JPS5919920A - 多ビ−ム音響光学変調装置 - Google Patents
多ビ−ム音響光学変調装置Info
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- JPS5919920A JPS5919920A JP12965682A JP12965682A JPS5919920A JP S5919920 A JPS5919920 A JP S5919920A JP 12965682 A JP12965682 A JP 12965682A JP 12965682 A JP12965682 A JP 12965682A JP S5919920 A JPS5919920 A JP S5919920A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/11—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザビーム変調装置に関し、特に、多ビー
ム音響光学（以下ＡＯと略称する）素子を利用した多ビ
ーム変調装置に関するものである。
ム音響光学（以下ＡＯと略称する）素子を利用した多ビ
ーム変調装置に関するものである。
従来、この種の装置として、第１図に示すように、高周
波発振器（１−１） 、 （１−２） 、・・・（１−
ｎ）。
波発振器（１−１） 、 （１−２） 、・・・（１−
ｎ）。
変調器（２−１） 、 （２−２） 、・・（２−ｎ）
を備え、これら変調器に外部から信号（Ｓ、）、（８２
戸・・（Ｓｎ）を与える形式のものがある。この形式の
装置は更に。
を備え、これら変調器に外部から信号（Ｓ、）、（８２
戸・・（Ｓｎ）を与える形式のものがある。この形式の
装置は更に。
結合器ろ、高周波増幅器４．及びＡＯ媒体５を有し、
ＡＯ媒体５にはトランスジューサ６が取り付けられて
いる。ＡＯ媒体５に入射レーザビーム７が与えられると
、入射レーザビーム７は高周波増幅器４の出力信号によ
って変調全量け。
ＡＯ媒体５にはトランスジューサ６が取り付けられて
いる。ＡＯ媒体５に入射レーザビーム７が与えられると
、入射レーザビーム７は高周波増幅器４の出力信号によ
って変調全量け。
変調された複数の出射レーザビーム（８−１）、 （８
−２）、・・・、 （８−ｎ）がＡＯ媒体から出射さ
れる。より具体的に説明すると、高周波発振器（１−１
） 、 （１−２＞。
−２）、・・・、 （８−ｎ）がＡＯ媒体から出射さ
れる。より具体的に説明すると、高周波発振器（１−１
） 、 （１−２＞。
・・・、（１−ｎ）が互いに異なる周波数（ｆｌ）〜（
ｆ、）のｎ個のキャリアを発生する。これらのキャリア
はそれぞれ変…１′（器（２−１）、・・・、（２−ｎ
Ｊにおいてｎ個の信号源（１’Ｘｌ示せず）から与えら
れる信号（ＳＩＬ−、（Ｓｎ） Ｋ： Ｊ：すＡＭ変調
される。変調器（２−１）。
ｆ、）のｎ個のキャリアを発生する。これらのキャリア
はそれぞれ変…１′（器（２−１）、・・・、（２−ｎ
Ｊにおいてｎ個の信号源（１’Ｘｌ示せず）から与えら
れる信号（ＳＩＬ−、（Ｓｎ） Ｋ： Ｊ：すＡＭ変調
される。変調器（２−１）。
・・・、（２−ｎｌの出力信号は、結合器６で混合され
た後、高周波増幅器４で増幅されて、 ＡＯ媒体５のト
ランスジユーザ６に印加される。ＡＯ媒体５に入射した
レーザビーム７に、高周波増幅器４の出力信号に応じた
方向に回折される。この場合、上記キャリア周波数（ｆ
＋し・・（ｆｏ） Ｋ−よってブラック回折角が異なる
ため一次回折光はキャリア周波数（ｆ、）・・・（ｆｎ
ｌに応じた異なる方向に回折される。したがって、 Ａ
Ｏ媒体５からは多ビーム（８−１）、・・・、（８−ｎ
）に分割された形でレーザビームが出射することになる
。このとき、これらのビーム（８−１） 、 −、（８
−ｎ） Ｉｔ”ｉ信号（ｓ＋ｔ−（ｓｎ）に応じて変調
されているから、各信号（Ｓｌ）・・・（Ｓｎ） ｋ多
方向に伝送することが可能である。
た後、高周波増幅器４で増幅されて、 ＡＯ媒体５のト
ランスジユーザ６に印加される。ＡＯ媒体５に入射した
レーザビーム７に、高周波増幅器４の出力信号に応じた
方向に回折される。この場合、上記キャリア周波数（ｆ
＋し・・（ｆｏ） Ｋ−よってブラック回折角が異なる
ため一次回折光はキャリア周波数（ｆ、）・・・（ｆｎ
ｌに応じた異なる方向に回折される。したがって、 Ａ
Ｏ媒体５からは多ビーム（８−１）、・・・、（８−ｎ
）に分割された形でレーザビームが出射することになる
。このとき、これらのビーム（８−１） 、 −、（８
−ｎ） Ｉｔ”ｉ信号（ｓ＋ｔ−（ｓｎ）に応じて変調
されているから、各信号（Ｓｌ）・・・（Ｓｎ） ｋ多
方向に伝送することが可能である。
従来のレーザ光変緩装置は以上のように構成されている
が、以下の如き問題がある。すなわち、−次回折光（８
−１）が信号（Ｓｌ）に従って変調され、断続するが、
一般に信号（Ｓ、）が他の信号（Ｓｊ） （ｉ”＝ｊ）
と独立であるとすれば、 ＡＯ変調素子から射出する一
次回折光の本数は時間と共にランダムに変化する。−次
回折光の本数が変化すると、射出している一次回折光の
一本あたりの強度が変化する。例えば、ある瞬間にｎ本
の一次回折光が射出していたものが、別の瞬間にｍ（＜
ｎ）本の回折光になったとすると、（ｎ−ｍ）本分のレ
ーザ光量の一部が２ｍ本の一次回折光一分配され、この
ようにして９ｍ本の一次回折光の一本あたりの強度が変
化する。従って、 ＡＯ変調素子から一本の一次回折光
のみが射出している場合、その光強度は、ｎ本の一次回
折光が射出している時の光強度に比して、数１０係も強
くなることがある。この現象を一次回折光の相互作用と
呼ぶが、この作用はレーザビームを。
が、以下の如き問題がある。すなわち、−次回折光（８
−１）が信号（Ｓｌ）に従って変調され、断続するが、
一般に信号（Ｓ、）が他の信号（Ｓｊ） （ｉ”＝ｊ）
と独立であるとすれば、 ＡＯ変調素子から射出する一
次回折光の本数は時間と共にランダムに変化する。−次
回折光の本数が変化すると、射出している一次回折光の
一本あたりの強度が変化する。例えば、ある瞬間にｎ本
の一次回折光が射出していたものが、別の瞬間にｍ（＜
ｎ）本の回折光になったとすると、（ｎ−ｍ）本分のレ
ーザ光量の一部が２ｍ本の一次回折光一分配され、この
ようにして９ｍ本の一次回折光の一本あたりの強度が変
化する。従って、 ＡＯ変調素子から一本の一次回折光
のみが射出している場合、その光強度は、ｎ本の一次回
折光が射出している時の光強度に比して、数１０係も強
くなることがある。この現象を一次回折光の相互作用と
呼ぶが、この作用はレーザビームを。
フォトン・モード、するいはヒート・モードで記録変調
するレーザ・プリンター等の装置［は。
するレーザ・プリンター等の装置［は。
印字ドツトに濃淡が生じ、印字品質が落ちる欠点があっ
た。
た。
更に、従来の方式であると、各キャリア周波数（ｆ、）
・・・（ｆｏ）によってプラック回折角が異なるため、
射出ビーム（８−１） 、 （８−２） 、・・・、（
８−ｎ）は。
・・・（ｆｏ）によってプラック回折角が異なるため、
射出ビーム（８−１） 、 （８−２） 、・・・、（
８−ｎ）は。
各々平行にならず、ｎ本の射出ビームを狭い面積に収束
する場合、光学系が犬かがりとなり。
する場合、光学系が犬かがりとなり。
装置全体が高価になる等１問題点が多々あった。
本発明の目的は上記のような欠点を有効に除去でき、簡
単な装置を用いて、同時に多ビームを一定の光変調強度
で変調することができ、且つ、射ｔｌｆビーム相互間隔
を平行にできる多ビーム変調装置を提供することである
。
単な装置を用いて、同時に多ビームを一定の光変調強度
で変調することができ、且つ、射ｔｌｆビーム相互間隔
を平行にできる多ビーム変調装置を提供することである
。
本発明のより多の目的は一本のレーザビームを複数のＶ
〜ザビームに簡単な構成で分割できる分割器全備えた多
ビーム音響光学変調装置を提供することである。
〜ザビームに簡単な構成で分割できる分割器全備えた多
ビーム音響光学変調装置を提供することである。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図において、１は例えば、 ８０ＭＨｚの高周波を発１
辰する高周波発振器、 （２−１） 、 （２−２）
。
図において、１は例えば、 ８０ＭＨｚの高周波を発１
辰する高周波発振器、 （２−１） 、 （２−２）
。
・・・、 （２−ｎ）は変調器、 （Ｓｌ）、（Ｓ２
）、・・・、 （ｓｎ）は図示しない外部信号源からの
ｎ個の信号、 （４−１）。
）、・・・、 （ｓｎ）は図示しない外部信号源からの
ｎ個の信号、 （４−１）。
（４−２） 、・・・、（４−ｎ）は高周波増幅器、５
は例えば。
は例えば。
モリブテン酸鉛単結晶ケ用贋た直方体形状のＡＯ’媒体
、６ｔ／’ｉＡｏ媒体５の一表面」二に取り付けられた
トランスジューサーで、ここでは、ニオブ酸リチウム単
結晶の３６度Ｙ板を使用した。７は入射レーザ光即ち、
入射レーザビームで、波長４８８ｎｍのアルゴン・レー
ザ光であり、この入射レーザ光７Ｖｉ溶融石英を材料と
した後述する平行平板のビーム分割器１ｏにょシ、ｎ本
のレーザビーム（７−１） 、 （７−２） 、・・・
、 （７−ｎ） Ｋ分割される。
、６ｔ／’ｉＡｏ媒体５の一表面」二に取り付けられた
トランスジューサーで、ここでは、ニオブ酸リチウム単
結晶の３６度Ｙ板を使用した。７は入射レーザ光即ち、
入射レーザビームで、波長４８８ｎｍのアルゴン・レー
ザ光であり、この入射レーザ光７Ｖｉ溶融石英を材料と
した後述する平行平板のビーム分割器１ｏにょシ、ｎ本
のレーザビーム（７−１） 、 （７−２） 、・・・
、 （７−ｎ） Ｋ分割される。
分割されたビーム間隔は後述するように、平行で、光強
度も等しい。１１はＡＯ媒体５のｌ・う／スジユーザー
６と対向する面に設けられた超音波吸収体であり、ここ
では、鉛金属を用ｒた。
度も等しい。１１はＡＯ媒体５のｌ・う／スジユーザー
６と対向する面に設けられた超音波吸収体であり、ここ
では、鉛金属を用ｒた。
トランスジューサー６上には、ｎ個の電極（１２−１）
、（１２−２）、・＝、 （１２−ｎ）が被着されてお
り、 ＡＯ媒体５Ｖｃ入射したｎ本のレーザビーム（７
−１）〜（７−ｎ）はそれぞれ−次回折光（８−１）〜
（８−ｎ）及び零次光（９−１１〜（９−ｎ）の形で、
ＡＯ媒体５から出射される。
、（１２−２）、・＝、 （１２−ｎ）が被着されてお
り、 ＡＯ媒体５Ｖｃ入射したｎ本のレーザビーム（７
−１）〜（７−ｎ）はそれぞれ−次回折光（８−１）〜
（８−ｎ）及び零次光（９−１１〜（９−ｎ）の形で、
ＡＯ媒体５から出射される。
第３図を参照して、第２図で使用された平行平板のビー
ム分割器１０の構成及び動作を説明する。第６図におい
て、平行平板１０の垂線に対し、θＧで入射したレーザ
ビーム７は０１で屈折する。この関係は平行平板の屈折
率をｎとすれは、スネルの法則によってよく知られてめ
るように、 ｎ５ｉｎθ、−５ｉｎθ。で与えられる
。各出射ビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（
７−ｎ）の間隔ｔは、平行平板１０の厚さｉｄとすれば
、を−（２ｄ／ｎ）ＳＩｎｏ。の関係で与えられる。こ
れらのことを考慮して。
ム分割器１０の構成及び動作を説明する。第６図におい
て、平行平板１０の垂線に対し、θＧで入射したレーザ
ビーム７は０１で屈折する。この関係は平行平板の屈折
率をｎとすれは、スネルの法則によってよく知られてめ
るように、 ｎ５ｉｎθ、−５ｉｎθ。で与えられる
。各出射ビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（
７−ｎ）の間隔ｔは、平行平板１０の厚さｉｄとすれば
、を−（２ｄ／ｎ）ＳＩｎｏ。の関係で与えられる。こ
れらのことを考慮して。
平行平板１０の対向する二面の一方の面に、高反射膜１
３及び反射防止膜１４ヲ被着し、他方の面上に透光性膜
１５全被着する。反射防止膜１４はレーザビーム７の入
射位置に設けられ、且つ。
３及び反射防止膜１４ヲ被着し、他方の面上に透光性膜
１５全被着する。反射防止膜１４はレーザビーム７の入
射位置に設けられ、且つ。
高反射膜１３は入射位置以外の領域を覆っている。一方
、透光性膜１５は他方の面上の出射ビーム位置に設けら
れている。
、透光性膜１５は他方の面上の出射ビーム位置に設けら
れている。
これら高反射膜１３９反射防止膜１４．及び透光性膜１
５はいずれも誘電体多層膜の膜厚、積層される膜数等を
変化させることによって製作することができる。上記し
た誘電体多層膜のうち、透光性膜１５として使用される
出射ビーム側のｎ個の誘電体膜（１５−１） 、 （１
５−２） 、・・・、（１５−ｎ）は各出射ビームの光
強度が等しくなるような反射率を備えている。具体的に
言えば、レーザビーム７に対する平行平板１０の内部吸
収全零。
５はいずれも誘電体多層膜の膜厚、積層される膜数等を
変化させることによって製作することができる。上記し
た誘電体多層膜のうち、透光性膜１５として使用される
出射ビーム側のｎ個の誘電体膜（１５−１） 、 （１
５−２） 、・・・、（１５−ｎ）は各出射ビームの光
強度が等しくなるような反射率を備えている。具体的に
言えば、レーザビーム７に対する平行平板１０の内部吸
収全零。
反射防止膜１４の反射率を零、更に、高反射膜１３の反
射率ヲ１００％とすると、各出射ビーム（７１） 、
（７−２） 、・・・、（７−ｎ）の光強度が等しくな
る条件は、誘導体膜（１５−１） 、 （１５−２）
、・・・、（１５−ｎ）の反射不全それぞれＲ，、Ｒ２
，・・・、Ｒｎとすると。
射率ヲ１００％とすると、各出射ビーム（７１） 、
（７−２） 、・・・、（７−ｎ）の光強度が等しくな
る条件は、誘導体膜（１５−１） 、 （１５−２）
、・・・、（１５−ｎ）の反射不全それぞれＲ，、Ｒ２
，・・・、Ｒｎとすると。
（１−ＲＩ ）−（１−Ｒ２） ＲＩ −（１−Ｒ３）
ＲＩ Ｒ２＝−＝ （ｉ−Ｒｎ） Ｒ，Ｒ２−Ｒ，１・
・・・・・・・・（１） どなる。反射率が（１）式全満足するような誘電体多層
膜（１５−１） 、 （１５−２） 、・・・、 （１
５−ｎ）を付けることにより、入射レーザ光７は第６図
に示すように１反射防止膜１４から平行平板１０に入射
し。
ＲＩ Ｒ２＝−＝ （ｉ−Ｒｎ） Ｒ，Ｒ２−Ｒ，１・
・・・・・・・・（１） どなる。反射率が（１）式全満足するような誘電体多層
膜（１５−１） 、 （１５−２） 、・・・、 （１
５−ｎ）を付けることにより、入射レーザ光７は第６図
に示すように１反射防止膜１４から平行平板１０に入射
し。
この平行平板１０内を多重反射しながら、進行すると共
に、各多層膜（１５−１１、（１５−２） 、・・・、
（１５−ｎ）’を介［〜て、実質上等しい間隔りでｎ本
の出射レーザビーム、 （７−１） 、 （７−２）
、・・・、（７−ｎ）として分割器即ち′＝ＩＬ行乎板
１０から出射する。このとき。
に、各多層膜（１５−１１、（１５−２） 、・・・、
（１５−ｎ）’を介［〜て、実質上等しい間隔りでｎ本
の出射レーザビーム、 （７−１） 、 （７−２）
、・・・、（７−ｎ）として分割器即ち′＝ＩＬ行乎板
１０から出射する。このとき。
ｎ本のレーザビームは各誘電体膜（１５−１）〜（１５
−ｎ）の反射率が（１）式の関係全満足している限り。
−ｎ）の反射率が（１）式の関係全満足している限り。
実質上等しい光強度を示す。尚、（１）式の関係を満た
す反射率の誘電体膜ぼ各膜厚さ調整することによって容
易に実現できる。また２反射膜１６は金属膜等でもよい
。
す反射率の誘電体膜ぼ各膜厚さ調整することによって容
易に実現できる。また２反射膜１６は金属膜等でもよい
。
このようにして得られた平行且つ等しい光強度のｎ本の
レーザビーム（７−１） 、 （７−２１、・・・、（
７−ｎ）（は第２図のＡＯ媒体５に入射され、上記した
動作が行なわれる。
レーザビーム（７−１） 、 （７−２１、・・・、（
７−ｎ）（は第２図のＡＯ媒体５に入射され、上記した
動作が行なわれる。
第２図に戻って、 ＡＯ媒体５の構成について。
説明しておく。直立体形状のＡＯ媒体５の一表面に取り
付けられたトランスジューサー６ｖｃｔａ、。
付けられたトランスジューサー６ｖｃｔａ、。
出射ビーム間隔ｔと等しいピンチで電極（１２−１）。
（１２−２１，・・・、 （１２−ｎｌが形成されてい
る。高周波発振器１の周波数ｆはそれぞれ変調器（２−
１）。
る。高周波発振器１の周波数ｆはそれぞれ変調器（２−
１）。
（２−２） 、 −、（２−ｎ）においてｎ個の信号（
Ｓｌｙ（Ｓ２）・・・（ｓｎ＋によりＡＭ変調され、そ
の出力信号はｎ個の高周波増幅器（４−１ン、 （４−
２） 、・・・、（４−ｎ）で増幅されて、 ＡＯ媒体
５のトランスジー−サー６」二の各電極（１２−１）
、 （１２−２） 、・・・、 （１２−ｎ）に印加さ
れる。この印加信号により平行で光強度の等しいｎ本の
レーザビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（７
−ｎ）は等しいブラック角で、−次回指光（８−１）
、 （８−２）。
Ｓｌｙ（Ｓ２）・・・（ｓｎ＋によりＡＭ変調され、そ
の出力信号はｎ個の高周波増幅器（４−１ン、 （４−
２） 、・・・、（４−ｎ）で増幅されて、 ＡＯ媒体
５のトランスジー−サー６」二の各電極（１２−１）
、 （１２−２） 、・・・、 （１２−ｎ）に印加さ
れる。この印加信号により平行で光強度の等しいｎ本の
レーザビーム（７−１１、（７−２） 、・・・、（７
−ｎ）は等しいブラック角で、−次回指光（８−１）
、 （８−２）。
・・・、 （８−ｎ）と零次光（９−１） 、 （９−
２） 、・・・、 （９−ｎ）に分離される。
２） 、・・・、 （９−ｎ）に分離される。
第４図を参照すると２本発明の他の実施例に係る多ビー
ムＡＯ変調装置１ｄＡｏ媒体５の入射側及び出射側に、
／リンダーレンズ、楕円レンズ。
ムＡＯ変調装置１ｄＡｏ媒体５の入射側及び出射側に、
／リンダーレンズ、楕円レンズ。
あるいは球面レンズ等のレンズ系１６．１７ｉ設けた構
成を有している。ＡＯ媒体５の入射側に上述したように
レンズ系全挿入すれば、各レーザビームの直径を絞り、
変調帯域幅Δｆｍヲ広くすることができる。具体的に言
えば、変調帯域幅Δｆｍは Δｆｍ＝ ０．５４Ｖ／ｗｏ 、 −・−−
−−−・・・・・（２）（但し、■は超音波音速及びＷ
。はレーザビーム径である）であられされ、（２）式か
らも明らかな通り、レーザビーム径Ｗ。に逆比例してい
るから。
成を有している。ＡＯ媒体５の入射側に上述したように
レンズ系全挿入すれば、各レーザビームの直径を絞り、
変調帯域幅Δｆｍヲ広くすることができる。具体的に言
えば、変調帯域幅Δｆｍは Δｆｍ＝ ０．５４Ｖ／ｗｏ 、 −・−−
−−−・・・・・（２）（但し、■は超音波音速及びＷ
。はレーザビーム径である）であられされ、（２）式か
らも明らかな通り、レーザビーム径Ｗ。に逆比例してい
るから。
レーザビーム、径Ｗ。を小さくすることにより、変調帯
域幅Δｆｍを大きくできる。尚、 ＡＯ媒体５の出射側
のレンズ系は出射ビーム径を一定にすると共に、出射ビ
ームを平行にする機能を有している。
域幅Δｆｍを大きくできる。尚、 ＡＯ媒体５の出射側
のレンズ系は出射ビーム径を一定にすると共に、出射ビ
ームを平行にする機能を有している。
上記実施例では、平行平板１０に溶融石英・を用いたが
使用レーザ光７に対し、内部吸収の少ない光学４ｄ別な
ら、どのようなものでもよい。
使用レーザ光７に対し、内部吸収の少ない光学４ｄ別な
ら、どのようなものでもよい。
又、超音波吸収体１１ハ鉛を用いたが、アルミニウムで
も、低融点ハンダでもよい。ＡＯ媒体５は、二酸化テル
ル単結晶や光学硝子９例えばＦＤ−６、ＡＯＴ−５，Ａ
ＯＴ−４４Ｂ等、（（株）保谷硝子商品名ン音響光学の
性能指数の高い材料ならどれでもよいし、１］１つ、直
方体に限らず、斜めにカットされていても」二い。
も、低融点ハンダでもよい。ＡＯ媒体５は、二酸化テル
ル単結晶や光学硝子９例えばＦＤ−６、ＡＯＴ−５，Ａ
ＯＴ−４４Ｂ等、（（株）保谷硝子商品名ン音響光学の
性能指数の高い材料ならどれでもよいし、１］１つ、直
方体に限らず、斜めにカットされていても」二い。
更に本実施例ではトランスジー−サー６を一枚にしたが
、ｎ個に分割しても良い。なお、レーザビーム７を平行
平板１０に入射する場合。
、ｎ個に分割しても良い。なお、レーザビーム７を平行
平板１０に入射する場合。
第２図に破線で示すように、 ＡＯ媒体５側から入れて
も、各ビーム光強度を等しくする膜構成にしてもよい。
も、各ビーム光強度を等しくする膜構成にしてもよい。
以上のように本発明によれば、平行平板を用いて、一本
のレーザ光ｉｎ本に平行に且つ光強度を等しく分割し、
各ビームを変調することで。
のレーザ光ｉｎ本に平行に且つ光強度を等しく分割し、
各ビームを変調することで。
変調された一次回折光は平行で光強度が等しく得られる
効果がある。
効果がある。
第１図は従来の多ビーム変調装置の概略構成図、第２図
はこの発明の一実施例による多ビームＡＯ変調装置の概
略構成図、第６図は第２図で用いられた多ビーム分割器
を示す図、及び第４図は本発明の他の実施例に係る多ビ
ームＡＯ変調装置を示す図である。 記号の説明 １：高周波発振器； （１−１ン（１−２）・・・（１
−ｎ）周波数の異なる高周波発振器； （２−１） （
２−２１・・・（２−ｎ）変調器；６：結合器； （４
） 、 （４−１） （４−２）・・・（４−ｎＪ高周
波増幅旨；５：音響光学媒体；６：トランスジユーザー
；７：入射レーザ光； （７−１）（７−２）・・・（
７−ｎ）等分割光； （８−１）（８−２）・・・（８
−ｎ）−次回折光； （９−１） （９−２）・・・（
９−ｎ）零次光；１０：平行平板；１１：超音波吸収体
； （１２−１）（１２−２）・・・（１２−ｎ）電極
；１６：高反射膜；１４：反射防止膜； （１５−１）
（１５−２］・・・（１５−ｎ）誘電体多層膜 壓２図 第３図
はこの発明の一実施例による多ビームＡＯ変調装置の概
略構成図、第６図は第２図で用いられた多ビーム分割器
を示す図、及び第４図は本発明の他の実施例に係る多ビ
ームＡＯ変調装置を示す図である。 記号の説明 １：高周波発振器； （１−１ン（１−２）・・・（１
−ｎ）周波数の異なる高周波発振器； （２−１） （
２−２１・・・（２−ｎ）変調器；６：結合器； （４
） 、 （４−１） （４−２）・・・（４−ｎＪ高周
波増幅旨；５：音響光学媒体；６：トランスジユーザー
；７：入射レーザ光； （７−１）（７−２）・・・（
７−ｎ）等分割光； （８−１）（８−２）・・・（８
−ｎ）−次回折光； （９−１） （９−２）・・・（
９−ｎ）零次光；１０：平行平板；１１：超音波吸収体
； （１２−１）（１２−２）・・・（１２−ｎ）電極
；１６：高反射膜；１４：反射防止膜； （１５−１）
（１５−２］・・・（１５−ｎ）誘電体多層膜 壓２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、一本のレーザビームを受光し、実質的に互いに平行
で、「１つ、ビーム強度の実質上等しい複数のレーザビ
ームに分割する分割器と、前記複数のレーザビームを受
け、各レーザビームを超音波変調する手段とを備えた多
ビーム音響光学変調装置。 ２互い［対向する実質上平行な二面を備えた平板と、複
数のレーザビームの出射位置に、前記複数のレーザビー
ムのビーム強度が実質上等しく且つ、出射方向が実質上
互いに平行ＶＣなるように、前記平板の一方の面上に被
着された誘電体多層膜と、前記平板の他方の面上に被着
された反射膜と金有する分割器を使用したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の多ビーム音響光学変調
装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12965682A JPS5919920A (ja) | 1982-07-27 | 1982-07-27 | 多ビ−ム音響光学変調装置 |
| EP83304320A EP0100238B1 (en) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | Acoustooptic modulation element and system |
| US06/517,346 US4592621A (en) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | Acoustooptic modulation element and system for acoustooptically carrying out modulation of a plurality of parallel beams by the use of a single acoustooptic medium |
| DE8383304320T DE3382323D1 (de) | 1982-07-27 | 1983-07-26 | Akustooptisches modulationselement und vorrichtung mit einem solchen element. |
| US06/778,786 US4696551A (en) | 1982-07-27 | 1985-09-23 | Acoustooptic modulation element and system for acoustooptically carrying out modulation, of a plurality of parallel beams by the use of a single acoustooptic medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12965682A JPS5919920A (ja) | 1982-07-27 | 1982-07-27 | 多ビ−ム音響光学変調装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919920A true JPS5919920A (ja) | 1984-02-01 |
Family
ID=15014897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12965682A Pending JPS5919920A (ja) | 1982-07-27 | 1982-07-27 | 多ビ−ム音響光学変調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919920A (ja) |
Cited By (7)
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-
1982
- 1982-07-27 JP JP12965682A patent/JPS5919920A/ja active Pending
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