JPS59201494A - 透明電磁遮蔽部材 - Google Patents

透明電磁遮蔽部材

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JPS59201494A
JPS59201494A JP58075919A JP7591983A JPS59201494A JP S59201494 A JPS59201494 A JP S59201494A JP 58075919 A JP58075919 A JP 58075919A JP 7591983 A JP7591983 A JP 7591983A JP S59201494 A JPS59201494 A JP S59201494A
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JP
Japan
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electromagnetic shielding
transparent
thin film
shielding member
electromagnetic
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JP58075919A
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寺谷 達夫
稲津 雅弘
康訓 多賀
豊 澤田
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Toyota Motor Corp
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Toyota Central R&D Labs Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電磁波を遮蔽し、電波障害を防止する透明部材
に関する。
本発明の透明電磁遮蔽部材は、窓ガラス、あるいは94
1音電波を発する電子機器のケース等に用いることがで
きる。例えば、自動車用窓ガラスに本発明の透明電磁遮
蔽部材を用いると、自動車に搭載されている各種電子機
器から発する雑音電波を効率よく遮蔽することができ、
電波障害の防止に有用である。
従来、透明な電fikn蔽部拐としては、ガラス、プラ
スチック等の透明な透光体表面に[T O(インジウム
オキサイド(JnzO3)と二酸化錫(Sn O2)と
の固溶体)等の透明導電性@膜を形成したものが用いら
れていた。しかし、従来川いられていた上記透明な電磁
遮蔽薄膜においては電磁遮蔽の効果をあげるためには、
ガラス等の表面に形成する透明導電性薄膜の膜厚を厚く
しな【プればならなかった。しかし、膜厚を厚くすると
可視光線透過率が低下したり、機械的化学的耐久性が低
下したり、あるいは又、生産性が低下する等の欠点があ
った。
本発明は以上のような欠点に鑑み案出されたものであり
、可視光透過率を低下させることなく可視光よりも長波
長の電磁波を効率良く遮断することのできる透明電磁遮
蔽部材を提供することを目的とする。
本発明の透明電磁遮蔽部材は、透明基板と、該透明基板
上に形成された電磁遮蔽薄膜とから成り、該電磁遮蔽薄
膜は、透明導電性薄膜と、該透明導電性薄膜とは異なる
電磁気的特性を有する材料の透明薄膜とが交互に積層さ
れて成るものであることを特徴どするものである。
電磁波を成る部材によって遮蔽部るためには、電磁波を
核酸る部材によって反射もしくは吸収すれば良い。即ち
、核酸る部材による電磁波の損失Sは、S=R+△とし
て表わされる。ここに、Rは反射による損失、Aは吸収
による損失である。
透明導電性薄膜をガラス等の透光体の表面上に形成して
いた従来の電磁遮蔽部材では、上記Aを増大さ「にうと
すると可視光透過率の低下、生産性低下、耐久性の低下
等のような欠点が現われ、又、上記Rは透明導電性is
が単層として形成されているために、該薄膜の形成材料
によって定まる成る値以上とづることはできなかった。
これに対し、本発明は電磁遮蔽薄膜を多層構造と覆るこ
とによって電磁波の多重反則を生ぜしめ、上記Rの値を
増大させるとともに該多層構造にJ:り上記Aをも増大
させたものである。
上記したように本発明の透明電磁遮蔽部材は透明基板と
、電磁遮蔽薄膜とから成る。
透明基板としては通常用いられている透明な材料、例え
ばガラス、プラスチック等を用いることができる。
電磁遮蔽薄膜は電磁波を反射(多重反射を含む)、ある
いは吸収づることによって電磁波の遮断効果をあげる機
能を有づる。電磁遮蔽薄膜は、透明導電性簿膜と、該透
明導電性薄膜とは電磁気的特性が異なる材料とによる多
層構造として形成される。透明導電性薄膜としては、I
TO(インジウムオキザイド(In 203)と二酸化
錫(Sn O2)との固溶体)等を用いることができる
。透明導電性薄膜と異なる電磁気的特性を有する材料と
しては、例えば電気抵抗率が異なる材料、誘電率もしく
は誘電損失の異なる材料、透磁率もしくは磁気損失の異
なる材料等を用いることができる。
電磁波が1の媒質から他の媒質に入射する場合、境界面
において一般に反射及び透過が生じる。反射は上記1の
媒質と上記他の媒質中における電磁波の波動インピーダ
ンスが異なる場合に生ずる。
従って、境界面において電磁波の反射を生ぜしめたい場
合には、境界面の前後における電磁波の波動インピーダ
ンスを異ならせれば良い。電磁波の波動インピーダンス
は誘電率ε、透磁率μ、及び導電率にの関数として与え
られる。従って、上記1の媒質と、上記他の媒質との境
界面における電磁波の反射を生ぜしめたい場合には両媒
質中における誘電率ε、あるいは透磁率μ、あるいは導
電率にを異なるようにすれば良い。
本発明はかかる原理に基づくものである。又、本発明に
おいて電磁波の遮蔽効果を一層あげるためには電磁遮蔽
薄膜中における電磁波の吸収損失を大きくすればよい。
このためには、例えば誘電損失、磁気損失等を大きくす
れば良い。
本発明の電磁遮蔽部材は透明であることを有づるため、
電磁遮蔽薄膜の膜厚は1000A〜数μmの範囲とし可
視光の波長域の電磁波は透過するように構成する必要が
ある。又、本発明の透明電磁遮蔽部材では電磁遮蔽薄膜
を保護するために該電磁遮蔽薄膜の最表層に二酸化珪素
(SiOz)の薄膜を形成すると良い。この場合、二酸
化珪素の薄膜によって可視光の反射率を低減するという
副次的効果を期待することもできる。
以上、述べた様に本発明の透明電磁遮蔽部材は可視光を
選択的に透過し、長波長の電磁波を遮断するバイパスフ
ィルターとして機能Jるものである。
本発明の透明電磁遮蔽部材によると、電子機器等から発
する雑音電波を効率良く遮断することができる。又電磁
遮蔽薄膜を多層構造としているために機械的、化学的耐
久性も優れ、又生産性も優れている。
以下、本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の実施例である電磁遮蔽ガラスの断面を
模式的に示した図であり、第2図及び第3図は本実施例
の電磁遮蔽ガラスによる電磁遮蔽効果を示すグラフであ
る。第1図に示すように本実施例の電磁遮蔽ガラスはガ
ラス基板10上に積層されたITO膜20と二酸化珪素
膜30とから成る。ITOII*20は三層から成り、
それぞれの膜厚は3000大である。二酸化珪素膜30
はITO膜20に挾まれた位置にあり、その膜厚はそれ
ぞれ1500人である。
本実施例の電磁遮蔽ガラスはカラス基板1o上にfTo
膜20及び二酸化珪素膜3oをそれぞれRFマグネトロ
ンスパッタリング法によって成膜させることによって製
造した。成膜後350℃に90分間保つ熱処理を施した
本実施例におりる電磁遮蔽薄膜の抵抗率は1゜5X10
−3Ωcm、可視光透過率は最高87%、波長1500
nmにお(ブる透過率は25%であった。
比較のために従来の電1遮蔽部材である透明導電性薄膜
をカラス上に形成した電磁遮蔽部材を製造した。透明導
電性薄膜としてはITOを用い、その膜厚は9000人
とした。ここに膜厚9.000人は前記実施例のITO
の総膜厚9000人と等しくするためのものである。比
較81(石の抵抗率は1.5X10−3Ωcm、可視光
透過ta ハz4高83%、又波長1500nmにおけ
る透過率は11%であり、ITOHm自体の特性は基本
的に前記実施例とほぼ等しいものであった。しかし、電
磁波の遮蔽効果に関しては、第2図及び第3図に示りJ
、うに前記実施例の電磁遮蔽ガラスは従来の電磁遮蔽部
材に比較し、非常に優れていた。第2図、第3図にその
結果を示す。なお電磁遮蔽効果の測定は、シールド箱の
中において点火プラグを放電させ、これを雑音発生鯨と
し、前記シールド箱に設けた一開口面を電磁遮蔽板で塞
ぎ、オープンフィールドにおいて広帯域受信アンテナに
よって、前記点火プラグより放出された雑音電波の電界
強度を測ったものである。第2図は水平偏波を、又第3
図は垂直偏波の雑音電界強度をそれぞれ示す。図におい
て全開とはシールド箱の前記開口面を鉄板で覆った場合
、開放とは該開口面を開いた場合である。又、本実施例
とは、本実施例の電磁遮蔽ガラスを前記開口面に用いた
場合であり、比較サンプルとは従来の電f11a敵部材
で前記開口面を塞いだ場合を示す。第2図および第3図
より本実施例の電磁遮蔽ガラスは従来の電磁遮蔽部材に
比較して電磁遮蔽効果が優れていることがわかる。又、
前記したように可視光透過率も優れている。
以上、要するに本発明の透明電磁遮蔽部材は、透明基板
上に電磁遮蔽薄膜を積層するものであり、該電磁遮蔽薄
膜を透明導電性薄膜と、該透明導電性薄膜とは電磁気的
特性の異なる材料との多層構造としたことを特徴とする
ものである。
実施例に詳述したように、本発明の透明電磁遮蔽部材は
電磁遮蔽効果が優れ、又多層構造としているため機械的
化学的耐久性にも優れている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例である電磁遮蔽カラスの断面模
式図である。第2図および第3図は上記実施例及び従来
の電磁遮蔽部材の電磁遮蔽効果を比較づるグラフであり
、第2図は水平偏波の電界強度を表わし、第3図は垂直
偏波の電界強度を表わす。 特許出願人  トヨタ自動車株式会社 同    株式会社豊田中央研究所 代理人  弁理士  大川 宏 同   弁理士  藤谷 修 同   弁理士  丸山明夫 第3図 周3厭(MHz)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板と、該透明基板上に形成された電磁遮蔽
    薄膜とから成り、 該電磁遮蔽薄膜は、透明導電性薄膜と、該透明導電性薄
    膜とは異なる電磁気的特性を有する材料の透明薄朕とが
    交互に積層されて成るものであることを特徴とづる透明
    電磁遮蔽部材。
  2. (2)前記電磁気的特性は、電気抵抗率である特許請求
    の範囲第1項記載の透明電磁遮蔽部材。
  3. (3)前記電磁気的特性は誘電率もしくは誘電損失であ
    る特許請求の範囲第1項記載の透明電磁遮蔽部材。
  4. (4)前記電磁気的特性は透磁率もしくは磁気損失であ
    る特許請求の範囲第1項記載の透明電磁遮蔽部材。
  5. (5)前記電磁遮蔽薄膜は、その膜厚が1000人〜数
    μmの範囲である特許請求の範囲第1項記載の透明電磁
    遮蔽部材。
  6. (6)前記透明導電性薄膜は、その材料がITO(イン
    ジウムオキサイド(inzo3)と二酸化錫(8110
    2>との固溶体)である特許請求の範囲第1項記載の透
    明電磁遮蔽部材。
JP58075919A 1983-04-28 1983-04-28 透明電磁遮蔽部材 Granted JPS59201494A (ja)

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JPH0563960B2 JPH0563960B2 (ja) 1993-09-13

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