JPS59128800U - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置

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Publication number
JPS59128800U
JPS59128800U JP2255283U JP2255283U JPS59128800U JP S59128800 U JPS59128800 U JP S59128800U JP 2255283 U JP2255283 U JP 2255283U JP 2255283 U JP2255283 U JP 2255283U JP S59128800 U JPS59128800 U JP S59128800U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
slider
magazine
substrate processing
processing apparatus
Prior art date
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Pending
Application number
JP2255283U
Other languages
English (en)
Inventor
丸山　実
高村　唯史
Original Assignee
パイオニア株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by パイオニア株式会社 filed Critical パイオニア株式会社
Priority to JP2255283U priority Critical patent/JPS59128800U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る基板処理装置の側面図、第２図は
第１図におけるＩ−Ｉ矢視図、第３図は基板押圧装置の
側面図、第４図は該基板押圧装置の動作状態を示す図で
ある。 主要部分の符号の説明、１・・・駆動ベース、３・・・
マガジン、４・・・基板、６・・・基板押圧装置、８・
・・ガイドプレート、９・・・スライダ、１０．１６・
・・シリンダ装置、１１・・・中継部材、１３・・・爪
部材、１７拳・・コンベア。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）基板の端部を担持する基板収納マガジンを上下方
    向に駆動する駆動機構と、前記基板を前記マガジン外に
    搬出する搬出手段と、前記マガジン外に搬出された前記
    基板を担持して搬送する搬送手段とを有する基板処理装
    置であって、前記搬出手段が前記基板を搬出する前に前
    記基板の一部を下方から上方に向けて押圧して前記基板
    を前記マガジンから一時的に離間せしめる押圧手段を備
    えていることを特徴とする基板処理装置。
  2. （２）前記押圧手段はガイドプレートと、前記ガイドプ
    レートにより略水平方向において往復動自在に支持され
    たスライダと、前記スライダに揺動自在に設けられ揺動
    時に揺動端部が前記基板の一部に係合し得る爪部材と、
    前記スライダを駆動するスライダ駆動手段と、前記ガイ
    ドプレートの所定位置に設けられ前記スライダと係合し
    て前記スライダの往動を所定範囲内に規制する規制手段
    とから成り、前記スライダ駆動手段は前記スライダの往
    動が前記規制手段によって規制された後に前記爪部材を
    揺動せしめるようになされていることを特徴とする実用
    新案登録請求の範囲第１項記載の基板処理装置。
JP2255283U 1983-02-18 1983-02-18 基板処理装置 Pending JPS59128800U (ja)

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JP2255283U JPS59128800U (ja) 1983-02-18 1983-02-18 基板処理装置

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JP2255283U JPS59128800U (ja) 1983-02-18 1983-02-18 基板処理装置

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JPS59128800U true JPS59128800U (ja) 1984-08-30

Family

ID=30153648

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JP2255283U Pending JPS59128800U (ja) 1983-02-18 1983-02-18 基板処理装置

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