JPS59173742A - 温湿度センサ− - Google Patents
温湿度センサ−Info
- Publication number
- JPS59173742A JPS59173742A JP4831983A JP4831983A JPS59173742A JP S59173742 A JPS59173742 A JP S59173742A JP 4831983 A JP4831983 A JP 4831983A JP 4831983 A JP4831983 A JP 4831983A JP S59173742 A JPS59173742 A JP S59173742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- range
- humidity
- temperature
- temp
- outer air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は温度と湿度を同時に検出することができる温湿
度センサーに関するものである。
度センサーに関するものである。
〈従来技術〉
従来の温湿度センサーは、感温素子としてサーミスタ又
は白金側温体、感湿素子として塩化リチウム、セラミッ
ク系金属配化物又は有機高分子膜等を利用してbた。こ
のため、異種材料による温湿度センサーは、材料別のア
ッセンブリのコストアップが壁けられず、高化なセンサ
ーとなり又小型化も困難であった。
は白金側温体、感湿素子として塩化リチウム、セラミッ
ク系金属配化物又は有機高分子膜等を利用してbた。こ
のため、異種材料による温湿度センサーは、材料別のア
ッセンブリのコストアップが壁けられず、高化なセンサ
ーとなり又小型化も困難であった。
〈発明の目的〉
本発明の温湿度中ンサーは、温度特性を有する感湿材料
を用いて温度検知部は外気との接触を断つ封止を行ない
、湿度検出部は外気と接触をもだせた構造としえ同材料
で温度と湿度を同時に別々にセンシングできる温湿度セ
ンサーを提供するものである。
を用いて温度検知部は外気との接触を断つ封止を行ない
、湿度検出部は外気と接触をもだせた構造としえ同材料
で温度と湿度を同時に別々にセンシングできる温湿度セ
ンサーを提供するものである。
〈実施例〉
以下図面に従って本発明の一実施例を説明する。
第1図(al(b)は湿度センサーとして構成された素
子構造の模式図((a)平面図、(b)断面図)を示し
たものである。ここで、高分子電解質としてポリスチレ
ンスルホル酸アンモニウムヲ用1x、こ、tLIC重量
比1対0.25の割合でポリビニルアルコールを添加し
た混合水溶液を、予じめ櫛歯状に電極1を形成したセラ
ミック基板2にスピンナー塗布した後、100℃で加熱
乾燥して感湿膜3を形成する。
子構造の模式図((a)平面図、(b)断面図)を示し
たものである。ここで、高分子電解質としてポリスチレ
ンスルホル酸アンモニウムヲ用1x、こ、tLIC重量
比1対0.25の割合でポリビニルアルコールを添加し
た混合水溶液を、予じめ櫛歯状に電極1を形成したセラ
ミック基板2にスピンナー塗布した後、100℃で加熱
乾燥して感湿膜3を形成する。
そしてその後、表面に保護コーテング膜4としてシリコ
ン系樹脂を積層して湿度センサーとした。
ン系樹脂を積層して湿度センサーとした。
第1図(a)の斜線部は保護コーテング膜4と感湿膜3
の部分である。
の部分である。
このように感湿材料としてはポリスチレンスルホン酸塩
を主剤((シたものがあり、この感湿特性と感温特性を
示すと第2図のとおりである。@2図において、横軸が
相対湿度(%)、縦軸がインピーダンス(Ω)で、温度
(ここでは15℃。
を主剤((シたものがあり、この感湿特性と感温特性を
示すと第2図のとおりである。@2図において、横軸が
相対湿度(%)、縦軸がインピーダンス(Ω)で、温度
(ここでは15℃。
30”C245゛Cで測定〕によって感湿特性が異なる
ことを示している。
ことを示している。
第3図は本発明の一実施例の電極パターン形成済のセラ
ミック基板を示す斜視図で、一枚のセラミック基板2に
感湿素子用パターン領域5と感温素子用パターン領域6
を形成している。そして、両頭域5,6の境界部から素
子入力共通バンド7が、捷た各領域5,6のそれぞれ池
端から感湿素子出力取出しパッド8及び1盛温素子出力
収出しパッド9か導出される。斜線部は第1図(a)と
同様な保護コーテング膜4と感湿膜3部分を示して因る
。
ミック基板を示す斜視図で、一枚のセラミック基板2に
感湿素子用パターン領域5と感温素子用パターン領域6
を形成している。そして、両頭域5,6の境界部から素
子入力共通バンド7が、捷た各領域5,6のそれぞれ池
端から感湿素子出力取出しパッド8及び1盛温素子出力
収出しパッド9か導出される。斜線部は第1図(a)と
同様な保護コーテング膜4と感湿膜3部分を示して因る
。
第4図は温湿度センサーとしての外観例を示す斜視図、
第5図は第4図のA−B断面図、第6図は他の例を示す
同第4図のA−B断面図である。
第5図は第4図のA−B断面図、第6図は他の例を示す
同第4図のA−B断面図である。
パッケージ10は感湿素子パンケージ頭載11と感温素
子パッケージ領域12とからなり、内部では第3図の感
温素子パターン領域6に対応して該部分と外気の接触を
断つため、ノ・−メチツクシール13(第5図)又は樹
脂ポツティング14(第6図)により気密シールを施こ
してめる。感湿素子パッケージ領域11のステンレス・
メンシュフィルター又は多孔体フィルタ15は、第3図
の感湿素子パターン@域5と外気との接触をもたせるだ
めの通気描造体である。
子パッケージ領域12とからなり、内部では第3図の感
温素子パターン領域6に対応して該部分と外気の接触を
断つため、ノ・−メチツクシール13(第5図)又は樹
脂ポツティング14(第6図)により気密シールを施こ
してめる。感湿素子パッケージ領域11のステンレス・
メンシュフィルター又は多孔体フィルタ15は、第3図
の感湿素子パターン@域5と外気との接触をもたせるだ
めの通気描造体である。
第7図に本温湿度センサーを利用した温湿度計測用回路
例を示す。電源162発振回路1q、温湿度センザー1
8.増幅回路19..20.整流回路21,22.A−
D変換器23.24’、表示回路251表示体26とか
らなる。温湿度センサ−18は上述したように感湿素子
部18aと感温素子部18bとを含み、発振回路17の
出力は共通に入力されるとともに、各出力は後段の増幅
回路19.20にそれぞれ出力される。このように同一
材料の素子によって湿度と温度を同時に測定できるとと
もに、湿度素子部18bの温度変化によるドリフトを、
例えば表示回路2.5等において温度素子部18aの出
力によって補償することもできる。
例を示す。電源162発振回路1q、温湿度センザー1
8.増幅回路19..20.整流回路21,22.A−
D変換器23.24’、表示回路251表示体26とか
らなる。温湿度センサ−18は上述したように感湿素子
部18aと感温素子部18bとを含み、発振回路17の
出力は共通に入力されるとともに、各出力は後段の増幅
回路19.20にそれぞれ出力される。このように同一
材料の素子によって湿度と温度を同時に測定できるとと
もに、湿度素子部18bの温度変化によるドリフトを、
例えば表示回路2.5等において温度素子部18aの出
力によって補償することもできる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、同一材料を用いて感湿、
感温素子両部を、構成するものてあり、アッセンブリが
@単で安価かつ小型化の容易な温湿度センサーか提供で
きる。また、同−利祠であることたよって一方の変化に
よるドリフトをその出力によって補償することも可能で
あり、非常に有用である。
感温素子両部を、構成するものてあり、アッセンブリが
@単で安価かつ小型化の容易な温湿度センサーか提供で
きる。また、同−利祠であることたよって一方の変化に
よるドリフトをその出力によって補償することも可能で
あり、非常に有用である。
第1図(a)(b)は湿度センサーとして構成された素
子構造の模式図((a)平面図、(b)断面図)、第2
図は第1図の感湿・感温特性を示す図4、第3図(は本
発明の一実施例を示す電極パターン形成済のセラミック
基板路示す斜視図、第4図は同温湿度センサーとしての
外観例を示す斜視図、第5図(/i:第4図のA−B断
面図、第6図は他の例を示す第4図のA−B断面図、第
7図は利用例の温湿度計測回路を示すブロック図である
。 1・・・電極、 2・・・セラミック基板、 3・・
・感湿膜、 5・感湿素子用パターン領域、″ 6・
・感温素子用パターン領域、 13・・・ハーメチッ
クシール、 14・・樹脂ホソテング、 15・・・
ステンレス・メツシュフィルタ又は多孔体フィルタ。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名)第 2 図 第4図 第 I 図 嬉3図
子構造の模式図((a)平面図、(b)断面図)、第2
図は第1図の感湿・感温特性を示す図4、第3図(は本
発明の一実施例を示す電極パターン形成済のセラミック
基板路示す斜視図、第4図は同温湿度センサーとしての
外観例を示す斜視図、第5図(/i:第4図のA−B断
面図、第6図は他の例を示す第4図のA−B断面図、第
7図は利用例の温湿度計測回路を示すブロック図である
。 1・・・電極、 2・・・セラミック基板、 3・・
・感湿膜、 5・感湿素子用パターン領域、″ 6・
・感温素子用パターン領域、 13・・・ハーメチッ
クシール、 14・・樹脂ホソテング、 15・・・
ステンレス・メツシュフィルタ又は多孔体フィルタ。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名)第 2 図 第4図 第 I 図 嬉3図
Claims (1)
- 1、 電極として感湿素子用パ、ターン領域及び感温素
子用パターン@域を有し、温度特性を有する感湿材料を
用い、該感湿材料の前記感温素子用パターン領域対応部
分は外部との接触を断つだめの気密シールを施してなる
ことを特徴とする温湿度センサ−。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4831983A JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4831983A JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59173742A true JPS59173742A (ja) | 1984-10-01 |
Family
ID=12800086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4831983A Pending JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59173742A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0186039A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
JPS61145804A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | 三菱電機株式会社 | 感温・感湿素子の製造方法 |
JPS6262956U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
JPS63204724A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Matsushita Electronics Corp | レジストパタ−ンの形成方法 |
JPS6425051A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Agency Ind Science Techn | Moisture sensitive element and manufacture thereof |
EP0594215A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-04-27 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Drive control apparatus for microsensor |
US6030116A (en) * | 1996-06-27 | 2000-02-29 | Nisshinbo Industries, Inc. | Heat and moisture transfer characteristic measuring equipment |
EP2275805A1 (en) * | 2009-07-16 | 2011-01-19 | Acreo AB | Moister sensor |
WO2019026737A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | ニッタ株式会社 | センサシート |
JP6467547B1 (ja) * | 2018-08-03 | 2019-02-13 | 株式会社太陽機械製作所 | 温湿度測定装置およびその測定方法 |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP4831983A patent/JPS59173742A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0186039A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
JPS61145804A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | 三菱電機株式会社 | 感温・感湿素子の製造方法 |
JPS6262956U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
JPS63204724A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Matsushita Electronics Corp | レジストパタ−ンの形成方法 |
JPS6425051A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Agency Ind Science Techn | Moisture sensitive element and manufacture thereof |
EP0594215A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-04-27 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Drive control apparatus for microsensor |
US6030116A (en) * | 1996-06-27 | 2000-02-29 | Nisshinbo Industries, Inc. | Heat and moisture transfer characteristic measuring equipment |
EP2275805A1 (en) * | 2009-07-16 | 2011-01-19 | Acreo AB | Moister sensor |
US8236164B2 (en) | 2009-07-16 | 2012-08-07 | Acreo Ab | Moisture sensor |
EP2275806A3 (en) * | 2009-07-16 | 2013-12-18 | Acreo Swedish ICT AB | Moister sensor |
WO2019026737A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | ニッタ株式会社 | センサシート |
JP2019028005A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | ニッタ株式会社 | センサシート |
JP6467547B1 (ja) * | 2018-08-03 | 2019-02-13 | 株式会社太陽機械製作所 | 温湿度測定装置およびその測定方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS59173742A (ja) | 温湿度センサ− | |
EP0356682A3 (de) | Feuchtesensor | |
JPS6229952Y2 (ja) | ||
US4433320A (en) | Dew sensor | |
JP2002071612A (ja) | 湿度センサ | |
JPS63263426A (ja) | センサ素子 | |
SU597955A1 (ru) | Датчик влажности | |
JPS6214363U (ja) | ||
JPH02665Y2 (ja) | ||
JPH045602U (ja) | ||
JPS6063452A (ja) | 感湿素子 | |
JPS6117945A (ja) | 湿度素子 | |
JPS54157676A (en) | Temperature and humidity sensor for air conditioners | |
JPH0452683Y2 (ja) | ||
JPH0293335A (ja) | 半導体式圧力センサ | |
JPS582731A (ja) | 感湿素子 | |
JP2527456B2 (ja) | 湿度センサ | |
JPS63292052A (ja) | 過乾燥アラ−ム | |
JPS61145804A (ja) | 感温・感湿素子の製造方法 | |
JPS6117056A (ja) | 温湿度素子 | |
JPS6126163U (ja) | 温湿度感知素子 | |
JPH03202766A (ja) | 厚膜型炭酸ガスセンサ | |
JPH011946A (ja) | 気体検知素子 | |
RU94028921A (ru) | Психрометрический измеритель влажности | |
JPH0449908B2 (ja) |