JPS59200083A - ポンプ - Google Patents
ポンプInfo
- Publication number
- JPS59200083A JPS59200083A JP58075383A JP7538383A JPS59200083A JP S59200083 A JPS59200083 A JP S59200083A JP 58075383 A JP58075383 A JP 58075383A JP 7538383 A JP7538383 A JP 7538383A JP S59200083 A JPS59200083 A JP S59200083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- unimorph
- unimolf
- size
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 12
- 239000000446 fuel Substances 0.000 abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
- F04B43/043—Micropumps
- F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は流体を加圧する振動部に電気を振動に直接変換
する圧電磁器薄板と金属製薄板を貼り合わせたユニモル
フ振動子を用いたポンプに関する。
する圧電磁器薄板と金属製薄板を貼り合わせたユニモル
フ振動子を用いたポンプに関する。
〈従来技術〉
従来のポンプは、電動機やツレ/イドを使い、羽根車や
ピストン又はプランジャーを作動させその回転運動や往
復運動により、液体燃料に遠心力を与えて吐出したり、
シリング−内容積の拡大と縮小により吐出したりする構
造であった。しかし、この従来のポンプでは、液体燃料
に直接作用する羽根車やピストン又はプランツヤ−等は
、電気信号を与えても自ら運動できず、羽根車やピスト
ンは電動機の回転運動を伝達軸により受け、またプラン
ジャーはソレノイドに流れる電流による磁界(電磁力)
によりその働ぎを行うものであるが、このような中間的
な伝達機構を持つことは、ポンプ白木の大型化を招き、
また内部構造を複雑にしていた。
ピストン又はプランジャーを作動させその回転運動や往
復運動により、液体燃料に遠心力を与えて吐出したり、
シリング−内容積の拡大と縮小により吐出したりする構
造であった。しかし、この従来のポンプでは、液体燃料
に直接作用する羽根車やピストン又はプランツヤ−等は
、電気信号を与えても自ら運動できず、羽根車やピスト
ンは電動機の回転運動を伝達軸により受け、またプラン
ジャーはソレノイドに流れる電流による磁界(電磁力)
によりその働ぎを行うものであるが、このような中間的
な伝達機構を持つことは、ポンプ白木の大型化を招き、
また内部構造を複雑にしていた。
〈目的〉
そこで本発明は、上記の点に鑑み、電気エネルギーを往
復運動である振動に直接変換するユニモルフ振動子をポ
ンプの機構部に用いることにより、構造を簡単にしかつ
小型化するとともに、相料費低減および生産性向上を図
り得るポンプの提供を目的としている。
復運動である振動に直接変換するユニモルフ振動子をポ
ンプの機構部に用いることにより、構造を簡単にしかつ
小型化するとともに、相料費低減および生産性向上を図
り得るポンプの提供を目的としている。
〈実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。まず
本発明の流体用例えば液体燃料用の液送ポンプの一例を
、一枚の円板状ユニモルフ振動子を用いすこ場合につい
て図面と共に説明する。
本発明の流体用例えば液体燃料用の液送ポンプの一例を
、一枚の円板状ユニモルフ振動子を用いすこ場合につい
て図面と共に説明する。
第1.2.3図は夫々液送ポンプの平面図、断面図、底
面図であり、第4,5図は夫々その振動部に用いられる
一枚の圧電磁器薄板に一枚の金属製薄板を貼り合すせた
円板状ユニモルフ振動子の底面図、断面図である。
面図であり、第4,5図は夫々その振動部に用いられる
一枚の圧電磁器薄板に一枚の金属製薄板を貼り合すせた
円板状ユニモルフ振動子の底面図、断面図である。
第1. 、2 、3図において、1は振動部に圧電磁器
薄板くピエゾ素子)2を用いた円板状のユニモルフ振動
子であり、三個の構成片からなるポンプ本体3の内部の
液体加圧部4に、その容積を拡大、縮小させる如く円板
状のユニモルフ振動子1が配置されている。5は前記圧
電磁器薄板2と共にユニモルフ振動子1を構成する金属
製薄板、6は吐出側逆止弁、7は吸入側逆止弁、8は吐
出側継手、9は導線、10はユニモルフ振動子の外周部
を固定しかつ加圧部4を密閉するパツキン、11は吸入
側継手である。
薄板くピエゾ素子)2を用いた円板状のユニモルフ振動
子であり、三個の構成片からなるポンプ本体3の内部の
液体加圧部4に、その容積を拡大、縮小させる如く円板
状のユニモルフ振動子1が配置されている。5は前記圧
電磁器薄板2と共にユニモルフ振動子1を構成する金属
製薄板、6は吐出側逆止弁、7は吸入側逆止弁、8は吐
出側継手、9は導線、10はユニモルフ振動子の外周部
を固定しかつ加圧部4を密閉するパツキン、11は吸入
側継手である。
上記構造の液送ポンプにおいて、ユニモルフ振動子1に
接続されている導線9に一定周波数の正負の電圧を印ツ
ノ1けると、第5図(a)、 (b)の如く、ユニモル
フ振動子1は凹凸状に交互に変形する。
接続されている導線9に一定周波数の正負の電圧を印ツ
ノ1けると、第5図(a)、 (b)の如く、ユニモル
フ振動子1は凹凸状に交互に変形する。
このユニモルフ振動子1の前方に2個の逆止弁6゜7が
あり、ユニモルフ振動子1が第5図(1〕)の如く凹状
に変化するとき、吐出側逆止弁6は閉じ、吸入側逆止弁
7が開き液体燃料は液体加圧部4に流入する。
あり、ユニモルフ振動子1が第5図(1〕)の如く凹状
に変化するとき、吐出側逆止弁6は閉じ、吸入側逆止弁
7が開き液体燃料は液体加圧部4に流入する。
次にユニモルフ振動子1が第5図(ll)の如く平面状
ないし凸状に変化するとき、吸入側逆止弁7は閉じ、吐
出側逆止弁6が開き液体加圧部4にある1本燃料は、吐
出側逆止弁6を通))圧送される。
ないし凸状に変化するとき、吸入側逆止弁7は閉じ、吐
出側逆止弁6が開き液体加圧部4にある1本燃料は、吐
出側逆止弁6を通))圧送される。
なおユニモルフ振動子1は導線9に一定周波数の正負の
電圧を印加すると、第5図(a)、(1+)の如く凹凸
状に交互に変形するが、その大外さΔIは電圧の大きさ
に比例したたわみ量で得られ、ポンプの吐出流量を電圧
により制御できることになる。
電圧を印加すると、第5図(a)、(1+)の如く凹凸
状に交互に変形するが、その大外さΔIは電圧の大きさ
に比例したたわみ量で得られ、ポンプの吐出流量を電圧
により制御できることになる。
次に、本発明実施例の要部を第6図以降についてさらに
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第6,7図の如く、ユニモルフ振動子1は円板状の薄板
であり、その特徴を製品の形として又祠料費低減や生産
性(成形、加工、組立)の向上のために、ポンプ本体3
は第一構成片12、第二構成片13、第三構成片14の
三個に分割される。第6図の第一構成片12には、液体
燃料の吐出側接続継手8、吸入側接続継手j1、と、各
継手8゜11に貫通形成された第一吸入通路15、第二
吐出通路16、各通路15.16の一端側に形成された
吸入側弁座17、吐出側弁退部18及び密閉用パツキン
溝19が設けられる。第7図の第二構成片13には、吐
出側弁座20、その中央部を貫通する第二吐出通路21
と吸入側弁退部22、第二吸入通路23、更に密閉用パ
ツキン溝32及びクッション兼密閉用パツキン支持面2
4aが設けられている。第三構成片14には、ユニモル
フ振動子1の支持面25、クッション兼密閉用パツキン
支持面241〕が設けられる。
であり、その特徴を製品の形として又祠料費低減や生産
性(成形、加工、組立)の向上のために、ポンプ本体3
は第一構成片12、第二構成片13、第三構成片14の
三個に分割される。第6図の第一構成片12には、液体
燃料の吐出側接続継手8、吸入側接続継手j1、と、各
継手8゜11に貫通形成された第一吸入通路15、第二
吐出通路16、各通路15.16の一端側に形成された
吸入側弁座17、吐出側弁退部18及び密閉用パツキン
溝19が設けられる。第7図の第二構成片13には、吐
出側弁座20、その中央部を貫通する第二吐出通路21
と吸入側弁退部22、第二吸入通路23、更に密閉用パ
ツキン溝32及びクッション兼密閉用パツキン支持面2
4aが設けられている。第三構成片14には、ユニモル
フ振動子1の支持面25、クッション兼密閉用パツキン
支持面241〕が設けられる。
なお、ユニモルフ振動子1の支持面25は、第14図の
変形側の如く第二構成片13に設けることもできる。
変形側の如く第二構成片13に設けることもできる。
また三分割した第一構成片12、第二構成片13、第三
構成片14の結合には、その締結用ネジ孔33、同じく
通孔33aと締結用ネジ34又は接着剤等の手段が用い
られる。そして前記第−構成片12、第二構成片13、
第三構成片14の形状は、@9図(a)の如く同一径の
丸形26や、第9図(b)の如く同一の三角形27、又
は第9図(c)の如く同一の四角形28とされ、その中
心からの最大寸法Rはユニモルフ振動子1の半径rの1
゜2〜2倍とされる。例えば、半径rの小さいユニモル
フ振動子1の場合、その半径1・力弓Ommの時、ポン
プ本体3の大きさは、ユニモルフ振動子の大きさの1.
5〜2倍である15〜20mmとされ、半径rか25m
mと大きい時、ユニモルフ振動子の1.2−1.6倍で
ある3 0−−40nonの大きさとされる。
構成片14の結合には、その締結用ネジ孔33、同じく
通孔33aと締結用ネジ34又は接着剤等の手段が用い
られる。そして前記第−構成片12、第二構成片13、
第三構成片14の形状は、@9図(a)の如く同一径の
丸形26や、第9図(b)の如く同一の三角形27、又
は第9図(c)の如く同一の四角形28とされ、その中
心からの最大寸法Rはユニモルフ振動子1の半径rの1
゜2〜2倍とされる。例えば、半径rの小さいユニモル
フ振動子1の場合、その半径1・力弓Ommの時、ポン
プ本体3の大きさは、ユニモルフ振動子の大きさの1.
5〜2倍である15〜20mmとされ、半径rか25m
mと大きい時、ユニモルフ振動子の1.2−1.6倍で
ある3 0−−40nonの大きさとされる。
この大きさが三分割した第一、第二、第三構成片12,
13.14を結合するためと、ユニモルフ振動子1を支
持するための最適小形化寸法である。
13.14を結合するためと、ユニモルフ振動子1を支
持するための最適小形化寸法である。
次に三分割した第一、第二、第三構成片の結合した厚み
Tについては、第10.13図の様に吸入側接続継手1
1と吐出側接続継手8、及びネジ34の頭部の高さ司法
を除外、15〜30mmの大きさとする。例えば第一構
成片12と第二構成片13との間に吸入側逆止弁7と吐
出側逆止弁6の二個の逆止弁が位置するが、この逆止弁
の形式が第10.11図のような切目30aを有するリ
ング弁30や、第12図の切目29aを有する一対の弁
6,7を具えたり−ド弁29のような形式のものは、ポ
ンプ全体を薄く設計することが可能となり、厚みTを1
5〜20mmにすることができる。
Tについては、第10.13図の様に吸入側接続継手1
1と吐出側接続継手8、及びネジ34の頭部の高さ司法
を除外、15〜30mmの大きさとする。例えば第一構
成片12と第二構成片13との間に吸入側逆止弁7と吐
出側逆止弁6の二個の逆止弁が位置するが、この逆止弁
の形式が第10.11図のような切目30aを有するリ
ング弁30や、第12図の切目29aを有する一対の弁
6,7を具えたり−ド弁29のような形式のものは、ポ
ンプ全体を薄く設計することが可能となり、厚みTを1
5〜20mmにすることができる。
なお、第13図の如き逆止弁6,7にチェックスプリン
グ形式のスプリング31と球弁32を利用したものは、
20〜30mmの厚みTを必要とする。
グ形式のスプリング31と球弁32を利用したものは、
20〜30mmの厚みTを必要とする。
く効果〉
以上の説明から明らかな通り、本発明によれば、下記の
効果が期待できる。
効果が期待できる。
(イ)ユニモルフ振動子の利用により、機能及び構造が
簡素化され、小型化が可能となる。
簡素化され、小型化が可能となる。
(ロ)機能部品点数が少なくなり、各部品形状精度の累
積影響度が小さくなり高品質が望める。
積影響度が小さくなり高品質が望める。
(ハ)従来の中間伝達機構が省け、この機構における損
失がなくなり高効率が望める。
失がなくなり高効率が望める。
(ニ) コスト的に安価なものとなる。
(ホ)往復運動がないため、摩耗なじみによる品質トラ
ブルがない。
ブルがない。
(へ)電圧の大きさによりリニアに吐出量を制御できる
。
。
(ト)ポンプ本体は第一、第二、第三の構成片から構I
&すれているので、この本体を一体的に形成する場合に
比して、材料、生産面での低コスト化が図れ、形状にお
いて軽く、薄く、小型化できる。
&すれているので、この本体を一体的に形成する場合に
比して、材料、生産面での低コスト化が図れ、形状にお
いて軽く、薄く、小型化できる。
図面は本発明の実施例を示すもので、第1図は一実施例
の全体の一部切欠乎面図、第2図は同縦断面図、第3図
は同一部切欠底面図、第4図はユニモルフ振動子の底面
図、第5図(a)、(b)はユニモルフ振動子の作動説
明用断面図、第6図(a)、(b)、(C)は夫々第一
構成片の平面図、縦断面図、底面図、第7図(a)、(
b)、(c)は夫々第二構成片の平面図、縦断面図、底
面図、第8図(a)、 (+))、 (C)は夫々第三
構成片の平面図、縦断面図、底面図、第9図(a)、
(b)、(c)は夫々異なる変形例における底面側全体
斜視図、第1()図は一実施例の全体側面図、第11図
は同逆止弁の平面図、第12図は逆止弁の変形例の平面
図、第13図は他の変形例の全本側面図、第14図はさ
らに別の変形例の全体縦断面図である。 1:ユニモル7振動子、3:ポンプ本体、6,7:逆止
弁、8:吐出側接続継手、10:加圧部密閉用パツキン
、11:吸入側接続継手、12:第一構成片、13:第
二構成片、14:第三構成片、15:第一吸入通路、1
6:第一吐出通路、17二吸入側弁座、20:吐出側弁
座、21:第二吐出通路、23:第二吸入通路、24a
、24b:パツキン支持面、25:ユニモルフ振動子の
支持面。 出 願 人 シャープ株式会社 代理人 中村恒久 第6図 第7図 (a) (a) 第9図 第10図 第14図
の全体の一部切欠乎面図、第2図は同縦断面図、第3図
は同一部切欠底面図、第4図はユニモルフ振動子の底面
図、第5図(a)、(b)はユニモルフ振動子の作動説
明用断面図、第6図(a)、(b)、(C)は夫々第一
構成片の平面図、縦断面図、底面図、第7図(a)、(
b)、(c)は夫々第二構成片の平面図、縦断面図、底
面図、第8図(a)、 (+))、 (C)は夫々第三
構成片の平面図、縦断面図、底面図、第9図(a)、
(b)、(c)は夫々異なる変形例における底面側全体
斜視図、第1()図は一実施例の全体側面図、第11図
は同逆止弁の平面図、第12図は逆止弁の変形例の平面
図、第13図は他の変形例の全本側面図、第14図はさ
らに別の変形例の全体縦断面図である。 1:ユニモル7振動子、3:ポンプ本体、6,7:逆止
弁、8:吐出側接続継手、10:加圧部密閉用パツキン
、11:吸入側接続継手、12:第一構成片、13:第
二構成片、14:第三構成片、15:第一吸入通路、1
6:第一吐出通路、17二吸入側弁座、20:吐出側弁
座、21:第二吐出通路、23:第二吸入通路、24a
、24b:パツキン支持面、25:ユニモルフ振動子の
支持面。 出 願 人 シャープ株式会社 代理人 中村恒久 第6図 第7図 (a) (a) 第9図 第10図 第14図
Claims (1)
- 被圧送物を加圧する振動部に電気を振動に直接変換する
ユニモルフ振動子が設けられ、被圧送物の吸入通路と吐
出通路に夫々逆止弁が設けられたポンプにおいて、ポン
プ本体(3)は互に刷本に形成された第一構成片(12
)、第二構成片(13)、第三構成片(14)が互に順
次固定されて構成され、前記第一構成片(12)には被
圧送物の吸入側接続継手(11)、吐出側接続継手(8
)、各継手に貫通状態で形成された第一吸入通路(15
)、第一吐出通路(16)及び吸入側弁座(17)が設
けられ、前記第二構成片(13)には、吐出側弁座(2
0)、第二吸入通路(23)、第二吐出通路(21)及
び加圧部密閉用パツキン(10)の支持面(24a)が
設けられ、前記第三構成片(14)には、加圧部密閉用
パツキン支持面(24b)が設けられ、前記第二、第三
の構成片(13,14)の一方にユニモルフ振動子(1
)の支持面(25)が設けられたことを特徴とするポン
プ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58075383A JPS59200083A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58075383A JPS59200083A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59200083A true JPS59200083A (ja) | 1984-11-13 |
Family
ID=13574611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58075383A Pending JPS59200083A (ja) | 1983-04-27 | 1983-04-27 | ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59200083A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944659A (en) * | 1987-01-27 | 1990-07-31 | Kabivitrum Ab | Implantable piezoelectric pump system |
US5542921A (en) * | 1994-11-04 | 1996-08-06 | Gerber Products Company | Electric breast pump |
CN108506195A (zh) * | 2017-02-24 | 2018-09-07 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
CN108506196A (zh) * | 2017-02-24 | 2018-09-07 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
CN110863977A (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 研能科技股份有限公司 | 微型流体输送装置 |
US10598169B2 (en) | 2017-02-24 | 2020-03-24 | Microjet Technology Co., Ltd. | Fluid transportation device comprising a valve body, a valve membrane, a valve chamber seat, and an actuator each sequentially stacked within a accommodation space of an outer sleeve having a ring-shaped protrusion structure |
-
1983
- 1983-04-27 JP JP58075383A patent/JPS59200083A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944659A (en) * | 1987-01-27 | 1990-07-31 | Kabivitrum Ab | Implantable piezoelectric pump system |
US5542921A (en) * | 1994-11-04 | 1996-08-06 | Gerber Products Company | Electric breast pump |
CN108506195A (zh) * | 2017-02-24 | 2018-09-07 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
CN108506196A (zh) * | 2017-02-24 | 2018-09-07 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
US10598169B2 (en) | 2017-02-24 | 2020-03-24 | Microjet Technology Co., Ltd. | Fluid transportation device comprising a valve body, a valve membrane, a valve chamber seat, and an actuator each sequentially stacked within a accommodation space of an outer sleeve having a ring-shaped protrusion structure |
CN108506196B (zh) * | 2017-02-24 | 2020-04-21 | 研能科技股份有限公司 | 流体输送装置 |
CN110863977A (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 研能科技股份有限公司 | 微型流体输送装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10087923B2 (en) | Disc pump with advanced actuator | |
US6071087A (en) | Ferroelectric pump | |
US7654283B2 (en) | Check valve and pump including check valve | |
JP4957480B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
US4785719A (en) | Diaphragm for high pressure pumps, compressors or the like | |
JP5429317B2 (ja) | 圧電マイクロポンプ | |
US20100150754A1 (en) | Piezoelectric pump | |
US8162635B2 (en) | Low vibration pump | |
CN103573593A (zh) | 压电柔性隔膜泵 | |
JPS59200083A (ja) | ポンプ | |
AU2004201810A1 (en) | Ferroelectric pump | |
CN112081729B (zh) | 一种带滑阀的谐振式压电叠堆泵 | |
JPS61171891A (ja) | 圧電型ポンプ | |
CA2354076A1 (en) | Ferroelectric pump | |
JPS59221485A (ja) | ポンプ | |
JPH0472479A (ja) | 圧電振動子ポンプ用逆止弁 | |
JPS6172888A (ja) | ポンプ | |
JPS59200081A (ja) | 液送ポンプ | |
JPH0335515B2 (ja) | ||
JPS5941684A (ja) | 液体燃料圧送用ポンプ | |
JPH03149370A (ja) | 圧電振動体およびそれを用いた圧電式ポンプ | |
JPS60159387A (ja) | ポンプ | |
JPS59200082A (ja) | 液送ポンプ | |
JPS63176679A (ja) | 圧電ポンプ | |
JPS61101687A (ja) | ポンプ |