JPS59206910A - 圧力調整機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 負圧下でのみ作動しまた特に真空ラインに使用の圧力調
整機は、軸を有しおよびその軸にほぼ平行な側壁を有す
るカバーを包含する。カバーは第１の隔室と第２の隔室
とをもたらしているセパレータで区切られている。第１
の隔室は所定の圧力を受けるようになっている。第２の
隔室は流体入口を有しまた流体出ｌ」通路を有する。流
体出口は側壁に位置しておりそして前後に動いて出口通
路を覆ったり露出したりするセパレータの一部分によっ
て多少なりとも妨げられる。セパレータのその他残りの
部分はほぼ軸方向におよび隔室間の圧力差に応答して動
く。

予備調査において次のような特許が見出された。

３．０８３，９４３　　スチュアートジュニア外（Ｓｔ
ｅｗａｒｔ　Ｊｒ、　ｅｔ　ａｌ　）３．４１５，２７
５　　バーグレン（Ｂｅｒｇｇｒｅｎ　）３．７４９，
３５３　　ボールコニス（Ｐａｕｌｉｕｋｏｎｉｓ　）
３．７６２．６８１　　マソキニー外（ＭｃＫｉｎｎｅ
ｙ　ｅｔ　ａｌ）３．８３７．６１５　　ニスピール（
Ｅｓｐｅｅｌ　）１ ３．９１８，６７７　　コーワン（Ｃｏｗａｎ　）３．
９４８．２８５　　フリン（Ｆｌｙｎｎ　）３．９７８
，８７８　　ルドルフ（Ｒｕｄｏｌｐｂ　）４．１８２
，３７１　　ムーア（Ｍｏｏｒｅ　）４．２３２，８５
１　　ジョンソン（、Ｉｏｈｎｓｏｎ　）４．２４４，
５５４　　ジモウし１外（旧Ｍａｕｒｏ　ｅｔ　ａｌ　
）以下本発明に図面にもとすき詳細に説明する。

特に第１図に示されているように、本装置の実施例の形
状においては、軸に沿いそして対称的に延びているカバ
ー６が設けられ、それは好ましくは」一部カップ７と下
部カップ８とで作られておりこれらは何らかの通常の手
段で一緒に押しつけられ締結される合致部分９およびＩ
Ｉを有する。カバー６には、上部カップ７と下部カップ
８との間に配置されたセパレータ１２が設けられていて
カバーを第１の隔室１４と第２の隔室１６に分けるよう
になっている。第１の隔室１４ば所定の圧力の供給源２
２に通している通路２１を有する。この圧力は好適には
調整するために望ましいレベルにあり、また適当などの
ような値であってもある２ いは標準値でもあり得る。第２の隔室１６は圧力が調整
されるべき容積体に延びている通路２３を有する。第２
の隔室１６はまた通路２４に開放されていて、隔室境界
壁２６において真空源（図示せず）に延びている。境界
壁２６は、便宜上円筒形であるが、好適には、軸２１に
ほぼ平行なあるいは傾斜した、わずかなほぼ平面的な、
出来れば弦状のあるいは平たい部分を有する。通路２４
は、円形、長方形、その他断面に特徴をもった形であっ
てもよく、そして軸方向に延び限定された弦状または平
らな壁２６を介して第２の隔室１６に開放されている内
部口または通路２７を有する。重要な点は、真空口の開
放に抵抗する力はセパレータの動きに対して重要とされ
ないということである。

内部に弁３２あるいは予め設定された限定オリフィスを
有する開口部３１は第２の隔室１６と連通しそしてまた
大気とも連通している。

−例としては、ここで通常の実施条件で使用されるセパ
レータ１２は、一般的には弾力のない、３ 曲げやすいまたは折りたたみのできる、柔軟な、気体を
通さないシートである。シリコンゴ１、がこのセパレー
タには有益な材料であることがわかった。そのシート１
２ば反対側においてはセパレータよりも面積が小さい比
較的堅い板状体３３および３４に面し、そして適切に保
持されるでいる。

あるいはそれら板状体は省略されてシート１２を中央に
厚みをもたせたりまたはその他の方法で硬くつくるよう
にしてもよい。板状体は、セパレータ１２がその周囲あ
るいは縁部分のある部分あるいは全部分のところを除い
ては、湾曲するのを妨げている。開口部２７の反対側に
位置している（すなわち第１図に示した左周辺部）セパ
レータの非強化周囲は、放射状に大変短く、そして分離
した周縁の部分がカバー６内でのセパレータのヒンジ状
のあるいは揺動する動作ができるように屈曲するように
取付けられている。そのように拘束されたセパレータの
動きは、大きく弧をえかくが、一般的に大きな軸成分を
もった方向に動作する。

第１図に示すように、右周縁部分におけるセパ４ レータ１２は充分に湾曲して動作し折り重なる。

このセパレータ動作で折りたたまれた局部部分は通常の
そして軸２１に平行な成分を有する。セパレータのこの
右側周縁部分は、軸平面においては断面がほぼＵ字型で
あり、そして限界の周囲部にまで延びそしてセパレータ
のほぼ平たい左側部分と次第に併合している一対の直面
壁の２つのほぼ平行な脚部分を包含している。直面して
いる壁の１つは、流れが通過しないように重なり遮断し
ている位置にある側壁２６の平たい部分に対して平らに
なっている垂直部分をもたらす。上方部分に上昇するに
つれ、セパレータは、Ｕ字型の壁部分が次第に湾曲して
１つの平たい部分が次第にはがされあるいは平たい壁２
６から曲げられて、次第に開口部２７をむき出しにして
対応する値の流れを通過させることができるようにする
動作を有する。

セパレータの湾曲可能な周縁部分のＵ字型形状の１つの
はっきりした限定の場合は、大まかにいえば５字型また
は逆り字型といえる。それは、例５ えば、もし開口部２７が側壁２６のいくらが下方の位置
にあり、またセパレータは次いで、その開口部が閉じて
いる形状でかなり下方位置で操作されるというような場
合である。この場合には、セパレータの湾曲性周縁部分
による開口部の開放しているむき出し動作は依然として
同じである。ある場合には、セパレータの周縁湾曲部分
はＪあるいは逆り字形状から、セパレータが一般に下方
部分から高い方への位置（第１図におけるような）へと
動くにつれ、Ｕ字型へと変化してもよい。

上部位置から下降するにつれ、セパレータの動きによっ
て直面壁は次第に湾曲するようになって開口部２７を次
第に覆う平たい壁部面積を大きくして、従って次第にそ
こを通過する流れを絞るようにしているのである。セパ
レータの湾曲する周縁部分は、隔室１４と１６との間の
圧力差から生ずるセパレータの残余部分の動きに従って
変形しあるいは湾曲する。有効縁部分が開口部を閉じた
り開いたりしてそこを横切って動（。真空開口部２７は
順次のはがし動作で開かれるので、その開６ ０部の開放工程中セパレータの開口部覆い部分における
真空の力を克服するにはわずかな力だけが必要とされる
。ある程度は、このことばセパレータの開口部を覆う部
分の増大部だけが一度に開口部から移動されるからであ
り、それはむき出し作用に抵抗する傾向のあるこの部分
のわずかな増大区域における有効真空力のみである。セ
パレータの開口部を覆う部分の残余部における有効真空
力はそれ以上のむき出し作用に抵抗しない。というのは
、開口部と接触したままでいるその部分は開口部を包囲
している直接の壁面によって支えられているからである
。また開口部を開く工程中セパレータの開口部を覆う部
分のむき出し作用を行うために必要とされる力はさらに
Ｕ字型の柔軟部分のむき出し作用と関連した機械的な利
器によって減少されてもよい。セパレータ１２は従っテ
開ロ部を開いたり閉じたりあるいは絞りあるいは制限し
、そしてこのようにして隔室内の圧力を制御し、そこを
通る流れを調整するのである。

第８図の平面図で示したように、セパレータ７ １２の竪固板３３は、左側縁部において比較的小さな放
射状ヒン２部分を離れて偏心的に配置されてもよい。開
口部２７を一掃し絞る結果的弁作用のまたはＵ字型弾性
部分は放射状にかなり大きい。

このことによってセパレータの弁作用部分がかなりの程
度湾曲し、または湾曲のため自由になるようにするので
ある。

第１図の装置は第２の隔室１６内に圧力が第１の隔室１
４内の所定のまたは選択の値に対応するようになされる
よう作動する。このことは、結果的圧力変化と関連した
真空源に至る開口部または通路２４を通る流出を変える
ことによってなされる。もし第２の隔室１６内の圧力が
第１の隔室１４の圧力より大きければ、セパレータ１２
の包囲部分と共に板状体３３および３４は対応的に上方
に動かされる。セパレータが上昇すると、セパレータの
Ｕ字型部分の重なり部または脚部は第２の隔室１６と流
出を許している真空源を相互連結して開口部２７を開き
はじめる。これにより第２の隔室１６内の圧力を下げる
。そのとき優位にあ８ る第１の隔室１４の圧力は板状体３３および３４とセパ
レータを押圧してＵ字型をセパレータ部分の外側脚部を
下げて部分的に又は全体的に開口部を覆うようになり、
かくして真空源への関係を絞るのである。隔室１４と１
６との間の圧力均衡はこのようにして得られる。所望の
圧力はがくしである特定の関係した容積の開口部２３が
調整されることを介してつくられるのである。

ある条件下での調整を良くするためのに、大気圧弁３２
を割り開き下方隔室１６内にわずがな空気の漏れを与え
るようにしてもよい。開口部２３と隔室１６内の圧力は
それで急激にあるいは過剰に変化するようになることが
なく「ハンチング」は大気から内部へのわずかな漏れの
ために衰えさせられる。

本装置の１つの特別な実施例の全体にわたる成行は第７
図のグラフでほぼ示されている。これらが示しているよ
うに、ある与えられた圧力選択では、開口部２３とその
関係した容積の所望の圧力の維持は、圧力調整容積体か
ら真空体に流れるガ９ スの量のかなり広範囲にわたって実質的に一定である。

かなりガス流れの量が増大すると共にわずかな圧力変化
または″衰え″があるだけである。

第１図のもの同様の構成が第２図に示されている。カバ
ーの上部隔室４１と下部隔室４２は、軸方向の断面図で
Ｕ字型の形状をなした限定縁部分を有して隣接したほぼ
平たい軸方向に配置された脚部を定めている周縁部が湾
曲するセパレータ４３によって分けられている。上部隔
室４１の壁部の開口部４４は可変弁４６の制御下の真空
源４５に接続されている。」二部又は第１の隔室４１の
標準または基準圧力は限定された真空開口部４４を通る
空気流出と小さな開口部４７を通る大気からの空気流入
との間の均衡によって設定される。下部のまたは第２の
隔室４２では開口部４８は圧力調整される容積体に連結
される。隣接したセパレータ脚部の動作行程路の開口部
４９は適当な真空源に接続している。吸込抽気開口部５
０は、第２の隔室４２と大気との間の限定した減衰接続
を行う。圧力調整は第１図の装置と関連して記載０ したようにほとんど行われる。２つの隔室４１と４２と
の間の圧力差に応答して、セパレータ４３は動き、それ
によってセパレータのＵ字型縁部を覆ったり開いたりす
る動きによって開口部４９の絞りを変えることができの
である。

第３図では、第１図の構成を延長して多数の隔室５】、
５２および５３を有するカバーを提供している。第１の
隔室５１と第２の隔室５２は共通のセパレータ５４によ
って分けられ、一方策２の隔室５２と第３の隔室５３は
共通のセパレータ５６によって分けられている。供給源
２２と同じような供給源（図示せず）から、第１の隔室
５１内へと延びている、標準のまたは設定圧力接続部５
７がある。第３の隔室５３内への限定大気接続部５８が
ある。第２の隔室５２は大気からの制限付人口５９と真
空源に続いている。開口部２４のような排出口６０とを
有する。開口部６０はセパ　　　ル−タ５４の弾性縁部
によって可変遮断される。

第３の隔室５３は圧力調整される容積体からの入力接続
部６１を有し、またセパレータ５６の弾１ 性縁部によって可変遮断される真空接続部６２を有する
。セパレータ５４の動作が、第１の隔室５１内の設定圧
力によって第２の隔室５２内の圧力調整をもたらすので
ある。次に、セパレータ５６の動作は第１の隔室５１の
設定圧力に続いて、第２の隔室５２の圧力に依って第３
の隔室５３内の圧力の調整をもたらす。セパレータ５４
は、隔室５１内の所定のまたは設定圧力を、セパレータ
５６の動作の影響からおよび隔室５３内に生ずるかもし
れないいかなる突然の圧力変化からも離れるようになっ
ている。

第４図に示した実施態様においては、上部の、第１の隔
室６６はカップ６７を含め、カバーに形成されている。

第２の、下部隔室６８はカバーカップ６９に形成されて
いる。２つのカップ６７および６９は密封体として働く
環状ガスケット７１に対して組立てられる。上部の、第
１の隔室６６は標準真空源（図示せず）への出ロア２を
有し、また弁７８によって制御される大気人ロア７を有
する。

２ 第２の、下部隔室６８は圧力調整される容積体への接続
子７９を備えおよび真空源に通じている通路８１を備え
る。２つのカップ６７と６９によって形成されたカバー
内には、および例えば弾性セパレータ１２に等しいいく
つかの点において、堅固板８３がありそれは、板８３の
１つの縁部分をカップ６９に接続するピボットヒンジ８
４を有する。板８３はヒンジ８４の反対側に適当な縁部
８６を有して通路８１を一掃し遮断したりあるいは開い
たりする。本装置の操作は第２図の操作と同様で、カバ
ー６６および６８と板の縁部８６との間の圧力差が軸の
位置を変えてその通路を通る流れを変えることによって
板８３は上昇したり下降したりするのである。

第５図に示した装置の変形例では、カバーは上部ハウジ
ング９１、下部ハウジング９２および中間ハウジング９
３でできている。これらのハウジングは、間に入りこむ
、弾性のセパレータ９４および９５をそれぞれ有する。

セパレータ９４の上側には、調整の標準として働く所定
の圧力の供給３ 源に導いているダクト８８を有する第１の隔室８７があ
る。セパレータ９４の下側には、第２の隔室８９がある
。セパレータ９４は、その下側においてファスナー９７
によって案内板９８に接続された目盛分銅９６を有する
。停止片１００は、板９８とその関連した部分の下降動
を制限する。

板９８から下がっている中央ボス９９は、中間ハウジン
グ９３の共軸上に又は中央に配置された穴１０１をゆっ
たり通りぬけて出ている。中間ハウジング９３ば穴１０
１内へと開口している開口部分１０３に導いている大気
通路１０２がある。

開口部１０３を通る流れは、内部で中央のそして垂直に
延びている通路１０４を開口部１０３と整合してボス９
９の位置の変り方によって支配されている。通路１０４
は、ハウジング９２の第４の隔室１０７からセパレータ
９５によって分離されたハウジング９３の第３の隔室内
へと開いている。

隔室１０７は圧力が調整されることになっている容積体
へと導いている開口部１０８を有する。

第４の隔室１０７はまた副大気圧源へと導いて４ いる側路１０９を有する。副大気圧路１０９からの支流
通路１１１は第３の隔室１０６へと通じている。第２の
隔室８９と第３の隔室１０６とは、全く別個であるが、
互いに全く関係がないわけではなく、穴１０１とボス９
９との間のわずかなすき間を介していくらか通じている
。

前記した実施例の全てにおいである点までは、しかし特
に第５図の構成では、また示された物理的配置方向にお
いては、目盛分銅９６の使用によって調整された圧力と
ダクト８８に接続された外部の容積体に設定された圧力
との間に固定したオフセットがつくられる。このオフセ
ットあるいはバイアスは、装置が図示のように直立して
使用されるか又は転倒して使用されるかによって、どち
らか１つの方向に作動する。

調整中、圧力差によってボス９９が対応して動くように
なり開口部１０３と対向する通路１０４を多少調整する
。このことにより、大気が幾らか第３の隔室１０６内へ
と入ることができる。停止片１００により、セパレータ
９４が中央位置から５ 上方に動くにつれ開口部１０３と通路１０４を不整合に
することができるが、下降動によっての絞り作用はでき
ない。第３の隔室１０６は、通路１０９および１１１を
介して真空排気に接続されているので、セパレータ９５
は移動したり湾曲したり、また真空コネクタ１０９と隔
室１０７の内部との間の、および調整されるべき容積体
においてもまた開口部１０８を介して接続された連通を
変化させるのである。

第６図に示した例においては、カバーは上部カップ１１
６、下部カップ１１７と２つの中間体１１８および１１
９とを包含する。これらはそれぞれセパレータ１２１．
１２２および１２３によって分離されている。圧力がセ
パレータ１２１上の第１の隔室１２６に予め定められて
いる容積体からの開口部１２４がある。隔室１２６内に
は、セパレータ１２１および１２２の両方と当接するブ
ロック１２９にファスナー１２８によって接続されたワ
ッシャ１２７がある。ブロック１２９は、セパレータ１
２１と１２２との間の第２の隔室６ １３３に放射状の開口部１３２によって接続された中央
のあるいは軸方向の開口部１３１を有する。

隔室１３３から通路１３６は大気へと通じている。

セパレータ１２２の他方の側においてはブロック１２９
から支え盤１３７が適所に固着されている。真空源に導
いている通路１４１に接続された通路１３９は第３の隔
室１３８の１つの境界上に配置される。隔室１３８は同
様に円盤１４２によって保持されそして第４の隔室１４
４を形づくる役割をしているセパレータ１２３によっテ
区切うれている。ダクト１４６は隔室１４４を圧力が調
整されるべき空気を含有する容積体に接続する。

この場合において、ダクト１２４は所定の圧力に接続さ
れているので、第１の隔室１２６の圧力が従って応答し
、そしてセパレータ１２１を、第２の隔室１３３におい
てその下側の圧力によって上方にあるいは上方に湾曲す
るようにする。対応する応答動作は板１２９によってセ
パレータ１２２にもたらされ、その動きはいろいろ変化
して通路１３６を遮断する。このことが通路３９と真空
路７ １４１を通る流れによって影響されて第２および第３の
隔室１３３および１３８内の圧力を変えるのである。隔
室１３３および１３Ｂの圧力の変動によってセパレータ
１２３の変形が生じ、次いで真空源１４１と第４の隔室
１４４との間の開口部１４８をいろいろ変化して遮断す
るのである。大気と隔室１４４との間の空気開口部１４
７は隔室１４４内の圧力の変動を下げるのに効果的であ
る。

ある装置においては、標準として働いている圧力は一定
でなくてもよく、時間で変化してもよい。

そのような場合には、圧力調整機は圧力フォロアとして
働き、標準値の変化によって、調整された圧力を変える
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による圧力調整機の一形態を示すダイ
ヤフラム的断面図、 第２図は、本発明による圧力調整機の変形例を示す図、 第３図は本発明の圧力調整機の別の変形例の断面図、 ８ 第４図は本発明の圧力調整機の異なった変形例の断面図
、 第５図は、本発明のさらに別の変形例を示す断面図、 第６図は本発明装置の変形例の断面図、第７図は本発明
の圧力調整機の１つの例の実施特性のいくつかを示すグ
ラフ、 第８図は第１図に示した種類の圧力調整機の変形例の平
面図、 である。 ６−カバー、７−上部カップ、８−下部カップ、９．１
１−合致部分、１４・−第１隔室、１２−セパレータ、
１６−第２隔室、２６−壁部、２４−通路、２３．２７
−開口部、３２−大気弁、３３３４−板部材。 ９ ン ！／　　　　　　　　Ｆツク−７ ！ Ｉ　　　　　　　　　　　　　　　！ ダ ／″′ 〜 １ｉａ、２　　’　　” ダ り　　　　　　　Ｆ／−−Ｊ θ　　　　　７ 〃牟 ↑　　　　６７　　　　　７；！ ＃ｑ ダ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　セパレータを有するカバーと、該セパレータは前
   記カバーにかかっており実質的には前記カバーを第１の
   隔室と第２の隔室とに分けていることと、前記カバーに
   おいて、前記セパレータに実質的に垂直に延びその内部
   に前記第２の隔室内へと開いている開口部を有する壁部
   を形づくる装置と、前記セパレータは前記壁部に実質的
   に平行な方向に動（ようにに設けられた第１の部分を有
   しまた前記壁部に実質的に隣接して延びるように設けた
   第２の部分を有することと、前記第１の部分の前記動作
   は前記第２の部分を前記開口部に対し前記開口部を実質
   的に遮断する第１の位置と実質的に前記開口部を自由に
   している第２の位置との間で動かすようにすることと、
   前記第２の隔室に流体を供給する装置と、前記セパレー
   ト装置が前記第１の隔室と前記第２の隔室との間の圧力
   差による第１の部分の前後運動によって前記第２の隔室
   から前記開口部を通る流れを調整する圧力値を前記セパ
   レート装置にもたらす前記第１の隔室内の装置とを具備
   することを特徴とする圧力調整機。 ２、　リムを有する第１のカップと、前記第１のカップ
   と直面しているリムを有する第２のカップと、前記２つ
   のカップ間にはさまれ合致しているセパレータと、前記
   第２のカップに含まれおよび実質的に前記セパレータに
   垂直に配置された側壁と、前記側壁を介して前記第２の
   カップ内に開口している開口部を形づくる装置と、前記
   セパレータに含まれおよび前記開口部を覆い遮断する一
   方の位置と前記開口部を開き遮断を解除するもう一方の
   位置との間で湾曲するように取付けられた装置と、前記
   セパレータの対向側部において圧力を変え前記位置間で
   前記セパレータを動かすようにする装置とを具備するこ
   とを特徴とする圧力調整機。 ３、　軸を中心として実質的に対称のリムを有する第１
   のカップと、前記第１のカップに直面しまた前記軸を中
   心として実質的に対称のリムを有する第２のカップと、
   前記カップのリム間にはさまれ合致するセパレータと、
   前記第２のカップに含まれおよび前記軸に実質的に平行
   な方向にある少なくとも１つの部分を有する壁部と、前
   記壁部の前記部分を介して開口する開「１部を形づくる
   装置と、前記壁部と当接しまた前記開口部と重なり実質
   的に遮断する第１の位置と前記開口部を実質的に自由に
   している第２の位置との間で湾曲するように取付けられ
   た少なくとも前記セパレータの一部分を形づくる装置と
   、前記第１のカップに前記セパレータの一方の側に対し
   て効果的な流体圧をもたらす装置と、前記第２のカップ
   に前記セパレータのもう一方の側に対して効果的な流体
   圧をもたらす装置とを具備することを特徴とする圧力調
   整機。。 ４、　ダイヤフラムを具備する圧力調整機に使用するセ
   パレータにおいて、前記調整機は前記調整機の１つの壁
   部に排出口を有することと、前記ダイヤフラムば中央部
   分と縁部分とを有することと、前記縁部は、前記中央部
   分が前記開口部の近くに実質的に前記壁部に平行な成分
   を有する動作で前後に動くと、前記開口部を実質的に覆
   い遮断する前記縁部分の一方の位置と前記間「１部を開
   いて実質的に流れを自由にしている前記縁部分の第２の
   位置との間で動くように取付けられていることとを特徴
   とするセパレータ。 ５、　壁部と、開口部を形成するように前記壁部の一部
   分を介して延びている流路を形成する装置と、前記セパ
   レータの対向側部における圧力差に応答して前記壁部の
   前記部分に実質的に平行な方向に沿って前後に動くよう
   に取付けたセパレータとを有し、該セパレータは、この
   セパレータが前記方向に沿って前後に動くと開口部を覆
   ったり開いたりするように少なくともその一部分を取付
   けていることを特徴とする圧力調整機。 ６、　カバーと、一方の方向に沿って前後動する一般に
   中央の第１の部分を有しまた前記カバーを第１の隔室と
   第２の隔室とに分けているセパレータと、このセパレー
   タは前記中央の部分の前記動作とは異なる成分を包含す
   る動作で可動する第２の部分を有することと、前記第１
   の隔室に調整の基盤として働くガス圧をもたらす装置と
   、ガスを前記第２の隔室に許容する装置と、ガスを前記
   第２の隔室から逃がす開口部を形づくりおよび前記第２
   の部分によって遮断されたり開かれたりするよ・うに位
   置決めした開口部を形づくる装置と、前記開口部は、前
   記第２の部分によって覆われたり開かれたりするように
   取付けられた位置において前記カバーの壁部を介して前
   記第２の隔室に開放していることと、前記壁部は、前記
   セパレータの前記第１の部分の前記動作方向に実質的に
   平行にあることとを具備することを特徴とする圧力調整
   機。 ７、実質的に軸を中心として延びており前記軸にほぼ平
   行な側壁を有するカバーを形づくる装置と、前記カバー
   において実質的にまたがり実質的に軸方向に可動であり
   、およびそれにおいて第１の隔室と第２の隔室を形づく
   っているセパレークと、前記第１の隔室に圧力をもたら
   す装置と、前記第２の隔室に開口している流体入口を形
   づくる装置と、前記第２の隔室から流体出口を形づくる
   側壁を介して開口する装置と、前記セパレータに含まれ
   曲げることが可能であって前記軸に平行に前記出口を実
   質的に覆う位置から入ったり出たりする動作をする遮断
   装置とを具備することを特徴とする圧力調整機。 ８、　カバーと、一方向に前後動する一般に中央の第１
   の部分を有しまた前記カバーを第１の隔室と第２の隔室
   とに分けるセパレータと、前記セパレータは第２の部分
   を有することと、前記第１の隔室に調整の基盤として働
   くガス圧をもたらす装置と、ガスを前記第２の隔室に許
   容する装置と、前記第２の隔室からガスを逃がすための
   開口部を形づくっており、前記第２の部分によって遮断
   されたり開かれたりする位置にある装置と、前記開口部
   は前記セパレータの前記第１の部分の前記動作方向に実
   質的に平行な前記カバーの壁部にある前記第２の隔室に
   その開口部を有することを具備することを特徴とする圧
   力調整機。 ９、　上部ハウジングと、中間ハウジングと、前記上部
   ハウジングと前記中間ハウジングとの間にはさまれた第
   １の柔軟セパレータと、下部ハウジングと、前記中間ハ
   ウジングと前記下部ハウジングとの間にはさまれた第２
   の柔軟セパレータと、前記中間ハウジングを通る孔を形
   成しておりおよび前記第１のセパレータの下側の上部隔
   室と前記第２のセパレータの上側の下部隔室とを相互関
   連している装置と、前記中間ハウジングにおいて前記孔
   内へと開口している開口部に導いている大気通路を形成
   している装置と、前記第１のセパレータに固着されおよ
   び前記孔において可動のボスと、前記ボスにおいて前記
   大気通路と前記下部隔室と連通ずるように取付けられた
   通路を形成する装置と、その壁部を通る前記下部ハウジ
   ングにありおよび前記第２のセパレータの動きによって
   遮断されまた開かれる位置にある補助大気通路と、前記
   補助大気道路と前記下部隔室とを接続する装置とを具備
   することを特徴とする圧力調整機。 １０、壁部を有するカバーと、前記壁部に開口部を形づ
   くる装置と、前記カバーにかかりその中で動くように設
   けられたセパレータとを具備し、該セパレータは前記セ
   パレータが動くと前記開口部を覆ったり開いたりするよ
   うに取付けた縁部分を有することを特徴とする圧力調整
   機。 １１、内部に流れ開口部を有する壁部と、可動ダイヤフ
   ラムとを包含し、前記可動ダイヤフラムは前記ダイヤフ
   ラムが動くと前記開口部を覆ったり開いたりするように
   取付けらた回転する縁部分を有することを特徴とする流
   れ制御装置。 １２、前記開口部を横切って動くように取付けた縁部折
   り目を有するダイヤフラムを具備する開口部を介する流
   れを制御することを特徴とする装置。 １３、開口部をもった壁部と、たがいに隣接した２つの
   脚部をもたらすようにそれ自体折りたたまれた柔軟シー
   トとを具備しおよび接続折り目と、前記壁部に対して前
   記脚部の一方を配置する装置と前記脚部のもう一方を前
   記開口部を横切って前記折り目を動かすように動作させ
   る装置とを有する、流体流れを制御することを特徴とす
   る装置。 １４、壁部を通る開口部を有するカバーと、前記カバー
   にかかっており前記壁部に接している折り目を形づくる
   装置を有する柔軟性で弾性でない仕切部材と、前記開口
   部を横切って前記折り目を動かす前記仕切部材の対向側
   部において作動する全くの流体特質の装置とを具備する
   ことを特徴とする圧力調整機。 １５、壁部を通る開口部を有する中空カバーと、前記中
   空カバー内にありおよび前記開口部を可変的に制限する
   位置で前記開口部を横切って可動する柔軟性で弾性でな
   い部材と、流体圧にのみ応答して前記柔軟部材を動かす
   装置とを具備していることを特徴とする圧力調整機。 １６、排出口を有する壁部と、前記壁部と当接し前記開
   口部を妨げるように可変的に動くように取付けた非弾性
   シートと、ばねなしで前記シートを動くようにする装置
   とを具備していることを特徴とする圧力調整機。 １７、カバーと、前記カバーにかかりおよび前記カバー
   を第１の隔室と第２の隔室とに分けているセパレータと
   、前記隔室に流体の流入をもたらす装置と、前記隔室の
   前記一方から前記流体の流出を制御して前記隔室のもう
   一方に向は作用する内部の流体圧をつくり出すセパレー
   タによって制御される装置と、前記隔室の一方に向かっ
   て作用する前記セパレータにおける重りとを具備してい
   ることを特徴とする圧力調整機。 １８、対向側部における前記セパレータに異なった流体
   圧をもたらす装置と、前記側部の一方に向かって前記セ
   パレータを偏らせる前記セパレータにおける重りとを具
   備していることを特徴とする圧力調整機。 ０