JPS5916065U - 質量分析光学系 - Google Patents

質量分析光学系

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JPS5916065U
JPS5916065U JP11100782U JP11100782U JPS5916065U JP S5916065 U JPS5916065 U JP S5916065U JP 11100782 U JP11100782 U JP 11100782U JP 11100782 U JP11100782 U JP 11100782U JP S5916065 U JPS5916065 U JP S5916065U
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JP
Japan
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analyzer
optical system
mass spectrometry
lens
lenses
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Application number
JP11100782U
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English (en)
Inventor
勝広 黒田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、電界Eと磁場Bとを直交させて質量分析を行
なう原理図、第2図は、従来の光学系を′示した基本図
、第3図は、本考案の一実施例の光学系を示した基本図
、第4図は、非点収差が生じる理由を説明する分析器の
断面図、a、  bそれぞれは、従来と本考案の図面で
ある。 1.2・・・・・・電界Eを生じさせる電極、3,4・
・・・・・磁場Bを発生させる磁極、5・・・・・・質
量分析用絞り、6.7・・・・・・レンズ、8・・・・
・・試料面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イ′オン源より発生したイオン線を細く絞る手段(レン
    ズ)と、このイオン線と直交する断面上で電界と磁場と
    を直交させて印加し、質量を分析せしめる手段(分析器
    )とを具備した装置において、少なくとも2個のレンズ
    を用い、レンズ間に分析器を配置せしめ、分析器のイオ
    ン源側のレンズの結像位置を分析器内にあるようにせし
    めたことを特徴とする質量分析光学系。
JP11100782U 1982-07-23 1982-07-23 質量分析光学系 Pending JPS5916065U (ja)

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JP11100782U JPS5916065U (ja) 1982-07-23 1982-07-23 質量分析光学系

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JPS5916065U true JPS5916065U (ja) 1984-01-31

Family

ID=30257937

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JP11100782U Pending JPS5916065U (ja) 1982-07-23 1982-07-23 質量分析光学系

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JP (1) JPS5916065U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5975550A (ja) * 1982-10-25 1984-04-28 Jeol Ltd 荷電粒子線の集束方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5975550A (ja) * 1982-10-25 1984-04-28 Jeol Ltd 荷電粒子線の集束方法

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