JPS59178617A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS59178617A JPS59178617A JP58054797A JP5479783A JPS59178617A JP S59178617 A JPS59178617 A JP S59178617A JP 58054797 A JP58054797 A JP 58054797A JP 5479783 A JP5479783 A JP 5479783A JP S59178617 A JPS59178617 A JP S59178617A
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■ 発明の背景
技術分野
本発明は、磁気記録媒体、特にいわゆる斜め蒸着法によ
る連続薄膜型の磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法
に関する。
る連続薄膜型の磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法
に関する。
先行技術とその問題点
ビデオ用、オーディオ用等の磁気記録媒体として、テー
プ化して巻回したときのコンパクト性から、連続薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
プ化して巻回したときのコンパクト性から、連続薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
このような連続薄膜型の媒体の磁性層としては、特性上
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したCo系、Co −N i
系等の柱状結晶の集合体からなる蒸着膜が好適である0 そして、斜め蒸着の際の雰囲気中に、多量の酸素ガスを
導入して蒸着を行い、柱状結晶の表面を酸化物層で被う
(特公昭56−23208号公報等)と、電磁変換特性
が向上し、走行耐久性が向上し、より好ましい結果をう
るOこのような場合、coNt系では、導入酸素量を増
大し、酸化物層を多くすると、走行耐久性は向上するが
、高密度記録媒体として大切な特性である保磁力が減少
する0このため、導入酸素量を増大して、しかも保磁力
をある程度以上に維持するためには、斜め蒸着の際の、
基体法線に対する入射角を大きくする必要があるOしか
し、このようなときには、蒸着効率が激減し、経済性の
点で不十分となる0 また、膜密度が減少して、耐食性
に欠けることになる。
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したCo系、Co −N i
系等の柱状結晶の集合体からなる蒸着膜が好適である0 そして、斜め蒸着の際の雰囲気中に、多量の酸素ガスを
導入して蒸着を行い、柱状結晶の表面を酸化物層で被う
(特公昭56−23208号公報等)と、電磁変換特性
が向上し、走行耐久性が向上し、より好ましい結果をう
るOこのような場合、coNt系では、導入酸素量を増
大し、酸化物層を多くすると、走行耐久性は向上するが
、高密度記録媒体として大切な特性である保磁力が減少
する0このため、導入酸素量を増大して、しかも保磁力
をある程度以上に維持するためには、斜め蒸着の際の、
基体法線に対する入射角を大きくする必要があるOしか
し、このようなときには、蒸着効率が激減し、経済性の
点で不十分となる0 また、膜密度が減少して、耐食性
に欠けることになる。
更に大量に導入した酸素により、ルツボ内の溶融金属の
酸化あるいは、真空系のトラブル等の問題が生じる。
酸化あるいは、真空系のトラブル等の問題が生じる。
すなわち、従来の斜め蒸着法による媒体では、十分な電
磁変換特性、走行耐久性、製造に除し2ての経済性およ
び耐食性をすべて満足するものは実現していない。
磁変換特性、走行耐久性、製造に除し2ての経済性およ
び耐食性をすべて満足するものは実現していない。
=6−
II 発明の目的
本発明は、このような実状に鑑みなされたものであって
、その主たる目的は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気
特性が高く、電磁変換特性が高く、しかも走行耐久性に
すぐれ、また、製造に際して経済性にすぐれ、さらに耐
食性の高い磁性層を有する斜め蒸着法を用いた磁気記録
媒体の製造方法を提供することにある。
、その主たる目的は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気
特性が高く、電磁変換特性が高く、しかも走行耐久性に
すぐれ、また、製造に際して経済性にすぐれ、さらに耐
食性の高い磁性層を有する斜め蒸着法を用いた磁気記録
媒体の製造方法を提供することにある。
このような目的は、以下の発明によって達成される。
本発明は、
非磁性の基体上に、基体主面の法線に対して20°以上
の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行い、co、
またはCOならびにNiおよび/もしくはCrを含む柱
状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次いで、
この磁性薄膜を、電気化学的処理法によシ強制的に酸化
し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面に酸化物層を形成して
磁性層とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
である。
の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行い、co、
またはCOならびにNiおよび/もしくはCrを含む柱
状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次いで、
この磁性薄膜を、電気化学的処理法によシ強制的に酸化
し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面に酸化物層を形成して
磁性層とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
である。
=4=
■ 発明の具体的構成
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明においては、まず、いわゆる斜め蒸着法によって
、所定の組成の磁性薄膜を基体上に形成する。
、所定の組成の磁性薄膜を基体上に形成する。
磁性薄膜はCoを主成分とし、これに必要に応じNiお
よび/またはCrが含有される。
よび/またはCrが含有される。
すなわち、co単独からなってもよく、COとNiから
なってもよいoNiが含まれる場合、Co/Niの重量
比は、1.5以上である。
なってもよいoNiが含まれる場合、Co/Niの重量
比は、1.5以上である。
さらに、磁性薄膜中には、Crが含有されていてもよい
6、 Crが含有されると、電磁変換特性が向上し、出力およ
びS/N比が向上し、さらに膜強度も向上する。
6、 Crが含有されると、電磁変換特性が向上し、出力およ
びS/N比が向上し、さらに膜強度も向上する。
このような場合、Cr/COあるいはCr/(Co+N
i)の重量比は0.001〜0,1、より好ましくは0
. OO5〜0,05であることが好ましい。
i)の重量比は0.001〜0,1、より好ましくは0
. OO5〜0,05であることが好ましい。
なお、このような磁性薄膜中には、さらに他の微量成分
、特に遷移元素、例えばFe、Mn。
、特に遷移元素、例えばFe、Mn。
V+Zr+Nb1TalTi lZn1M0.W。
Cu等が含まれていてもよい0
このような成分からなる磁性薄膜は、斜め蒸着法によっ
て形成される0 この場合、基体法線に対する、蒸着物質の入射角の最小
値は、2O2以上とされる。
て形成される0 この場合、基体法線に対する、蒸着物質の入射角の最小
値は、2O2以上とされる。
入射角が2O2未満となると、所望の電磁変換特性が得
られない。
られない。
なお、これ以外の蒸着条件には特に制限はない○
すなわち、蒸着雰囲気は、通常と同様、アルゴン、ヘリ
ウム、真空等の不活性雰囲気とし、10−5〜100
Pa程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方向、
マスクの配置等は公知の条件と同様にすればよい。
ウム、真空等の不活性雰囲気とし、10−5〜100
Pa程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方向、
マスクの配置等は公知の条件と同様にすればよい。
このような斜め蒸着法によシ、基体上には、上記しだC
oを主成分とする柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜
が形成される。
oを主成分とする柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜
が形成される。
この場合、磁性薄膜の厚さは、0.05〜0.5μm)
好ましくは、0.07〜0.6μmとされる。
好ましくは、0.07〜0.6μmとされる。
そして、柱状の結晶粒は、薄膜の厚さ方向のほぼ全域に
亘る長さをもち、その長手方向は、基体の主面の法線に
対して、10〜70°の範囲にて傾斜している。
亘る長さをもち、その長手方向は、基体の主面の法線に
対して、10〜70°の範囲にて傾斜している。
また、結晶粒の短径は、50〜500八程度の長さをも
つ。
つ。
このような磁性薄膜を形成する基体は、非磁性のもので
ありさえすれば、特に制限はなく、特に、可とり性の基
体、特にポリエステル)ポリイミド等の樹脂製のもので
あることが好ましい。
ありさえすれば、特に制限はなく、特に、可とり性の基
体、特にポリエステル)ポリイミド等の樹脂製のもので
あることが好ましい。
また、その厚さは、種々のものであってよいが、特に5
〜20μmであることが好ましい。
〜20μmであることが好ましい。
そして、その磁性薄膜形成面の裏面の表面あらさ高さの
RMS値は、0.05μm以上であることが好ましい。
RMS値は、0.05μm以上であることが好ましい。
これによシ、電磁変換特性が向上する。
なお、基体と磁性薄膜との間には、必要に応7−
じ、各種下地層を介在させることもできる0このような
磁性薄膜を形成したのち、この磁性薄膜は、電気化学的
処理法により強制的に酸化され、その後、洗浄・加熱乾
燥の工程にまわされる。
磁性薄膜を形成したのち、この磁性薄膜は、電気化学的
処理法により強制的に酸化され、その後、洗浄・加熱乾
燥の工程にまわされる。
電気化学的処理法としては、陽極酸化法、電位PH図を
利用した方法等がある○処理温度は10〜95℃が好ま
しく、また、処理時間は0.1分〜60分が好ましい0 このような工程を経てCOlまたはCOならびにNiお
よび/もしくはCrを含み、 O/(CoまたはCo
+ N i )の原子比が、好ましくは0.1〜0.
5のOを含み、好ましくは0.05〜0.5μm1よシ
好ましくは0.07〜0.3μmの厚さをもつ磁性層が
形成される0 なお、もし必要であれば、このような磁性層上に、各種
最上層保護層を形成することもできる0 8− ■ 発明の具体的作用効果 本発明による磁気記録媒体は、ビデオ用、オーディオ用
等の媒体として有用である。
利用した方法等がある○処理温度は10〜95℃が好ま
しく、また、処理時間は0.1分〜60分が好ましい0 このような工程を経てCOlまたはCOならびにNiお
よび/もしくはCrを含み、 O/(CoまたはCo
+ N i )の原子比が、好ましくは0.1〜0.
5のOを含み、好ましくは0.05〜0.5μm1よシ
好ましくは0.07〜0.3μmの厚さをもつ磁性層が
形成される0 なお、もし必要であれば、このような磁性層上に、各種
最上層保護層を形成することもできる0 8− ■ 発明の具体的作用効果 本発明による磁気記録媒体は、ビデオ用、オーディオ用
等の媒体として有用である。
そして、本発明による媒体は、保磁力、磁束量、角形比
等の磁気特性が高く、電磁変換特性が高い。
等の磁気特性が高く、電磁変換特性が高い。
また、走行摩擦が小さく、走行耐久性が高い。
さらに、蒸着入射角の最小値を低い値に保てるので、蒸
着効率が高く、経済性にすぐれる。
着効率が高く、経済性にすぐれる。
加えて、耐湿性、耐酸化性等の耐食性が高いO■ 発明
の具体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
の具体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
実施例1
Co / N iの重量比が4である合金を用い、12
μm厚のポリエチレンテレ7タレー) (PET)フィ
ルム上に、斜め蒸着法によ、?、0.2μm厚の磁性薄
膜を形成した。
μm厚のポリエチレンテレ7タレー) (PET)フィ
ルム上に、斜め蒸着法によ、?、0.2μm厚の磁性薄
膜を形成した。
フィルムは、ルツボに対し斜めに連続搬送し、蒸着物質
の入射角は40°とした。
の入射角は40°とした。
また、雰囲気は、P A t = 2 X 10 ’
P aとした。
P aとした。
得られた磁性薄膜は、Co/N1=4(重量比)であり
、基体主面の法線に対し、約30゜傾斜した、短径10
0Aの、厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶粒の集
合体であった0次いでこのサンプルの金属面に電極を設
は陽極としs Nafl O,1W/l t H2SO
40,2r/ tを乙 加えた5%クロム液中に浸漬し、電流密度0.3A/d
iで酸化処理を施した。なお、液温は40℃、陰極はス
テンレス板を用いた0酸化処理後、イオン交換水、アル
コールで洗浄し、乾燥機中で加熱乾燥してサンプルA1
を得た。
、基体主面の法線に対し、約30゜傾斜した、短径10
0Aの、厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶粒の集
合体であった0次いでこのサンプルの金属面に電極を設
は陽極としs Nafl O,1W/l t H2SO
40,2r/ tを乙 加えた5%クロム液中に浸漬し、電流密度0.3A/d
iで酸化処理を施した。なお、液温は40℃、陰極はス
テンレス板を用いた0酸化処理後、イオン交換水、アル
コールで洗浄し、乾燥機中で加熱乾燥してサンプルA1
を得た。
サンプルA1につき、オージェ分光分析およびESCA
を行い、深さ方向に、COおよびOの濃度プロファイル
をとったところ、表面に酸素が多く、内部に少なく、シ
かもOはケミカルシフトして、金属と結合した形をとっ
ておシ、結晶粒表面に存在していることが確認された。
を行い、深さ方向に、COおよびOの濃度プロファイル
をとったところ、表面に酸素が多く、内部に少なく、シ
かもOはケミカルシフトして、金属と結合した形をとっ
ておシ、結晶粒表面に存在していることが確認された。
これに対し、Co / N i= 4の合金を、PAr
= 2X 1O−2Pa + PO4−3X 10
−2Paの雰囲気にて、上記と同一の条件で斜め蒸着を
行い、0.2μm厚の磁性層を形成し、サンプルAOを
得たところ、断面写真、オージェ分光分析、ESCAの
結果から、サンプルAI、A2とほぼ同一であった。
= 2X 1O−2Pa + PO4−3X 10
−2Paの雰囲気にて、上記と同一の条件で斜め蒸着を
行い、0.2μm厚の磁性層を形成し、サンプルAOを
得たところ、断面写真、オージェ分光分析、ESCAの
結果から、サンプルAI、A2とほぼ同一であった。
これらサンプルAOIAIにつき、静磁気特性を測定し
た、・保磁力He + Hmax = 50000eで
のl cr/Iあたりの磁束量△fm1および角形比を
表1に示す。
た、・保磁力He + Hmax = 50000eで
のl cr/Iあたりの磁束量△fm1および角形比を
表1に示す。
また、60℃、相対湿度90チにて3日間放置し、1a
tlあたりの磁束量変化△!!mを測定し、耐食性を評
価したところ、表1に示される結果をえた。
tlあたりの磁束量変化△!!mを測定し、耐食性を評
価したところ、表1に示される結果をえた。
11−
表 1
0/(Co+Ni ) 0.15 0.0
5(原子比) Hc (Oe) 850 600$m
9x103 8x10−3(emu
/r、A) 角 形 比 0.85 0.7
耐 食 性 26 Δ$m(%) 表1に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る0 なお、サンプルA1は走行摩擦が、J−さく、実用走行
に十分耐えることが確認された012一 実施例2 Co/Ni/Cr−75/2015の合金を用い、pA
r= 2X10−2Pas入射角45°にて斜め蒸着を
行い、PET12μm上に0.2μm厚の磁性薄膜をえ
た。実施例1と同じ手法によシ酸化処理を施し、サンプ
ルB1を得たOこれらの断面写真、オージェ分光分析、
ESCAの結果から、法線に対し35°傾斜した、短径
200Aの厚さ方向全域に亘って成長した柱状粒子から
なシ、0はその表面に存在していることが確認された。
5(原子比) Hc (Oe) 850 600$m
9x103 8x10−3(emu
/r、A) 角 形 比 0.85 0.7
耐 食 性 26 Δ$m(%) 表1に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る0 なお、サンプルA1は走行摩擦が、J−さく、実用走行
に十分耐えることが確認された012一 実施例2 Co/Ni/Cr−75/2015の合金を用い、pA
r= 2X10−2Pas入射角45°にて斜め蒸着を
行い、PET12μm上に0.2μm厚の磁性薄膜をえ
た。実施例1と同じ手法によシ酸化処理を施し、サンプ
ルB1を得たOこれらの断面写真、オージェ分光分析、
ESCAの結果から、法線に対し35°傾斜した、短径
200Aの厚さ方向全域に亘って成長した柱状粒子から
なシ、0はその表面に存在していることが確認された。
これらの結果を表2に示す0
表 2
サンプル B1
(原子比)
HC(oe) 900
$m 80 X 1010−3(e/
cd) 角 形 比 0.95耐 食
性 0△fm(%) 表2に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る。
cd) 角 形 比 0.95耐 食
性 0△fm(%) 表2に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る。
なお、サンプルB1は、走行摩擦が小さく、実用走行に
十分耐えることが確認された。
十分耐えることが確認された。
15−
107−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、非磁性の基体上に、基体主面の法線に対して2O2
以上の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行い、0
0%またはCoならびにNiおよび/もしくはCrを含
む柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次い
で、この磁性薄膜を、電気化学的処理法によシ、強制的
に酸化し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面に酸化物層を形
成して磁性層とすることを特徴とする磁気記録媒体の製
造方法。 2、磁性層がNiを含み、Co / N iの重量比が
1.5以上である特許請求の範囲第1項に記載のCo+
Ni)の重量比が0.001〜0.1である特許請求の
範囲第1項または第2項に記載の磁原子比が0.1〜0
.5である特許請求の範囲第1項ないし第3項のいずれ
かに記載の磁気記録媒請求の範囲第1項ないし第4項の
いずれかに記
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58054797A JPS59178617A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US06/588,890 US4540600A (en) | 1983-03-30 | 1984-03-12 | Process for producing a magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58054797A JPS59178617A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59178617A true JPS59178617A (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=12980740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58054797A Pending JPS59178617A (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4540600A (ja) |
JP (1) | JPS59178617A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2662777B2 (ja) * | 1985-04-15 | 1997-10-15 | 日立マクセル株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
FR2584847B1 (fr) * | 1985-07-15 | 1987-10-16 | Bull Sa | Support d'enregistrement perpendiculaire magnetiquement anisotrope |
JPS6282516A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-16 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気デイスクの製造法 |
US4833031A (en) * | 1986-03-20 | 1989-05-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
JPS6326827A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-04 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH06150289A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US20050244680A1 (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-03 | Imation Corp. | Environmentally stable metal-evaporated recording media |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57167133A (en) * | 1981-04-08 | 1982-10-14 | Hitachi Maxell Ltd | Production for magnetic recording medium |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1599161A (en) * | 1976-07-15 | 1981-09-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium and method of making the same |
US4350574A (en) * | 1981-03-23 | 1982-09-21 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method for depositing an oxide coating |
-
1983
- 1983-03-30 JP JP58054797A patent/JPS59178617A/ja active Pending
-
1984
- 1984-03-12 US US06/588,890 patent/US4540600A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57167133A (en) * | 1981-04-08 | 1982-10-14 | Hitachi Maxell Ltd | Production for magnetic recording medium |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4540600A (en) | 1985-09-10 |
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