JPS5923612B2 - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS5923612B2 JPS5923612B2 JP13017380A JP13017380A JPS5923612B2 JP S5923612 B2 JPS5923612 B2 JP S5923612B2 JP 13017380 A JP13017380 A JP 13017380A JP 13017380 A JP13017380 A JP 13017380A JP S5923612 B2 JPS5923612 B2 JP S5923612B2
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- Japan
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- discharge
- microwave
- light source
- cavity
- discharge lamp
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明はマイクロ波放電を利用したマイクロ波放電光
源装置に関する。
源装置に関する。
最近、放電利用の光源装置として高周波放電、特に高周
波にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。
波にマイクロ波を用いた光源装置が注目されている。
従来の有電極の光源装置では、ランプの寿命が電極の消
耗により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置ではランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長く
なるという特長がある。
耗により決定されていたが、マイクロ波を用いた光源装
置ではランプを無電極にできるため、ランプ寿命が長く
なるという特長がある。
また、電極による熱損失がなく、放電のインピーダンス
が初期状態と安定状態で差が小さいため、初期状態での
電力が容易であり、さらに、放電電力がランプ管壁に偏
っている等のために、最大出力到達までの時間が短くな
るという特長もある。
が初期状態と安定状態で差が小さいため、初期状態での
電力が容易であり、さらに、放電電力がランプ管壁に偏
っている等のために、最大出力到達までの時間が短くな
るという特長もある。
第1図はこれらの特長を利用した本発明者らの先行発明
によるマイクロ波放電光源装置の構成を示す縦断面図で
、1はマグネトロン、2はマグネトロンアンテナ、3は
導波管、4は内壁の形状を回転対称形に構成されたマイ
クロ波空胴、5は空胴4と導波管3の接合部に設けられ
たマイクロ波給電口、6は球形に形成された放電灯、7
はファン、8は導波管3の一部に設けられた通気口、9
は空胴4の前面を覆うメツシュ板、10はマグネトロン
1、導波管3、空胴4等を覆う箱体、11は放電灯6を
支持する支持棒である。
によるマイクロ波放電光源装置の構成を示す縦断面図で
、1はマグネトロン、2はマグネトロンアンテナ、3は
導波管、4は内壁の形状を回転対称形に構成されたマイ
クロ波空胴、5は空胴4と導波管3の接合部に設けられ
たマイクロ波給電口、6は球形に形成された放電灯、7
はファン、8は導波管3の一部に設けられた通気口、9
は空胴4の前面を覆うメツシュ板、10はマグネトロン
1、導波管3、空胴4等を覆う箱体、11は放電灯6を
支持する支持棒である。
次に動作について説明する。
マグネトロン1によって発生したマイクロ波は、マグネ
トロンアンテナ2を通じて導波管3中に放射される。
トロンアンテナ2を通じて導波管3中に放射される。
このマイクロ波は導波管3を伝播し、給電口5を通して
空胴4中に放射され、空胴4中にマイクロ波電磁界を形
成する。
空胴4中に放射され、空胴4中にマイクロ波電磁界を形
成する。
このマイクロ波電磁界により、放電灯6中のガスが放電
し、放電灯内壁が熱せられ、管中にある水銀等の金属が
蒸発しガス化されて放電は金属ガスの放電に移る。
し、放電灯内壁が熱せられ、管中にある水銀等の金属が
蒸発しガス化されて放電は金属ガスの放電に移る。
この時、金属の種類に応じた特定の発光スペクトルを持
つ光が発生する。
つ光が発生する。
この光を有効に利用するため、空胴4の後面で反射面を
形成させるとともに前面をマイクロ波は透過させないが
、光は透過させるメツシュ板9で覆い、光を前方のみに
放射させている。
形成させるとともに前面をマイクロ波は透過させないが
、光は透過させるメツシュ板9で覆い、光を前方のみに
放射させている。
放電灯6を球形に形成した場合光源を点光源で近似し、
空胴4の反射面の形状を回転対称形とし、この形状を適
宜設定することにより円形の面域内で所望の照度分布、
例えば均一照度が得られる。
空胴4の反射面の形状を回転対称形とし、この形状を適
宜設定することにより円形の面域内で所望の照度分布、
例えば均一照度が得られる。
また放電灯6は空胴内のマイクロ波電磁界分布の変化の
少ない位置に置くことができるので発光むらは少ない。
少ない位置に置くことができるので発光むらは少ない。
本発明者らの先行発明によるマイクロ波放電装置は上記
のように構成されているので、反射面の形状を適宜設定
することにより、所望の照度分布を得易い。
のように構成されているので、反射面の形状を適宜設定
することにより、所望の照度分布を得易い。
ところが、空胴のマイクロ波インピーダンスは、放電灯
の点灯前と点灯後で異なり、所望の照度分布を得るため
に適宜設定した形状の空胴を点灯後の空胴のインピーダ
ンスでインピーダンス整合させた時、点灯前の状態では
空胴内に電磁界が生じ難いことがある。
の点灯前と点灯後で異なり、所望の照度分布を得るため
に適宜設定した形状の空胴を点灯後の空胴のインピーダ
ンスでインピーダンス整合させた時、点灯前の状態では
空胴内に電磁界が生じ難いことがある。
この場合は生じる電磁界が弱く、放電灯の放電開始電磁
界より弱ければ、放電灯は点灯しない不都合があった。
界より弱ければ、放電灯は点灯しない不都合があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、放電灯に隣接しあるいは放電灯内
に誘電体の放電始動補助体を配したことにより、点灯し
易いマイクロ波放電光源装置を提供することを目的とし
ている。
めになされたもので、放電灯に隣接しあるいは放電灯内
に誘電体の放電始動補助体を配したことにより、点灯し
易いマイクロ波放電光源装置を提供することを目的とし
ている。
第2図は、この発明の一実施例の断面図で、61は球形
の放電灯、12は放電灯61の一部に設けられた放電始
動補助体としての突起でマイクロ波給電口側に向いてい
る。
の放電灯、12は放電灯61の一部に設けられた放電始
動補助体としての突起でマイクロ波給電口側に向いてい
る。
この装置では、放電灯点灯後の安定状態でインピーダン
ス整合させるため、点灯前の状態では空胴内に生じる電
磁界が弱い場合でも、給電口付近では導波管からの漏れ
電磁界があり、放電始動補助体12は誘電体であるため
、この漏れ電磁界を導波し、放電始動補助体12がない
場合に較べて、放電灯内部の電磁界が強まる。
ス整合させるため、点灯前の状態では空胴内に生じる電
磁界が弱い場合でも、給電口付近では導波管からの漏れ
電磁界があり、放電始動補助体12は誘電体であるため
、この漏れ電磁界を導波し、放電始動補助体12がない
場合に較べて、放電灯内部の電磁界が強まる。
したがって、点灯が容易となる。
又、第3図は、この発明の他の実施例を示す空胴の断面
図で111は空胴4の給電口付近に取り付けられた例え
ば低誘電損失のセラミック等の放電灯支持棒、121は
放電灯62の一部に設けられた放電始動補助体としての
突起で支持棒111と螺合させて放電灯を固定するもの
である。
図で111は空胴4の給電口付近に取り付けられた例え
ば低誘電損失のセラミック等の放電灯支持棒、121は
放電灯62の一部に設けられた放電始動補助体としての
突起で支持棒111と螺合させて放電灯を固定するもの
である。
この装置では、支持棒111を給電口5付近に設置する
ことで、より簡単な構成で放電始動補助体121の機能
を発揮させるものである。
ことで、より簡単な構成で放電始動補助体121の機能
を発揮させるものである。
以上のように、この発明は、マイクロ波放電光源装置に
おいて、マイクロ波電磁界を形成するマイクロ波空胴、
上記放電灯に近接して設けられた誘電体の放電始動補助
体からなることを特徴とし、点灯性の良い装置を提供す
るものである。
おいて、マイクロ波電磁界を形成するマイクロ波空胴、
上記放電灯に近接して設けられた誘電体の放電始動補助
体からなることを特徴とし、点灯性の良い装置を提供す
るものである。
第1図は従来のマイクロ波放電光源装置の構成を示す縦
断面図、第2図はこの発明の一実施例によるマイクロ波
放電光源装置を示す断面図である。 第3図は他の実施例を示す図である。 図において、4はマイクロ波空胴、6.61゜62は放
電灯、12,121は放電始動補助体である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
断面図、第2図はこの発明の一実施例によるマイクロ波
放電光源装置を示す断面図である。 第3図は他の実施例を示す図である。 図において、4はマイクロ波空胴、6.61゜62は放
電灯、12,121は放電始動補助体である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 マイクロ波空胴の一部に形成した給電口を通してマ
イクロ波を給電し、この給電されたマイクロ波によって
マイクロ波空胴内にマイクロ波電磁界を形成させるとと
もに、そのマイクロ波空胴内に放電灯を配設したものに
おいて、上記マイクロ波空胴内の給電口と放電灯との間
に放電灯に近接させた誘電体製の放電始動補助体を設け
たことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。 2 放電灯の一部に設けた突起を放電始動補助体とした
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のマイクロ
波放電光源装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13017380A JPS5923612B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13017380A JPS5923612B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5755058A JPS5755058A (en) | 1982-04-01 |
JPS5923612B2 true JPS5923612B2 (ja) | 1984-06-04 |
Family
ID=15027775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13017380A Expired JPS5923612B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5923612B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9048812B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-06-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer |
US9083302B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-07-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator |
US9136818B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-15 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked acoustic resonator comprising a bridge |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5866990A (en) * | 1996-01-26 | 1999-02-02 | Fusion Lighting, Inc. | Microwave lamp with multi-purpose rotary motor |
-
1980
- 1980-09-19 JP JP13017380A patent/JPS5923612B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9048812B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-06-02 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer |
US9083302B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-07-14 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator |
US9136818B2 (en) | 2011-02-28 | 2015-09-15 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Stacked acoustic resonator comprising a bridge |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5755058A (en) | 1982-04-01 |
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