aとの当接点を中心として、目盛帯11a、Ila”
e含む平面内で屈曲させられる。さらに調整ねじ16a
と16Cを共に調整すると、目盛スケール11と11′
の継目間隔が変化する。すなわち調整ねじ16cは継目
間隔を規制する働きを有し、調整ねじ16aは、その規
制された間隔内で目盛帯11aと11a′の平行度(測
長方向における直線性)を調整する働きを有する。  
 ′この実施例によれば、3本の調整ねじのうち1本を
バネ部材に置き換えたので、2本の調整ねじたけで極め
て簡単に調整が行なえる利点がある。
以上の各実施例では、連結金具15.15′を別々のも
のにして、目盛スケールILII’の継合わせ端部に夫
々固定していた。ところが第7図に示すように、左右の
連結金具をコの字形に一体に形成した金具115を用い
ても、同様の作用、効果が得られる。この金具115に
は、コの字形の開放側すなわち目盛スケール11.11
′との接着固定側が紙面と同一面内でわずかに開閉揺動
するように、コの字形の閉成側に3本のすり割115a
、’ 115b、115cが互いちがいに設けられてい
る。そして、目盛スケールの継目方向とほぼ平行に、突
出部115dと115eとが延長される。この突出部1
】5d、115eには第6図の実h7!1例と同様に作
用する調整ねじ16a、16cが設けられている。この
実施例の場合、金具115のすり割を設けた部分が、第
6図の引張バネ30の働きに相当する。
さて、この実施例においても、調整ねじ16aと16c
を共に調整すると、突出部115dと115eの間隔、
すなわち目盛スケールの継目間隔が変化し、調整ねじ1
6ai調整することによって目盛スケールが屈曲する。
この実施例においても、調整ねじは2本しかないので調
整が極めて簡単ニー/z、Lという利点があるが、さら
に、2つの目盛スケールを連結する金具115が一体に
形成されているために、目盛スケールの取り付は作業が
極めて簡単、かつ容易になるという利点がある。
址だ金具115自体にすり割による付勢力を持たせてい
るから、調整のために2本の調整ねじの他II:l二(
iTJら部濁を必要どせず、安価な構成となる利点もあ
る。
尚、上記各実施例において、結合金具15.15’や金
具115は目盛スケール11.11′に接着固定される
ことなく、ボルト18によってスケール支持体14.1
4′、114に締結されているだけである。このため上
述の調整が完了し、接着剤が乾いたら、ボルト18をゆ
るめて、結合金具15.15′や金具115を取りのぞ
くことができる。このようにすれば継目部分の断面積が
小さくなり、極めてコンパクトな測長装置が得られると
いう利点がある。
以上の如く本発明によれば、目盛スケールの継合わせの
際、スケール間隔とスケール同士の屈曲とを調整し得る
連結器を設けたので、目盛スケール同士の平行度やピッ
チずれの調整を簡単な操作で確実に行なうことができる
。このため、光電検出装置が継目を通過する際、検出信
号の振幅変動や位相の変化が生じることなく、極めて精
密な測長が可能と々る。また、調整作業のための調整手
段も連結器に設けられているので、装置が小型になる利
点もある。
【図面の簡単な説明】
第1A図は従来公知の継合わせ長尺目盛の平面図、第1
B図は第1A図のB−B断面図、第2図は本発明の一実
施例の平面図、第3図は第2図の実施例を目盛スケール
側から見た立面図、第4図は沃2図の実施例に光電検出
装置を付加した第2図のA−A断面図、第5図は第3図
とは別の実施例の立面図、第6図は本発明における調整
手段の他の実施例を示す平面図、第7図は本発明におけ
る連結器の他の実施例を示す平面図である。 11.11’・・・・・・・・・目盛スケール11a、
lla’・・・・・・・・・目盛帯12.112・・・
・・・・・・連結器13.113・・・・・・・・・基
板 28・・・・・・・・・光電検出装置 出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 、t16図 / 矛4図 48 、f−5図 オ6図 0 オフ図 11ろ(r    II◇仁

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)2つの光学式目盛スケールを測長方向に継ぎ合わ
    せる連結器と;該連結器に設けられて、前記2つの目盛
    スケールの継目間隔を伸縮させる方向と、前記2つの目
    盛スケールを目盛帯と略平行な面内で7ff1曲させる
    方向とに調整可能な調整手段とを備え、前記2つの目盛
    スケールを基板上に取り付ける際、前記調整手段によっ
    て継目にお゛ける目盛帯の間隔と平行度とを調整可能と
    したことを特徴とする長尺スケール装置。
  2. (2)前記連結器は前記2つの目盛スケールの継合わせ
    端部側に夫々固着された第1と第2の結合部材(15)
    、(15’)を有し、前記調整手段は前記目盛スケール
    の継目の延長方向に浦った少なくとも3カ所に設けられ
    て、前記第1と第2の結合部材を連結する3本の調整ね
    じ(16a、16b・]6C)を有17、該3本の調整
    ねじのうち、中央の調整ねじによって継目間隔を調整し
    、他の2本の調整ねじによって2つの゛目盛スケールの
    屈曲を調整することを特徴とする特許請求の範囲第4項
    記載の長尺スケール装置。
JP14016482A 1982-08-12 1982-08-12 長尺スケ−ル装置 Pending JPS5930006A (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS549962A (en) * 1977-06-21 1979-01-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Measuring machine sealed in case for large measuring length

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS549962A (en) * 1977-06-21 1979-01-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Measuring machine sealed in case for large measuring length

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