JPS59144597A - プレス装置 - Google Patents
プレス装置Info
- Publication number
- JPS59144597A JPS59144597A JP1682783A JP1682783A JPS59144597A JP S59144597 A JPS59144597 A JP S59144597A JP 1682783 A JP1682783 A JP 1682783A JP 1682783 A JP1682783 A JP 1682783A JP S59144597 A JPS59144597 A JP S59144597A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- samples
- air
- vacuum
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B5/00—Presses characterised by the use of pressing means other than those mentioned in the preceding groups
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液晶用ガラス等の試料をプレスするためのプ
レス装置及びプレス方法に関する。
レス装置及びプレス方法に関する。
液晶は近年、表示装置として多用されて℃・るものであ
るが、2枚のガラスを所定ギャップを設けるようにプレ
スし、そのギヤツブに液晶材を流し込んで作成される。
るが、2枚のガラスを所定ギャップを設けるようにプレ
スし、そのギヤツブに液晶材を流し込んで作成される。
このギャップを設定するためにギャップ量に相当する径
のビーズ状部利とともに2枚のガラスをプレスする方式
がとられて〜・るが、このギャップ量は全面に渡って均
一であることが要求され、また液晶用ガラスは一般に薄
く均一にプレスされな〜・と割れ等が生じ、この為、均
一プレスということが重要視されるに至っている。
のビーズ状部利とともに2枚のガラスをプレスする方式
がとられて〜・るが、このギャップ量は全面に渡って均
一であることが要求され、また液晶用ガラスは一般に薄
く均一にプレスされな〜・と割れ等が生じ、この為、均
一プレスということが重要視されるに至っている。
従来、この種のプレス方式としては、グイセット等のよ
うに平行度、平面度及び平面度の優れた機棹を使用して
試料をプレス面にセットして加圧しプレスする場合が多
く用いられていた。
うに平行度、平面度及び平面度の優れた機棹を使用して
試料をプレス面にセットして加圧しプレスする場合が多
く用いられていた。
この方式の場合、加圧する方法としてはグイセット自身
の重量・によるものと、油圧、墾圧を加えるもの等があ
るが、いずれにしても均一プレス((おいてはグイセッ
ト自身の精度が必要であり、又仮に高精度のグイセット
等であるとしても、試料自身の厚みのバラツキ等によっ
て片当りになり、全面むらなく圧力を#lけることがで
きな〜・。
の重量・によるものと、油圧、墾圧を加えるもの等があ
るが、いずれにしても均一プレス((おいてはグイセッ
ト自身の精度が必要であり、又仮に高精度のグイセット
等であるとしても、試料自身の厚みのバラツキ等によっ
て片当りになり、全面むらなく圧力を#lけることがで
きな〜・。
そのため試料自身の精度に依存することが多く、特に液
晶用ガラス等精度の良いプレスを必要とするものに対し
、満足のいく均一なプレスを行うことができなかった。
晶用ガラス等精度の良いプレスを必要とするものに対し
、満足のいく均一なプレスを行うことができなかった。
本発明は斯かる従来例の欠点を除去したプレス装置及び
プレス方法を提供することを目的とする。
プレス方法を提供することを目的とする。
そしてこの目的を達成するため、本発明においては試料
と固定基板との間に流体を流して試料を固定基板から解
放して、いわばクッション効果をもたせてプレスするこ
とを特徴とする。
と固定基板との間に流体を流して試料を固定基板から解
放して、いわばクッション効果をもたせてプレスするこ
とを特徴とする。
以下本発明の詳細な説明する:
第1図は本発明の実施例である。
1は上部試料を固定する上部試料固定基板、2は上下試
料固定基板を連結する上下連結軸、6は上下連結軸に従
って摺動し下部試料を固定する下部試料固定基板、4は
ベアリング、5は下部試料固定基板を下からもち上げ、
又は下げる上下駆動部、6は上部試料固定基板と下部試
料固定基板の間の空間を真空状態てする弛めの一ヒT基
板シールドゴム、7及び8は上下それぞれの試料と対応
する試料固定基板との間をシールドする試料シールドパ
ツキン、9及び10は試料の位置決めビン、11及び1
2は上下試料の吸着及び送圧用の空気用口金、13は上
下試料固定基板の間を真空にするための真空用口金、1
4は上下駆動部を作動するためへ送圧用口金、15及び
16は各々上部、下部試料、17は上下基板シールドゴ
ムが下部試料固定基板に接触した時に作動するタイミン
グセンサーである。
料固定基板を連結する上下連結軸、6は上下連結軸に従
って摺動し下部試料を固定する下部試料固定基板、4は
ベアリング、5は下部試料固定基板を下からもち上げ、
又は下げる上下駆動部、6は上部試料固定基板と下部試
料固定基板の間の空間を真空状態てする弛めの一ヒT基
板シールドゴム、7及び8は上下それぞれの試料と対応
する試料固定基板との間をシールドする試料シールドパ
ツキン、9及び10は試料の位置決めビン、11及び1
2は上下試料の吸着及び送圧用の空気用口金、13は上
下試料固定基板の間を真空にするための真空用口金、1
4は上下駆動部を作動するためへ送圧用口金、15及び
16は各々上部、下部試料、17は上下基板シールドゴ
ムが下部試料固定基板に接触した時に作動するタイミン
グセンサーである。
ここで上記構成においてプレス動作を説明する。
先ず上部試料固定基板1に上部試料15を位置決めビン
9に溜って取付け、空気用口金11を介して上部試料1
5と上部試料固定基板1との間を真空にし上部試料15
を固定する。
9に溜って取付け、空気用口金11を介して上部試料1
5と上部試料固定基板1との間を真空にし上部試料15
を固定する。
同様に下部試料固定基板6にも下部試料16を位置決め
ビン10に沿って取付け、空気用口金12を介して下部
試料16と下部試料固定基板6との間を真空罠し下部試
料16を固定する。
ビン10に沿って取付け、空気用口金12を介して下部
試料16と下部試料固定基板6との間を真空罠し下部試
料16を固定する。
ここで上部、下部試料シールドパツキン7.8は真空圧
に耐える材質であるが、真空度の加減による変形を抑え
るべく第2図に示されるように、上部、下部試料固定基
板1,3には溝18が設けられ、この溝18にシールド
パツキン7.8が押込められている。
に耐える材質であるが、真空度の加減による変形を抑え
るべく第2図に示されるように、上部、下部試料固定基
板1,3には溝18が設けられ、この溝18にシールド
パツキン7.8が押込められている。
次に送圧用口金14へ空気を送り込むど、上下駆動部5
が上昇し下部試料固定基板ろがタイミングセンサー17
に接触する。
が上昇し下部試料固定基板ろがタイミングセンサー17
に接触する。
この状態では、上下基板シールドゴム6は下部試料固定
基板ろの対応する箇所で充分に接触する。
基板ろの対応する箇所で充分に接触する。
下部試料固定基板6がタイミングセンサー17に接触し
たことにより、そのオンオフ信号を受けて真空用口金、
1ろを介して上部試料15と下部試料16の間が真空に
引かれる。
たことにより、そのオンオフ信号を受けて真空用口金、
1ろを介して上部試料15と下部試料16の間が真空に
引かれる。
そしてこれに伴なって電磁弁等を介して上部試料15、
下部試料16は吸着状態から解放され、4度は空気用口
金11.12を介して大気圧等を有する空気が送り込ま
れる。
下部試料16は吸着状態から解放され、4度は空気用口
金11.12を介して大気圧等を有する空気が送り込ま
れる。
このとき、上下駆動部5には下から圧力がかかつている
ため、上部、下部試料シールドパツキン7゜8は空気漏
れを生じない。
ため、上部、下部試料シールドパツキン7゜8は空気漏
れを生じない。
このようにして、試料背面は試料固定基板から解放され
、すなわち浮上し、また試料背面へは均一な圧力がかか
り上部、下部試料15.1<5間の吸引と合わせた圧力
が試料に加わることになる。
、すなわち浮上し、また試料背面へは均一な圧力がかか
り上部、下部試料15.1<5間の吸引と合わせた圧力
が試料に加わることになる。
ここで試料は空気流体によるクッション効果のため、試
料精度に拘らず貼り合わせ面にならって均一にプレスさ
れることとなる。
料精度に拘らず貼り合わせ面にならって均一にプレスさ
れることとなる。
なお上、部試料、下部試料共に背面に空気流体によるク
ッション効果を与えれば、いずれか一方の試料のみ空気
流体によるクッション効果を与える場合に比べ、試料貼
り合わせ面の傾き調整角は半減し、空気流体系の負担を
軽くできる。
ッション効果を与えれば、いずれか一方の試料のみ空気
流体によるクッション効果を与える場合に比べ、試料貼
り合わせ面の傾き調整角は半減し、空気流体系の負担を
軽くできる。
フエお空気用口金11.12を介して送り込まれる空気
は調整によって任意の圧力に設定でき、これによってプ
レス圧を可変にできる。
は調整によって任意の圧力に設定でき、これによってプ
レス圧を可変にできる。
第6図は、本発明の異なる実施例で、位置決め機能をも
ったものである。本実施例で下′部試料固定基板3/は
上下連結軸2と切り離され、単独KX。
ったものである。本実施例で下′部試料固定基板3/は
上下連結軸2と切り離され、単独KX。
Y、Z、θ駆動できるようなテーブルになっている。
この下部試料固定基板5′には少なくとも2個以上の観
察穴19が設けられ、この穴を通して試料の位置合わせ
マークが読み取られる。
察穴19が設けられ、この穴を通して試料の位置合わせ
マークが読み取られる。
上部、下部試料1’5 、16が透明なガラスであれば
、両者に位置合わせマークを設け、この位置ずれを観察
してこれを補正するよう下部試料固定基板6′を移動さ
せる。
、両者に位置合わせマークを設け、この位置ずれを観察
してこれを補正するよう下部試料固定基板6′を移動さ
せる。
なお観察穴190箇所はガラス、アクリル等の透明体2
0でシールドされる。
0でシールドされる。
また位置合わせ観察系としては例えば光ファイノ(−2
1で撮像素子22に導き、どれをモニター観察すること
が考えられる。なお位置合わせ観察系としてはこれに限
定されず、顕微鏡観察その他任意の観察が可能である。
1で撮像素子22に導き、どれをモニター観察すること
が考えられる。なお位置合わせ観察系としてはこれに限
定されず、顕微鏡観察その他任意の観察が可能である。
本実施例によれば、液晶用ガラス等の位置合わせ及び均
一プレスを同一装置で行うことができる。
一プレスを同一装置で行うことができる。
ところで以上の実施例で空気流体として説明したが、空
気の他、窒素ガス等任意の流体が適用できる。
気の他、窒素ガス等任意の流体が適用できる。
以上本発明によれば次のような効果がある。
1、プレスをするとき、流体が介在し、そのクッション
効果により試料にキズ等を付けることなく、均一な圧力
で試料全面にわたりプレスすることが可能である。
効果により試料にキズ等を付けることなく、均一な圧力
で試料全面にわたりプレスすることが可能である。
2、また流量の調節により圧力の変化を与えることがで
き、目的′て合わせた圧力制御が可能である。
き、目的′て合わせた圧力制御が可能である。
ろ、上部試料固定基板と下部試料固定基板との間にシー
ルドゴムを用いることにより、プレス時に、使っている
空気を真空用口金を介して外へ引き出し真空にすること
で、上下試料のクッションになっていた空気がなくなり
リンキング状?MKなる。そのためプレス圧力の増大に
つながる。
ルドゴムを用いることにより、プレス時に、使っている
空気を真空用口金を介して外へ引き出し真空にすること
で、上下試料のクッションになっていた空気がなくなり
リンキング状?MKなる。そのためプレス圧力の増大に
つながる。
4゜試料をシールドするシールドパツキン構造いること
により、真空吸着及び流体噴出を同一空間において切換
えるごとが出来る。
により、真空吸着及び流体噴出を同一空間において切換
えるごとが出来る。
5、さらにシールドバラギンの作用によって試料をプレ
スする時に試料背面にキメ、カケ等の損傷が生じない。
スする時に試料背面にキメ、カケ等の損傷が生じない。
第1図は本発明の実施例の図、
第2図はシールドパツキン構造の説明図、第6図はアラ
イメント機能を付加し1こ異)よる実施例の図、 図中、1は上部試料固定基板、2は上下連結軸、6は下
部試料固定基板、4はベアリング、5は上下駆動部、6
は上下基板シールドゴム、7は上部状$1シールドパツ
キン、8は下部試料シールトノ(ツキン、9,10は位
置決めビン、11.12は空気用口金、13は真空用口
金、14は送圧用口金、15は上部試料、16は下部試
料、17はタイミングセンサー、18は溝、19は観察
穴、20は透明体、21は光ファイ−<−122は撮像
素子である。 出願人 キャノン株式会社
イメント機能を付加し1こ異)よる実施例の図、 図中、1は上部試料固定基板、2は上下連結軸、6は下
部試料固定基板、4はベアリング、5は上下駆動部、6
は上下基板シールドゴム、7は上部状$1シールドパツ
キン、8は下部試料シールトノ(ツキン、9,10は位
置決めビン、11.12は空気用口金、13は真空用口
金、14は送圧用口金、15は上部試料、16は下部試
料、17はタイミングセンサー、18は溝、19は観察
穴、20は透明体、21は光ファイ−<−122は撮像
素子である。 出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、所定試料をプレスする方法において、該試料と固定
基板との間に流体を流して試料を固定基板から解放して
プレスすることを特徴とするプレス方法。 2、第1の試料と第2の試料を各々対応する固定基板か
ら解放してプレスする特許請求の範囲第1項記載のプレ
ス方法。 3、第1の試料の背面と該試料固定基板との間をシール
ドする第1シールド手段と、第2の試料の背面と該試料
固定基板との間をシールドする第2シールド手段と、第
1の試料と第2の試料の間を真空にシールドする手段と
、前記第1又は第2シールド手段の設けられる閉じた空
間に対し11選択的に真空吸着又は流体噴出する手段を
有することを特徴とするプレス装置。 4、前記第1.第2シールド手段は第1.第2試料固定
基板の溝−に押入れられる特許請求の範囲第6項記載の
プレス装置。 5、第1.第2の試料固定基板間隔カニ所定イ直となる
ことを検知する検知手段を有し、該検知手段出力により
真空吸着から流体°噴出に切換わる特許請求の範囲第ろ
項記載のプレス装置。 6、第1.第2の試料の相対的な位置合わせを観察する
手段を有する特許請求の範囲第6項貫己載のプレス装置
。 7、第1又は第2の試料固定基板が並進又は回転可能で
ある特許請求の範囲第ろ項R己載のプレス装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1682783A JPS59144597A (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | プレス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1682783A JPS59144597A (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | プレス装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59144597A true JPS59144597A (ja) | 1984-08-18 |
JPS6323880B2 JPS6323880B2 (ja) | 1988-05-18 |
Family
ID=11927013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1682783A Granted JPS59144597A (ja) | 1983-02-03 | 1983-02-03 | プレス装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59144597A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01292316A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 熱圧着装置 |
JPH06235896A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Ropuko:Kk | 非接触加圧貼り合わせ方法 |
JP2006184807A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04105777U (ja) * | 1991-02-20 | 1992-09-11 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 衛星受信機 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417199A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-08 | Hauni Werke Koerber & Co Kg | Tobacco cutting apparatus |
-
1983
- 1983-02-03 JP JP1682783A patent/JPS59144597A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5417199A (en) * | 1977-07-06 | 1979-02-08 | Hauni Werke Koerber & Co Kg | Tobacco cutting apparatus |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01292316A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Mitsubishi Electric Corp | 熱圧着装置 |
JPH06235896A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-23 | Ropuko:Kk | 非接触加圧貼り合わせ方法 |
JP2006184807A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6323880B2 (ja) | 1988-05-18 |
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