JPS59198417A - 光路長変化器 - Google Patents
光路長変化器Info
- Publication number
- JPS59198417A JPS59198417A JP7328783A JP7328783A JPS59198417A JP S59198417 A JPS59198417 A JP S59198417A JP 7328783 A JP7328783 A JP 7328783A JP 7328783 A JP7328783 A JP 7328783A JP S59198417 A JPS59198417 A JP S59198417A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- plane mirror
- light
- plane
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/02—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
- G02B17/023—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system for extending or folding an optical path, e.g. delay lines
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光路長変化器に関し、特にレーザー光による
精密測長システムの高速応答検査器、ドツプラー効果に
よるレーザ光の周波数変調器等における各種干渉計等に
おいて干渉しあｆ）２つの光の間の光路差を変化させる
のに使用する光路長変化器に関する。
精密測長システムの高速応答検査器、ドツプラー効果に
よるレーザ光の周波数変調器等における各種干渉計等に
おいて干渉しあｆ）２つの光の間の光路差を変化させる
のに使用する光路長変化器に関する。
第１図は従来の光路長変化器の概念図であジ、１は一筐
体に固足しであるコーナーレフレクタ、４は移動台、２
，３は移動台４に乗せであるコーナーレフレクタである
。また ２／、３／及び４′ は実線で示す当初の位置
のコーナーレフレクタ２゜３及び移動台４の変位後の状
態をそれぞれ現し、１点鎖線はレーザ光を示し、その矢
印はレーザ光の進行方向を現す。本図の例では光の折曲
り回数は２であり、この折曲りにより光路長を移１この
変位量の４（２ｘ折曲り回数）倍だけ変化させている。
体に固足しであるコーナーレフレクタ、４は移動台、２
，３は移動台４に乗せであるコーナーレフレクタである
。また ２／、３／及び４′ は実線で示す当初の位置
のコーナーレフレクタ２゜３及び移動台４の変位後の状
態をそれぞれ現し、１点鎖線はレーザ光を示し、その矢
印はレーザ光の進行方向を現す。本図の例では光の折曲
り回数は２であり、この折曲りにより光路長を移１この
変位量の４（２ｘ折曲り回数）倍だけ変化させている。
本図の光路長変化器は折曲り回数当りの所な部品数が多
く、−また必然的に移動台４の寸法。
く、−また必然的に移動台４の寸法。
重、量が大きくなる欠点があった。
第２図は第１図とは異なる方式の従来の光路長変化器の
概念図であり、６は固定平面鏡６，７は固定平面鏡６に
対し反射面を平行にして変位する移動平面鏡である。移
動平面鏡７が実線の位置にあるときにおける入射光軸８
に対する出射光軸を符号９とすると、移動平面鏡が破線
７′の位置に変位したときの出射光軸は符号９′ の位
置にある。このように、本図の方式では移動平面鏡７の
変位に応じて出射光の光軸が平面鏡６，７０反射面に平
行な方向に平行移動するから、移動平面鏡７・の変位量
が太きいと最終の反射点１０が固定平面鏡６から外れて
し捷い機能を果し曲々い。そこで、第２図の方式は、構
成が簡単ではあるが、大きな光路差が取れない。また、
出射光軸の平行移動のために、各種干渉計等の内部に組
み込むためには性能低下が避けられなかった。
概念図であり、６は固定平面鏡６，７は固定平面鏡６に
対し反射面を平行にして変位する移動平面鏡である。移
動平面鏡７が実線の位置にあるときにおける入射光軸８
に対する出射光軸を符号９とすると、移動平面鏡が破線
７′の位置に変位したときの出射光軸は符号９′ の位
置にある。このように、本図の方式では移動平面鏡７の
変位に応じて出射光の光軸が平面鏡６，７０反射面に平
行な方向に平行移動するから、移動平面鏡７・の変位量
が太きいと最終の反射点１０が固定平面鏡６から外れて
し捷い機能を果し曲々い。そこで、第２図の方式は、構
成が簡単ではあるが、大きな光路差が取れない。また、
出射光軸の平行移動のために、各種干渉計等の内部に組
み込むためには性能低下が避けられなかった。
本発明の目的は、構成が簡単で出射光の平行移動がない
光路長変化器の提供にある。
光路長変化器の提供にある。
本発明による光路長変化器の構成は、筐体に固定しであ
る第１の平面鏡と、この第１の平面鏡の反射面に平行に
対面させた反射面がありこれら両反射面の相対距離が変
化する第２の平面鏡と、前記第１の平面鏡に対して所定
角度にある方向から入射された光を反射して前記第１又
は第２の平面鏡に入射させる第３の平面鏡と、前記第１
及び第２の平面鏡で反射されこれら両平面鏡のうちのい
ずれか一方から出射される前記光を前記第１の平面鏡に
対して所定角度にある方向に反射する第４の平面鏡とを
備え、前記第３及び第４の平面鏡は前記相対距離に応じ
て法線が前記第１及び第２の平面鏡の入射面内にあるよ
うに回転をし、この回転は前記第３の平面鏡が前記第１
又は第２の平面の定点に前記光を入射させるとともに前
記第４の平面鏡が前記第１又は第２の平面鏡の定点から
出射された前記光を受けるように行われることを特徴と
する。
る第１の平面鏡と、この第１の平面鏡の反射面に平行に
対面させた反射面がありこれら両反射面の相対距離が変
化する第２の平面鏡と、前記第１の平面鏡に対して所定
角度にある方向から入射された光を反射して前記第１又
は第２の平面鏡に入射させる第３の平面鏡と、前記第１
及び第２の平面鏡で反射されこれら両平面鏡のうちのい
ずれか一方から出射される前記光を前記第１の平面鏡に
対して所定角度にある方向に反射する第４の平面鏡とを
備え、前記第３及び第４の平面鏡は前記相対距離に応じ
て法線が前記第１及び第２の平面鏡の入射面内にあるよ
うに回転をし、この回転は前記第３の平面鏡が前記第１
又は第２の平面の定点に前記光を入射させるとともに前
記第４の平面鏡が前記第１又は第２の平面鏡の定点から
出射された前記光を受けるように行われることを特徴と
する。
次に、本発明の詳細を図面を参照して説明する。
第３図は本発明の一実施例の概念図である。光路長変化
を発生する１組の平行平面鏡１１．１２のうちの移動鏡
１１の動きに同期して回転平面鏡１３の回転角を変える
ことにより、常に回転平面鏡１４の中央に光を入射させ
ることが可能となる。
を発生する１組の平行平面鏡１１．１２のうちの移動鏡
１１の動きに同期して回転平面鏡１３の回転角を変える
ことにより、常に回転平面鏡１４の中央に光を入射させ
ることが可能となる。
移動鏡１１の平行移動量と回転平面鏡１３の回転量の関
係を示したのが第４図である。第４図の如く、移動鏡１
１での光の折曲げ回数が３回の場合、移動鏡１１と固定
鏡１２によってできる回転平面鏡１４の虚像２４と回転
平面鏡１４の距離は、平行平面鏡１１，１２の間隔１０
６倍になる。この実施例では、回転平面鏡１３での反射
光が虚像２４の中央３２に当たるように回転平面鏡１３
？回転させることにより、光を常に回転平面鏡１４の中
央３１に当てている。
係を示したのが第４図である。第４図の如く、移動鏡１
１での光の折曲げ回数が３回の場合、移動鏡１１と固定
鏡１２によってできる回転平面鏡１４の虚像２４と回転
平面鏡１４の距離は、平行平面鏡１１，１２の間隔１０
６倍になる。この実施例では、回転平面鏡１３での反射
光が虚像２４の中央３２に当たるように回転平面鏡１３
？回転させることにより、光を常に回転平面鏡１４の中
央３１に当てている。
第４図の破線１１′ は実線で示す当初の位置から変
位を受けたの゛ちの移動鏡１１を現す。移動鏡１１′
で形成される回転平面鏡１３の位置での回転平面鏡１
４の虚像２５は１回転子面鏡１４から平行平面鏡１１’
、１２の間隔１′の６倍の距離にある。回転平面鏡１３
は上述のように回転するから、回転平面鏡１３での反射
光は虚像２５の中央３３に当り、その光は回転平面鏡１
４の中央３１にやはり入射される。
位を受けたの゛ちの移動鏡１１を現す。移動鏡１１′
で形成される回転平面鏡１３の位置での回転平面鏡１
４の虚像２５は１回転子面鏡１４から平行平面鏡１１’
、１２の間隔１′の６倍の距離にある。回転平面鏡１３
は上述のように回転するから、回転平面鏡１３での反射
光は虚像２５の中央３３に当り、その光は回転平面鏡１
４の中央３１にやはり入射される。
移動鏡１１の変位量と回転平面鏡１３の回転角とが上述
のように定めであると、第３図の如く対称性のよい構成
では平面鏡１１．１２の常に同じ位置２６，２７，２８
，２９，３０に光が当たる。
のように定めであると、第３図の如く対称性のよい構成
では平面鏡１１．１２の常に同じ位置２６，２７，２８
，２９，３０に光が当たる。
一方、回転平面＠１４を回転平面鏡１３と同じ回転量で
、回転方向を逆にすれば、出射光３４の方位は変化しな
い。平面鏡１１，１３ 、１４を上述の如く動かす機構
は、カム機構、あるいは、第５図に示したようなリンク
４１〜４４で構成されるコンパス式の機構等にすること
により達成される。
、回転方向を逆にすれば、出射光３４の方位は変化しな
い。平面鏡１１，１３ 、１４を上述の如く動かす機構
は、カム機構、あるいは、第５図に示したようなリンク
４１〜４４で構成されるコンパス式の機構等にすること
により達成される。
第５図に斜視図で示すコンパス式の機構は、リンク４１
〜４４が回転中心１５〜１８で連結してあり、１５．１
８は固定中心、１６．１７は移動中心であり、二等辺三
角形１５，１６．１７ある 。
〜４４が回転中心１５〜１８で連結してあり、１５．１
８は固定中心、１６．１７は移動中心であり、二等辺三
角形１５，１６．１７ある 。
いは１５．１６．１８の底辺１５．１６の垂直二等分！
１７．１８に回転平面鏡１３の法線が一致するようにし
た機構である。固定平面鏡１４も同様のｍ構で良い。こ
のコンパス式機構は第３図には回転中心１５〜１８及び
１９〜２２のみで示しである。
１７．１８に回転平面鏡１３の法線が一致するようにし
た機構である。固定平面鏡１４も同様のｍ構で良い。こ
のコンパス式機構は第３図には回転中心１５〜１８及び
１９〜２２のみで示しである。
以上の説明から明らかなように、この実施例によれば、
出射光の平行移動が除去されるのであるから、平行平面
鏡１１は機械的条件の許す限り、他方の平行平面鏡１２
からどれだけでも離すことが可能であり、任意の光路差
を作り出せる。また。
出射光の平行移動が除去されるのであるから、平行平面
鏡１１は機械的条件の許す限り、他方の平行平面鏡１２
からどれだけでも離すことが可能であり、任意の光路差
を作り出せる。また。
光の折曲げ回数を増やして平行平面鏡１１の動きによる
光路差を何倍にでもすることが可能であるから、平行平
面鏡１１を高速で微動させることにより、光路長を高速
度で大きく変化させることが可能である。
光路差を何倍にでもすることが可能であるから、平行平
面鏡１１を高速で微動させることにより、光路長を高速
度で大きく変化させることが可能である。
以上詳述した如く本発明によれば、構成が簡単で出射光
の平行移動がない光路長変化器が提供できる。
の平行移動がない光路長変化器が提供できる。
第１図及び第２図は、互いに異なる方式の従来の光路長
変化器を示す概念図、第３図は本発明の一実施例の概念
図、第４図は第３図の実施例の作動を説明するため概念
図、第５図は第３図の実施例におけるコンパス式機構の
斜視図である。 １．２．３・・・・・・コーナーレフレクタ、４・・川
・移動台、６・・・・・・固定平面鏡、７・・印・移動
平面鏡％８・・・・・・入射光軸、９，９’、３４・・
・・・・出射光軸、１１・・・・・・移動平面鏡、１２
・・・・・・固定平面鏡、１３゜１４・・・・・・回転
平面鏡、１５〜２２・・・・・・回転中心、４１〜４４
・・・・・・リンク、５１〜５２・・・・・・平面鏡。 代理人 弁理士 内 原 −゛ニー６ 。 ゛゛ン ゛ｌ ′ｆ）４区
変化器を示す概念図、第３図は本発明の一実施例の概念
図、第４図は第３図の実施例の作動を説明するため概念
図、第５図は第３図の実施例におけるコンパス式機構の
斜視図である。 １．２．３・・・・・・コーナーレフレクタ、４・・川
・移動台、６・・・・・・固定平面鏡、７・・印・移動
平面鏡％８・・・・・・入射光軸、９，９’、３４・・
・・・・出射光軸、１１・・・・・・移動平面鏡、１２
・・・・・・固定平面鏡、１３゜１４・・・・・・回転
平面鏡、１５〜２２・・・・・・回転中心、４１〜４４
・・・・・・リンク、５１〜５２・・・・・・平面鏡。 代理人 弁理士 内 原 −゛ニー６ 。 ゛゛ン ゛ｌ ′ｆ）４区
Claims (1)
- 筐体に固定しである第１の平面鏡と、この第１の平面鏡
の反射面に平行に対面させた反射面がありこれら両反射
面の相対距離が変化する第２の平面鏡と、前記第１の平
面鏡に対して所定角度にある方向から入射された光を反
射して前記第１又は第２の平面鏡に入射させる第３の平
面鏡と、前記第１及び第２の平面鏡で反射されこれら両
平面鏡のうちのいずれか一方から出射される前記光を前
記第１の平面鏡に対して所定角度にある方向に反射する
第４の平面鏡とを備え、前記第３及び第４の平面鏡は前
記相対距離に応じて法線が前記第１及び第２の平面鏡の
入射面内にあるように回転をし、この回転は前記第３の
平面鏡が前記第１又は第２の平面の定点に前記光を入射
させるとともに前記第４の平面鏡が前記第１又は第２の
平面鏡の足点から出射された前記光を受けるように行わ
れることを特徴とする光路長変化器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7328783A JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7328783A JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59198417A true JPS59198417A (ja) | 1984-11-10 |
Family
ID=13513778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7328783A Pending JPS59198417A (ja) | 1983-04-26 | 1983-04-26 | 光路長変化器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59198417A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010121185A1 (en) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical mems applications |
-
1983
- 1983-04-26 JP JP7328783A patent/JPS59198417A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010121185A1 (en) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical mems applications |
| US8736843B2 (en) | 2009-04-17 | 2014-05-27 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical MEMS applications |
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