JPS59169589A - 物体の清浄化方法 - Google Patents
物体の清浄化方法Info
- Publication number
- JPS59169589A JPS59169589A JP58041582A JP4158283A JPS59169589A JP S59169589 A JPS59169589 A JP S59169589A JP 58041582 A JP58041582 A JP 58041582A JP 4158283 A JP4158283 A JP 4158283A JP S59169589 A JPS59169589 A JP S59169589A
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- Japan
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- gas
- air
- mist
- pipe
- water
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- Ventilation (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、LSI、超LSI製造工場、生物製剤製造工
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場や
そこにおかれた物品、史には衣服を着た作業員、病人等
を清浄化する方法に関するものである。
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場や
そこにおかれた物品、史には衣服を着た作業員、病人等
を清浄化する方法に関するものである。
更に詳細には、超LSI製造工場、無菌食品製造工場、
又はこれら工場の就業前の作業員のいるエアーシャワー
ルーム、重病人のいる病室等に実質的に0.5ミクロン
以下のミストを1立方フイート肖シ・5.万個以上居何
する空気を送って物体を清浄化する方法に関するもので
ある。
又はこれら工場の就業前の作業員のいるエアーシャワー
ルーム、重病人のいる病室等に実質的に0.5ミクロン
以下のミストを1立方フイート肖シ・5.万個以上居何
する空気を送って物体を清浄化する方法に関するもので
ある。
一般に、病院、薬品製造工場、食品製造工場。
研究所、実験室等では塵埃や微生物を含凍ない清浄気体
が必豐でちゃ、そのためにはエアーフィルターを用いて
清浄化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテ
ンを設置したりする方策が採られている。しか[1,な
からとのような方法では充分に清浄化された気体を得る
ことはできないし。
が必豐でちゃ、そのためにはエアーフィルターを用いて
清浄化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテ
ンを設置したりする方策が採られている。しか[1,な
からとのような方法では充分に清浄化された気体を得る
ことはできないし。
エアーシャワールームを利用しても充分に目的を達成す
ることはできない、 本発明者は、物体の清浄化について鋭気研究したところ
、水滴が小さくなるほど表面張力が弱くなり、水滴が0
.5ミクロン以下のミストになると強力に微小物体に付
着し、しかもこのミストを1立方フイ一ト当95万個以
上含有させた気体を物体にあてれば、そこに存在する微
細な塵埃はもらろんのこと、細菌、糸状菌、胞子類は一
しろかウィルスまでもこれらを付着して持し去り、清浄
化できることを知ったのである。そして、このような微
細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰囲気を清浄
化できるのみでなく、全く予期せざることに、水滴が存
在するにもかかわらず、実質的に0.5ミクロン以下の
ミストであればいかにその数が多くても、1物体が濡れ
るという現象が生じないという顕著な効果が奏されるこ
とをつきとめた。
ることはできない、 本発明者は、物体の清浄化について鋭気研究したところ
、水滴が小さくなるほど表面張力が弱くなり、水滴が0
.5ミクロン以下のミストになると強力に微小物体に付
着し、しかもこのミストを1立方フイ一ト当95万個以
上含有させた気体を物体にあてれば、そこに存在する微
細な塵埃はもらろんのこと、細菌、糸状菌、胞子類は一
しろかウィルスまでもこれらを付着して持し去り、清浄
化できることを知ったのである。そして、このような微
細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰囲気を清浄
化できるのみでなく、全く予期せざることに、水滴が存
在するにもかかわらず、実質的に0.5ミクロン以下の
ミストであればいかにその数が多くても、1物体が濡れ
るという現象が生じないという顕著な効果が奏されるこ
とをつきとめた。
そして更に検討した結果、微細水滴浮遊気体雰囲気中に
通常の気体を通したところ、該通常気体が超クリーンな
状態にまで高度に清浄化され、このように高度の清浄化
された気体をそれぞれの部屋、部署、その他関係個所に
直接適用できることも発見した。そして、これらの新知
見を基礎とし、更に、この微細水滴浮遊気体を製造する
ための工業的に特に有効な方法について各種の実験、イ
υf死をくり返した結果1本発明の完成に到ったもので
ある。
通常の気体を通したところ、該通常気体が超クリーンな
状態にまで高度に清浄化され、このように高度の清浄化
された気体をそれぞれの部屋、部署、その他関係個所に
直接適用できることも発見した。そして、これらの新知
見を基礎とし、更に、この微細水滴浮遊気体を製造する
ための工業的に特に有効な方法について各種の実験、イ
υf死をくり返した結果1本発明の完成に到ったもので
ある。
すなわら、本発明は、実質的に0.5ミクロン以下のミ
ストを多搦:浮遊せしめた気体で物体を処理することを
s敗とする物体の清浄化方法である。
ストを多搦:浮遊せしめた気体で物体を処理することを
s敗とする物体の清浄化方法である。
本発明にかいて用いる実質的に05ミクロン以下のミス
トffi多量浮遊せしめた空気は、例えば次に説明する
製置によって製造することができる。
トffi多量浮遊せしめた空気は、例えば次に説明する
製置によって製造することができる。
不活性気体が必要な場合は空気の代りに窒素ガスを用い
ればよいことは勿論である。
ればよいことは勿論である。
先ず第1図全参照されたい。この装置は、最も基礎的な
ものであって、タンク1の側面に多数の水噴射ノズル2
を設けるgこれらのノズル2は、対向する側面に設けた
ノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対する
ノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。水噴
射ノズル2から噴射された水は1点線りしたがってタン
ク1を横断して対向する側面に衝突して微細な水滴とな
り(+’3+、タック1内はこの微細水滴で充満される
。
ものであって、タンク1の側面に多数の水噴射ノズル2
を設けるgこれらのノズル2は、対向する側面に設けた
ノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対する
ノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。水噴
射ノズル2から噴射された水は1点線りしたがってタン
ク1を横断して対向する側面に衝突して微細な水滴とな
り(+’3+、タック1内はこの微細水滴で充満される
。
そこ士、このタンク1の底部から矢印人にしたがって気
体を送気すると、タンク1を上昇しながら該気体は微細
水滴を充分に含有して、上方の夕/り出口から排出され
、ミストを浮遊せしめた目的とする気体が得られるので
ある。また必要ある場合には、このタンク1内に邪魔板
(図示せず)を1〜数枚垂直に又は角度をつけて設け(
直列、並列、又は交互に設ける)、これらの邪魔板にジ
ェット水流を衝突させて微細水滴を生成せしめてもよい
。
体を送気すると、タンク1を上昇しながら該気体は微細
水滴を充分に含有して、上方の夕/り出口から排出され
、ミストを浮遊せしめた目的とする気体が得られるので
ある。また必要ある場合には、このタンク1内に邪魔板
(図示せず)を1〜数枚垂直に又は角度をつけて設け(
直列、並列、又は交互に設ける)、これらの邪魔板にジ
ェット水流を衝突させて微細水滴を生成せしめてもよい
。
第2図及び第6図は、更に効率よく、シかも温度コント
ロールしたミスト浮遊気体を製造するだめの装置である
。
ロールしたミスト浮遊気体を製造するだめの装置である
。
ここでは冷却したミスト浮遊気体を製造する場合を例に
とって説明するが、以丁に述べる冷却関連システムを加
温したシステムに代えれば加温されたミスト浮遊気体も
自由に製造することができる。
とって説明するが、以丁に述べる冷却関連システムを加
温したシステムに代えれば加温されたミスト浮遊気体も
自由に製造することができる。
サイクロン40には、その円筒部41上部に空気人口4
2が接線方向に設けられている。円筒部41の中央には
上方から出口管4ろが上方に伸長して設けられ、出口管
45にはそれと同軸に冷水噴射管44が出口管4ろを囲
んで配置されて1ハる。
2が接線方向に設けられている。円筒部41の中央には
上方から出口管4ろが上方に伸長して設けられ、出口管
45にはそれと同軸に冷水噴射管44が出口管4ろを囲
んで配置されて1ハる。
噴射管44には噴射ノズル45が多数設けられている。
サイクロン400円筒部41内には、冷凍装置の蒸発管
47が配置されている。蒸発管47と噴射ノズル45と
の位置関係は、相互に完全にずらしてもよいし、−1′
た少しずらしてもよぐ、また、噴射ノズル45からの水
が蒸発管47に対して垂直に噴霧又は噴射状態で吹き付
けられるように配置されている。サイクロンの円錐s5
1の下端部には、濾過装置猷48、水タンク49、ポン
プ50が順次設けられている。従って、冷水は、矢印B
の方向、すなわら、ポンプ5G、循環管46゜噴射管4
4、サイクロンの円筒部41、円錐部51、濾過装置4
8.水タンク49.ポンプ50の順序で循環させられる
。冷媒、特に高温冷媒(1℃〜−5°C)は、矢印Cの
方向に蒸発管47内を循環する。気体は、矢印Aの方向
にしたがって人口42を通ってサイクロン内に送り込ま
れ、ナイフロン内で微細水滴を含有すると同時に4却さ
れて目的とする気体となり出口管46を通ってそれぞれ
の目的に使用される。噴射管44に設けた噴射ノズル4
5から噴射又は噴霧される水を(1))、冷凍装置の蒸
発管47及び/′又は円筒部41の側壁に衝突せしめる
と(ト))、ミストが発生しくそれとともに、蒸発管4
7と衝突した水流はとの管47内を通る冷媒と熱交換を
行い、冷却される)、計つ水滴は冷却される。このよう
な雰囲気中に気体を矢印Aにしたがって通過せしめると
、この気体は微細水滴を含有するとともに冷却された水
滴と熱交換を行ってそれ自体は冷却され、目的とする気
体となるのである。
47が配置されている。蒸発管47と噴射ノズル45と
の位置関係は、相互に完全にずらしてもよいし、−1′
た少しずらしてもよぐ、また、噴射ノズル45からの水
が蒸発管47に対して垂直に噴霧又は噴射状態で吹き付
けられるように配置されている。サイクロンの円錐s5
1の下端部には、濾過装置猷48、水タンク49、ポン
プ50が順次設けられている。従って、冷水は、矢印B
の方向、すなわら、ポンプ5G、循環管46゜噴射管4
4、サイクロンの円筒部41、円錐部51、濾過装置4
8.水タンク49.ポンプ50の順序で循環させられる
。冷媒、特に高温冷媒(1℃〜−5°C)は、矢印Cの
方向に蒸発管47内を循環する。気体は、矢印Aの方向
にしたがって人口42を通ってサイクロン内に送り込ま
れ、ナイフロン内で微細水滴を含有すると同時に4却さ
れて目的とする気体となり出口管46を通ってそれぞれ
の目的に使用される。噴射管44に設けた噴射ノズル4
5から噴射又は噴霧される水を(1))、冷凍装置の蒸
発管47及び/′又は円筒部41の側壁に衝突せしめる
と(ト))、ミストが発生しくそれとともに、蒸発管4
7と衝突した水流はとの管47内を通る冷媒と熱交換を
行い、冷却される)、計つ水滴は冷却される。このよう
な雰囲気中に気体を矢印Aにしたがって通過せしめると
、この気体は微細水滴を含有するとともに冷却された水
滴と熱交換を行ってそれ自体は冷却され、目的とする気
体となるのである。
第4図は、本発明方法を64ギロビットRAM量産工場
に対して実際に適用するだめのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがってサイクロ
ン40で製造されたミスト浮遊気体は、矢印Aにしたが
って除滴サイクロン50に送り込まれる。すなわら、4
0から出てきた気体は、除滴サイクロン50の側壁に切
線方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中
を循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して
0.5μ以下のミスト90%以上浮遊せしめた気体に調
製して、サイクロン50の中央部に設けた出口管からこ
れを取シ出す。
に対して実際に適用するだめのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがってサイクロ
ン40で製造されたミスト浮遊気体は、矢印Aにしたが
って除滴サイクロン50に送り込まれる。すなわら、4
0から出てきた気体は、除滴サイクロン50の側壁に切
線方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中
を循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して
0.5μ以下のミスト90%以上浮遊せしめた気体に調
製して、サイクロン50の中央部に設けた出口管からこ
れを取シ出す。
このようにして取シ出されたミスト浮遊気体は、パイプ
Pを通ってエアーシャワールーム60に送られて、更に
は隣接する超クリーンルーム70で作業をする人々の洗
滌を行う。また上記ミスト浮遊気体の一部は、直接超り
リーンルーム了0に送られて、室内に塵埃を含まない清
浄化した気体を送入するとともにLSIに用いるシリコ
ン板の洗滌にもこれを使用する。また、必要ある場合に
は、ミス+浮遊気体を直接使用する代シに、この気体の
シャワーの中に通常の空気を送風して清浄化し、とのよ
うにして清浄化した空気を使用してもよい。
Pを通ってエアーシャワールーム60に送られて、更に
は隣接する超クリーンルーム70で作業をする人々の洗
滌を行う。また上記ミスト浮遊気体の一部は、直接超り
リーンルーム了0に送られて、室内に塵埃を含まない清
浄化した気体を送入するとともにLSIに用いるシリコ
ン板の洗滌にもこれを使用する。また、必要ある場合に
は、ミス+浮遊気体を直接使用する代シに、この気体の
シャワーの中に通常の空気を送風して清浄化し、とのよ
うにして清浄化した空気を使用してもよい。
超クリーンルーム70で使用された気体は、そこから取
り出し、・ぞイブP、ファンFを介してサイクロン40
へ戻し、このサイクルをくり返すのである。1この方法
によれば、超クリーンルーム内には、1 feet3の
空間に0.5μ以上の塵はわずか1個未満しかないとい
う超クリーンな状態に保たれていることが判明した。ら
なみに、通常の工場では数万個の塵埃が浮遊しておシ、
このことからも、本発明による方法がいかにすぐれてい
るかが判るはずである。
り出し、・ぞイブP、ファンFを介してサイクロン40
へ戻し、このサイクルをくり返すのである。1この方法
によれば、超クリーンルーム内には、1 feet3の
空間に0.5μ以上の塵はわずか1個未満しかないとい
う超クリーンな状態に保たれていることが判明した。ら
なみに、通常の工場では数万個の塵埃が浮遊しておシ、
このことからも、本発明による方法がいかにすぐれてい
るかが判るはずである。
また、第5図及び第6図に示される除滴サイクロン50
の次に示す熱交換器100を設け、これにミスト浮遊気
体を通すことによって、気体を最適温度に上昇させると
ともにミストをよ勺小さなものとし効力を増大させるこ
とができるものである。熱交換器100は次に説明され
る。即ち、缶体101の中心部には空気排出管、、10
5を上F方向に設けてあシ、管体101外に設けた空気
導管105′と連通ずる。従って、空気取入管104よ
シの空気は缶体101内を旋回しながら下方に達し空気
排出管105の下部より上昇して矢印方向に移動するこ
とになる。又管体101の内部には外側配管106及び
内側配管107を設けてあり、各配管106,107の
下端は缶体101外に設けたポンプ108と連通し、温
水又は冷水を流通させ上部排水口109.110より排
水せられる。
の次に示す熱交換器100を設け、これにミスト浮遊気
体を通すことによって、気体を最適温度に上昇させると
ともにミストをよ勺小さなものとし効力を増大させるこ
とができるものである。熱交換器100は次に説明され
る。即ち、缶体101の中心部には空気排出管、、10
5を上F方向に設けてあシ、管体101外に設けた空気
導管105′と連通ずる。従って、空気取入管104よ
シの空気は缶体101内を旋回しながら下方に達し空気
排出管105の下部より上昇して矢印方向に移動するこ
とになる。又管体101の内部には外側配管106及び
内側配管107を設けてあり、各配管106,107の
下端は缶体101外に設けたポンプ108と連通し、温
水又は冷水を流通させ上部排水口109.110より排
水せられる。
管内101の上部及びF部には洗滌水管111の水噴出
口111a、111b・・を多数設けてあシ、配管10
6及び配管107の上下列の上方又はF一方に望ませ、
配管10S、LO7及び缶体101の内面、空気排出管
105の外面に向けて洗滌水を噴出できるようにしであ
る。又コーン部102の下方には、排水管112′が設
けられておシ、缶内の洗滌水又は気体冷却によるドレイ
ン等が排水できるようにしである。従って、空気取入口
104よシの空気は缶101内でサイクロン効果によシ
ごみ等を分離し、配管106.107によシ適温に加熱
又は冷却され、適温となった空気は空気排出管105よ
り送出される。又分離したごみ等は洗滌水管111に通
水し、ノズル111 a。
口111a、111b・・を多数設けてあシ、配管10
6及び配管107の上下列の上方又はF一方に望ませ、
配管10S、LO7及び缶体101の内面、空気排出管
105の外面に向けて洗滌水を噴出できるようにしであ
る。又コーン部102の下方には、排水管112′が設
けられておシ、缶内の洗滌水又は気体冷却によるドレイ
ン等が排水できるようにしである。従って、空気取入口
104よシの空気は缶101内でサイクロン効果によシ
ごみ等を分離し、配管106.107によシ適温に加熱
又は冷却され、適温となった空気は空気排出管105よ
り送出される。又分離したごみ等は洗滌水管111に通
水し、ノズル111 a。
111b より噴水させることによシ洗い去ることがで
きるものである。
きるものである。
このように処理された気体はほぼ完全に05ミクロン以
下のミストを多量浮遊した状態となっているので、これ
を用いて物体を処理することによってあらゆる物を清浄
化することができるのである。
下のミストを多量浮遊した状態となっているので、これ
を用いて物体を処理することによってあらゆる物を清浄
化することができるのである。
本発明にνいては気体として空気が一般的に使用される
が、酸化が好ましくない場合には炭酸ガス、窒素ガス、
その他希ガス類も使用できるし、逆に酸素ガスも使用で
き、各種の気体又はそれらの混合物が自由に適宜使用で
きる。
が、酸化が好ましくない場合には炭酸ガス、窒素ガス、
その他希ガス類も使用できるし、逆に酸素ガスも使用で
き、各種の気体又はそれらの混合物が自由に適宜使用で
きる。
本発明方法において使用する0、5ミクロン以下のミス
トは表面張力がきわめて低く、物体に晴着したシ、空中
に浮遊している塵埃にミストが容易に付着し、このよう
にミストが付着すると重量がふえ送風とともに塵埃は除
去されるようになるものと推定され5乙。特に、不法に
よれば微細なミストを1吏用するために、非常に微細な
塵埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去すること
ができ、物理的にも生物的にも物体は清浄化されるとい
う著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等
で除去していたのであるが、ウィルスはわずか0.5μ
〜001μの大きざしかないため、エアーフィルタでは
充分に除去することが不可能であった。したがって、本
発明で室内を清浄化すれば現実に風邪全ひぐといったこ
とも非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に
使用するのに極めて好適である。
トは表面張力がきわめて低く、物体に晴着したシ、空中
に浮遊している塵埃にミストが容易に付着し、このよう
にミストが付着すると重量がふえ送風とともに塵埃は除
去されるようになるものと推定され5乙。特に、不法に
よれば微細なミストを1吏用するために、非常に微細な
塵埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去すること
ができ、物理的にも生物的にも物体は清浄化されるとい
う著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等
で除去していたのであるが、ウィルスはわずか0.5μ
〜001μの大きざしかないため、エアーフィルタでは
充分に除去することが不可能であった。したがって、本
発明で室内を清浄化すれば現実に風邪全ひぐといったこ
とも非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に
使用するのに極めて好適である。
また1本発明方法は雑菌を含まなくすることができる特
色の故に、食品製造工場にンいて、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料8店、スー・ぞ−マ
ーケットその他で期用するのにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生・・ムも自由に製造することができる。
色の故に、食品製造工場にンいて、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料8店、スー・ぞ−マ
ーケットその他で期用するのにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生・・ムも自由に製造することができる。
以上述べたように、本発明は、その超清浄性の故に、精
密機械の洗滌のほかに、手術用具の洗滌にも活用するこ
とができる。また、肺の洗滌等医療分野での利用も大い
に期待されるところである。
密機械の洗滌のほかに、手術用具の洗滌にも活用するこ
とができる。また、肺の洗滌等医療分野での利用も大い
に期待されるところである。
第1図は、ミスト浮遊気体製造装置の1実施例を図示し
たものであり、第2図は、その別の実施例であり、第6
図は第2図の装置の中央部を切断したときの断面図であ
り、そして第4図は、実際の半導体製造工場において適
用した場合のトータルシステムを模式的に図示したもの
である。また、第5図はミスト浮遊気製造装置のあとに
つけることのできる熱交換器を示す図で、第6図はその
横断面図である1 1 タンク 2.45 ・ノズル40 サイ
クロン 42 気体入口4ろ ・微細水滴浮遊気
体出口管 50 除滴サイクロン 60・・エアーシャワールーム 70 超クリーンルーム ioo 熱交換器 代理人 弁理士 戸 1)親 男 第 1 図 第3図
たものであり、第2図は、その別の実施例であり、第6
図は第2図の装置の中央部を切断したときの断面図であ
り、そして第4図は、実際の半導体製造工場において適
用した場合のトータルシステムを模式的に図示したもの
である。また、第5図はミスト浮遊気製造装置のあとに
つけることのできる熱交換器を示す図で、第6図はその
横断面図である1 1 タンク 2.45 ・ノズル40 サイ
クロン 42 気体入口4ろ ・微細水滴浮遊気
体出口管 50 除滴サイクロン 60・・エアーシャワールーム 70 超クリーンルーム ioo 熱交換器 代理人 弁理士 戸 1)親 男 第 1 図 第3図
Claims (1)
- 実質的に0.5ミクロン以下のミストを多量浮遊せしめ
た気体で物体を処理することを特徴とする物体の清浄化
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58041582A JPS59169589A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 物体の清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58041582A JPS59169589A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 物体の清浄化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59169589A true JPS59169589A (ja) | 1984-09-25 |
JPH0376993B2 JPH0376993B2 (ja) | 1991-12-09 |
Family
ID=12612427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58041582A Granted JPS59169589A (ja) | 1983-03-15 | 1983-03-15 | 物体の清浄化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59169589A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
HUE044242T2 (hu) | 2013-10-31 | 2019-10-28 | Senju Metal Industry Co | Folyasztószer visszanyerõ eszköz és forrasztó berendezés |
-
1983
- 1983-03-15 JP JP58041582A patent/JPS59169589A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0376993B2 (ja) | 1991-12-09 |
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