JPS59202018A - Magnetic encoder - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To improve accuracy and resolving capacity of a magnetic encoder, by arranging magnetic medium surface and reading head with a constant distance and allowing a displacing member formed as the reading head to displace along the magnetic medium through a lubricating material. CONSTITUTION:Displacement members 2 located an both sides of a magnetic head 1 are positioned to stick out from the magnetic head surface by a few microns and end surfaces of the member 2 are pressed onto the magnetic medium surface 3 with lubricating material 4 by means of a spring 25. When the magnetic head 1 is allowed to displace along the surface 3 in this condition, the magnetic head 1 displaces along the surface 3 keeping a gap (a) constant. By this arrangement, a constantly steady output is available without wear of magnetic head and displacement surface and the head is kept constantly apart by a few microns and consequently, a magnetic encoder of high resolving capacity becomes available.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、測長器、測角器２位置決めあるいは回転数制
御等に用いちれる磁気エンコーダに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a magnetic encoder used for positioning a length measuring instrument or an angle measuring instrument, controlling the number of revolutions, and the like.

従来例のｔ？７ｊ成とその問題点 従来、磁気エンコーダの磁気ディスクとして、コーチイ
ンタ方法、ヌパノタ法、蒸着法あるいはノブキ法により
磁気媒体を基板上に形成したものが知られている。その
磁気媒体に記憶させた磁化パターンを電磁誘導型バルク
ヘッド、あるいは磁気抵抗効果ヘッド（以下Ｍ　Ｒヘッ
ト）を用いて読み出すことにより磁気エンコーダを構成
している。Conventional example t? 7J Formation and Its Problems Hitherto, as magnetic disks for magnetic encoders, those in which a magnetic medium is formed on a substrate by the Kochinter method, the Nupanota method, the vapor deposition method, or the Nobuki method are known. A magnetic encoder is constructed by reading out the magnetization pattern stored in the magnetic medium using an electromagnetic induction bulk head or a magnetoresistive head (hereinafter referred to as an MR head).

磁気ディスクの基板には、磁化パターンに温度による誤
差が生じないようにガラス、金属等のハードな材料が用
いられている。そのだめに磁気ヘッドを磁気ディスクに
接触させて磁気媒体に記憶させた磁化パターンを読むと
、磁気ヘッド及び磁気媒体の両者が摩耗するので、非接
触で読まなければならない。まだ、ＭＲヘッドの場合、
ヘノ１−を磁気ディスクに接触させるとその接触面での
屋擦熱が生じ、ノイズあるいは出力値のドリフ１−の原
因となるので、へ、ドは磁気ディスクと非接触を保たな
ければならない。A hard material such as glass or metal is used for the substrate of the magnetic disk to prevent temperature-induced errors in the magnetization pattern. If the magnetic head is brought into contact with the magnetic disk to read the magnetization pattern stored on the magnetic medium, both the magnetic head and the magnetic medium will wear out, so reading must be done without contact. Still, in the case of MR head,
If the hen 1- is brought into contact with the magnetic disk, heat will be generated on the contact surface, causing noise or output value drift 1-, so the hen must be kept out of contact with the magnetic disk. .

以上に示しだ構成であるために次のような問題点がある
。磁気ヘッドと磁気媒体とを非接触とし両者の間にギャ
ップを設けるとそのギャップ長以下のピッチパターンの
読み出しか出来なくなると同時に磁気ヘット′の出力の
ロスとなるので、磁貿エンコーダの精度が低くなる。ま
た、ギャップを数ミクロン以−トに一定に保つことは磁
気ディスクの面゛枯度、摺動部の直線精度と回転本山度
など機械的な精度を非常に高くしなければならない。し
たがって、高精度で高分解能な磁気エンコータを実現す
るのは非常に困難である。Due to the configuration shown above, there are the following problems. If the magnetic head and the magnetic medium are not in contact with each other and a gap is provided between the two, it is only possible to read a pitch pattern that is less than the gap length, and at the same time there is a loss in the output of the magnetic head, resulting in low accuracy of the magnetic trade encoder. Become. In addition, in order to maintain a constant gap of several microns or less, mechanical precision such as the surface dryness of the magnetic disk, the linear precision of the sliding part, and the rotation speed must be extremely high. Therefore, it is extremely difficult to realize a magnetic encoder with high precision and high resolution.

発明の目的 本発明は従来例のもつ以−１−の欠点を解消し、高情度
、高分解の磁気エンコーダを実現することを目１′白と
している。OBJECTS OF THE INVENTION The present invention aims to eliminate the following drawbacks of the prior art and to realize a magnetic encoder with high sensitivity and high resolution.

発明の構成 本発明！ｒｉ　ｌｉ！父パターンを記録した磁気媒体面
とパターン１ｈ１：み取り磁気ヘノＦとを一定間隔をも
って配置し、磁気ヘノ１−冒（磁気媒体面に対する摺動
部を形成し、この摺動部を潤滑１」を介して磁気媒体−
にを摺動させるようにした磁気エンコーダである。Structure of the invention This invention! ri li! The magnetic medium surface on which the parent pattern was recorded and the pattern 1h1: cut-off magnetic hem F are arranged at a constant interval, and the magnetic hemometer 1h1 (to form a sliding part on the magnetic medium surface, and this sliding part is lubricated). through magnetic media −
This is a magnetic encoder that allows sliding.

実施例の説明 以−ト本発明の一実施例を詳細に説明する。Description of examples An embodiment of the present invention will now be described in detail.

第１図は本発明の磁気エンコーダの実施例における概略
構成図である。磁電ヘッド１の両側に摺動部２を磁気へ
、ットー面より数ミクロン突き出すように設け、この摺
動部２の端面を磁気媒体面３に潤７骨材４を介してハネ
２５によって押しつけられて接触している。FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment of the magnetic encoder of the present invention. Sliding parts 2 are provided on both sides of the magneto-electric head 1 so as to protrude several microns from the magnetic surface, and the end faces of the sliding parts 2 are pressed against the magnetic medium surface 3 by springs 25 through an aggregate 4. are in contact with each other.

この状態で磁気ヘット１を磁媒体面３トで摺動させると
、磁気へ、ト１はギャップａを一定に保ちながら磁気媒
体面３」二を移動することができる。When the magnetic head 1 is slid on the magnetic medium surface 3 in this state, the magnetic head 1 can move on the magnetic medium surface 3'' while keeping the gap a constant.

もちろん磁気ヘノｌ’　１を固定し磁気１謀体面３を動
かしてもよい。Of course, the magnetic head 1' 1 may be fixed and the magnetic head 1' 3 may be moved.

第２図は本発明による磁気エンコータの他の実施例の断
面図である。基板５」−に磁気媒体６を形成し、その両
側に固体潤滑相７か形成されている。FIG. 2 is a sectional view of another embodiment of the magnetic encoder according to the invention. A magnetic medium 6 is formed on a substrate 5'', and solid lubricant phases 7 are formed on both sides thereof.

ＭＲヘット８ばＭＲ素子９を持つ部分とその先端より距
Ｎｈａたけ突出した摺動部１０より（１１１−成されて
おり、バネ１１によって常に磁気ティヌクに押し当てら
れている。The MR head 8 consists of a portion having the MR element 9 and a sliding portion 10 projecting a distance Nha from its tip (111), and is constantly pressed against the magnetic tinook by a spring 11.

摺動部１０の磁気媒体６との接触部は固体潤滑材７で形
成されているので、摩擦は極めて小さく、摺動部１０と
固体潤滑利７の摩耗もない。これにより、ＭＲ素子を非
接触でキャップａを一定に保ち、両者の（４１、＆’−
１移動か可能となる。Since the contact portion of the sliding portion 10 with the magnetic medium 6 is formed of the solid lubricant 7, friction is extremely small and there is no wear between the sliding portion 10 and the solid lubricant 7. As a result, the cap a is kept constant without contacting the MR element, and both (41, &'-
1 move is possible.

次υて、この磁気ディスクの製造方法について説明する
。Next, a method for manufacturing this magnetic disk will be explained.

ψ、３図にその製造方法の討１明図である。まずａに示
すように基板１２」二に固体潤滑材１３を形成する・そ
の形成方法は厚さか必・歩であるので、コーチインク法
が最適である。つきにｂに示すように、１−・）体温＋
′１″（（：Ａ１３に溝加工を行ない、Ｃに示すように
？ｌｌ１１）内部に磁気媒体１４を形成する。この形成
方法もコーチインク法が最適である。つぎにｄに示すよ
うに固体潤滑材１３と磁気媒体１４の表面を出すために
ラッピンク等表面加−二［を行なうと磁気ディスクは完
成する。なおこの場合、固体潤滑イー４１３は溝加工で
はなくａのコーチインクの際にマスキングして溝を形成
してもよい。溝加工する利点はｅに示すような磁気媒体
１４を固体潤滑イ」１３より１９＜形成する場合に有効
である。Figure 3 shows a detailed diagram of the manufacturing method. First, as shown in a, the solid lubricant 13 is formed on the substrate 12. Since the method of forming the solid lubricant 13 depends on the thickness, the coach ink method is most suitable. As shown in b, 1-・) body temperature +
The magnetic medium 14 is formed inside the '1'' ((: A13 is grooved, as shown in C?ll11). The best method for this formation is also the coach ink method. Next, as shown in d, a solid The magnetic disk is completed by performing surface processing such as lapping to expose the surfaces of the lubricant 13 and the magnetic medium 14. In this case, the solid lubricant 413 is masked during the coach ink in step a instead of groove processing. The advantage of groove processing is effective when forming the magnetic medium 14 with solid lubricant 13 to 19 as shown in e.

第４図は本発明の磁気ディスクを用いた磁気リニアエン
コータの実施例ｆある。FIG. 4 shows an embodiment f of a magnetic linear encoder using the magnetic disk of the present invention.

磁気ディスク１５は第３図で示しだ作成方法によシ、直
線状にある長さで、両側に固体潤滑桐１６と磁気媒体１
７が形成されている。磁気媒体１了にはピッチＰでＰ／
／４位札ずらせだ２相の磁化パターンが形成されている
。The magnetic disk 15 is made according to the manufacturing method shown in FIG.
7 is formed. At the end of the magnetic medium, the pitch is P and P/
/A two-phase magnetization pattern is formed with the 4th place card shifted.

この磁化パターンをそれぞれＭＲ素子１８でｉ’（’Ｒ
［み出し磁気エンコーダを構成する。ＭＲ累子１８と摺
動部１つは第２図で示したように摺動部１９はＭＲ素子
部の先端より１ミクロン出ている。このＭＲ素子部と摺
動部１９を含めたＭＲヘッドは板バネ２０により一定圧
で磁気ディスク１５に押し当てられている。This magnetization pattern is measured by the MR element 18, i'('R
[Configure a protruding magnetic encoder.] As for the MR resistor 18 and one sliding part, the sliding part 19 protrudes by 1 micron from the tip of the MR element part, as shown in FIG. The MR head including the MR element section and the sliding section 19 is pressed against the magnetic disk 15 with a constant pressure by a leaf spring 20.

仮ハネ２０は直線スライドカイ１−２１に保持されるス
ライダー２２に取り付けられている。これによシスライ
ダー２２の停動Ｗ１−１離あるいは位置Ｐ１・：標を知
ることができる。このように、本実施例の磁気ディスク
を用いた場合、スライダ−２２か移動してもＭＲ素子１
８は常に数ミクロン以内の一定距則にあるため、ＭＲ素
子１８の抵抗の変化率は一定を保つことができる。した
がって、磁化パク−ンのピッチＰを数ミクロンとするこ
とが可能となり、高精度で高分解能をもつ磁気リニアエ
ンコーダを実現可能となる。The temporary spring 20 is attached to a slider 22 held by the linear slide 1-21. This makes it possible to know when the system slider 22 has stopped at W1-1 or when the position P1 is off. In this way, when the magnetic disk of this embodiment is used, even if the slider 22 moves, the MR element 1
8 is always within a constant distance of several microns, the rate of change in resistance of the MR element 18 can be kept constant. Therefore, it becomes possible to set the pitch P of the magnetization patterns to several microns, and it becomes possible to realize a magnetic linear encoder with high precision and high resolution.

以１−に／Ｊ＜シたものは直線状に本発明の磁気ディス
クを１し成し用いる例であるが、第５図に示すように固
体潤滑４Ｓｊ　２３　、磁気媒体２４を円板の円周ａ９
円肖の外Ｊん　ｂに形成することも可能であり、この固
気ティヌクを用いて磁（（ロータリーエンコータを１１
７１成するとリニアの場合と同（壬に高精度で高分割数
のニジコータを得ることか田面となる。The following is an example in which the magnetic disk of the present invention is formed in a straight line, but as shown in FIG. Zhou a9
It is also possible to form a circular shape, and using this solid tinuku, it is possible to form a magnetic
71, it is the same as the linear case (it is difficult to obtain a Nijicoater with high precision and a high number of divisions).

発明の効果 目−１−のように、本発明は磁気パターンを記録［７た
磁気媒体面と、パターン読み取り磁気へ、トとを一定間
隔をもって配置し、磁気へ、Ｉ−に磁気媒体面に対する
摺動部を形成して、この摺動部を潤滑（・（を介して磁
夕（気体媒体上で摺動させるようにした磁気エンコーダ
であり、次に示す効果を生じる。As described in Effects of the Invention -1-, the present invention arranges magnetic patterns on the magnetic medium surface for recording [7] and pattern reading magnetic media at regular intervals; This is a magnetic encoder in which a sliding part is formed and the sliding part is slid on a magnetic medium (gaseous medium) through lubrication (.), which produces the following effects.

第１に、へ、１−摺動面に固体温ｆ’：’Ｉ’　ＬＡを
用いるだめ、摺動抵抗が極めて小さく、磁気ヘット及び
摺動面の摩耗がない。Firstly, since the solid temperature f':'I' LA is used on the sliding surface, the sliding resistance is extremely small and there is no wear on the magnetic head and the sliding surface.

第２に、ヘノｌ一部を磁気媒体１石］から常に一定距離
に保つことが可能となる。したがって、常に安定した出
力を取り出すことができる。Second, it is possible to always maintain a portion of the helical metal at a constant distance from the magnetic medium. Therefore, stable output can always be obtained.

第３に、数ミクロンの一定間隔でヘノ１−を保つことが
出来るだめ高い分解能の磁気エンコータか実現できる。Thirdly, since the helenoid can be maintained at regular intervals of several microns, a magnetic encoder with high resolution can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明による磁気エンコークの実施例′を示す
概略図、第２図は本発明による磁気エンコータの能の実
施例を示す概略図、第３図ａ　−ｅ　（ｄ：本発明に使
用される磁気ディスクの製〕告土＋′１“を示す断面図
、第４図は本発明による磁気エンコークｔａノ、（ｈ） の更に他の実施例を示す斜視図、へ′１□５ピ発明によ
る磁気エンコークの更に他の実施例を示す一部分解斜視
図である。 １・・・・・磁気ヘッド、２　・・・摺動部、３　　磁
気媒体面、４・・・潤滑利、５　・基板、６　・・磁気
媒体、７・・・固１本潤ｔ：’ｋ　４；イ、８−７・、
ｉ　Ｒヘット、９　・ｔ・Ｒ素子、１Ｑ　・摺動部、１
１・・バネ、１２　・・）１ｕ板、１３・・・固体潤滑
相、１４　・・磁−（媒体、１５・・磁気ディスク、１
６．２３　　・・・随１イ（・ｉｌ’ｉ：ｌδ”［（（
、１７，２４・　　磁気１〜，１本、　１８ＭＲ素子、
１９　・・摺動部、２０　　板ハネ、２１・　　スライ
ドカイ１〜．２２　　スライダー。 代即人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 第３図 第４図　　　　　２ｆFig. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the magnetic encoder according to the present invention, Fig. 2 is a schematic diagram showing an embodiment of the function of the magnetic encoder according to the present invention, and Fig. 3 a - e (d: used in the present invention). FIG. 4 is a sectional view showing a magnetic encoder according to the present invention, (h) a perspective view showing still another embodiment of the magnetic encoder according to the present invention; It is a partially exploded perspective view showing still another embodiment of the magnetic encoder according to the invention. 1... Magnetic head, 2... Sliding part, 3 Magnetic medium surface, 4... Lubrication efficiency, 5. Substrate, 6...Magnetic medium, 7...Hardware:'k 4;I, 8-7...
i R head, 9 ・t・R element, 1Q ・Sliding part, 1
1... Spring, 12...) 1U plate, 13... Solid lubricant phase, 14... Magnetic (medium, 15... Magnetic disk, 1
6.23...1st i(・il'i:lδ"[((
, 17, 24・Magnetic 1~, 1, 18MR element,
19...Sliding part, 20 Plate spring, 21. Slide chi 1~. 22 Slider. Name of representative Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person 1st
Figure 2 Figure 3 Figure 4 2f

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）磁気パターンを記録した磁気媒体面と、読取りヘ
ノ１−とを一定間隔をもって配置し、前記読取りヘット
に磁気媒体面に７１する摺動部を形成し、この摺動部を
潤滑相を介して磁気媒体上を摺動させるようにしたこと
を特徴とする磁気エンコータ。(1) A magnetic medium surface on which a magnetic pattern is recorded and a reading head 1- are arranged at a constant interval, a sliding part 71 is formed on the magnetic medium surface in the reading head, and this sliding part is coated with a lubricating phase. 1. A magnetic encoder, characterized in that the encoder is configured to slide on a magnetic medium via a magnetic medium. （２）潤滑相が固体潤滑材である特許請求の範囲第１項
記戦の磁気エンコーダ。(2) The magnetic encoder according to claim 1, wherein the lubricating phase is a solid lubricant.