JPS59173742A - 温湿度センサ− - Google Patents
温湿度センサ−Info
- Publication number
- JPS59173742A JPS59173742A JP4831983A JP4831983A JPS59173742A JP S59173742 A JPS59173742 A JP S59173742A JP 4831983 A JP4831983 A JP 4831983A JP 4831983 A JP4831983 A JP 4831983A JP S59173742 A JPS59173742 A JP S59173742A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- range
- humidity
- temperature
- temp
- outer air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く技術分野〉
本発明は温度と湿度を同時に検出することができる温湿
度センサーに関するものである。
度センサーに関するものである。
〈従来技術〉
従来の温湿度センサーは、感温素子としてサーミスタ又
は白金側温体、感湿素子として塩化リチウム、セラミッ
ク系金属配化物又は有機高分子膜等を利用してｂた。こ
のため、異種材料による温湿度センサーは、材料別のア
ッセンブリのコストアップが壁けられず、高化なセンサ
ーとなり又小型化も困難であった。
は白金側温体、感湿素子として塩化リチウム、セラミッ
ク系金属配化物又は有機高分子膜等を利用してｂた。こ
のため、異種材料による温湿度センサーは、材料別のア
ッセンブリのコストアップが壁けられず、高化なセンサ
ーとなり又小型化も困難であった。
〈発明の目的〉
本発明の温湿度中ンサーは、温度特性を有する感湿材料
を用いて温度検知部は外気との接触を断つ封止を行ない
、湿度検出部は外気と接触をもだせた構造としえ同材料
で温度と湿度を同時に別々にセンシングできる温湿度セ
ンサーを提供するものである。
を用いて温度検知部は外気との接触を断つ封止を行ない
、湿度検出部は外気と接触をもだせた構造としえ同材料
で温度と湿度を同時に別々にセンシングできる温湿度セ
ンサーを提供するものである。
〈実施例〉
以下図面に従って本発明の一実施例を説明する。
第１図（ａｌ（ｂ）は湿度センサーとして構成された素
子構造の模式図（（ａ）平面図、（ｂ）断面図）を示し
たものである。ここで、高分子電解質としてポリスチレ
ンスルホル酸アンモニウムヲ用１ｘ、こ、ｔＬＩＣ重量
比１対０．２５の割合でポリビニルアルコールを添加し
た混合水溶液を、予じめ櫛歯状に電極１を形成したセラ
ミック基板２にスピンナー塗布した後、１００℃で加熱
乾燥して感湿膜３を形成する。
子構造の模式図（（ａ）平面図、（ｂ）断面図）を示し
たものである。ここで、高分子電解質としてポリスチレ
ンスルホル酸アンモニウムヲ用１ｘ、こ、ｔＬＩＣ重量
比１対０．２５の割合でポリビニルアルコールを添加し
た混合水溶液を、予じめ櫛歯状に電極１を形成したセラ
ミック基板２にスピンナー塗布した後、１００℃で加熱
乾燥して感湿膜３を形成する。
そしてその後、表面に保護コーテング膜４としてシリコ
ン系樹脂を積層して湿度センサーとした。
ン系樹脂を積層して湿度センサーとした。
第１図（ａ）の斜線部は保護コーテング膜４と感湿膜３
の部分である。
の部分である。
このように感湿材料としてはポリスチレンスルホン酸塩
を主剤（（シたものがあり、この感湿特性と感温特性を
示すと第２図のとおりである。＠２図において、横軸が
相対湿度（％）、縦軸がインピーダンス（Ω）で、温度
（ここでは１５℃。
を主剤（（シたものがあり、この感湿特性と感温特性を
示すと第２図のとおりである。＠２図において、横軸が
相対湿度（％）、縦軸がインピーダンス（Ω）で、温度
（ここでは１５℃。
３０”Ｃ２４５゛Ｃで測定〕によって感湿特性が異なる
ことを示している。
ことを示している。
第３図は本発明の一実施例の電極パターン形成済のセラ
ミック基板を示す斜視図で、一枚のセラミック基板２に
感湿素子用パターン領域５と感温素子用パターン領域６
を形成している。そして、両頭域５，６の境界部から素
子入力共通バンド７が、捷た各領域５，６のそれぞれ池
端から感湿素子出力取出しパッド８及び１盛温素子出力
収出しパッド９か導出される。斜線部は第１図（ａ）と
同様な保護コーテング膜４と感湿膜３部分を示して因る
。
ミック基板を示す斜視図で、一枚のセラミック基板２に
感湿素子用パターン領域５と感温素子用パターン領域６
を形成している。そして、両頭域５，６の境界部から素
子入力共通バンド７が、捷た各領域５，６のそれぞれ池
端から感湿素子出力取出しパッド８及び１盛温素子出力
収出しパッド９か導出される。斜線部は第１図（ａ）と
同様な保護コーテング膜４と感湿膜３部分を示して因る
。
第４図は温湿度センサーとしての外観例を示す斜視図、
第５図は第４図のＡ−Ｂ断面図、第６図は他の例を示す
同第４図のＡ−Ｂ断面図である。
第５図は第４図のＡ−Ｂ断面図、第６図は他の例を示す
同第４図のＡ−Ｂ断面図である。
パッケージ１０は感湿素子パンケージ頭載１１と感温素
子パッケージ領域１２とからなり、内部では第３図の感
温素子パターン領域６に対応して該部分と外気の接触を
断つため、ノ・−メチツクシール１３（第５図）又は樹
脂ポツティング１４（第６図）により気密シールを施こ
してめる。感湿素子パッケージ領域１１のステンレス・
メンシュフィルター又は多孔体フィルタ１５は、第３図
の感湿素子パターン＠域５と外気との接触をもたせるだ
めの通気描造体である。
子パッケージ領域１２とからなり、内部では第３図の感
温素子パターン領域６に対応して該部分と外気の接触を
断つため、ノ・−メチツクシール１３（第５図）又は樹
脂ポツティング１４（第６図）により気密シールを施こ
してめる。感湿素子パッケージ領域１１のステンレス・
メンシュフィルター又は多孔体フィルタ１５は、第３図
の感湿素子パターン＠域５と外気との接触をもたせるだ
めの通気描造体である。
第７図に本温湿度センサーを利用した温湿度計測用回路
例を示す。電源１６２発振回路１ｑ、温湿度センザー１
８．増幅回路１９．．２０．整流回路２１，２２．Ａ−
Ｄ変換器２３．２４’、表示回路２５１表示体２６とか
らなる。温湿度センサ−１８は上述したように感湿素子
部１８ａと感温素子部１８ｂとを含み、発振回路１７の
出力は共通に入力されるとともに、各出力は後段の増幅
回路１９．２０にそれぞれ出力される。このように同一
材料の素子によって湿度と温度を同時に測定できるとと
もに、湿度素子部１８ｂの温度変化によるドリフトを、
例えば表示回路２．５等において温度素子部１８ａの出
力によって補償することもできる。
例を示す。電源１６２発振回路１ｑ、温湿度センザー１
８．増幅回路１９．．２０．整流回路２１，２２．Ａ−
Ｄ変換器２３．２４’、表示回路２５１表示体２６とか
らなる。温湿度センサ−１８は上述したように感湿素子
部１８ａと感温素子部１８ｂとを含み、発振回路１７の
出力は共通に入力されるとともに、各出力は後段の増幅
回路１９．２０にそれぞれ出力される。このように同一
材料の素子によって湿度と温度を同時に測定できるとと
もに、湿度素子部１８ｂの温度変化によるドリフトを、
例えば表示回路２．５等において温度素子部１８ａの出
力によって補償することもできる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、同一材料を用いて感湿、
感温素子両部を、構成するものてあり、アッセンブリが
＠単で安価かつ小型化の容易な温湿度センサーか提供で
きる。また、同−利祠であることたよって一方の変化に
よるドリフトをその出力によって補償することも可能で
あり、非常に有用である。
感温素子両部を、構成するものてあり、アッセンブリが
＠単で安価かつ小型化の容易な温湿度センサーか提供で
きる。また、同−利祠であることたよって一方の変化に
よるドリフトをその出力によって補償することも可能で
あり、非常に有用である。
第１図（ａ）（ｂ）は湿度センサーとして構成された素
子構造の模式図（（ａ）平面図、（ｂ）断面図）、第２
図は第１図の感湿・感温特性を示す図４、第３図（は本
発明の一実施例を示す電極パターン形成済のセラミック
基板路示す斜視図、第４図は同温湿度センサーとしての
外観例を示す斜視図、第５図（／ｉ：第４図のＡ−Ｂ断
面図、第６図は他の例を示す第４図のＡ−Ｂ断面図、第
７図は利用例の温湿度計測回路を示すブロック図である
。 １・・・電極、 ２・・・セラミック基板、 ３・・
・感湿膜、 ５・感湿素子用パターン領域、″ ６・
・感温素子用パターン領域、 １３・・・ハーメチッ
クシール、 １４・・樹脂ホソテング、 １５・・・
ステンレス・メツシュフィルタ又は多孔体フィルタ。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦（他２名）第 ２ 図 第４図 第 Ｉ 図 嬉３図
子構造の模式図（（ａ）平面図、（ｂ）断面図）、第２
図は第１図の感湿・感温特性を示す図４、第３図（は本
発明の一実施例を示す電極パターン形成済のセラミック
基板路示す斜視図、第４図は同温湿度センサーとしての
外観例を示す斜視図、第５図（／ｉ：第４図のＡ−Ｂ断
面図、第６図は他の例を示す第４図のＡ−Ｂ断面図、第
７図は利用例の温湿度計測回路を示すブロック図である
。 １・・・電極、 ２・・・セラミック基板、 ３・・
・感湿膜、 ５・感湿素子用パターン領域、″ ６・
・感温素子用パターン領域、 １３・・・ハーメチッ
クシール、 １４・・樹脂ホソテング、 １５・・・
ステンレス・メツシュフィルタ又は多孔体フィルタ。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦（他２名）第 ２ 図 第４図 第 Ｉ 図 嬉３図
Claims (1)
- １、 電極として感湿素子用パ、ターン領域及び感温素
子用パターン＠域を有し、温度特性を有する感湿材料を
用い、該感湿材料の前記感温素子用パターン領域対応部
分は外部との接触を断つだめの気密シールを施してなる
ことを特徴とする温湿度センサ−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4831983A JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4831983A JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59173742A true JPS59173742A (ja) | 1984-10-01 |
Family
ID=12800086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4831983A Pending JPS59173742A (ja) | 1983-03-22 | 1983-03-22 | 温湿度センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59173742A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0186039A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
| JPS61145804A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | 三菱電機株式会社 | 感温・感湿素子の製造方法 |
| JPS6262956U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
| JPS63204724A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Matsushita Electronics Corp | レジストパタ−ンの形成方法 |
| JPS6425051A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Agency Ind Science Techn | Moisture sensitive element and manufacture thereof |
| EP0594215A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-04-27 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Drive control apparatus for microsensor |
| US6030116A (en) * | 1996-06-27 | 2000-02-29 | Nisshinbo Industries, Inc. | Heat and moisture transfer characteristic measuring equipment |
| EP2275805A1 (en) * | 2009-07-16 | 2011-01-19 | Acreo AB | Moister sensor |
| WO2019026737A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | ニッタ株式会社 | センサシート |
| JP6467547B1 (ja) * | 2018-08-03 | 2019-02-13 | 株式会社太陽機械製作所 | 温湿度測定装置およびその測定方法 |
-
1983
- 1983-03-22 JP JP4831983A patent/JPS59173742A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0186039A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
| JPS61145804A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | 三菱電機株式会社 | 感温・感湿素子の製造方法 |
| JPS6262956U (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-18 | ||
| JPS63204724A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Matsushita Electronics Corp | レジストパタ−ンの形成方法 |
| JPS6425051A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Agency Ind Science Techn | Moisture sensitive element and manufacture thereof |
| EP0594215A1 (en) * | 1992-10-23 | 1994-04-27 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Drive control apparatus for microsensor |
| US6030116A (en) * | 1996-06-27 | 2000-02-29 | Nisshinbo Industries, Inc. | Heat and moisture transfer characteristic measuring equipment |
| EP2275805A1 (en) * | 2009-07-16 | 2011-01-19 | Acreo AB | Moister sensor |
| US8236164B2 (en) | 2009-07-16 | 2012-08-07 | Acreo Ab | Moisture sensor |
| EP2275806A3 (en) * | 2009-07-16 | 2013-12-18 | Acreo Swedish ICT AB | Moister sensor |
| WO2019026737A1 (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-07 | ニッタ株式会社 | センサシート |
| JP2019028005A (ja) * | 2017-08-02 | 2019-02-21 | ニッタ株式会社 | センサシート |
| JP6467547B1 (ja) * | 2018-08-03 | 2019-02-13 | 株式会社太陽機械製作所 | 温湿度測定装置およびその測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59173742A (ja) | 温湿度センサ− | |
| EP0356682A3 (de) | Feuchtesensor | |
| JPS6229952Y2 (ja) | ||
| US4433320A (en) | Dew sensor | |
| JP2002071612A (ja) | 湿度センサ | |
| JPS63263426A (ja) | センサ素子 | |
| SU597955A1 (ru) | Датчик влажности | |
| JPS6214363U (ja) | ||
| JPH02665Y2 (ja) | ||
| JPH045602U (ja) | ||
| JPS6063452A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6117945A (ja) | 湿度素子 | |
| JPS54157676A (en) | Temperature and humidity sensor for air conditioners | |
| JPH0452683Y2 (ja) | ||
| JPH0293335A (ja) | 半導体式圧力センサ | |
| JPS582731A (ja) | 感湿素子 | |
| JP2527456B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPS63292052A (ja) | 過乾燥アラ−ム | |
| JPS61145804A (ja) | 感温・感湿素子の製造方法 | |
| JPS6117056A (ja) | 温湿度素子 | |
| JPS6126163U (ja) | 温湿度感知素子 | |
| JPH03202766A (ja) | 厚膜型炭酸ガスセンサ | |
| JPH011946A (ja) | 気体検知素子 | |
| RU94028921A (ru) | Психрометрический измеритель влажности | |
| JPH0449908B2 (ja) |