JPS59144597A - プレス装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液晶用ガラス等の試料をプレスするためのプ
レス装置及びプレス方法に関する。

液晶は近年、表示装置として多用されて℃・るものであ
るが、２枚のガラスを所定ギャップを設けるようにプレ
スし、そのギヤツブに液晶材を流し込んで作成される。

このギャップを設定するためにギャップ量に相当する径
のビーズ状部利とともに２枚のガラスをプレスする方式
がとられて〜・るが、このギャップ量は全面に渡って均
一であることが要求され、また液晶用ガラスは一般に薄
く均一にプレスされな〜・と割れ等が生じ、この為、均
一プレスということが重要視されるに至っている。

従来、この種のプレス方式としては、グイセット等のよ
うに平行度、平面度及び平面度の優れた機棹を使用して
試料をプレス面にセットして加圧しプレスする場合が多
く用いられていた。

この方式の場合、加圧する方法としてはグイセット自身
の重量・によるものと、油圧、墾圧を加えるもの等があ
るが、いずれにしても均一プレス（（おいてはグイセッ
ト自身の精度が必要であり、又仮に高精度のグイセット
等であるとしても、試料自身の厚みのバラツキ等によっ
て片当りになり、全面むらなく圧力を＃ｌけることがで
きな〜・。

そのため試料自身の精度に依存することが多く、特に液
晶用ガラス等精度の良いプレスを必要とするものに対し
、満足のいく均一なプレスを行うことができなかった。

本発明は斯かる従来例の欠点を除去したプレス装置及び
プレス方法を提供することを目的とする。

そしてこの目的を達成するため、本発明においては試料
と固定基板との間に流体を流して試料を固定基板から解
放して、いわばクッション効果をもたせてプレスするこ
とを特徴とする。

以下本発明の詳細な説明する： 第１図は本発明の実施例である。

１は上部試料を固定する上部試料固定基板、２は上下試
料固定基板を連結する上下連結軸、６は上下連結軸に従
って摺動し下部試料を固定する下部試料固定基板、４は
ベアリング、５は下部試料固定基板を下からもち上げ、
又は下げる上下駆動部、６は上部試料固定基板と下部試
料固定基板の間の空間を真空状態てする弛めの一ヒＴ基
板シールドゴム、７及び８は上下それぞれの試料と対応
する試料固定基板との間をシールドする試料シールドパ
ツキン、９及び１０は試料の位置決めビン、１１及び１
２は上下試料の吸着及び送圧用の空気用口金、１３は上
下試料固定基板の間を真空にするための真空用口金、１
４は上下駆動部を作動するためへ送圧用口金、１５及び
１６は各々上部、下部試料、１７は上下基板シールドゴ
ムが下部試料固定基板に接触した時に作動するタイミン
グセンサーである。

ここで上記構成においてプレス動作を説明する。

先ず上部試料固定基板１に上部試料１５を位置決めビン
９に溜って取付け、空気用口金１１を介して上部試料１
５と上部試料固定基板１との間を真空にし上部試料１５
を固定する。

同様に下部試料固定基板６にも下部試料１６を位置決め
ビン１０に沿って取付け、空気用口金１２を介して下部
試料１６と下部試料固定基板６との間を真空罠し下部試
料１６を固定する。

ここで上部、下部試料シールドパツキン７．８は真空圧
に耐える材質であるが、真空度の加減による変形を抑え
るべく第２図に示されるように、上部、下部試料固定基
板１，３には溝１８が設けられ、この溝１８にシールド
パツキン７．８が押込められている。

次に送圧用口金１４へ空気を送り込むど、上下駆動部５
が上昇し下部試料固定基板ろがタイミングセンサー１７
に接触する。

この状態では、上下基板シールドゴム６は下部試料固定
基板ろの対応する箇所で充分に接触する。

下部試料固定基板６がタイミングセンサー１７に接触し
たことにより、そのオンオフ信号を受けて真空用口金、
１ろを介して上部試料１５と下部試料１６の間が真空に
引かれる。

そしてこれに伴なって電磁弁等を介して上部試料１５、
下部試料１６は吸着状態から解放され、４度は空気用口
金１１．１２を介して大気圧等を有する空気が送り込ま
れる。

このとき、上下駆動部５には下から圧力がかかつている
ため、上部、下部試料シールドパツキン７゜８は空気漏
れを生じない。

このようにして、試料背面は試料固定基板から解放され
、すなわち浮上し、また試料背面へは均一な圧力がかか
り上部、下部試料１５．１＜５間の吸引と合わせた圧力
が試料に加わることになる。

ここで試料は空気流体によるクッション効果のため、試
料精度に拘らず貼り合わせ面にならって均一にプレスさ
れることとなる。

なお上、部試料、下部試料共に背面に空気流体によるク
ッション効果を与えれば、いずれか一方の試料のみ空気
流体によるクッション効果を与える場合に比べ、試料貼
り合わせ面の傾き調整角は半減し、空気流体系の負担を
軽くできる。

フエお空気用口金１１．１２を介して送り込まれる空気
は調整によって任意の圧力に設定でき、これによってプ
レス圧を可変にできる。

第６図は、本発明の異なる実施例で、位置決め機能をも
ったものである。本実施例で下′部試料固定基板３／は
上下連結軸２と切り離され、単独ＫＸ。

Ｙ、Ｚ、θ駆動できるようなテーブルになっている。

この下部試料固定基板５′には少なくとも２個以上の観
察穴１９が設けられ、この穴を通して試料の位置合わせ
マークが読み取られる。

上部、下部試料１’５　、１６が透明なガラスであれば
、両者に位置合わせマークを設け、この位置ずれを観察
してこれを補正するよう下部試料固定基板６′を移動さ
せる。

なお観察穴１９０箇所はガラス、アクリル等の透明体２
０でシールドされる。

また位置合わせ観察系としては例えば光ファイノ（−２
１で撮像素子２２に導き、どれをモニター観察すること
が考えられる。なお位置合わせ観察系としてはこれに限
定されず、顕微鏡観察その他任意の観察が可能である。

本実施例によれば、液晶用ガラス等の位置合わせ及び均
一プレスを同一装置で行うことができる。

ところで以上の実施例で空気流体として説明したが、空
気の他、窒素ガス等任意の流体が適用できる。

以上本発明によれば次のような効果がある。

１、プレスをするとき、流体が介在し、そのクッション
効果により試料にキズ等を付けることなく、均一な圧力
で試料全面にわたりプレスすることが可能である。

２、また流量の調節により圧力の変化を与えることがで
き、目的′て合わせた圧力制御が可能である。

ろ、上部試料固定基板と下部試料固定基板との間にシー
ルドゴムを用いることにより、プレス時に、使っている
空気を真空用口金を介して外へ引き出し真空にすること
で、上下試料のクッションになっていた空気がなくなり
リンキング状？ＭＫなる。そのためプレス圧力の増大に
つながる。

４゜試料をシールドするシールドパツキン構造いること
により、真空吸着及び流体噴出を同一空間において切換
えるごとが出来る。

５、さらにシールドバラギンの作用によって試料をプレ
スする時に試料背面にキメ、カケ等の損傷が生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の図、 第２図はシールドパツキン構造の説明図、第６図はアラ
イメント機能を付加し１こ異）よる実施例の図、 図中、１は上部試料固定基板、２は上下連結軸、６は下
部試料固定基板、４はベアリング、５は上下駆動部、６
は上下基板シールドゴム、７は上部状＄１シールドパツ
キン、８は下部試料シールトノ（ツキン、９，１０は位
置決めビン、１１．１２は空気用口金、１３は真空用口
金、１４は送圧用口金、１５は上部試料、１６は下部試
料、１７はタイミングセンサー、１８は溝、１９は観察
穴、２０は透明体、２１は光ファイ−＜−１２２は撮像
素子である。 出願人　キャノン株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、所定試料をプレスする方法において、該試料と固定
   基板との間に流体を流して試料を固定基板から解放して
   プレスすることを特徴とするプレス方法。 ２、第１の試料と第２の試料を各々対応する固定基板か
   ら解放してプレスする特許請求の範囲第１項記載のプレ
   ス方法。 ３、第１の試料の背面と該試料固定基板との間をシール
   ドする第１シールド手段と、第２の試料の背面と該試料
   固定基板との間をシールドする第２シールド手段と、第
   １の試料と第２の試料の間を真空にシールドする手段と
   、前記第１又は第２シールド手段の設けられる閉じた空
   間に対し１１選択的に真空吸着又は流体噴出する手段を
   有することを特徴とするプレス装置。 ４、前記第１．第２シールド手段は第１．第２試料固定
   基板の溝−に押入れられる特許請求の範囲第６項記載の
   プレス装置。 ５、第１．第２の試料固定基板間隔カニ所定イ直となる
   ことを検知する検知手段を有し、該検知手段出力により
   真空吸着から流体°噴出に切換わる特許請求の範囲第ろ
   項記載のプレス装置。 ６、第１．第２の試料の相対的な位置合わせを観察する
   手段を有する特許請求の範囲第６項貫己載のプレス装置
   。 ７、第１又は第２の試料固定基板が並進又は回転可能で
   ある特許請求の範囲第ろ項Ｒ己載のプレス装置。