JPS59213A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS59213A JPS59213A JP10935482A JP10935482A JPS59213A JP S59213 A JPS59213 A JP S59213A JP 10935482 A JP10935482 A JP 10935482A JP 10935482 A JP10935482 A JP 10935482A JP S59213 A JPS59213 A JP S59213A
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- surface acoustic
- electrode
- resonance
- electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/644—Coupled resonator filters having two acoustic tracks
- H03H9/6456—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
- H03H9/6459—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode
- H03H9/6463—Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via one connecting electrode the tracks being electrically cascaded
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は周波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を有
する弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ等の弾性表
面波装置に関する。
する弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ等の弾性表
面波装置に関する。
Ｅ発明の技術的背景］
従来よりこの種の弾性表面波装置、例えば弾性表面波共
振器は、第１図のように、圧電基板１の一重部２に励振
電極３．４を並設し、この各励振型４ｉ！３．４の両側
に′それぞれ一対の反射電極５．６と７．８を設けてな
る構造を有しており、各電極３〜８は圧電基板１の主面
２に蒸着等によって形成されたアルミニウムの導電薄膜
をフォトエツチング法によりすだれ状に形成し【構成さ
れでいる。
振器は、第１図のように、圧電基板１の一重部２に励振
電極３．４を並設し、この各励振型４ｉ！３．４の両側
に′それぞれ一対の反射電極５．６と７．８を設けてな
る構造を有しており、各電極３〜８は圧電基板１の主面
２に蒸着等によって形成されたアルミニウムの導電薄膜
をフォトエツチング法によりすだれ状に形成し【構成さ
れでいる。
そしＣ１励撮電極３および反射電゛極５．６によっ−〔
第１の弾性表面波共振素子９を構成し、第１の弾性表面
波共振素子９の各電極３．５．６とは電極指間隔を異に
した励振電極４および反射電極７．８により第１の弾性
表面波共振素子９とは共振周波数の具なる第２の弾性表
面波共振素子１０を構成するとともに、一方のあるいは
双方の弾性表面波共振素子９．１０を適当に切換え（ト
ランジスタ発振回路等に接続し、発振出力を得るように
して使用されることが多い。
第１の弾性表面波共振素子９を構成し、第１の弾性表面
波共振素子９の各電極３．５．６とは電極指間隔を異に
した励振電極４および反射電極７．８により第１の弾性
表面波共振素子９とは共振周波数の具なる第２の弾性表
面波共振素子１０を構成するとともに、一方のあるいは
双方の弾性表面波共振素子９．１０を適当に切換え（ト
ランジスタ発振回路等に接続し、発振出力を得るように
して使用されることが多い。
［背景技術の問題点］
しかしながら、このように構成された弾性表面波共振器
は、各弾性表面波共振素子９．１０の電極３〜８が圧電
基板１上に被着された導電薄膜からフォトエツチング法
等により同厚み、同材料で画一的に形成されでいるので
、各弾性表面波共振素子９．１０には共振損失レベルの
差が生ずる欠点がある。
は、各弾性表面波共振素子９．１０の電極３〜８が圧電
基板１上に被着された導電薄膜からフォトエツチング法
等により同厚み、同材料で画一的に形成されでいるので
、各弾性表面波共振素子９．１０には共振損失レベルの
差が生ずる欠点がある。
この弾性表面波共振素子９．１０における共振損失は共
振周波数が低い程大きく、例えば第１の弾性表面波共振
素子９が周波数ｆ１に共振し、第２の弾性表面波共振素
子１０が［２に共振するとき、仮に１１とｆｌの関係を
ｆ １＞ｆ ２とすれば、第２図に示すようにｆｌがｆ
ｌより減衰量が大きくなって共振損失レベル差を生じる
。
振周波数が低い程大きく、例えば第１の弾性表面波共振
素子９が周波数ｆ１に共振し、第２の弾性表面波共振素
子１０が［２に共振するとき、仮に１１とｆｌの関係を
ｆ １＞ｆ ２とすれば、第２図に示すようにｆｌがｆ
ｌより減衰量が大きくなって共振損失レベル差を生じる
。
そのため、発振出力が一定にならなくなって安定な回路
動作を確保し難い。もし、上述の弾性表面波共振器を一
つの発振回路ｅ使用しようとすれば、各弾性表面波共振
素子９．１０の出力段にリミッタ回路を設けＣ予めレベ
ル合Ｕをする必要があり、発振回路が複雑となって設計
の自由面も小さくなる難点がある。
動作を確保し難い。もし、上述の弾性表面波共振器を一
つの発振回路ｅ使用しようとすれば、各弾性表面波共振
素子９．１０の出力段にリミッタ回路を設けＣ予めレベ
ル合Ｕをする必要があり、発振回路が複雑となって設計
の自由面も小さくなる難点がある。
なお、第１、第２の弾性表面波共振素子９．１０におい
で、共振周波数がｆｌ＞ｆｌなる関係にある場合、第２
の弾性表面波共振素子１ｏの反射型ｗＡ７．８の電極指
数を増やせば損失差を補正づることが可能であるが、圧
電基板１が大形化してコスト高をまねくのぐ実施が困難
である。
で、共振周波数がｆｌ＞ｆｌなる関係にある場合、第２
の弾性表面波共振素子１ｏの反射型ｗＡ７．８の電極指
数を増やせば損失差を補正づることが可能であるが、圧
電基板１が大形化してコスト高をまねくのぐ実施が困難
である。
一方、損失の良好な第１の弾性表面波共振素子９の反射
電極５．６の電極指数を減ら１ことによっても損失レベ
ル合せが可能であるが、弾性表面波共振素子の損失が大
きくなり特性が低下するのぐ実用的でない欠点がある。
電極５．６の電極指数を減ら１ことによっても損失レベ
ル合せが可能であるが、弾性表面波共振素子の損失が大
きくなり特性が低下するのぐ実用的でない欠点がある。
［発明の目的］
本発明はこのような欠点を解消するためになされたもの
で、圧電基板の主面上に形成された周波数特性の相違す
る複数の弾性表面波素子の損失レベルを等しくすること
の可能な弾性表面波装置の提供を目的とするものである
。
で、圧電基板の主面上に形成された周波数特性の相違す
る複数の弾性表面波素子の損失レベルを等しくすること
の可能な弾性表面波装置の提供を目的とするものである
。
Ｅ発明の概″Ｉ］
この目的達成のために本発明は、圧電基板の主面上に周
波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を形成した弾性
表面波装置においで、その複数の弾性表面波素子ごとの
電極がそれぞれ重さの異なる電極で形成され、その各弾
性表面波素子の損失レベルを合せてなることを特徴とす
るものである。
波数特性の異なる複数の弾性表面波素子を形成した弾性
表面波装置においで、その複数の弾性表面波素子ごとの
電極がそれぞれ重さの異なる電極で形成され、その各弾
性表面波素子の損失レベルを合せてなることを特徴とす
るものである。
［発明の実施例］
以“ト木発明の詳細な説明する。
なお、弾性表面波装置しＣ弾性表面波共振器を例にして
説明する。
説明する。
本発明の弾性表面波共振器は、第１図に示すように、Ｌ
ｉＴａＯ３の単結晶からなる圧電基板１の一主面２にく
し形の励振電極３．４と、各々の励振電極３．４を所定
の間隔で挾むように反射型１４ｉ５．６．７．８が形成
され、励振電極３と反射電極５．６にて第１の弾性表面
波共振素子９が構成されるーｈ、第１の弾性表面波共振
素子９の電極３．５．６より電極指間隔が広い励振電極
４と反射電極７．８にＣ共振周波数の低い第２の弾性表
面波共振素子１０が構成されＣいる。
ｉＴａＯ３の単結晶からなる圧電基板１の一主面２にく
し形の励振電極３．４と、各々の励振電極３．４を所定
の間隔で挾むように反射型１４ｉ５．６．７．８が形成
され、励振電極３と反射電極５．６にて第１の弾性表面
波共振素子９が構成されるーｈ、第１の弾性表面波共振
素子９の電極３．５．６より電極指間隔が広い励振電極
４と反射電極７．８にＣ共振周波数の低い第２の弾性表
面波共振素子１０が構成されＣいる。
そしＣ１第２の弾性表面波共振素子１０の励振電極４お
よび反射電極７．８の厚みが第１の弾性表面波共振素子
９の励振電極３および反射電極７．８の厚みよりも少し
厚く形成されで、いる。
よび反射電極７．８の厚みが第１の弾性表面波共振素子
９の励振電極３および反射電極７．８の厚みよりも少し
厚く形成されで、いる。
このように構成された弾性表面波共振器は、各弾性表面
波共振素子９．１０において励振電極３．４で励振され
た弾性表面波が各々圧電基板１上の伝播路を伝い反射電
極５．６問および７．８間で反射を繰り返し、電極指間
隔によって決まる共振周波数にピークを有する各共振出
力が各々の励振電極３．４から得られる。
波共振素子９．１０において励振電極３．４で励振され
た弾性表面波が各々圧電基板１上の伝播路を伝い反射電
極５．６問および７．８間で反射を繰り返し、電極指間
隔によって決まる共振周波数にピークを有する各共振出
力が各々の励振電極３．４から得られる。
その際、第２の弾性表面波共振素子１０の共振周波数１
２が第１の弾性表面波共振素子９のそれｆｌよりも低い
が、第２の弾性表面波共振素子１０の電極の厚みが第１
の弾性表面波共振素子９の電極の厚みよりも厚くなつ−
（いるので、共振損失の補正が可能となる。
２が第１の弾性表面波共振素子９のそれｆｌよりも低い
が、第２の弾性表面波共振素子１０の電極の厚みが第１
の弾性表面波共振素子９の電極の厚みよりも厚くなつ−
（いるので、共振損失の補正が可能となる。
この関係を以上に詳述する。
例えば、共振周波数９７．２５ＭＨｚにおいて、第１の
弾性表面波共振素子９の電Ｉｊ！５．６の厚みと共振損
失の関係は、一般に第３図Ａのようになり、また、共振
周波数９１ 、２５Ｍ１１７．における第２の弾性表面
波共振素子１０の電極７．８の厚みと共振損失の関係は
同図Ｂのようになる。従つ（、共振周波数の低い第２の
弾性表面波共振素子１０の電極厚を０．０４とし、第１
の弾性表面波共振素子の電極厚を０．０３に設定するな
らば、双方の共振損失を一致させることができる。
弾性表面波共振素子９の電Ｉｊ！５．６の厚みと共振損
失の関係は、一般に第３図Ａのようになり、また、共振
周波数９１ 、２５Ｍ１１７．における第２の弾性表面
波共振素子１０の電極７．８の厚みと共振損失の関係は
同図Ｂのようになる。従つ（、共振周波数の低い第２の
弾性表面波共振素子１０の電極厚を０．０４とし、第１
の弾性表面波共振素子の電極厚を０．０３に設定するな
らば、双方の共振損失を一致させることができる。
このように、本発明の弾性表面波共振器においＣは、共
振周波数の低い弾性表面波共振素子の電極の厚みを共振
周波数の高い弾性表面波共振素子の電極の厚みより厚く
することによつ【双方の共振損失を一致させることがで
きる。
振周波数の低い弾性表面波共振素子の電極の厚みを共振
周波数の高い弾性表面波共振素子の電極の厚みより厚く
することによつ【双方の共振損失を一致させることがで
きる。
次に、本発明の弾性表面波共振器の製造方法の一例を説
明する。
明する。
まず、圧電基板１の鏡面加工された一生面に、蒸着等に
よってアルミニウム薄膜を形成し、電極厚を薄くする方
の弾性表面波共振素子側の電極をフオット］ツヂング等
によって形成する。
よってアルミニウム薄膜を形成し、電極厚を薄くする方
の弾性表面波共振素子側の電極をフオット］ツヂング等
によって形成する。
その後、形成された電極十にレジストを塗布し、電極厚
を厚くづるｈの弾性表面波共、振素子側のアルミニウム
′４＃＠上に再びアルミニウム層を形成し、フォトエツ
チングによって電極を形成して製造される。
を厚くづるｈの弾性表面波共、振素子側のアルミニウム
′４＃＠上に再びアルミニウム層を形成し、フォトエツ
チングによって電極を形成して製造される。
上述の弾性表面波共振器においては弾性表面波共振素子
の共振損失を合せる手段として、共振周波数の低い方の
電極の厚みを同材料で厚くしたが、電極は同一材料に限
らず異種材料を積層さゼＣもよく１．また、各々の弾性
表面波共振素子ごとにおい（異なる質量の導電材料に’
Ｕ電極格成することも可能ぐあり、これらを組合せるこ
′ともｉり能である。要は、共振周波数の低い方の弾性
表面波共振素子の電極を、共振周波数の高い方の弾性表
面波共振素子の電極より重くすることによって本発明の
目的達成が可能である。しかも、弾性表面波共振素子を
構成する励振電極や反射電極のいずれかまたは全部にお
いて実Ｍ−ｄることができる。
の共振損失を合せる手段として、共振周波数の低い方の
電極の厚みを同材料で厚くしたが、電極は同一材料に限
らず異種材料を積層さゼＣもよく１．また、各々の弾性
表面波共振素子ごとにおい（異なる質量の導電材料に’
Ｕ電極格成することも可能ぐあり、これらを組合せるこ
′ともｉり能である。要は、共振周波数の低い方の弾性
表面波共振素子の電極を、共振周波数の高い方の弾性表
面波共振素子の電極より重くすることによって本発明の
目的達成が可能である。しかも、弾性表面波共振素子を
構成する励振電極や反射電極のいずれかまたは全部にお
いて実Ｍ−ｄることができる。
なお、本発明においては、２つ以上複数の弾性表面波共
振素子を有する弾性表面波共振器にあつ−Ｃも、各々の
電極の厚みや質量の一方もしくは双方を適当に選定して
共振損失を合せることが可能であり、弾性表面波共振器
のみならず弾性表面波フィルタや弾性表面波遅延ｗＡ等
の広く弾性表面波ｖＲ置に広く応用できる。
振素子を有する弾性表面波共振器にあつ−Ｃも、各々の
電極の厚みや質量の一方もしくは双方を適当に選定して
共振損失を合せることが可能であり、弾性表面波共振器
のみならず弾性表面波フィルタや弾性表面波遅延ｗＡ等
の広く弾性表面波ｖＲ置に広く応用できる。
［発明の効果］
本発明は以上のように、圧電基板の主面上に周波数特性
の異なる複数の弾性表面波素子を形成し゛ た弾性表面
波装置においＣ１共振周波数の低い弾性表面波素子の電
極を厚みや材料を変えて共振周波数の高い弾性表面波素
子の電極より重くしでなるのひ、弾性表面波素子を構成
する電極における電極指数を変えることなく各弾性表面
波素子の損失レベルを等しくすることができる。
の異なる複数の弾性表面波素子を形成し゛ た弾性表面
波装置においＣ１共振周波数の低い弾性表面波素子の電
極を厚みや材料を変えて共振周波数の高い弾性表面波素
子の電極より重くしでなるのひ、弾性表面波素子を構成
する電極における電極指数を変えることなく各弾性表面
波素子の損失レベルを等しくすることができる。
イの結果、弾性表面波装置の大形化を防ぎ、コストの低
減を図ることかぐきるばかりか、周辺回路を極めて簡素
化することがｒきる。
減を図ることかぐきるばかりか、周辺回路を極めて簡素
化することがｒきる。
第１図は弾性表面波装置の斜視図、第２図は従来の弾性
表面波装置の共振損失特性を示１特性図、第３図は第２
図に示す弾性表面波装置の電極の膜厚に対する共振損失
の変化を示す特性図である。 １・・・・・・・・・・・・圧電基板 ２・・・・・・・・・・・・圧電基板の主面３．４・・
・・・・励振電極 ５．６．７．８・・・反ｔＪＪ電極 代理人弁理士 須 山 佐 −
表面波装置の共振損失特性を示１特性図、第３図は第２
図に示す弾性表面波装置の電極の膜厚に対する共振損失
の変化を示す特性図である。 １・・・・・・・・・・・・圧電基板 ２・・・・・・・・・・・・圧電基板の主面３．４・・
・・・・励振電極 ５．６．７．８・・・反ｔＪＪ電極 代理人弁理士 須 山 佐 −
Claims (3)
- （１）圧電基板の主面上に周波数特性の異なる複数の弾
性表面波素子を形成した弾性表面波装置において、前記
複数の弾性表面波素子ごとの電極が重さのそれぞれ異な
る電極で形成され、前記各弾性表面波素子の損失レベル
を合せ°Ｃなることを特徴とする弾性表面波装置。 - （２）損失レベルの大きい弾性表面波素子の電極の厚み
を、損失レベルの小さな弾性表面波素子の電極の厚みよ
りも厚くしてなることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の弾性表面波装置。 - （３）損失レベルの大きな弾性表面波素子の電極の材料
を、損失レベルの小さな弾性表面波素子の電極の電極材
料より比重の大きい導電材料で形成し″（なることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10935482A JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10935482A JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59213A true JPS59213A (ja) | 1984-01-05 |
Family
ID=14508094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10935482A Pending JPS59213A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59213A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4894545A (en) * | 1988-10-27 | 1990-01-16 | Beckman Instruments, Inc. | Liquid scintillation counting |
| US5592040A (en) * | 1992-08-24 | 1997-01-07 | Nec Corporation | Acoustic wave resonator filter |
| JPH09115652A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Tonichi Denki Kk | 電熱器用ヒータの製造方法 |
| JP2008009043A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Yazaki Corp | パイプケーブル |
| KR20150062147A (ko) | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘에스전선 주식회사 | 케이블 접속재 검사 장치 및 케이블 접속재 검사 방법 |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP10935482A patent/JPS59213A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4894545A (en) * | 1988-10-27 | 1990-01-16 | Beckman Instruments, Inc. | Liquid scintillation counting |
| US5592040A (en) * | 1992-08-24 | 1997-01-07 | Nec Corporation | Acoustic wave resonator filter |
| US6437478B1 (en) | 1992-08-24 | 2002-08-20 | Nec Corporation | Surface acoustic wave resonator filter |
| JPH09115652A (ja) * | 1995-10-16 | 1997-05-02 | Tonichi Denki Kk | 電熱器用ヒータの製造方法 |
| JP2008009043A (ja) * | 2006-06-28 | 2008-01-17 | Yazaki Corp | パイプケーブル |
| KR20150062147A (ko) | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 엘에스전선 주식회사 | 케이블 접속재 검사 장치 및 케이블 접속재 검사 방법 |
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