JPS5923405B2 - 透明導電膜のパタ−ニング方法 - Google Patents
透明導電膜のパタ−ニング方法Info
- Publication number
- JPS5923405B2 JPS5923405B2 JP15086278A JP15086278A JPS5923405B2 JP S5923405 B2 JPS5923405 B2 JP S5923405B2 JP 15086278 A JP15086278 A JP 15086278A JP 15086278 A JP15086278 A JP 15086278A JP S5923405 B2 JPS5923405 B2 JP S5923405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- transparent conductive
- substrate
- transparent
- patterning method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透明導電膜のパターニング方法に関するもので
ある。
ある。
本発明の目的は光学的及び物性的に均一な透明導電膜構
造を基板上に施することにある。
造を基板上に施することにある。
従来から基板上に形成された透明導電膜はエッチングに
よつてパターニングされて用いられていた。
よつてパターニングされて用いられていた。
そのため基板と物理的段差が生じ液晶表示に用いた時配
向不良の原因となつていた。又透明電極は一般に反射率
が基板材料より高いため特に全反射方向でパターンが確
認され液晶表示、EL表示、EPID表示等に不都合点
となつていた。本発明はかかる欠点を解決したものであ
り、基板上に透明導電膜足る均一な材料がありながらそ
の電気的特性が極度に(導電性と非導電性)異なつた部
分がある、つまり電気的にパターニングされた透明導電
膜が存在するといつた新規な技術である。第1図は本発
明の透明導電膜の構造であり1は基板でガラス、セラミ
ック、金属、高分子フィルム等から成る、2及び3は透
明導電膜足る材料であり、酸化スズ、酸化スズ・酸化ア
ンチモン・酸化インジウム・酸化インジウム・酸化スズ
等から成り、2は導通部、3は非導通部である。2及び
3は電気的に全く異なるが、光学的、表面物性的にはほ
とんど同等である。
向不良の原因となつていた。又透明電極は一般に反射率
が基板材料より高いため特に全反射方向でパターンが確
認され液晶表示、EL表示、EPID表示等に不都合点
となつていた。本発明はかかる欠点を解決したものであ
り、基板上に透明導電膜足る均一な材料がありながらそ
の電気的特性が極度に(導電性と非導電性)異なつた部
分がある、つまり電気的にパターニングされた透明導電
膜が存在するといつた新規な技術である。第1図は本発
明の透明導電膜の構造であり1は基板でガラス、セラミ
ック、金属、高分子フィルム等から成る、2及び3は透
明導電膜足る材料であり、酸化スズ、酸化スズ・酸化ア
ンチモン・酸化インジウム・酸化インジウム・酸化スズ
等から成り、2は導通部、3は非導通部である。2及び
3は電気的に全く異なるが、光学的、表面物性的にはほ
とんど同等である。
本発明の透明導電膜構造は次のようにして製造される。
基板1にCVD、スパッタリング、スプレー、真空蒸着
等で透明導電膜を全面に形成した後、2なる部分をオー
バーコートする形にレジスト4で被覆し、酸化性雰囲気
(酸素を含んだ雰囲気、酸素プラズマ、アーク、コロナ
放電下、陽極酸化等)で処理すると、2なる部分はレジ
スト4により酸フ化が防止されるから導通性が保持され
、3なるオーバーコートの存在しない部分は非導通とな
る。
基板1にCVD、スパッタリング、スプレー、真空蒸着
等で透明導電膜を全面に形成した後、2なる部分をオー
バーコートする形にレジスト4で被覆し、酸化性雰囲気
(酸素を含んだ雰囲気、酸素プラズマ、アーク、コロナ
放電下、陽極酸化等)で処理すると、2なる部分はレジ
スト4により酸フ化が防止されるから導通性が保持され
、3なるオーバーコートの存在しない部分は非導通とな
る。
多分3なる部分は透明導電膜材料に酸素が供給されn型
半導性がなくなり真性半導体となつたものと思われる。
このようにすれば基板上に任意の電!5極がパタニング
が出来るわけである。セグメント表示、ドットマトリッ
クス表示等かなり複雑なパターニングも自由にできる。
例えば、加熱前において、透明導電膜がsno2−X、
In2o3−χであるが、加熱によV3の部分はsno
2、In2o3等■0真性半導体となつて絶縁体となる
。酸化スズ透明 酸化インジ 導電膜 龜゛I導 導電部比 2.5×103Ω肩 1.5×104Ω層抵抗 非導電部 1Ek1×108Ω溝以上 1×108Ω砺以上本発明
の構造をもつた透明電極構造は液晶表示EL表示、EC
表示、EPID表示、PLZT表示等のデイスプレイと
して時計、テレビ、電卓、グラフイツクデイスプレイ等
に応用される。
半導性がなくなり真性半導体となつたものと思われる。
このようにすれば基板上に任意の電!5極がパタニング
が出来るわけである。セグメント表示、ドットマトリッ
クス表示等かなり複雑なパターニングも自由にできる。
例えば、加熱前において、透明導電膜がsno2−X、
In2o3−χであるが、加熱によV3の部分はsno
2、In2o3等■0真性半導体となつて絶縁体となる
。酸化スズ透明 酸化インジ 導電膜 龜゛I導 導電部比 2.5×103Ω肩 1.5×104Ω層抵抗 非導電部 1Ek1×108Ω溝以上 1×108Ω砺以上本発明
の構造をもつた透明電極構造は液晶表示EL表示、EC
表示、EPID表示、PLZT表示等のデイスプレイと
して時計、テレビ、電卓、グラフイツクデイスプレイ等
に応用される。
その他、光学的測定セル、ヒーター コンデンサー用電
極、IC電極等に用いられる。以下実施例に従つて本発
明を説明する。
極、IC電極等に用いられる。以下実施例に従つて本発
明を説明する。
実施例 1
ガラス基板上全面にCVD法によつてSncl4から透
明導電膜を形成した。
明導電膜を形成した。
この基板をFETN方式液晶表示用電極として必要セグ
メント形状にフオトレジストをコーテイングした。その
後550℃の空気雰囲気中で1時間焼成した。その結果
レジストをオーバーコートした部分は比抵抗の上昇は約
10%だつたのに対し露出された部分は完全に非導通と
なつた。このような電気的パターニングされた基板に水
平配向処理を行い液晶パネルを組み立て、加速エージン
グを行なつたところ、従来の段差のある透明電極基板を
用いたとき透明電極と基板の境界に配向不良が発生した
のに比し非常に安定した配向が得られた。又反射板を用
い腕時計用液晶表示に用いたとき従来品はある角度によ
つて透明電極が見え外観的に悪印象を与えたのに比し本
発明品は全く均一で透明導電膜は確認できなかつた。こ
のように電気的にはパターニングされてはいるが表面物
性的、光学的な均一基板は従来にない効果をあげた。
メント形状にフオトレジストをコーテイングした。その
後550℃の空気雰囲気中で1時間焼成した。その結果
レジストをオーバーコートした部分は比抵抗の上昇は約
10%だつたのに対し露出された部分は完全に非導通と
なつた。このような電気的パターニングされた基板に水
平配向処理を行い液晶パネルを組み立て、加速エージン
グを行なつたところ、従来の段差のある透明電極基板を
用いたとき透明電極と基板の境界に配向不良が発生した
のに比し非常に安定した配向が得られた。又反射板を用
い腕時計用液晶表示に用いたとき従来品はある角度によ
つて透明電極が見え外観的に悪印象を与えたのに比し本
発明品は全く均一で透明導電膜は確認できなかつた。こ
のように電気的にはパターニングされてはいるが表面物
性的、光学的な均一基板は従来にない効果をあげた。
第1図・・・本発明の透明導電膜の構造。
1・・・基板、2・・・導通部、3・・・非導通部。
Claims (1)
- 1 基板に形成した透明導電膜上に、電極として必要な
形状を有してレジストをコーティングし、酸化性雰囲気
中で加熱することにより、前記レジストをコーティング
した部分が導電性となり、コーティングしなかつた部分
が非導電性となる様に構成したことを特徴とする透明導
電膜のパターニング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15086278A JPS5923405B2 (ja) | 1978-12-05 | 1978-12-05 | 透明導電膜のパタ−ニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15086278A JPS5923405B2 (ja) | 1978-12-05 | 1978-12-05 | 透明導電膜のパタ−ニング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5576505A JPS5576505A (en) | 1980-06-09 |
JPS5923405B2 true JPS5923405B2 (ja) | 1984-06-01 |
Family
ID=15505998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15086278A Expired JPS5923405B2 (ja) | 1978-12-05 | 1978-12-05 | 透明導電膜のパタ−ニング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5923405B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62116396U (ja) * | 1986-01-10 | 1987-07-24 |
-
1978
- 1978-12-05 JP JP15086278A patent/JPS5923405B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5576505A (en) | 1980-06-09 |
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