JPS59198417A - 光路長変化器 - Google Patents
光路長変化器Info
- Publication number
- JPS59198417A JPS59198417A JP7328783A JP7328783A JPS59198417A JP S59198417 A JPS59198417 A JP S59198417A JP 7328783 A JP7328783 A JP 7328783A JP 7328783 A JP7328783 A JP 7328783A JP S59198417 A JPS59198417 A JP S59198417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- plane mirror
- light
- plane
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/02—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
- G02B17/023—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system for extending or folding an optical path, e.g. delay lines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光路長変化器に関し、特にレーザー光による
精密測長システムの高速応答検査器、ドツプラー効果に
よるレーザ光の周波数変調器等における各種干渉計等に
おいて干渉しあf)2つの光の間の光路差を変化させる
のに使用する光路長変化器に関する。
精密測長システムの高速応答検査器、ドツプラー効果に
よるレーザ光の周波数変調器等における各種干渉計等に
おいて干渉しあf)2つの光の間の光路差を変化させる
のに使用する光路長変化器に関する。
第1図は従来の光路長変化器の概念図であジ、1は一筐
体に固足しであるコーナーレフレクタ、4は移動台、2
,3は移動台4に乗せであるコーナーレフレクタである
。また 2/、3/及び4′ は実線で示す当初の位置
のコーナーレフレクタ2゜3及び移動台4の変位後の状
態をそれぞれ現し、1点鎖線はレーザ光を示し、その矢
印はレーザ光の進行方向を現す。本図の例では光の折曲
り回数は2であり、この折曲りにより光路長を移1この
変位量の4(2x折曲り回数)倍だけ変化させている。
体に固足しであるコーナーレフレクタ、4は移動台、2
,3は移動台4に乗せであるコーナーレフレクタである
。また 2/、3/及び4′ は実線で示す当初の位置
のコーナーレフレクタ2゜3及び移動台4の変位後の状
態をそれぞれ現し、1点鎖線はレーザ光を示し、その矢
印はレーザ光の進行方向を現す。本図の例では光の折曲
り回数は2であり、この折曲りにより光路長を移1この
変位量の4(2x折曲り回数)倍だけ変化させている。
本図の光路長変化器は折曲り回数当りの所な部品数が多
く、−また必然的に移動台4の寸法。
く、−また必然的に移動台4の寸法。
重、量が大きくなる欠点があった。
第2図は第1図とは異なる方式の従来の光路長変化器の
概念図であり、6は固定平面鏡6,7は固定平面鏡6に
対し反射面を平行にして変位する移動平面鏡である。移
動平面鏡7が実線の位置にあるときにおける入射光軸8
に対する出射光軸を符号9とすると、移動平面鏡が破線
7′の位置に変位したときの出射光軸は符号9′ の位
置にある。このように、本図の方式では移動平面鏡7の
変位に応じて出射光の光軸が平面鏡6,70反射面に平
行な方向に平行移動するから、移動平面鏡7・の変位量
が太きいと最終の反射点10が固定平面鏡6から外れて
し捷い機能を果し曲々い。そこで、第2図の方式は、構
成が簡単ではあるが、大きな光路差が取れない。また、
出射光軸の平行移動のために、各種干渉計等の内部に組
み込むためには性能低下が避けられなかった。
概念図であり、6は固定平面鏡6,7は固定平面鏡6に
対し反射面を平行にして変位する移動平面鏡である。移
動平面鏡7が実線の位置にあるときにおける入射光軸8
に対する出射光軸を符号9とすると、移動平面鏡が破線
7′の位置に変位したときの出射光軸は符号9′ の位
置にある。このように、本図の方式では移動平面鏡7の
変位に応じて出射光の光軸が平面鏡6,70反射面に平
行な方向に平行移動するから、移動平面鏡7・の変位量
が太きいと最終の反射点10が固定平面鏡6から外れて
し捷い機能を果し曲々い。そこで、第2図の方式は、構
成が簡単ではあるが、大きな光路差が取れない。また、
出射光軸の平行移動のために、各種干渉計等の内部に組
み込むためには性能低下が避けられなかった。
本発明の目的は、構成が簡単で出射光の平行移動がない
光路長変化器の提供にある。
光路長変化器の提供にある。
本発明による光路長変化器の構成は、筐体に固定しであ
る第1の平面鏡と、この第1の平面鏡の反射面に平行に
対面させた反射面がありこれら両反射面の相対距離が変
化する第2の平面鏡と、前記第1の平面鏡に対して所定
角度にある方向から入射された光を反射して前記第1又
は第2の平面鏡に入射させる第3の平面鏡と、前記第1
及び第2の平面鏡で反射されこれら両平面鏡のうちのい
ずれか一方から出射される前記光を前記第1の平面鏡に
対して所定角度にある方向に反射する第4の平面鏡とを
備え、前記第3及び第4の平面鏡は前記相対距離に応じ
て法線が前記第1及び第2の平面鏡の入射面内にあるよ
うに回転をし、この回転は前記第3の平面鏡が前記第1
又は第2の平面の定点に前記光を入射させるとともに前
記第4の平面鏡が前記第1又は第2の平面鏡の定点から
出射された前記光を受けるように行われることを特徴と
する。
る第1の平面鏡と、この第1の平面鏡の反射面に平行に
対面させた反射面がありこれら両反射面の相対距離が変
化する第2の平面鏡と、前記第1の平面鏡に対して所定
角度にある方向から入射された光を反射して前記第1又
は第2の平面鏡に入射させる第3の平面鏡と、前記第1
及び第2の平面鏡で反射されこれら両平面鏡のうちのい
ずれか一方から出射される前記光を前記第1の平面鏡に
対して所定角度にある方向に反射する第4の平面鏡とを
備え、前記第3及び第4の平面鏡は前記相対距離に応じ
て法線が前記第1及び第2の平面鏡の入射面内にあるよ
うに回転をし、この回転は前記第3の平面鏡が前記第1
又は第2の平面の定点に前記光を入射させるとともに前
記第4の平面鏡が前記第1又は第2の平面鏡の定点から
出射された前記光を受けるように行われることを特徴と
する。
次に、本発明の詳細を図面を参照して説明する。
第3図は本発明の一実施例の概念図である。光路長変化
を発生する1組の平行平面鏡11.12のうちの移動鏡
11の動きに同期して回転平面鏡13の回転角を変える
ことにより、常に回転平面鏡14の中央に光を入射させ
ることが可能となる。
を発生する1組の平行平面鏡11.12のうちの移動鏡
11の動きに同期して回転平面鏡13の回転角を変える
ことにより、常に回転平面鏡14の中央に光を入射させ
ることが可能となる。
移動鏡11の平行移動量と回転平面鏡13の回転量の関
係を示したのが第4図である。第4図の如く、移動鏡1
1での光の折曲げ回数が3回の場合、移動鏡11と固定
鏡12によってできる回転平面鏡14の虚像24と回転
平面鏡14の距離は、平行平面鏡11,12の間隔10
6倍になる。この実施例では、回転平面鏡13での反射
光が虚像24の中央32に当たるように回転平面鏡13
?回転させることにより、光を常に回転平面鏡14の中
央31に当てている。
係を示したのが第4図である。第4図の如く、移動鏡1
1での光の折曲げ回数が3回の場合、移動鏡11と固定
鏡12によってできる回転平面鏡14の虚像24と回転
平面鏡14の距離は、平行平面鏡11,12の間隔10
6倍になる。この実施例では、回転平面鏡13での反射
光が虚像24の中央32に当たるように回転平面鏡13
?回転させることにより、光を常に回転平面鏡14の中
央31に当てている。
第4図の破線11′ は実線で示す当初の位置から変
位を受けたの゛ちの移動鏡11を現す。移動鏡11′
で形成される回転平面鏡13の位置での回転平面鏡1
4の虚像25は1回転子面鏡14から平行平面鏡11’
、12の間隔1′の6倍の距離にある。回転平面鏡13
は上述のように回転するから、回転平面鏡13での反射
光は虚像25の中央33に当り、その光は回転平面鏡1
4の中央31にやはり入射される。
位を受けたの゛ちの移動鏡11を現す。移動鏡11′
で形成される回転平面鏡13の位置での回転平面鏡1
4の虚像25は1回転子面鏡14から平行平面鏡11’
、12の間隔1′の6倍の距離にある。回転平面鏡13
は上述のように回転するから、回転平面鏡13での反射
光は虚像25の中央33に当り、その光は回転平面鏡1
4の中央31にやはり入射される。
移動鏡11の変位量と回転平面鏡13の回転角とが上述
のように定めであると、第3図の如く対称性のよい構成
では平面鏡11.12の常に同じ位置26,27,28
,29,30に光が当たる。
のように定めであると、第3図の如く対称性のよい構成
では平面鏡11.12の常に同じ位置26,27,28
,29,30に光が当たる。
一方、回転平面@14を回転平面鏡13と同じ回転量で
、回転方向を逆にすれば、出射光34の方位は変化しな
い。平面鏡11,13 、14を上述の如く動かす機構
は、カム機構、あるいは、第5図に示したようなリンク
41〜44で構成されるコンパス式の機構等にすること
により達成される。
、回転方向を逆にすれば、出射光34の方位は変化しな
い。平面鏡11,13 、14を上述の如く動かす機構
は、カム機構、あるいは、第5図に示したようなリンク
41〜44で構成されるコンパス式の機構等にすること
により達成される。
第5図に斜視図で示すコンパス式の機構は、リンク41
〜44が回転中心15〜18で連結してあり、15.1
8は固定中心、16.17は移動中心であり、二等辺三
角形15,16.17ある 。
〜44が回転中心15〜18で連結してあり、15.1
8は固定中心、16.17は移動中心であり、二等辺三
角形15,16.17ある 。
いは15.16.18の底辺15.16の垂直二等分!
17.18に回転平面鏡13の法線が一致するようにし
た機構である。固定平面鏡14も同様のm構で良い。こ
のコンパス式機構は第3図には回転中心15〜18及び
19〜22のみで示しである。
17.18に回転平面鏡13の法線が一致するようにし
た機構である。固定平面鏡14も同様のm構で良い。こ
のコンパス式機構は第3図には回転中心15〜18及び
19〜22のみで示しである。
以上の説明から明らかなように、この実施例によれば、
出射光の平行移動が除去されるのであるから、平行平面
鏡11は機械的条件の許す限り、他方の平行平面鏡12
からどれだけでも離すことが可能であり、任意の光路差
を作り出せる。また。
出射光の平行移動が除去されるのであるから、平行平面
鏡11は機械的条件の許す限り、他方の平行平面鏡12
からどれだけでも離すことが可能であり、任意の光路差
を作り出せる。また。
光の折曲げ回数を増やして平行平面鏡11の動きによる
光路差を何倍にでもすることが可能であるから、平行平
面鏡11を高速で微動させることにより、光路長を高速
度で大きく変化させることが可能である。
光路差を何倍にでもすることが可能であるから、平行平
面鏡11を高速で微動させることにより、光路長を高速
度で大きく変化させることが可能である。
以上詳述した如く本発明によれば、構成が簡単で出射光
の平行移動がない光路長変化器が提供できる。
の平行移動がない光路長変化器が提供できる。
第1図及び第2図は、互いに異なる方式の従来の光路長
変化器を示す概念図、第3図は本発明の一実施例の概念
図、第4図は第3図の実施例の作動を説明するため概念
図、第5図は第3図の実施例におけるコンパス式機構の
斜視図である。 1.2.3・・・・・・コーナーレフレクタ、4・・川
・移動台、6・・・・・・固定平面鏡、7・・印・移動
平面鏡%8・・・・・・入射光軸、9,9’、34・・
・・・・出射光軸、11・・・・・・移動平面鏡、12
・・・・・・固定平面鏡、13゜14・・・・・・回転
平面鏡、15〜22・・・・・・回転中心、41〜44
・・・・・・リンク、51〜52・・・・・・平面鏡。 代理人 弁理士 内 原 −゛ニー6 。 ゛゛ン ゛l ′f)4区
変化器を示す概念図、第3図は本発明の一実施例の概念
図、第4図は第3図の実施例の作動を説明するため概念
図、第5図は第3図の実施例におけるコンパス式機構の
斜視図である。 1.2.3・・・・・・コーナーレフレクタ、4・・川
・移動台、6・・・・・・固定平面鏡、7・・印・移動
平面鏡%8・・・・・・入射光軸、9,9’、34・・
・・・・出射光軸、11・・・・・・移動平面鏡、12
・・・・・・固定平面鏡、13゜14・・・・・・回転
平面鏡、15〜22・・・・・・回転中心、41〜44
・・・・・・リンク、51〜52・・・・・・平面鏡。 代理人 弁理士 内 原 −゛ニー6 。 ゛゛ン ゛l ′f)4区
Claims (1)
- 筐体に固定しである第1の平面鏡と、この第1の平面鏡
の反射面に平行に対面させた反射面がありこれら両反射
面の相対距離が変化する第2の平面鏡と、前記第1の平
面鏡に対して所定角度にある方向から入射された光を反
射して前記第1又は第2の平面鏡に入射させる第3の平
面鏡と、前記第1及び第2の平面鏡で反射されこれら両
平面鏡のうちのいずれか一方から出射される前記光を前
記第1の平面鏡に対して所定角度にある方向に反射する
第4の平面鏡とを備え、前記第3及び第4の平面鏡は前
記相対距離に応じて法線が前記第1及び第2の平面鏡の
入射面内にあるように回転をし、この回転は前記第3の
平面鏡が前記第1又は第2の平面の定点に前記光を入射
させるとともに前記第4の平面鏡が前記第1又は第2の
平面鏡の足点から出射された前記光を受けるように行わ
れることを特徴とする光路長変化器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7328783A JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7328783A JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59198417A true JPS59198417A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13513778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7328783A Pending JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59198417A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010121185A1 (en) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical mems applications |
-
1983
- 1983-04-26 JP JP7328783A patent/JPS59198417A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010121185A1 (en) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical mems applications |
US8736843B2 (en) | 2009-04-17 | 2014-05-27 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical MEMS applications |
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