JPS59173734A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
赤外線ガス分析計Info
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- JPS59173734A JPS59173734A JP58048259A JP4825983A JPS59173734A JP S59173734 A JPS59173734 A JP S59173734A JP 58048259 A JP58048259 A JP 58048259A JP 4825983 A JP4825983 A JP 4825983A JP S59173734 A JPS59173734 A JP S59173734A
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- JP
- Japan
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- gas
- infrared
- cell
- sample
- sample cell
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
- G01J3/108—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry for measurement in the infrared range
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、赤外線を刺片してガスの含有成分濃度を分析
する赤外線ガス分析計に関する。
する赤外線ガス分析計に関する。
一般に、赤外線ガス分析計は、安定性が良く、分析対象
成分が多種類に及ぶなどの利点を有するため、各種の工
業計測分野等で多用されている。このようなガス分析計
は、通常以下のよう々原理に基づいて構成されている。
成分が多種類に及ぶなどの利点を有するため、各種の工
業計測分野等で多用されている。このようなガス分析計
は、通常以下のよう々原理に基づいて構成されている。
即ち、第１図に示すように、被分析ガスのサンプルを封
入するせンプルセルｌが、赤外線の発光部５および受光
部６間を結ぶ一軸上に設けられている。
入するせンプルセルｌが、赤外線の発光部５および受光
部６間を結ぶ一軸上に設けられている。
サンプルセル２は、通常円筒状に形成されており、その
両端部が赤外線を透過する透光性部材２により閉塞され
ている。サンプルガスは、サンプルセルＩに設けられた
ガス人口３から入り、その内部を通過してガス出口４か
ら排出される。
両端部が赤外線を透過する透光性部材２により閉塞され
ている。サンプルガスは、サンプルセルＩに設けられた
ガス人口３から入り、その内部を通過してガス出口４か
ら排出される。
一方、赤外線は、発光部５かへサンプルセルＩ内へ入射
され、ぜンプルガス内を通過（７て反対側の受光部６へ
透過される。
され、ぜンプルガス内を通過（７て反対側の受光部６へ
透過される。
そして、受光部６で検出した赤外線の波長の減衰率を測
定することによ番）、サンプルガス内の成分によって異
なる赤外線領域内の各波長域がそれぞれどの程度吸収さ
れたかを知ることができる。この場合、図示していない
が、基準ガス（通常、赤外線を吸収しない窒素ガス等）
を封入した基準セルを設けて、基準セルおよび廿ンプル
セルＩの両者を通過した各赤外線の透過光度を比較する
ことによｌ］、サンプルガスの含有成分濃度を知る方式
が一般的である。
定することによ番）、サンプルガス内の成分によって異
なる赤外線領域内の各波長域がそれぞれどの程度吸収さ
れたかを知ることができる。この場合、図示していない
が、基準ガス（通常、赤外線を吸収しない窒素ガス等）
を封入した基準セルを設けて、基準セルおよび廿ンプル
セルＩの両者を通過した各赤外線の透過光度を比較する
ことによｌ］、サンプルガスの含有成分濃度を知る方式
が一般的である。
ところで、被分析対象のガスが希薄であり、その濃度を
測定する場合には３．１サンプルセル２の長さを犬まく
する必要があり、例えば１ｍにも及ぶことがある。これ
は、濃度の測定においては上記のように赤外線吸収によ
る変化、即ち透過光量の変化を検出することにより行な
うため、長い光路長が必要となるためである。しかしな
がら、従来の装置では、サンプルセル１の長さに応じて
装置全体が大キくなり、占有ｉｔｎ 積の増大および装
置の取扱いが困負にｈる々どの欠点があった。
測定する場合には３．１サンプルセル２の長さを犬まく
する必要があり、例えば１ｍにも及ぶことがある。これ
は、濃度の測定においては上記のように赤外線吸収によ
る変化、即ち透過光量の変化を検出することにより行な
うため、長い光路長が必要となるためである。しかしな
がら、従来の装置では、サンプルセル１の長さに応じて
装置全体が大キくなり、占有ｉｔｎ 積の増大および装
置の取扱いが困負にｈる々どの欠点があった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、被分析対象が希薄なガスの場合でも、小型のせンプ
ルセルで長い光路長を実現することにより、確実にガス
の含有成分濃度を測定で〜、装置全体の小型化および取
扱いの容易化を実現できる赤外線ガス分析計を提供する
ことにある。
は、被分析対象が希薄なガスの場合でも、小型のせンプ
ルセルで長い光路長を実現することにより、確実にガス
の含有成分濃度を測定で〜、装置全体の小型化および取
扱いの容易化を実現できる赤外線ガス分析計を提供する
ことにある。
以下図面を参照して本発明の一実施例につし１て説明す
る。第２図は本発明に係る赤外線ガス分析計の構成を示
すものである。Ｉ２は、赤外線を照射する光源１１であ
る。光源１１から照射された赤外線は、スリットを有す
る円板状で形成されたチョッパＺ２により、連続光から
断続光に変換される。このチョッパｚ２は、通常図示し
ないモータの駆動で回転する。さらに、チョッパＩ２の
後方には、被分析対象のせンプルガス用の→Ｆンプルセ
ル１３および基準ガス用の基準セル１４とが上下に近接
Ｉ−て配設されている。この各↓ル１３，１４の後方に
は、測定値を検出して信翳を発する検出器１５が設けら
れている。せンプルセル１３け、円筒状のチューブを螺
旋状に形成して々す、上方へ開口するガス入口１６ａ
とガス出口アロｂ とを有している。
る。第２図は本発明に係る赤外線ガス分析計の構成を示
すものである。Ｉ２は、赤外線を照射する光源１１であ
る。光源１１から照射された赤外線は、スリットを有す
る円板状で形成されたチョッパＺ２により、連続光から
断続光に変換される。このチョッパｚ２は、通常図示し
ないモータの駆動で回転する。さらに、チョッパＩ２の
後方には、被分析対象のせンプルガス用の→Ｆンプルセ
ル１３および基準ガス用の基準セル１４とが上下に近接
Ｉ−て配設されている。この各↓ル１３，１４の後方に
は、測定値を検出して信翳を発する検出器１５が設けら
れている。せンプルセル１３け、円筒状のチューブを螺
旋状に形成して々す、上方へ開口するガス入口１６ａ
とガス出口アロｂ とを有している。
このぜンプルセル１３の内面は、例えばアルミニウム蒸
着され、更に防錆手段として５Ｉ０２人どの酸化皮膜が
施されている。この場合、アルミニウムに代えて、金、
銀、銅などを用いても有効である。さらに、サンプルセ
ルＩ３の両端部には、光源７７側と検出器Ｉ５側へ向っ
てそれぞれ開口する入射孔Ｚ２と透過孔１８とが設けら
れており、その開口端は透過性を有する透過板Ｉ９およ
び２０によって閉塞されている。
着され、更に防錆手段として５Ｉ０２人どの酸化皮膜が
施されている。この場合、アルミニウムに代えて、金、
銀、銅などを用いても有効である。さらに、サンプルセ
ルＩ３の両端部には、光源７７側と検出器Ｉ５側へ向っ
てそれぞれ開口する入射孔Ｚ２と透過孔１８とが設けら
れており、その開口端は透過性を有する透過板Ｉ９およ
び２０によって閉塞されている。
一方、基準ガス用の基準セルｚ４は、サンプルセルＩ３
と同様の構造であり、ガス人口２１２、ガス出口２１ｂ
、 入射孔２２、透過孔２３および透過板２４．２５を
それぞれ有Ｉ７ている。
と同様の構造であり、ガス人口２１２、ガス出口２１ｂ
、 入射孔２２、透過孔２３および透過板２４．２５を
それぞれ有Ｉ７ている。
このように構成された赤外線ガス分析計において、サン
プルガスをサンプルセル１３のガス入口１６ａ から
入れてガス出力１６ｂ から出１７、また基鋸ガスを
基票セルＩ４のガス人口２１ａから入れてガス出口２１
ｂ から出す。そして、光源７７の発する赤外線をチ
ョッパ１２によって断続光に［２て、両方のセル１．３
．１４の入射孔１７．２２からセル１３．１４内へ照射
する。照射された赤外線は、各セル１３，１４内の反射
面で反射されガから透過孔１８．２３へ導かれる。そし
て透過板２０．２５を透過した赤外線は、サンプルガス
用のせンプルセル１３側のものと基準ガス用セルＩ４側
のものとが同時に検出Ｂｘｓで受光され、信号と々って
発信される。これらの値を比較することによって被分析
対象のサンプルガスの濃度を知ることかできる。
プルガスをサンプルセル１３のガス入口１６ａ から
入れてガス出力１６ｂ から出１７、また基鋸ガスを
基票セルＩ４のガス人口２１ａから入れてガス出口２１
ｂ から出す。そして、光源７７の発する赤外線をチ
ョッパ１２によって断続光に［２て、両方のセル１．３
．１４の入射孔１７．２２からセル１３．１４内へ照射
する。照射された赤外線は、各セル１３，１４内の反射
面で反射されガから透過孔１８．２３へ導かれる。そし
て透過板２０．２５を透過した赤外線は、サンプルガス
用のせンプルセル１３側のものと基準ガス用セルＩ４側
のものとが同時に検出Ｂｘｓで受光され、信号と々って
発信される。これらの値を比較することによって被分析
対象のサンプルガスの濃度を知ることかできる。
このようにして、せンプルセルＩ３および基準セルＩ４
の両者を通過１．た各赤外線を検出することにより、各
赤外線の透光星を比較１．せンブルガスによる赤外線吸
収の変化を知ることができる。即ち、サンプルガスの含
有成分濃度を確実に測定できることに々る。そして、本
発明では、上記第２図に示すように、→Ｆンプルセル１
３および基準セル１４の両者を、円筒状のチューブを螺
旋状に形成することにより、セル１３．１４本体を長さ
の小さい小型化した状態で長い光路長を有することがで
きる。■、たがって、被分析対象であるサンプルガスが
、希薄なガスの場合でも、せンプルセル１３における赤
外線の辺過光緊の変化を確実に検出でき、結果的に希Ｎ
々斗ンプルガスの含有成分濃度を確実に測定でＮる。
の両者を通過１．た各赤外線を検出することにより、各
赤外線の透光星を比較１．せンブルガスによる赤外線吸
収の変化を知ることができる。即ち、サンプルガスの含
有成分濃度を確実に測定できることに々る。そして、本
発明では、上記第２図に示すように、→Ｆンプルセル１
３および基準セル１４の両者を、円筒状のチューブを螺
旋状に形成することにより、セル１３．１４本体を長さ
の小さい小型化した状態で長い光路長を有することがで
きる。■、たがって、被分析対象であるサンプルガスが
、希薄なガスの場合でも、せンプルセル１３における赤
外線の辺過光緊の変化を確実に検出でき、結果的に希Ｎ
々斗ンプルガスの含有成分濃度を確実に測定でＮる。
以上詳述１．たように本発明によれば、赤外線ガス分析
計において、セル長が短かい小型のサンプルセルおよび
基準セルで長い光路長を有することができる。したがっ
て、被分析対象が希薄なガスの場合でも、確実にガスの
含有成分濃度を測定でき、しかも装置全体の小型化およ
び取扱いの容易化を実現できるものである。
計において、セル長が短かい小型のサンプルセルおよび
基準セルで長い光路長を有することができる。したがっ
て、被分析対象が希薄なガスの場合でも、確実にガスの
含有成分濃度を測定でき、しかも装置全体の小型化およ
び取扱いの容易化を実現できるものである。
第１図は従来の赤外線ガス分析計の概略的構成図、第２
図は本発明の一実旋例に係る赤外線ガス分析計の構成図
である。
図は本発明の一実旋例に係る赤外線ガス分析計の構成図
である。
Claims (1)
- 赤外線を照射する赤外線光源゛と、この赤外線光源から
の赤外線を透過し被分析対象であるチンプルガスを封入
する円筒状のチューブを螺旋状に形成Ｉ７てなるサンプ
ルセルと、上記赤外線光源からの赤外線を透過し基準ガ
スを封入する円筒状のチューブを螺旋状に形成してなる
基準セルと、上記サンプルセルおよび基準セルの両者を
透過して出力される各赤外線をそれぞれ検出する検出器
とを具備１．たことを特許ｒとする赤外線ガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048259A JPS59173734A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 赤外線ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048259A JPS59173734A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 赤外線ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59173734A true JPS59173734A (ja) | 1984-10-01 |
Family
ID=12798441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58048259A Pending JPS59173734A (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 赤外線ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59173734A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5163332A (en) * | 1990-04-02 | 1992-11-17 | Gaztech International Corporation | Gas sample chamber |
| US5222389A (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-29 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| US5340987A (en) * | 1991-03-15 | 1994-08-23 | Li-Cor, Inc. | Apparatus and method for analyzing gas |
| US5414264A (en) * | 1993-04-16 | 1995-05-09 | Gaztech International Corporation | Enhanced pathlength gas sample chamber |
| US5850354A (en) * | 1995-03-22 | 1998-12-15 | Vaisala Oy | Calibration method for NDIR equipment and calibration apparatus |
| US6369387B1 (en) | 1999-10-15 | 2002-04-09 | Li-Cor, Inc. | Gas analyzer |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP58048259A patent/JPS59173734A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5163332A (en) * | 1990-04-02 | 1992-11-17 | Gaztech International Corporation | Gas sample chamber |
| WO1993011418A1 (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-10 | Gaztech International Corporation | Improved gas sample chamber |
| US5222389A (en) * | 1990-04-02 | 1993-06-29 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| US5340987A (en) * | 1991-03-15 | 1994-08-23 | Li-Cor, Inc. | Apparatus and method for analyzing gas |
| WO1993013401A1 (en) * | 1991-12-31 | 1993-07-08 | Gaztech International Corporation | Multi-channel gas sample chamber |
| US5414264A (en) * | 1993-04-16 | 1995-05-09 | Gaztech International Corporation | Enhanced pathlength gas sample chamber |
| US5850354A (en) * | 1995-03-22 | 1998-12-15 | Vaisala Oy | Calibration method for NDIR equipment and calibration apparatus |
| US6369387B1 (en) | 1999-10-15 | 2002-04-09 | Li-Cor, Inc. | Gas analyzer |
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