JPS59230471A - 表面波モ−タ - Google Patents
表面波モ−タInfo
- Publication number
- JPS59230471A JPS59230471A JP58103270A JP10327083A JPS59230471A JP S59230471 A JPS59230471 A JP S59230471A JP 58103270 A JP58103270 A JP 58103270A JP 10327083 A JP10327083 A JP 10327083A JP S59230471 A JPS59230471 A JP S59230471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- piezoelectric
- surface wave
- slots
- mover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電効果により生ずる表向波を利１１１して
、回転速！ＩＩ！ｌＡ５直線運動を得るようｔこした表
面波を−９に関Ｊ６゜ 従来から広く用いられているモータは電磁駆動にＪ、る
ｂのでＡ）るか、最近、＾すＪ率お、１：σ１ｈ冒告の
簡素化を１指して、圧電効果を利用したモータがｒＩＪ
ｌ究されつつある１、これらの圧電モータは、いずれも
圧電振動片の１ｉｌｉ曲振動を回転運動に変換するよう
にしたものであるが、ＩＭ 造の簡素化は十分はかられ
ておらず、また、回転方向や速度を変えるなどの制御性
もいまだ不十分なものでありた。
、回転速！ＩＩ！ｌＡ５直線運動を得るようｔこした表
面波を−９に関Ｊ６゜ 従来から広く用いられているモータは電磁駆動にＪ、る
ｂのでＡ）るか、最近、＾すＪ率お、１：σ１ｈ冒告の
簡素化を１指して、圧電効果を利用したモータがｒＩＪ
ｌ究されつつある１、これらの圧電モータは、いずれも
圧電振動片の１ｉｌｉ曲振動を回転運動に変換するよう
にしたものであるが、ＩＭ 造の簡素化は十分はかられ
ておらず、また、回転方向や速度を変えるなどの制御性
もいまだ不十分なものでありた。
モこで本発明は、Ｅ［：雷効果により生ずる表面波を利
用覆ることにより、回転運動や直線運動を冑るにうにし
たものであり、栴造が簡単、１ｔｌｆｆｉで、１−ルク
が大きく、しかも回転方向および速度を自１１１に変え
ることができる表面波モータを提供することを［ｌ的と
づる。
用覆ることにより、回転運動や直線運動を冑るにうにし
たものであり、栴造が簡単、１ｔｌｆｆｉで、１−ルク
が大きく、しかも回転方向および速度を自１１１に変え
ることができる表面波モータを提供することを［ｌ的と
づる。
双手、本発明の実施例を図面を参照しつつ訂ｊホ１する
。
。
第１図は本発明に基づく表面波モータの平面図、第２図
は半断面図、第３図は第１図にｄ３りるｍ＝１１１線か
らみた拡大断面図である。
は半断面図、第３図は第１図にｄ３りるｍ＝１１１線か
らみた拡大断面図である。
同図において、１は円板状の移動子（ロータ）、２は円
板状の固定子（ステータ）を示し、これらの移動子Ｉ
Ａ−３よび固定子２は、各表面が適当な圧力でもって接
触Ｊるように、軸３および固定ネジ４により結合されて
いる。固定子２の表面には、複数の溝５．６．７．８が
半径り向に設けられ、これらの溝５．６．７．８の両側
面にそれぞれＰ／１−などの圧電索子９．１０．１１．
１２．１３．１４．１５．１［ｉが接もされＣいる。
板状の固定子（ステータ）を示し、これらの移動子Ｉ
Ａ−３よび固定子２は、各表面が適当な圧力でもって接
触Ｊるように、軸３および固定ネジ４により結合されて
いる。固定子２の表面には、複数の溝５．６．７．８が
半径り向に設けられ、これらの溝５．６．７．８の両側
面にそれぞれＰ／１−などの圧電索子９．１０．１１．
１２．１３．１４．１５．１［ｉが接もされＣいる。
より具体的には、固定子２の表面は中心孔の周囲に四部
が形成され、９１周付近のみが移動イ １ど１き触り゛
るＪ：うに構成され、この突出した外周イ・１近１：
！ｉ／＋お、１び圧電素子が設ＣＪられ、表向波が励起
されるものである。各圧電索子は両面に電極が形成され
、−り側の電極はリード線によって導出され、他り側の
電極は固定子２によって導出される。また、軸３は移動
子１どｊ１ｉｌ心状に一体的に設けられている。ざらに
、移動子１の回転を円滑に行わ１するたＶ）、固定イ２
ど固定ネジ４どの間に潤滑用パッＡ−ン１７が介挿され
ている。
が形成され、９１周付近のみが移動イ １ど１き触り゛
るＪ：うに構成され、この突出した外周イ・１近１：
！ｉ／＋お、１び圧電素子が設ＣＪられ、表向波が励起
されるものである。各圧電索子は両面に電極が形成され
、−り側の電極はリード線によって導出され、他り側の
電極は固定子２によって導出される。また、軸３は移動
子１どｊ１ｉｌ心状に一体的に設けられている。ざらに
、移動子１の回転を円滑に行わ１するたＶ）、固定イ２
ど固定ネジ４どの間に潤滑用パッＡ−ン１７が介挿され
ている。
本実施例においＣ１移動子２とリード線１９．２１清
を通しく、各構内の一方側の圧電索子１（）、１２．１
４．１６に畠周波仏シ４を印加Ｊるど、圧電索子の１−
！み撮動によるバイク波（第３図におｔ」る矢印Ａ、Ｂ
）は−／Ｊ向１１１表面波ＳＡＷどく【っ【固定イ２の
表向を伝ね灼、固定イ表面に加圧接触さけられた移ｖＪ
子１は表向波ＳＡＷによる摩１祭力によって、表面ｉ＋
？／Ｓ Ａ Ｗの進行方向とは逆向きの方向（矢印ＩＥ
）に回転することになる。高周波信号を、固定子２ど
リード線１８．２０を通して、他方側の圧Ｍ素子９．１
１．１３．１５に印加すると、矢印Ｃ，Ｄで示すバルク
波は反対方向の一方向性表面波ＳＡＷ を励起し、移
動子１は逆向き（矢印Ｆ）に回転することになる。また
、移動子１０回転速痕は表面波ＳＡＷすなわち高周波信
号に比例し、容易に速度調整ができる。
４．１６に畠周波仏シ４を印加Ｊるど、圧電索子の１−
！み撮動によるバイク波（第３図におｔ」る矢印Ａ、Ｂ
）は−／Ｊ向１１１表面波ＳＡＷどく【っ【固定イ２の
表向を伝ね灼、固定イ表面に加圧接触さけられた移ｖＪ
子１は表向波ＳＡＷによる摩１祭力によって、表面ｉ＋
？／Ｓ Ａ Ｗの進行方向とは逆向きの方向（矢印ＩＥ
）に回転することになる。高周波信号を、固定子２ど
リード線１８．２０を通して、他方側の圧Ｍ素子９．１
１．１３．１５に印加すると、矢印Ｃ，Ｄで示すバルク
波は反対方向の一方向性表面波ＳＡＷ を励起し、移
動子１は逆向き（矢印Ｆ）に回転することになる。また
、移動子１０回転速痕は表面波ＳＡＷすなわち高周波信
号に比例し、容易に速度調整ができる。
上記実施例は溝の両側面にｆｆ電素子を接着し、いずれ
の方向にも回転できるようにしているが、反転の必要性
がない場合には、溝内のいずれか片方の側面に圧電素子
を接着するようにすればよい。
の方向にも回転できるようにしているが、反転の必要性
がない場合には、溝内のいずれか片方の側面に圧電素子
を接着するようにすればよい。
また、上記実施例は回転運動を得るＪ、うにしているが
、固定子および移動子を直線状にすれば、リニアモータ
に構成することができ、各種機器のアクチェータなどに
応用できる。さらに、−り記実施例は圧電素子を接着Ｊ
るための溝を有底溝で構成しているが、貫通溝を設け、
圧電素子を接着するＪ、うにしてもよく、要は、表面波
を伝播させる方向と直角方向に圧Ｔｉ素子を接着でさる
にうにす１１ばよい。
、固定子および移動子を直線状にすれば、リニアモータ
に構成することができ、各種機器のアクチェータなどに
応用できる。さらに、−り記実施例は圧電素子を接着Ｊ
るための溝を有底溝で構成しているが、貫通溝を設け、
圧電素子を接着するＪ、うにしてもよく、要は、表面波
を伝播させる方向と直角方向に圧Ｔｉ素子を接着でさる
にうにす１１ばよい。
本発明は、以上説明したにうに構成され、（１４苛が簡
単、軽量で、トルクが大きく、しかも制ｔｌｏ性がり°
ぐれた表面波エータを実現ＪるＣどが′Ｃさる。。
単、軽量で、トルクが大きく、しかも制ｔｌｏ性がり°
ぐれた表面波エータを実現ＪるＣどが′Ｃさる。。
特に、電気信号は固定子側の圧電素子へ供給りるだけで
、移動子側に電気配線を施゛り必要がなく、非常に簡単
な構造となる。まＩ〔、移動子を駆動りるための表１ｒ
ｉｉ波は、固定子の溝の側面に接着（、た圧電素子によ
り励起しているので、（ＩＩＪの励起１段、例えばイン
ターディジタル電極やくさび状ゆ挟子ににる励起と比較
して、変換効率が高く、１−ルクが大きくどれる。しか
も、表面波励起手段が固定子表面に露出することがない
ので、移動子を固定子表面上に自由にかつ１■意に配置
することがＣさ、構成をより一層簡素化できる。
、移動子側に電気配線を施゛り必要がなく、非常に簡単
な構造となる。まＩ〔、移動子を駆動りるための表１ｒ
ｉｉ波は、固定子の溝の側面に接着（、た圧電素子によ
り励起しているので、（ＩＩＪの励起１段、例えばイン
ターディジタル電極やくさび状ゆ挟子ににる励起と比較
して、変換効率が高く、１−ルクが大きくどれる。しか
も、表面波励起手段が固定子表面に露出することがない
ので、移動子を固定子表面上に自由にかつ１■意に配置
することがＣさ、構成をより一層簡素化できる。
図は本発明による表面波エータの一実施例を示し、第１
図【五平面図、第２１２１は半断面図、第３図は第１図
におりるＩｌｌ −１［［線からみた拡大断面図である
。 １は移動子、２は固定子、５．６．７．８は溝、９．１
０．１１．１２．１３．１４．１５．１６は圧電素子で
ある。 特 Ｗ［出 願 人 株式会社村田製作所
図【五平面図、第２１２１は半断面図、第３図は第１図
におりるＩｌｌ −１［［線からみた拡大断面図である
。 １は移動子、２は固定子、５．６．７．８は溝、９．１
０．１１．１２．１３．１４．１５．１６は圧電素子で
ある。 特 Ｗ［出 願 人 株式会社村田製作所
Claims (1)
- １７い１：、表面か接触している固定子および移動子を
備え、固定子の表面に晶をこうけ、この溝の側面に月電
素子を接盾し、この圧電索子のｔ！！Ｉ＋により固定子
の表面に表面波を励起し、この表面波によ・、）（移動
子を駆ψ１１りるＪ、うにしたことを’ｌｅｔ徴とりる
表面波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58103270A JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58103270A JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230471A true JPS59230471A (ja) | 1984-12-25 |
Family
ID=14349712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58103270A Pending JPS59230471A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 表面波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230471A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218903U (ja) * | 1985-07-19 | 1987-02-04 | ||
| JPH01126179A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ |
| JPH01126178A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータとその駆動方法 |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP58103270A patent/JPS59230471A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6218903U (ja) * | 1985-07-19 | 1987-02-04 | ||
| JPH0226086Y2 (ja) * | 1985-07-19 | 1990-07-17 | ||
| JPH01126179A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータ |
| JPH01126178A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-18 | Nec Corp | 超音波モータとその駆動方法 |
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