JPS59147974A - Ｈｅガスの液化装置 - Google Patents
Ｈｅガスの液化装置Info
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- JPS59147974A JPS59147974A JP58022576A JP2257683A JPS59147974A JP S59147974 A JPS59147974 A JP S59147974A JP 58022576 A JP58022576 A JP 58022576A JP 2257683 A JP2257683 A JP 2257683A JP S59147974 A JPS59147974 A JP S59147974A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は原料Ｈｅガスを導入し、これに適すな冷却処理
を施すこと（こより液化Ｈｅガスを得るための装置１こ
関する。
を施すこと（こより液化Ｈｅガスを得るための装置１こ
関する。
この種装置としては従来から第１図の如きものが用いら
れており、その構成はＨｅガフボンベ１、圧縮機２、そ
して冷却装置３および液化Ｈｅ受容器４が、適所＋ｃＪ
−Ｔバルブ５（ジュールトムソン効果を発揮するバルブ
）、リターンバルブ６、開閉バルブ７．８を介設するこ
とで配管連結したものとなっており、これ昏こより液化
Ｈｅ受容器４１こ液化Ｈｅガス（ＬＨｅ）を得る液化始
動ｆこ先立って、次のような予備的諸操作が行なわれて
いる。
れており、その構成はＨｅガフボンベ１、圧縮機２、そ
して冷却装置３および液化Ｈｅ受容器４が、適所＋ｃＪ
−Ｔバルブ５（ジュールトムソン効果を発揮するバルブ
）、リターンバルブ６、開閉バルブ７．８を介設するこ
とで配管連結したものとなっており、これ昏こより液化
Ｈｅ受容器４１こ液化Ｈｅガス（ＬＨｅ）を得る液化始
動ｆこ先立って、次のような予備的諸操作が行なわれて
いる。
先ず上記Ｊ＝Ｔバルブ５とリターンバルブ６とを閉じた
状態として圧縮機２を稼動すると共に、同４ｉｆｆｌ
２へＨｅガスボンベ１からＨｅガス（ＧＨｅ）を導入し
、当該圧縮機２によって圧縮したＧＨｅｋ、上記冷却装
置３に送入するのであるが、同装置３は既知の如く所要
複数段の熱又換器９＋ 、９２．９３．９．、ｇ、と所
要個数の膨張エンジン１０．．１０．、とを具備すると
共１Ｃ１これら各熱交換器（こよる直列液化ライン１１
と直列返送ライン１２とが、逆流熱交換配置にて並設さ
れたもので、上記の圧縮されたＧＨｅが直列液化ライン
１１の入口１１′から冷却装置３【こ導入されると、第
２熱又換器９２と第４熱交換器９４と）こは、その直列
液化ライン１１と直列返送ライン１２との間に上記の膨
張エンジン１ｏ１．１０．が夫々並接されているため、
第１熱文換器９．の直列液化ライン１１から出たＧＨｅ
は第１膨張エンジン１０Ｉに分流して、こ＼で膨張し、
これ（こより温度降下したＧ Ｉ−１ｅが順次筒２、第
１熱又換器９□−９１の直列返送ライン１２を通って、
前記圧縮器２の人口Ｅこ帰還されて流動循回することＮ
なり、かくてＧＨｅは第１、第２熱交換器９゜、９２昏
こよって次第１こ冷却されていく。
状態として圧縮機２を稼動すると共に、同４ｉｆｆｌ
２へＨｅガスボンベ１からＨｅガス（ＧＨｅ）を導入し
、当該圧縮機２によって圧縮したＧＨｅｋ、上記冷却装
置３に送入するのであるが、同装置３は既知の如く所要
複数段の熱又換器９＋ 、９２．９３．９．、ｇ、と所
要個数の膨張エンジン１０．．１０．、とを具備すると
共１Ｃ１これら各熱交換器（こよる直列液化ライン１１
と直列返送ライン１２とが、逆流熱交換配置にて並設さ
れたもので、上記の圧縮されたＧＨｅが直列液化ライン
１１の入口１１′から冷却装置３【こ導入されると、第
２熱又換器９２と第４熱交換器９４と）こは、その直列
液化ライン１１と直列返送ライン１２との間に上記の膨
張エンジン１ｏ１．１０．が夫々並接されているため、
第１熱文換器９．の直列液化ライン１１から出たＧＨｅ
は第１膨張エンジン１０Ｉに分流して、こ＼で膨張し、
これ（こより温度降下したＧ Ｉ−１ｅが順次筒２、第
１熱又換器９□−９１の直列返送ライン１２を通って、
前記圧縮器２の人口Ｅこ帰還されて流動循回することＮ
なり、かくてＧＨｅは第１、第２熱交換器９゜、９２昏
こよって次第１こ冷却されていく。
同様にして第２膨張エンジン１０２ Ｉり第３熱交換器
９３から分流したＧＨｅを冷却し、順次筒４、第３、第
２、第１熱交換器９４−９３−９□−９，を経て、ＧＨ
２を圧縮器２（こ帰還させること＼なるから、当該循環
経路によってもＧＨｅの冷却が進行し、かくて第４熱文
換器９４までＧＨｅが循環して温度降下のための第１予
備操作が行なわれることになる。
９３から分流したＧＨｅを冷却し、順次筒４、第３、第
２、第１熱交換器９４−９３−９□−９，を経て、ＧＨ
２を圧縮器２（こ帰還させること＼なるから、当該循環
経路によってもＧＨｅの冷却が進行し、かくて第４熱文
換器９４までＧＨｅが循環して温度降下のための第１予
備操作が行なわれることになる。
この上うにして第２膨張エンジン１０２の入口温度が２
０に以下壕で降下したならば、それまで液化Ｈｅ受容器
４に一点鎖線の如く連結されていたテリバリーチューブ
１３．１４を抜きとり、これを図示の如くアダプター１
５（こ連結するのであり、当該アダプター１５はバルブ
１６、配管１了を介してリカバリーライン１８と連通し
ており、このリカバリーライン８は図示のよう（こ直列
返送ライン１２の出口１２′および圧縮機２０入口側に
連通されているのである０ そして上記の如くアダプター１６を連結したならば、Ｊ
−Ｔバルブ６とリターンバルブ６、そしてバルブ１６も
開いてヘリウムガスＧＨｅをアダプター１６から、バル
ブ１６、配管１了を介してリカバリーライン１８）こ戻
シ、これ【こよりデリバリ−チューブ１３．１４をＧＨ
ｅｉこよって冷却するのであり、当該アダプター１５の
液体空気たるＷ？関が付きはしめたならば、Ｊ−Ｔバル
ブ６とリターンバルブ６とを閉じ、アダプアー１５ｉ外
してデリバリ−チューブ１３．１４を、液化Ｈｅ受容器
４に復帰連結して予備的諸操作を完結し、次いでＪ−Ｔ
バルブ６とリターンバルブ６とを少しずつ開いて液化始
動運転に入るようＩｃ している。
０に以下壕で降下したならば、それまで液化Ｈｅ受容器
４に一点鎖線の如く連結されていたテリバリーチューブ
１３．１４を抜きとり、これを図示の如くアダプター１
５（こ連結するのであり、当該アダプター１５はバルブ
１６、配管１了を介してリカバリーライン１８と連通し
ており、このリカバリーライン８は図示のよう（こ直列
返送ライン１２の出口１２′および圧縮機２０入口側に
連通されているのである０ そして上記の如くアダプター１６を連結したならば、Ｊ
−Ｔバルブ６とリターンバルブ６、そしてバルブ１６も
開いてヘリウムガスＧＨｅをアダプター１６から、バル
ブ１６、配管１了を介してリカバリーライン１８）こ戻
シ、これ【こよりデリバリ−チューブ１３．１４をＧＨ
ｅｉこよって冷却するのであり、当該アダプター１５の
液体空気たるＷ？関が付きはしめたならば、Ｊ−Ｔバル
ブ６とリターンバルブ６とを閉じ、アダプアー１５ｉ外
してデリバリ−チューブ１３．１４を、液化Ｈｅ受容器
４に復帰連結して予備的諸操作を完結し、次いでＪ−Ｔ
バルブ６とリターンバルブ６とを少しずつ開いて液化始
動運転に入るようＩｃ している。
上記の通り従来の装置←こよれば、その予備操作による
冷却のため（こ、アダプター１５を取り付けたり、取り
外したり、またバルブを手動操作したりしなければ匁ら
ないため、極めて作業性が悪いものとなるたけでなく、
前記の如くデリバリ−チューブ１３．１４の冷却度合を
知る（７） ｌコ、アダプター１６の外壁全観察するこ
と「こ頼るので、正確な４卯状態を知ること５はならず
、光分な冷却が完了しないう′ｃ）Ｉこ液化始動が開始
され、これにより冷却効率が悪化してしまうといった欠
陥があった。
冷却のため（こ、アダプター１５を取り付けたり、取り
外したり、またバルブを手動操作したりしなければ匁ら
ないため、極めて作業性が悪いものとなるたけでなく、
前記の如くデリバリ−チューブ１３．１４の冷却度合を
知る（７） ｌコ、アダプター１６の外壁全観察するこ
と「こ頼るので、正確な４卯状態を知ること５はならず
、光分な冷却が完了しないう′ｃ）Ｉこ液化始動が開始
され、これにより冷却効率が悪化してしまうといった欠
陥があった。
本発明は適所（こ温度計、圧力ｔ＋ヲ具備させるたけで
すく、液化Ｈｅ受容器とりカバリ−ラインとの間【こ、
リカバリーバルフヲ介接すること１こよって、前記従来
例の如き手間をかけることなく、しかも準備操作段階の
完全自動化をも容易（こしようとするのが、その目的で
ある。
すく、液化Ｈｅ受容器とりカバリ−ラインとの間【こ、
リカバリーバルフヲ介接すること１こよって、前記従来
例の如き手間をかけることなく、しかも準備操作段階の
完全自動化をも容易（こしようとするのが、その目的で
ある。
本発明を図示の実施例ｔこよって詳記すれば、第２図に
示す如く第１図のＨｅガヌボンベ１、圧縮機２、そして
９．〜９５，１０．．１０２．１１．１２を具備した冷
却装置３および液化Ｈｅ受容器４、そしてＪ−Ｔバルブ
６、リターンバルブ６を備えたデリバリ−チューブ１３
．１４、さら【こりカバリ−ライン１８を有すること、
また同チューブ１３．１４が、液化Ｈｅ受容器４１こ連
結挿入されていることは、従来例と同じであるが、これ
と相違する点は液化Ｈｅ受容器４とリカバリーライン１
８との間＋コ、リカバリーバルブ１９が介接されており
、図示の当該バルブ１９としては、並列に分岐バルブ１
９１９２を連結してもよく、−箇だけのバルブを設けて
、その開成度合番こよって流量を調整するよう（こして
もよい。
示す如く第１図のＨｅガヌボンベ１、圧縮機２、そして
９．〜９５，１０．．１０２．１１．１２を具備した冷
却装置３および液化Ｈｅ受容器４、そしてＪ−Ｔバルブ
６、リターンバルブ６を備えたデリバリ−チューブ１３
．１４、さら【こりカバリ−ライン１８を有すること、
また同チューブ１３．１４が、液化Ｈｅ受容器４１こ連
結挿入されていることは、従来例と同じであるが、これ
と相違する点は液化Ｈｅ受容器４とリカバリーライン１
８との間＋コ、リカバリーバルブ１９が介接されており
、図示の当該バルブ１９としては、並列に分岐バルブ１
９１９２を連結してもよく、−箇だけのバルブを設けて
、その開成度合番こよって流量を調整するよう（こして
もよい。
さら（こ本発明では第２図に示されている通り、最終段
の前記膨張エンジン１０２における入口側（こ第１温度
計２０が、そして前記リターンバルブ６自体のボディ温
度を検知する第３温度計２１が、さら昏こＪ−Ｔバルブ
６の入口側（こ第３温度計２２が、そしてまたりカバリ
−バルブ１９の入口側に圧力計２３が、夫々設けられて
いる。
の前記膨張エンジン１０２における入口側（こ第１温度
計２０が、そして前記リターンバルブ６自体のボディ温
度を検知する第３温度計２１が、さら昏こＪ−Ｔバルブ
６の入口側（こ第３温度計２２が、そしてまたりカバリ
−バルブ１９の入口側に圧力計２３が、夫々設けられて
いる。
また、第２図え示した２４は、上記した温度計２０．２
１，２２そして圧力計２３からの信号を受けて、後述の
通りリターンバルブ６、Ｊ−Ｔバルブ５、リカバリーバ
ルブ１９の開閉または聞取度合を制御するコントローラ
ーである。
１，２２そして圧力計２３からの信号を受けて、後述の
通りリターンバルブ６、Ｊ−Ｔバルブ５、リカバリーバ
ルブ１９の開閉または聞取度合を制御するコントローラ
ーである。
そこで上記装置を用いて、前記の如く予備的諸操作を行
なうには、それ以前に先ず圧縮機２を作動させて供給圧
を１５．５ Ｋ９／ ｃｒｌ程度まで上昇させておき、
第１の操作としてはＪ−Ｔバルブ６、リターンバルブ６
を閉となし、リカバリーバルブ１９を開状態として冷却
装置３の稼動により、最終段の膨張エンジン１０２ｉこ
おける入口温度が、２０°に程度になる址で冷却すると
共■こ、液化Ｈｅ受容器４内のガスはリカバ’Ｊ −バ
ルブ１９を介してリカバリーライン１８（こ戻すＯ ｐ＋こ第２の操作として、リターンパルフロを全開とし
、Ｊ −Ｔバルブ６を徐々に開いていき、リカバリーバ
ルブ１９は開状態のま＼で、Ｊ−Ｔバルブ６の入口温度
が２０°に程度、液化Ｈｅ受容器４の内圧力が０．４
Ｋｇ／ ｃｒｕｘ以下の条件１こなるまで、当該バルブ
状態を保持するが、この際直列返送ライン１２における
ＧＨｅの流れは、熱交換器９１〜９．の抵抗が大きいた
め、通常の流れとは逆向の１２’ −６−４−１９−１
８となるか、正流であっても少量しか流れず、この結果
熱交換器９１〜９５が加温されてしまうことはない。
なうには、それ以前に先ず圧縮機２を作動させて供給圧
を１５．５ Ｋ９／ ｃｒｌ程度まで上昇させておき、
第１の操作としてはＪ−Ｔバルブ６、リターンバルブ６
を閉となし、リカバリーバルブ１９を開状態として冷却
装置３の稼動により、最終段の膨張エンジン１０２ｉこ
おける入口温度が、２０°に程度になる址で冷却すると
共■こ、液化Ｈｅ受容器４内のガスはリカバ’Ｊ −バ
ルブ１９を介してリカバリーライン１８（こ戻すＯ ｐ＋こ第２の操作として、リターンパルフロを全開とし
、Ｊ −Ｔバルブ６を徐々に開いていき、リカバリーバ
ルブ１９は開状態のま＼で、Ｊ−Ｔバルブ６の入口温度
が２０°に程度、液化Ｈｅ受容器４の内圧力が０．４
Ｋｇ／ ｃｒｕｘ以下の条件１こなるまで、当該バルブ
状態を保持するが、この際直列返送ライン１２における
ＧＨｅの流れは、熱交換器９１〜９．の抵抗が大きいた
め、通常の流れとは逆向の１２’ −６−４−１９−１
８となるか、正流であっても少量しか流れず、この結果
熱交換器９１〜９５が加温されてしまうことはない。
さらに第３の操作として、第２の操作特番こおける各バ
ルブの状態から、Ｊ−Ｔバルブ６を、さら；こ開成し、
リターン・ζホブ６のボディ温度が３００に以下の状態
となるよう【こし、第４の操作では液化Ｈｅ受容器４の
内圧力が０，４Ｋｇ／ｃｒｌＧ以下、Ｊ−Ｔバルブ６の
入口温度が２０°に以下の条件を満すように、リカバリ
ーバルブ１９を段階的に閉状態とするのであるが、図示
例では分岐バルブ１９＋ 、１９２ Ｓ：順吹閉成して
いけばよく、もちろん１個のバルブ１こより、その開度
を調整して流量を制御するよう番こしてもよい０こ＼で
上記の通りリカバリーノくルブ１９ｋ、段階的に閉とし
ていくのは、液化Ｈｅ受容器４の急激な圧力上昇を防止
するためである。
ルブの状態から、Ｊ−Ｔバルブ６を、さら；こ開成し、
リターン・ζホブ６のボディ温度が３００に以下の状態
となるよう【こし、第４の操作では液化Ｈｅ受容器４の
内圧力が０，４Ｋｇ／ｃｒｌＧ以下、Ｊ−Ｔバルブ６の
入口温度が２０°に以下の条件を満すように、リカバリ
ーバルブ１９を段階的に閉状態とするのであるが、図示
例では分岐バルブ１９＋ 、１９２ Ｓ：順吹閉成して
いけばよく、もちろん１個のバルブ１こより、その開度
を調整して流量を制御するよう番こしてもよい０こ＼で
上記の通りリカバリーノくルブ１９ｋ、段階的に閉とし
ていくのは、液化Ｈｅ受容器４の急激な圧力上昇を防止
するためである。
最後１こ第５の操作を行なうが、こ３ではりカバリ−バ
ルブ１９を全閉となし、Ｊ −Ｔバルブ５、リターンバ
ルブ６を設定位置まで開くのであり、これ番こより液化
始動の状態となる。
ルブ１９を全閉となし、Ｊ −Ｔバルブ５、リターンバ
ルブ６を設定位置まで開くのであり、これ番こより液化
始動の状態となる。
尚上記の説示では、第１、第２、第３温度語２０．２１
，２２および圧力計２３の指示を確認して、Ｊ−Ｔノく
ルブ６、リターンノくルブ６、リカバリーバルブ１９を
手動制御しているが、図示のコントローラー２４（こ、
上記温度計、圧力計からの設定値に達したことにより発
せられる電気信号を導入し、同コントローラー２４の出
力【こよって、諸バルブの開閉およびその開度を自動制
御するよう【こしてもよく、この際当該バルブは外部か
らヌテンプモーターにより作動サセ、夫々のバルブ開度
はパルスカウンターなど番こよりモニタニするようにす
ればよＶ）。
，２２および圧力計２３の指示を確認して、Ｊ−Ｔノく
ルブ６、リターンノくルブ６、リカバリーバルブ１９を
手動制御しているが、図示のコントローラー２４（こ、
上記温度計、圧力計からの設定値に達したことにより発
せられる電気信号を導入し、同コントローラー２４の出
力【こよって、諸バルブの開閉およびその開度を自動制
御するよう【こしてもよく、この際当該バルブは外部か
らヌテンプモーターにより作動サセ、夫々のバルブ開度
はパルスカウンターなど番こよりモニタニするようにす
ればよＶ）。
不発明は上記の実施例（こよって具現される通り、原料
Ｈｅガスが導入される圧縮機２の出口を、所要複数段の
熱交換器９１〜９５と、所要個数の膨張エンジン１０．
．１０２とからなる冷却装置３にめって、その各、熱交
換器９、〜９５による直列液化ライン１１の入口１１′
（こ連結し、当該液化ライン１１の出口がＪ −Ｔ
”ルブ６を介して液化Ｈｅ受容器４に導入され、この冷
却装置３における各熱交換器９．〜９゜を、上記直列液
化ライン１１と逆流熱交換配置とした直列返送ライン１
２は、その出口１２′を前記圧縮機２の入口１こ連結す
ると共心、同ライン１２の入口はリターンバルブ６を介
して前記液化Ｈｅ受容器４【こ連通させ、さらに当該受
容器４がリカバリーバルブ１９を介設したりカバリ−ラ
イン１８により、前記圧縮器２の入口（こ連結され、最
終段の前記膨張エンジン１０□）入口１０１１ ｆこ第
１温度計２０を、前記リターンバルブ６１こ第２温度計
２１を、Ｊ−Ｔバルブ５の入口側ｆこ第３温度計２２を
、そして前記りカバリ−バルブ１９の入口側１こ圧力計
２３を夫々設けるよう１こしたので、デリバリ−チュー
ブ１３．１４を液化Ｈｅ受容器４ｃこ装着したま＼で、
予備的開操作を完結させることかでき、従ってその操作
性が向上すると共【こ、第１〜第３温度計２０．２１．
２２、圧力計２３の指示番こよってバルブの制？Ｈｔ行
なうことができるから、必要かつ充分な予備的操作を実
施でき、かつ同操作の完全自動化をも容易なものとする
ことができる。
Ｈｅガスが導入される圧縮機２の出口を、所要複数段の
熱交換器９１〜９５と、所要個数の膨張エンジン１０．
．１０２とからなる冷却装置３にめって、その各、熱交
換器９、〜９５による直列液化ライン１１の入口１１′
（こ連結し、当該液化ライン１１の出口がＪ −Ｔ
”ルブ６を介して液化Ｈｅ受容器４に導入され、この冷
却装置３における各熱交換器９．〜９゜を、上記直列液
化ライン１１と逆流熱交換配置とした直列返送ライン１
２は、その出口１２′を前記圧縮機２の入口１こ連結す
ると共心、同ライン１２の入口はリターンバルブ６を介
して前記液化Ｈｅ受容器４【こ連通させ、さらに当該受
容器４がリカバリーバルブ１９を介設したりカバリ−ラ
イン１８により、前記圧縮器２の入口（こ連結され、最
終段の前記膨張エンジン１０□）入口１０１１ ｆこ第
１温度計２０を、前記リターンバルブ６１こ第２温度計
２１を、Ｊ−Ｔバルブ５の入口側ｆこ第３温度計２２を
、そして前記りカバリ−バルブ１９の入口側１こ圧力計
２３を夫々設けるよう１こしたので、デリバリ−チュー
ブ１３．１４を液化Ｈｅ受容器４ｃこ装着したま＼で、
予備的開操作を完結させることかでき、従ってその操作
性が向上すると共【こ、第１〜第３温度計２０．２１．
２２、圧力計２３の指示番こよってバルブの制？Ｈｔ行
なうことができるから、必要かつ充分な予備的操作を実
施でき、かつ同操作の完全自動化をも容易なものとする
ことができる。
第１図は従来のＨｅガス液化装置を示した配管系統図、
第２図は本発明（こ係る装置の一実施例を示した配管系
統図である。 ２・・・・・圧縮機 ３・・・・・冷却装置 ４・・・・・液化Ｈｅ受容器 ６・・・・唾Ｊ −Ｔバルブ ６−・・・９リターンバルブ ９、〜９． ・・・・・熱交換器 １０１．１０２ ・・・・・膨張エンジン１１・・・・
・直列液化ライン １１′・・・・・入口 １２・・・・・直列返送ライン １２′・・・・・出口 １８・・・・・リカバリーライン １９・・・・・リカバリーバルブ ２０・・・・・第１温度計 ２１・・・・・第２温度計 ２２・・・・・第３温度計 ２３・・・・・圧力計
第２図は本発明（こ係る装置の一実施例を示した配管系
統図である。 ２・・・・・圧縮機 ３・・・・・冷却装置 ４・・・・・液化Ｈｅ受容器 ６・・・・唾Ｊ −Ｔバルブ ６−・・・９リターンバルブ ９、〜９． ・・・・・熱交換器 １０１．１０２ ・・・・・膨張エンジン１１・・・・
・直列液化ライン １１′・・・・・入口 １２・・・・・直列返送ライン １２′・・・・・出口 １８・・・・・リカバリーライン １９・・・・・リカバリーバルブ ２０・・・・・第１温度計 ２１・・・・・第２温度計 ２２・・・・・第３温度計 ２３・・・・・圧力計
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 原料Ｈｅガスが導入される圧縮機の出口を、所要複数段
の熱交換器と、所要個数の膨張エンジンとからなる冷却
装置【こあって、その各熱交換器１こよる直列液化ライ
ンの入口【こ連結し、当該液化ラインの出口がＪ−Ｔバ
ルブを介して液化Ｉ−Ｉ ｅ受容器（こ導入され、この
冷却装置１こおける各熱交換器を、上記直列液化ライン
と逆流熱文換配置とした直列返送ラインは、その出口を
前記圧縮機の入口に連結すると共１こ、同ラインの入口
はリターンバルブを介して前記液化Ｈｅ受容器に連通さ
せ、さらに当該受容器がりカバリ−バルブに介設したり
カバリ−ラインにより、前記圧縮器の入口に連結され、
最終段の前記膨張エンジンの入口側ｉこ第１温度計を、
前記リターンバルブ番こ第２温度計を、Ｊ−Ｔバルブの
人口１ＩｔｌＩに、第３温度計を、そして前記リカバリ
ーバルブの入口側（こ圧力計を夫り設けるようにしたこ
とを特徴とするＨ ｅガスの液化装置０
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58022576A JPS59147974A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | Ｈｅガスの液化装置 |
| US06/579,671 US4531958A (en) | 1983-02-14 | 1984-02-13 | Helium gas liquefying apparatus |
| EP84300935A EP0116477A3 (en) | 1983-02-14 | 1984-02-14 | Helium gas liquefying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58022576A JPS59147974A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | Ｈｅガスの液化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147974A true JPS59147974A (ja) | 1984-08-24 |
| JPS6137538B2 JPS6137538B2 (ja) | 1986-08-25 |
Family
ID=12086691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58022576A Granted JPS59147974A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | Ｈｅガスの液化装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4531958A (ja) |
| EP (1) | EP0116477A3 (ja) |
| JP (1) | JPS59147974A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0238092U (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-13 | ||
| JP2013024554A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Coldedge Technologies Inc | 電子常磁性共鳴スペクトロメータに対する寒剤を使用しない冷却システム |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3792591A (en) * | 1970-03-24 | 1974-02-19 | Cryogenic Technology Inc | Helium purification method and apparatus |
| US3850004A (en) * | 1973-06-27 | 1974-11-26 | Carpenter Technology Corp | Cryogenic helium refrigeration system |
| DE2638206A1 (de) * | 1975-08-26 | 1977-03-10 | Air Liquide | Verfahren zur speisung einer miniaturkaeltemaschine und kuehlvorrichtung |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP58022576A patent/JPS59147974A/ja active Granted
-
1984
- 1984-02-13 US US06/579,671 patent/US4531958A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-02-14 EP EP84300935A patent/EP0116477A3/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0238092U (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-13 | ||
| JP2013024554A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Coldedge Technologies Inc | 電子常磁性共鳴スペクトロメータに対する寒剤を使用しない冷却システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0116477A3 (en) | 1985-08-28 |
| JPS6137538B2 (ja) | 1986-08-25 |
| EP0116477A2 (en) | 1984-08-22 |
| US4531958A (en) | 1985-07-30 |
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