JPS59155610U - 圧力制御機構 - Google Patents
圧力制御機構Info
- Publication number
- JPS59155610U JPS59155610U JP4795783U JP4795783U JPS59155610U JP S59155610 U JPS59155610 U JP S59155610U JP 4795783 U JP4795783 U JP 4795783U JP 4795783 U JP4795783 U JP 4795783U JP S59155610 U JPS59155610 U JP S59155610U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- pressure control
- control mechanism
- evacuated
- heat source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の圧力制御機構の概略図、第２図は本考案
の一実施例を示した圧力制御機構の概略図である。 １：被排気室、２：予備被排気室、８ニオリフイス孔、
１１：金属体、１２：コンダクタ、１４：クーラ、１５
：熱源。
の一実施例を示した圧力制御機構の概略図である。 １：被排気室、２：予備被排気室、８ニオリフイス孔、
１１：金属体、１２：コンダクタ、１４：クーラ、１５
：熱源。
Claims (1)
- 各々排気手段を備えた第１、第２被排気室、前記第１被
排気室へガスを供給する手段、前記第１、第２被排気室
の境界部に設けられた孔がオリフィス作用をする様に前
記第１被排気室側の孔部に配置した金属体、前記室の外
に配置され前記金属体に熱線を輻射する熱源、前記室の
外に配置されコンダクタを介して前記金属を冷却する手
段から成る圧力制御機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4795783U JPS59155610U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 圧力制御機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4795783U JPS59155610U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 圧力制御機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59155610U true JPS59155610U (ja) | 1984-10-19 |
Family
ID=30178497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4795783U Pending JPS59155610U (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 圧力制御機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59155610U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010014189A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Shibutani:Kk | フローティングナット |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP4795783U patent/JPS59155610U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010014189A (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-21 | Shibutani:Kk | フローティングナット |
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