JPS5912127B2 - 液封式差圧検出器 - Google Patents
液封式差圧検出器Info
- Publication number
- JPS5912127B2 JPS5912127B2 JP6772978A JP6772978A JPS5912127B2 JP S5912127 B2 JPS5912127 B2 JP S5912127B2 JP 6772978 A JP6772978 A JP 6772978A JP 6772978 A JP6772978 A JP 6772978A JP S5912127 B2 JPS5912127 B2 JP S5912127B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- main body
- body case
- piston
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は改良された温度静圧誤差防止手段を具備した液
封式差圧検出器に関する。
封式差圧検出器に関する。
液封式差圧検出器の温度静圧誤差を防止するためには高
圧側と低圧側の圧力伝達媒体の量を等しくする必要があ
る。
圧側と低圧側の圧力伝達媒体の量を等しくする必要があ
る。
このための調整手段の従来例を第1図を参照して説明す
る。
る。
第1図は圧力を電気信号に変換する感圧素子を圧力検出
手段としている液封式差圧検出器の断面図で、感圧素子
1を内装する本体ケース2と、感圧素子1の両面部と連
通ずる本体ケースの両開口部側に装着され、被検出圧力
Pa 、Pb(Pb>Pa)の圧力導入口3a 、3b
を有する受圧フランジ4a、4bから構成されている。
手段としている液封式差圧検出器の断面図で、感圧素子
1を内装する本体ケース2と、感圧素子1の両面部と連
通ずる本体ケースの両開口部側に装着され、被検出圧力
Pa 、Pb(Pb>Pa)の圧力導入口3a 、3b
を有する受圧フランジ4a、4bから構成されている。
この本体ケース2と受圧フランジ4a、4bとの間には
それぞれダイアフラム5a 、sbが装着されており、
このダイアフラム5a、5bと感圧素子1とにより形成
された低圧室6a、高圧室6bがあり、これらの室内に
は例えばシリコン油のような圧力伝達媒体7a、7bが
それぞれ液密に封入されている。
それぞれダイアフラム5a 、sbが装着されており、
このダイアフラム5a、5bと感圧素子1とにより形成
された低圧室6a、高圧室6bがあり、これらの室内に
は例えばシリコン油のような圧力伝達媒体7a、7bが
それぞれ液密に封入されている。
前記感圧素子1の出力端はケーブル8を介して図示しな
い前置増幅器などに接続されている。
い前置増幅器などに接続されている。
本体ケース2の内部には、高圧室6bと低圧室6aとの
連絡孔10を開閉すると共に内部と外気とを封止するプ
ラグ9が設けられている。
連絡孔10を開閉すると共に内部と外気とを封止するプ
ラグ9が設けられている。
また、低圧室6aには、低圧室6aの容積を変えること
のできるキャップ11が装着されている。
のできるキャップ11が装着されている。
いま、圧力伝達媒体7aと7bとの量が等しくないとす
れば、温度の上昇、下降に伴い圧力伝達媒体7aおよび
7bに生ずる膨張、収縮の量が等しくならないので、高
圧室6bと低圧室6aに発生ずる内部圧力に差が生じる
。
れば、温度の上昇、下降に伴い圧力伝達媒体7aおよび
7bに生ずる膨張、収縮の量が等しくならないので、高
圧室6bと低圧室6aに発生ずる内部圧力に差が生じる
。
これを防止するためプラグ9をゆるめて圧力伝達媒体7
a 、7bの移動を可能にし、キャップ11を出し入れ
して低圧室6aの容積を変化させて、画室の媒体量が等
しくなるように調整している。
a 、7bの移動を可能にし、キャップ11を出し入れ
して低圧室6aの容積を変化させて、画室の媒体量が等
しくなるように調整している。
実際には、一つの方法として、キャップ11を所定量移
動させた後、プラグ9により両室6a、6bを封止し、
温度変化に対する誤差を測定して良好な温度特性か否か
を検査する。
動させた後、プラグ9により両室6a、6bを封止し、
温度変化に対する誤差を測定して良好な温度特性か否か
を検査する。
しかしながら、キャップ11の移動により低圧室6aの
容積が変化するため、必然的に画室全体の容積も変化し
てしまい、つぎのような不具合が生じる。
容積が変化するため、必然的に画室全体の容積も変化し
てしまい、つぎのような不具合が生じる。
即ち、全体容積は変化するが、封入された媒体7a、7
bの全体量は変らないため、画室の全体容積の変化分に
相当する圧力が媒体7a。
bの全体量は変らないため、画室の全体容積の変化分に
相当する圧力が媒体7a。
7bに加えられることになる。
媒体7a、7bは非圧縮性であるため発生した圧力は弾
性体であるダイアフラム5a、5bに吸収されることに
なる。
性体であるダイアフラム5a、5bに吸収されることに
なる。
これは外圧が加わっている状態と同じことになり、特性
上好ましくない。
上好ましくない。
換言すれば、特性変化を起さない範囲にダイアフラム5
a、5bの変形を押えて調整しなければならず調整が難
し゛い。
a、5bの変形を押えて調整しなければならず調整が難
し゛い。
また、キャップ11の移動を注意深く行なわないと、ダ
イアフラム5a 、5bが塑性変形を起こし測定不能と
いう事態も生じ得る。
イアフラム5a 、5bが塑性変形を起こし測定不能と
いう事態も生じ得る。
本発明は上記の欠点に対処してなされたもので、温度静
圧誤差防止を精度良く容易にできる液封式差圧検出器を
提供することを目的とする。
圧誤差防止を精度良く容易にできる液封式差圧検出器を
提供することを目的とする。
以下、本発明の一実施例を第2図を参照して説明する。
第2図は本発明の一実施例の断面図で、従来例と同一機
能を有する部分については、同一符号を付し、説明を省
略する。
能を有する部分については、同一符号を付し、説明を省
略する。
本体ケース2の内部に、高圧室6bと低圧室6aとにそ
れぞれ連通ずるシリンダ室21が設けられ、このシリン
ダ室21内には、0リングを有するピストン22が軸方
向に摺動可能に設けられ、その図示下端には、めねじが
切られている。
れぞれ連通ずるシリンダ室21が設けられ、このシリン
ダ室21内には、0リングを有するピストン22が軸方
向に摺動可能に設けられ、その図示下端には、めねじが
切られている。
さらに、このめねじに螺合するおねじを有する調整ねじ
23が前記ピストン22に螺合されて本体ケース2に回
動可能に設けられている。
23が前記ピストン22に螺合されて本体ケース2に回
動可能に設けられている。
この調整ねじ23は鍔23aを有し、そこに0リングが
装着されシリンダ室ηを封止している。
装着されシリンダ室ηを封止している。
また押整ねしわのおねじ部には導孔23bが設けら件て
おり、圧力伝達媒体7bが通過できるようになってい匙
25は調整ねじ23の回動をロックするためのプラグで
、中心には調整ねじ23の頭部に対する逃げ孔25aが
明けられている。
おり、圧力伝達媒体7bが通過できるようになってい匙
25は調整ねじ23の回動をロックするためのプラグで
、中心には調整ねじ23の頭部に対する逃げ孔25aが
明けられている。
またシリンダ室21内壁には回わり止め24が突設され
ており、ピストン22の溝22aと係合して、調整ねじ
23を回わしたときピストン22の回動を止めている。
ており、ピストン22の溝22aと係合して、調整ねじ
23を回わしたときピストン22の回動を止めている。
そして、ピストン22、回わり止め24、ピストンのめ
ねじ、調整ねじ23のおねじ部およびその内部の導孔2
3bは、ピストン22の移動によるシリンダ室の図示上
部21aと下部21bとの容積変化が等しくなるように
形成されている。
ねじ、調整ねじ23のおねじ部およびその内部の導孔2
3bは、ピストン22の移動によるシリンダ室の図示上
部21aと下部21bとの容積変化が等しくなるように
形成されている。
つぎに上記のように構成された調整手段による調整につ
いて説明する。
いて説明する。
いま、低圧室6a内の圧力伝達媒体7aの量が多いとす
る。
る。
まず、プラグ9をゆるめ両媒体7a。7bの移動を可能
にする。
にする。
つぎに、プラグ25をゆるめ、調整ねじ23を反時計回
わりに所定量回動してやると、ピストン22が回わり止
め24で回動を止められているので、図示上方に所定量
移動する。
わりに所定量回動してやると、ピストン22が回わり止
め24で回動を止められているので、図示上方に所定量
移動する。
この移動によるシリンダ室の上部21aの容積縮少分Δ
Vaの体積の圧力伝達媒体7aがゆるめられたプラグ9
を通って媒体Ib側に移動する。
Vaの体積の圧力伝達媒体7aがゆるめられたプラグ9
を通って媒体Ib側に移動する。
この現象と同時に、ピストン移動によるシリンダ室の下
部21bの容積増加分Δvbの体積の圧力伝達媒体7b
のシリンダ室下部21bへの移動が起っており、ΔVa
−Δvbになるようにシリンダ室21、ピストン22な
どを形成しであるから、両正力伝達媒体内部には圧力が
発生することがない。
部21bの容積増加分Δvbの体積の圧力伝達媒体7b
のシリンダ室下部21bへの移動が起っており、ΔVa
−Δvbになるようにシリンダ室21、ピストン22な
どを形成しであるから、両正力伝達媒体内部には圧力が
発生することがない。
即ち上記の調整では、低圧室6aの容積がΔVaだけ減
少し、高圧室6bの容積がΔVaだけ増加したが画室全
体の容積は変らず、したがって、その内部に封入されて
いる媒体に圧力が発生することがない。
少し、高圧室6bの容積がΔVaだけ増加したが画室全
体の容積は変らず、したがって、その内部に封入されて
いる媒体に圧力が発生することがない。
この状態で、プラグ9を締めて両室6a、6bを封止し
、温度変化に対する誤差を測定して結果を見て、必要に
応じて微調整を行なって最良の温度特性が得られる状態
で調整ねじ23をプラグ25でロックして調整を終る。
、温度変化に対する誤差を測定して結果を見て、必要に
応じて微調整を行なって最良の温度特性が得られる状態
で調整ねじ23をプラグ25でロックして調整を終る。
以上説明したように、本発明によれば、高低両圧力室全
体の容積を変えることなく、両圧力室の容積を等しくま
たは必要に応じて所望の比率に設定することができる調
整手段が実現されたので、両圧力室の容積調整に当って
、圧力伝達媒体に内部圧力が発生することを完全に防止
することができ、液封式差圧検出器の温度静圧誤差防止
の調整が容易になり、ひいては、温度静圧誤差のない高
精度の液封式差圧検出器を提供することができる。
体の容積を変えることなく、両圧力室の容積を等しくま
たは必要に応じて所望の比率に設定することができる調
整手段が実現されたので、両圧力室の容積調整に当って
、圧力伝達媒体に内部圧力が発生することを完全に防止
することができ、液封式差圧検出器の温度静圧誤差防止
の調整が容易になり、ひいては、温度静圧誤差のない高
精度の液封式差圧検出器を提供することができる。
なお、上述の実施例では、感圧素子を圧力検出手段とし
ている液封式差圧検出器について説明したが、圧力検出
手段に例えば力平衡機構などを用いた場合にも同様に適
用して実施することができる。
ている液封式差圧検出器について説明したが、圧力検出
手段に例えば力平衡機構などを用いた場合にも同様に適
用して実施することができる。
第1図は液封式差圧検出器の従来例を示す断面図、第2
図は本発明の液封式差圧検出器の一実施例を示す断面図
である。 1・・・・・・感圧素子、2・・・・・・本体ケース、
3a 、 3b・・・・・・圧力導入口、4a、4b・
・・・・・受圧フランジ、5a、5b・・・・・・ダイ
アフラム、6a・・・・・・低圧室、6b・・・・・・
高圧室、7a、7b・・・・・・圧力伝達媒体、9・・
・・・・プラグ、10・・・・・・連絡孔、21・・・
・・・シリンダ室、22・・・・・・ピストン、23・
・・・・・調整ねじ。
図は本発明の液封式差圧検出器の一実施例を示す断面図
である。 1・・・・・・感圧素子、2・・・・・・本体ケース、
3a 、 3b・・・・・・圧力導入口、4a、4b・
・・・・・受圧フランジ、5a、5b・・・・・・ダイ
アフラム、6a・・・・・・低圧室、6b・・・・・・
高圧室、7a、7b・・・・・・圧力伝達媒体、9・・
・・・・プラグ、10・・・・・・連絡孔、21・・・
・・・シリンダ室、22・・・・・・ピストン、23・
・・・・・調整ねじ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 両端が圧力導入孔を有する受圧フランジで液密に封
止された本体ケースと、前記受圧フランジと本体ケース
との間にそれぞれ液密に装着されたダイアフラムと、こ
の一方のダイヤフラムと本体ケース凹部とで形成された
高圧室に一面を向けて装着され、他面が前記他方のダイ
アフラムと本体ケース四部とで形成された低圧室に連通
された感圧素子と、高低両圧力室をつなぐ連絡孔を開閉
するプラグと、前記高低側圧力室内に封入された圧力伝
達媒体と、前記側圧力室を区画するとともにいずれの室
側にも移動可能に構成されたピストン及びこのピストン
を移動させる調整ねじを有し、前記プラグの開状態にお
いて前記ピストンを移動させることによって側圧力室の
全容積を変えることなく側圧力室の容積を相対的に変化
させる調整手段とを具備したことを特徴とする液封式差
圧検出器。 2 調整手段が、高圧室および低圧室にそれぞれ連通し
て本体ケースに形成されたシリンダ室内に回転を係止さ
れ軸方向摺動可能に配置されるとともにそのシリンダ室
内を高圧室および低圧室にそれぞれ連通する2室に分割
するように配置され、その一端にめねじが刻設されたピ
ストンと、このピストンのめねじに螺合するおねじを有
し本体ケースに液密に回動可能に嵌装された調整ねじと
から構成されたことを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載の液封式差圧検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6772978A JPS5912127B2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 液封式差圧検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6772978A JPS5912127B2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 液封式差圧検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS54159275A JPS54159275A (en) | 1979-12-15 |
JPS5912127B2 true JPS5912127B2 (ja) | 1984-03-21 |
Family
ID=13353328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6772978A Expired JPS5912127B2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 液封式差圧検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5912127B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2733832B1 (fr) * | 1995-05-05 | 1997-06-13 | Suisse Electronique Microtech | Enceinte de capteur de pressions differentielles |
JP2007017223A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP7401249B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2023-12-19 | アズビル株式会社 | センサ素子 |
-
1978
- 1978-06-07 JP JP6772978A patent/JPS5912127B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS54159275A (en) | 1979-12-15 |
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