JPS59195894A - Laser device - Google Patents
Laser deviceInfo
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- JPS59195894A JPS59195894A JP58069532A JP6953283A JPS59195894A JP S59195894 A JPS59195894 A JP S59195894A JP 58069532 A JP58069532 A JP 58069532A JP 6953283 A JP6953283 A JP 6953283A JP S59195894 A JPS59195894 A JP S59195894A
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- reflection mirror
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、赤外線レーザ装置などのレーザ共振器内に
設けられるアパーチャ部材を備えたレーザ装置に関する
ものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a laser device including an aperture member provided in a laser resonator, such as an infrared laser device.
従来こンの種のレーザ装置としては、第1図に示すもの
があった。第1図は従来のレーザ装置を示す概略構成図
である。図において、1は交流高電圧の電源、2,3は
相対向して配置されるそれぞれの電極、4は各電極2,
3間に発生される無声放電、5は部分反射ミラー、6は
全反射ミラー、7は部分反射ミラー5の近傍に配設され
るアパーチャ部材、8はレーザ媒質ガスのガス流であシ
、第1図に示すように紙面と直角の方向に流れている。A conventional laser device of this type is one shown in FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a conventional laser device. In the figure, 1 is an AC high voltage power supply, 2 and 3 are electrodes arranged opposite each other, 4 is each electrode 2,
3 is a silent discharge generated between 3, 5 is a partial reflection mirror, 6 is a total reflection mirror, 7 is an aperture member disposed near the partial reflection mirror 5, 8 is a gas flow of the laser medium gas, As shown in Figure 1, the flow is perpendicular to the plane of the paper.
9は発生されるレーザビームである。9 is a generated laser beam.
次に上記第1図の動作について説明する。まず、各電極
2,3間に電源1から交流高電圧を印加し、各電極2,
3間に無声放電4を発生させる。一方、各電極2,3間
にレーザ媒質ガスのガス流8を流し、レーザ媒質ガスを
上記の無声放電4によって励起することによりレーザ光
を生成させる。無声放電4をはさんで部分反射ミラー5
と全反射ミラー6とを相対向して配置し、また部分反射
ミラー5の近傍に円形の開口部7aを有するアパーチャ
部材7を配設すれば、円形のレーザビーム9を外部に”
取り出すことができる。この場合、部分反射ミラー5と
全反射ミラー6との相互の対向位置の調整、すなわちア
ライメントが不良であれば、レーザビーム9のモードの
対称性が崩れ、このため、レーザ加工によシ被加工物の
切断などをする時の加工特性が劣化する。Next, the operation shown in FIG. 1 will be explained. First, an AC high voltage is applied between each electrode 2 and 3 from the power supply 1, and each electrode 2,
A silent discharge 4 is generated between 3 and 3. On the other hand, a gas flow 8 of a laser medium gas is caused to flow between each electrode 2 and 3, and the laser medium gas is excited by the silent discharge 4 described above to generate laser light. Partial reflection mirror 5 across silent discharge 4
By disposing a total reflection mirror 6 and a total reflection mirror 6 facing each other, and by arranging an aperture member 7 having a circular opening 7a near the partial reflection mirror 5, a circular laser beam 9 can be directed to the outside.
It can be taken out. In this case, if the adjustment of the mutually facing positions of the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6, that is, the alignment is poor, the symmetry of the mode of the laser beam 9 will be lost, and therefore the workpiece will not be processed by laser processing. Processing characteristics deteriorate when cutting objects.
従来のレーザ装置は以上の様に構成されているので、部
分反射ミラー5と全反射ミラー6との相互の対向位置の
調整であるアライメントがずれた場合に、発生されるレ
ーザビーム9のモードの対称性が崩れるが、このレーザ
ビーム9のモードの対称性を検知する手段が無く、この
結果、対称性の優れたモードのレーザビーム9を発生す
ることは、非常に困難であるという欠点があった。Since the conventional laser device is configured as described above, the mode of the generated laser beam 9 is changed when the alignment, which is the adjustment of the mutually facing positions of the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6, is misaligned. However, there is a disadvantage that there is no means to detect the symmetry of the mode of the laser beam 9, and as a result, it is extremely difficult to generate a laser beam 9 with a mode with excellent symmetry. Ta.
この発明は上記の様な従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、発生されたレーザの光路内に設置さ
れ、レーザ光軸上に開口部と、この開口部の外周に複数
個の温度検出素子をそれぞれ設けたアパーチャ部材を備
えて成る構成を有し、アパーチャ部材の周辺の温度分布
を測定することによシ、対称性の良いレーザビームモー
ドの出力を得ることができるレーザ装置を提供すること
を目的としている。This invention was made in order to eliminate the drawbacks of the conventional ones as described above, and is provided with an aperture on the laser optical axis and a plurality of apertures on the outer periphery of this aperture, which are installed in the optical path of the generated laser. The present invention provides a laser device having a configuration including aperture members each provided with a temperature detection element, and capable of obtaining an output in a laser beam mode with good symmetry by measuring the temperature distribution around the aperture member. is intended to provide.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第2
図(a)及びΦ)は、この発明の一実施例であるレーザ
装置に適用されるアパーチャ部材を示す正面図及びその
縦断面図である。図において、70はアパーチャ部材で
1、その中心であるレーザ光軸上に円形の開口部71が
設けられる。また、アパーチャ部材70には、開口部7
1の外周に直径方向に延出する溝部72が形成され、こ
の溝部72内には温度検出素子である熱電対73が設け
られている。74はアパーチャ部材70を冷却するため
に、このアパーチャ部材70内の通路75を流通する冷
却水で、第1図に矢印で示されている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Second
Figures (a) and Φ) are a front view and a longitudinal cross-sectional view of an aperture member applied to a laser device according to an embodiment of the present invention. In the figure, 70 is an aperture member 1, and a circular opening 71 is provided on the laser optical axis at the center thereof. Further, the aperture member 70 has an opening 7
A groove 72 extending in the diametrical direction is formed on the outer periphery of the sensor 1, and a thermocouple 73 serving as a temperature detection element is provided within the groove 72. Reference numeral 74 denotes cooling water that flows through a passage 75 within the aperture member 70 in order to cool the aperture member 70, and is indicated by an arrow in FIG.
上記した構成を有するこの発明によるアパーチャ部材7
0を、第1図に示すレーザ装置におけるアパーチャ部材
7の代シに取シ付ける。この時、部分反射ミラー5と全
反射ミラー6とのアライメントが不良であれば、レーザ
ビーム9とアパーチャ部材70の中心とがずれることに
なる。このため、アパーチャ部材70における各部分に
温度分布が生じる。そこで、アパーチャ部材70に設け
られている熱電対73からの出力が均一になる様に、各
部分反射ミラー5と全反射ミラー6との相互の対向位置
を調整する手段、例えば上記各ミラー5,6の角度を調
整する手段により、適宜に調整することによシ、対称性
の良好なモードのレーザビーム9を発生させることが可
能となる。ここで、冷却水741d、アパーチャ部材7
0の温度レベル上昇を抑制するために流されるものであ
る。Aperture member 7 according to the present invention having the above-described configuration
0 is attached to the aperture member 7 in the laser device shown in FIG. At this time, if the alignment between the partial reflection mirror 5 and the total reflection mirror 6 is poor, the center of the laser beam 9 and the aperture member 70 will be misaligned. Therefore, temperature distribution occurs in each part of the aperture member 70. Therefore, in order to make the output from the thermocouple 73 provided in the aperture member 70 uniform, there is a means for adjusting the opposing positions of each partial reflection mirror 5 and total reflection mirror 6, for example, each of the above-mentioned mirrors 5, By appropriately adjusting the angle of 6, it is possible to generate a laser beam 9 in a mode with good symmetry. Here, cooling water 741d, aperture member 7
This is carried out to suppress the rise in the temperature level of 0.
なお、上記熱電対73の出力をモニタとし、その出力が
バランスする様に自動的に部分反射ミラー5又は全反射
ミラー6を調整することは容易にでき、この様にして、
各部分反射ミラー5と全反射ミラー6とのアライメント
を自動化し、常に良好なモードのレーザビーム9を得る
様にすることも可能である。Note that it is easy to monitor the output of the thermocouple 73 and automatically adjust the partial reflection mirror 5 or the total reflection mirror 6 so that the output is balanced; in this way,
It is also possible to automate the alignment of each partial reflection mirror 5 and total reflection mirror 6 so as to always obtain a laser beam 9 in a good mode.
以上のように、この発明のレーザ装置によれば、レーザ
光軸上に開口部と、この開口部の外周に複数個の温度検
出素子をそれぞれ設けたアパーチャ部材を用いた構成と
したので、簡単な構成によシ、極めてビームモードの対
称性の良好なレーザビーム出力が容易に得られるという
優れた効果を奏するものである。As described above, the laser device of the present invention has a structure using an aperture member in which an aperture is provided on the laser optical axis and a plurality of temperature detection elements are provided on the outer periphery of this aperture. This configuration provides an excellent effect in that a laser beam output with extremely good beam mode symmetry can be easily obtained.
第1図は従来のレーザ装置を示す概略構成図、第2図(
a)及びΦ)は、この発明の一実施例であるレーザ装置
に適用されるアパーチャ部材を示す正面図及びその縦断
面図である。
図において、1・・・電源、2,3・・・電極、4・・
・無声放電、5・・・部分反射ミラー、6・・・全反射
ミラー、7.70・・・アパーチャ部材、8・・・ガス
流、9・・・レーザビーム、7a、71・・・開口部、
72・・・溝部、73・・・熱電対、74・・・冷却水
、75・・・通路である。
代理人 大岩増雄Figure 1 is a schematic configuration diagram showing a conventional laser device, and Figure 2 (
a) and Φ) are a front view and a longitudinal cross-sectional view of an aperture member applied to a laser device according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1...power supply, 2, 3...electrode, 4...
・Silent discharge, 5...Partial reflection mirror, 6...Total reflection mirror, 7.70...Aperture member, 8...Gas flow, 9...Laser beam, 7a, 71...Aperture Department,
72... Groove portion, 73... Thermocouple, 74... Cooling water, 75... Passage. Agent Masuo Oiwa
Claims (2)
ザ光軸上に開口部と、該開口部の外周に複数個の温度検
出素子をそれぞれ設けたアパーチャ部材を備えて成るこ
とを特徴とするレーザ装置。(1) It is characterized by comprising an aperture member installed in the optical path of the generated laser and having an aperture on the laser optical axis and a plurality of temperature detection elements provided on the outer periphery of the aperture. laser equipment.
出力差が最小になるべくするため、ミラーの角度を調整
する手段が設けられていることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載のレーザ装置。(2) The temperature detection element is provided with means for adjusting the angle of the mirror in order to minimize the difference in output between the temperature detection elements. laser equipment.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58069532A JPS59195894A (en) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | Laser device |
DE19843415009 DE3415009A1 (en) | 1983-04-20 | 1984-04-19 | Laser device |
FR848406306A FR2544922B1 (en) | 1983-04-20 | 1984-04-20 | LASER DEVICE |
US06/602,584 US4914671A (en) | 1983-04-20 | 1984-04-20 | Laser device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58069532A JPS59195894A (en) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | Laser device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59195894A true JPS59195894A (en) | 1984-11-07 |
Family
ID=13405424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58069532A Pending JPS59195894A (en) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | Laser device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59195894A (en) |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP58069532A patent/JPS59195894A/en active Pending
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