JPS5917893Y2 - カセツト装置 - Google Patents
カセツト装置Info
- Publication number
- JPS5917893Y2 JPS5917893Y2 JP1918180U JP1918180U JPS5917893Y2 JP S5917893 Y2 JPS5917893 Y2 JP S5917893Y2 JP 1918180 U JP1918180 U JP 1918180U JP 1918180 U JP1918180 U JP 1918180U JP S5917893 Y2 JPS5917893 Y2 JP S5917893Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid member
- case
- substrate
- cassette case
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はシリコンウェハその他のサブストレートを気密
に収容して真空蒸着その他に備えて真空処理室内に導く
べく使用されるカセット装置に関する。
に収容して真空蒸着その他に備えて真空処理室内に導く
べく使用されるカセット装置に関する。
従来この種装置として、カセットケース内の底部にシリ
コンウェハその他のサブストレートを上面に有するサブ
ストレートホルダを出入自在に収容すると共にこれにそ
の上面から蓋部材を着脱自在に施してその内部を気密に
閉しるようにした式のものは提案されたが、この場合該
ケースと該蓋部材とは真空処理室内で該サブストレート
を露出すべく互に開かれるもので、その開き作動によれ
ば該ケース内はその全周に互って比較的大きな隙間を生
じて外部に開く式を一般とするもので、か・るものでは
該隙間を介して内部の空気が急激に放出されるため、そ
の外周に存する塵埃はこれにより飛散され易い不都合を
伴う。
コンウェハその他のサブストレートを上面に有するサブ
ストレートホルダを出入自在に収容すると共にこれにそ
の上面から蓋部材を着脱自在に施してその内部を気密に
閉しるようにした式のものは提案されたが、この場合該
ケースと該蓋部材とは真空処理室内で該サブストレート
を露出すべく互に開かれるもので、その開き作動によれ
ば該ケース内はその全周に互って比較的大きな隙間を生
じて外部に開く式を一般とするもので、か・るものでは
該隙間を介して内部の空気が急激に放出されるため、そ
の外周に存する塵埃はこれにより飛散され易い不都合を
伴う。
これを更に説明すれば、該ケースと該蓋部材とは先ず塵
埃のない所謂クリーンルーム内でこれにサブストレート
をサブストレートホルダと共に収容した状態に用意され
、次で真空処理室内に導かれた後、該室内の予定の真空
状態において互に開かれて内容物が取出されるが、この
開き作動によれば外周に比較的大きな隙間を生じて内部
の空気を介してその外周に急激に放出され勝ちであり、
これによればその外周に多少とも存する塵埃等の異物は
これにより飛散され、これは次でサブストレート上に落
下してこれに付着し勝ちとなる不都合を伴う。
埃のない所謂クリーンルーム内でこれにサブストレート
をサブストレートホルダと共に収容した状態に用意され
、次で真空処理室内に導かれた後、該室内の予定の真空
状態において互に開かれて内容物が取出されるが、この
開き作動によれば外周に比較的大きな隙間を生じて内部
の空気を介してその外周に急激に放出され勝ちであり、
これによればその外周に多少とも存する塵埃等の異物は
これにより飛散され、これは次でサブストレート上に落
下してこれに付着し勝ちとなる不都合を伴う。
これを換言すれば、サブストレートは予め浄化されてク
リーンルーム内からそのま・処理室内に導かれるに係ら
ず、これに次で塵埃が付着して製品不良となり勝ちとな
る不都合を伴う。
リーンルーム内からそのま・処理室内に導かれるに係ら
ず、これに次で塵埃が付着して製品不良となり勝ちとな
る不都合を伴う。
本考案はか・る不都合のない装置を得ることをその目的
とするものでカセットケース１内の底部に、シリコンウ
ェハその他のサブストレート２を上面に有するサブスト
レートホルダ３を出入自在に収容すると共に、これにそ
の上面から蓋部材４を着脱自在に施してその内部を気密
に閉じる式のものにおいて、該カセットケース１を円筒
状に形成し、その開口縁の内周面に、比較的狭幅の上下
方向にのびる導溝８を複数個配設すると共に、該蓋部材
４を、該導溝８を越えて開口縁内に挿入される脚状に形
威し、その中間部外周にＯリング７を施したことを特徴
とする。
とするものでカセットケース１内の底部に、シリコンウ
ェハその他のサブストレート２を上面に有するサブスト
レートホルダ３を出入自在に収容すると共に、これにそ
の上面から蓋部材４を着脱自在に施してその内部を気密
に閉じる式のものにおいて、該カセットケース１を円筒
状に形成し、その開口縁の内周面に、比較的狭幅の上下
方向にのびる導溝８を複数個配設すると共に、該蓋部材
４を、該導溝８を越えて開口縁内に挿入される脚状に形
威し、その中間部外周にＯリング７を施したことを特徴
とする。
図示のものにつき詳述すれば、カセットケース１は全体
として上下方向にのびる円筒状をなすと共に蓋部材４の
胴部６はこれに略内接して上下方向にのびる円胴状をな
し、その中間部の外周にすフグ溝７ａを備えてこれにＯ
リング７が保持されるようにし、更にサブストレート２
と、その下面の例えばモリブチ゛ン板から成るサブスト
レートホルダ３とは各方形をなすようにした。
として上下方向にのびる円筒状をなすと共に蓋部材４の
胴部６はこれに略内接して上下方向にのびる円胴状をな
し、その中間部の外周にすフグ溝７ａを備えてこれにＯ
リング７が保持されるようにし、更にサブストレート２
と、その下面の例えばモリブチ゛ン板から成るサブスト
レートホルダ３とは各方形をなすようにした。
更に該ケース１内の底部には中心の突部９とその面外側
の各弓形の側板１０，１０とを備え、サブストレートホ
ルダ３は両側板１０，１０間に嵌合されて該突部９上に
載置されるようにし、更に蓋部材４はその胴部６の下面
に環状の突部１１を備え、該部材４の予定の挿入位置で
は該突部１１が該サブストレートホルダ３の各隅角部の
上面に当接されてそれの押え部材として作用するように
し、更に該蓋部材４をその作用位置に安定すべくその上
面には必要に応じ螺着１２が着脱自在に施され、かくて
運搬等に備えられるようにした。
の各弓形の側板１０，１０とを備え、サブストレートホ
ルダ３は両側板１０，１０間に嵌合されて該突部９上に
載置されるようにし、更に蓋部材４はその胴部６の下面
に環状の突部１１を備え、該部材４の予定の挿入位置で
は該突部１１が該サブストレートホルダ３の各隅角部の
上面に当接されてそれの押え部材として作用するように
し、更に該蓋部材４をその作用位置に安定すべくその上
面には必要に応じ螺着１２が着脱自在に施され、かくて
運搬等に備えられるようにした。
更に該ケース１と該蓋部材４とは処理室内で互に開閉さ
れるもので、これを行わせるべく該ケース１の底面には
操作子と係合すべき螺孔１３を備え、該蓋部材４の上面
には操作子と係合すべきあり溝状の係合溝１４を備える
。
れるもので、これを行わせるべく該ケース１の底面には
操作子と係合すべき螺孔１３を備え、該蓋部材４の上面
には操作子と係合すべきあり溝状の係合溝１４を備える
。
尚、該ケース１の開口端の内周面には、蓋部材４の挿入
を円滑にすべく、円錐状のテーパ面１５が形成されると
共に該テーパ面１５の中間部から下方にのびる導溝８が
円周上の３個所に配設されるようにした。
を円滑にすべく、円錐状のテーパ面１５が形成されると
共に該テーパ面１５の中間部から下方にのびる導溝８が
円周上の３個所に配設されるようにした。
その作動を説明するに、カセットケース１と蓋部材４と
はクリーンルーム内で一旦間いてこれにサブストレート
２をサブストレートホルダ３と共に収容し、次で互に閉
じた状態に用意され、次いでこれは真空処理室内に導か
れた後該室内の所定の排気の後に互に開かれるもので、
この点は従来のものと特に異らないが、その開き作動時
を考えるに、例えばカセットケース１を蓋部材４に対し
て下動した場合、各導溝８は例えば第１図に実線示の位
置からＯリング７をこえてその下方の同図に鎖線示の位
置に移行し、かくて該ケース１内はこれを介してのみ外
部に連通ずる。
はクリーンルーム内で一旦間いてこれにサブストレート
２をサブストレートホルダ３と共に収容し、次で互に閉
じた状態に用意され、次いでこれは真空処理室内に導か
れた後該室内の所定の排気の後に互に開かれるもので、
この点は従来のものと特に異らないが、その開き作動時
を考えるに、例えばカセットケース１を蓋部材４に対し
て下動した場合、各導溝８は例えば第１図に実線示の位
置からＯリング７をこえてその下方の同図に鎖線示の位
置に移行し、かくて該ケース１内はこれを介してのみ外
部に連通ずる。
即ち該ケース１内は比較的狭幅の該導溝８を介して先ず
外部に開くもので、かくて内部の空気はこれを介して比
較的緩除に外部に放出され、従来のこれが全周に亙って
開く式のものにおける前記した不都合を生じない。
外部に開くもので、かくて内部の空気はこれを介して比
較的緩除に外部に放出され、従来のこれが全周に亙って
開く式のものにおける前記した不都合を生じない。
即ち内部の空気は比較的緩除に外部に放出されてその外
周の塵埃に飛散を生ずるようなことがなく、かくてサブ
ストレート２の塵埃の付着がなく、これは次で上面の蓋
部材４を全く除去されて処理室内に露出し、真空蒸着そ
の他の処理に備えられる。
周の塵埃に飛散を生ずるようなことがなく、かくてサブ
ストレート２の塵埃の付着がなく、これは次で上面の蓋
部材４を全く除去されて処理室内に露出し、真空蒸着そ
の他の処理に備えられる。
このように本考案によるときは蓋部材４の開放に際し、
カセットケース１内に先ずその開口縁の内周の比較的狭
幅の導溝８においてのみ外部に連通ずるもので、これが
全周に亙り開く式のものに比し内部空気の流出を緩除と
することが出来、該空気の急激な流出による前記した不
都合を無くし得られる効果を有する。
カセットケース１内に先ずその開口縁の内周の比較的狭
幅の導溝８においてのみ外部に連通ずるもので、これが
全周に亙り開く式のものに比し内部空気の流出を緩除と
することが出来、該空気の急激な流出による前記した不
都合を無くし得られる効果を有する。
第１図は本案装置の１例の裁断側面図、第２図はその上
面図、第３図はその一部の上面図である。
面図、第３図はその一部の上面図である。
Claims (1)
- カセットケース１内の底部に、シリコンウェハその他の
サブストレート２を上面に有するサブストレートホルダ
３を、出入自在に収容すると共に、これにその上面から
蓋部材４を着脱自在に施してその内部を気密に閉しる式
のものにおいて、該カセットケース１を円筒状に形成し
、その開口縁の内周面に、比較的狭幅の上下方向にのび
る導溝８を複数個配設すると共に、該蓋部材４を、該導
溝８を越えて開口縁内に挿入される脚状に形成し、その
中間部外周にＯリング７を施したことを特徴とするカセ
ット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1918180U JPS5917893Y2 (ja) | 1980-02-19 | 1980-02-19 | カセツト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1918180U JPS5917893Y2 (ja) | 1980-02-19 | 1980-02-19 | カセツト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56123863U JPS56123863U (ja) | 1981-09-21 |
| JPS5917893Y2 true JPS5917893Y2 (ja) | 1984-05-24 |
Family
ID=29615456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1918180U Expired JPS5917893Y2 (ja) | 1980-02-19 | 1980-02-19 | カセツト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917893Y2 (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8513949B2 (en) | 2000-03-27 | 2013-08-20 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester or charger with databus connection |
| US8872517B2 (en) | 1996-07-29 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with battery age input |
| US8872516B2 (en) | 2000-03-27 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester mounted in a vehicle |
| US8958998B2 (en) | 1997-11-03 | 2015-02-17 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with network communication |
| US8963550B2 (en) | 2004-08-20 | 2015-02-24 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9018958B2 (en) | 2003-09-05 | 2015-04-28 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9201120B2 (en) | 2010-08-12 | 2015-12-01 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester for testing storage battery |
| US9229062B2 (en) | 2010-05-27 | 2016-01-05 | Midtronics, Inc. | Electronic storage battery diagnostic system |
| US9244100B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-26 | Midtronics, Inc. | Current clamp with jaw closure detection |
| US9255955B2 (en) | 2003-09-05 | 2016-02-09 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9274157B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-03-01 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9312575B2 (en) | 2013-05-16 | 2016-04-12 | Midtronics, Inc. | Battery testing system and method |
| US9335362B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-05-10 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9419311B2 (en) | 2010-06-18 | 2016-08-16 | Midtronics, Inc. | Battery maintenance device with thermal buffer |
| US9425487B2 (en) | 2010-03-03 | 2016-08-23 | Midtronics, Inc. | Monitor for front terminal batteries |
| US9496720B2 (en) | 2004-08-20 | 2016-11-15 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9588185B2 (en) | 2010-02-25 | 2017-03-07 | Keith S. Champlin | Method and apparatus for detecting cell deterioration in an electrochemical cell or battery |
| US11566972B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-01-31 | Midtronics, Inc. | Tire tread gauge using visual indicator |
-
1980
- 1980-02-19 JP JP1918180U patent/JPS5917893Y2/ja not_active Expired
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8872517B2 (en) | 1996-07-29 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with battery age input |
| US8958998B2 (en) | 1997-11-03 | 2015-02-17 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester with network communication |
| US8872516B2 (en) | 2000-03-27 | 2014-10-28 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester mounted in a vehicle |
| US8513949B2 (en) | 2000-03-27 | 2013-08-20 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester or charger with databus connection |
| US9255955B2 (en) | 2003-09-05 | 2016-02-09 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US9018958B2 (en) | 2003-09-05 | 2015-04-28 | Midtronics, Inc. | Method and apparatus for measuring a parameter of a vehicle electrical system |
| US8963550B2 (en) | 2004-08-20 | 2015-02-24 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9496720B2 (en) | 2004-08-20 | 2016-11-15 | Midtronics, Inc. | System for automatically gathering battery information |
| US9335362B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-05-10 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9274157B2 (en) | 2007-07-17 | 2016-03-01 | Midtronics, Inc. | Battery tester for electric vehicle |
| US9588185B2 (en) | 2010-02-25 | 2017-03-07 | Keith S. Champlin | Method and apparatus for detecting cell deterioration in an electrochemical cell or battery |
| US9425487B2 (en) | 2010-03-03 | 2016-08-23 | Midtronics, Inc. | Monitor for front terminal batteries |
| US9229062B2 (en) | 2010-05-27 | 2016-01-05 | Midtronics, Inc. | Electronic storage battery diagnostic system |
| US9419311B2 (en) | 2010-06-18 | 2016-08-16 | Midtronics, Inc. | Battery maintenance device with thermal buffer |
| US9201120B2 (en) | 2010-08-12 | 2015-12-01 | Midtronics, Inc. | Electronic battery tester for testing storage battery |
| US9244100B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-01-26 | Midtronics, Inc. | Current clamp with jaw closure detection |
| US9312575B2 (en) | 2013-05-16 | 2016-04-12 | Midtronics, Inc. | Battery testing system and method |
| US11566972B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-01-31 | Midtronics, Inc. | Tire tread gauge using visual indicator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56123863U (ja) | 1981-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5917893Y2 (ja) | カセツト装置 | |
| US5195729A (en) | Wafer carrier | |
| US5749469A (en) | Wafer carrier | |
| CA1107692A (en) | Wafer packaging system | |
| US4091919A (en) | Wafer packaging system | |
| JPH09507726A (ja) | 閉鎖された密封可能で掃気可能な半導体ウェーハ保持装置 | |
| US6764850B2 (en) | Sample contact plate with latchable cover | |
| JP2010079109A (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
| KR920013620A (ko) | 웨이퍼의 전방부 모서리와 후방부에서의 증착을 방지하는, cvd웨이퍼 처리용 수동 실드 | |
| KR20030031170A (ko) | 박판 지지 용기용 덮개, 박판 지지 용기 및 간이 착탈 기구 | |
| JP2000289795A (ja) | 薄板収納・輸送容器 | |
| US20140076774A1 (en) | Automated Wafer Container with Equipment Interface | |
| KR20010006061A (ko) | 박판지지용기 | |
| TW440909B (en) | Lid latch mechanism for clean box | |
| KR100446808B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
| JP4037946B2 (ja) | 薄板収納容器 | |
| CN216054615U (zh) | 晶圆盖盒防夹伤斜坡治具 | |
| JPH09139421A (ja) | 内圧調整機構付き薄板収納容器 | |
| JPH09122561A (ja) | 回転カップ式液体供給装置 | |
| JPH0562822B2 (ja) | ||
| US6669750B2 (en) | Access port for house vacuum equipped with removable trap | |
| JP4029188B2 (ja) | 基板処理装置のロード・ロックチャンバ機構 | |
| JP4007735B2 (ja) | 薄板収納容器開閉装置 | |
| JPH07307380A (ja) | キャリアボックス | |
| JPH04302454A (ja) | 半導体製造装置 |