JPS59119662A - Astigmatism correction device - Google Patents
Astigmatism correction deviceInfo
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- JPS59119662A JPS59119662A JP23054482A JP23054482A JPS59119662A JP S59119662 A JPS59119662 A JP S59119662A JP 23054482 A JP23054482 A JP 23054482A JP 23054482 A JP23054482 A JP 23054482A JP S59119662 A JPS59119662 A JP S59119662A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
Description
本発明は非点補正装置に関し、特に非点補正用の電相レ
ンズに供給する励磁電流を調整するだめの装置の改良に
関する。
電子顕微鏡、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、あ
るいは電子ビームリソグラフィー袋間等においては、2
次の非点収差を補正するため、第1図に示すようにPl
、P2.P3.P/Iの/I極から成る第1の電磁レン
ズど、Ql、Q2.Q3゜Q4の4極から成る第2の電
磁レンズとを7′I5゜だり離間して配量し、角θの向
きに坊rだけ非点補正を行なおうとする際には、第1.
第2の電磁レンズに各々以下の関係式
から与えられるTI、1.2なる電流を供給lノで、各
4!iP1.P2.P3.P=1の磁位が各々1ぜ1゜
−11/ 1 、 ’4/ 1 、−X171になるよ
うに励磁覆ると共に各極Q1.Q2.Q3.Q/lの磁
位が各々14/ 2 。
−η/2.14/2.−1172になるように励磁して
いる。
ところで、liI!I磁電流を調節づ゛るための装置構
成は、従来第2図のようなものであった。第2図におい
て、1は補正量を調f+’lするための線形ポテンショ
メータ、21.1補正の向きを調整するための正余弦ポ
テンショメータであり、補正角Oに対応した角瓜回il
I/lツることによりsin OとCOSθに対応する
信号を発生する。3.4は第1.第2の差動増幅器、5
.6は第1.第2の電磁レンズの励磁コイルである。こ
のjζう’J従来の非点補止装岡は、正余弦ポテンショ
1メータ2ににって非点補正の角度0、線形ポテンショ
メータ1ににって補正のlilというJ、うに、非点補
正の角度と準を独立に調整て・きるfffi所を右する
が、iT余弦ボブンショメータ2の精度を余り高くてき
イrいため、補正の角度の精1σが不充分であるという
欠点を右する。このような欠点を解決J゛るため第3図
に示すにうに、励ra−1イル5,6に電流を供給する
ための定電流回路7,8を第1.第2の線形ポテンショ
メータ9゜10の出カイ菖号に基づいて制御するj:う
にした装置もある。尚、11,12,13.1/Iば各
コイルに流れる電流をバランスさゼるためのポテンショ
メータであり、15.16は1.4準抵抗である。
しかしながら、この装置において(,1、補正の角■α
と量を独立に調節覆ることができず、補正が極めて面倒
である。
本発明はこのj;うな従来の欠点を解決し、高精度で簡
単に非員補正の調整が行い寄る非点補正装量を提供づる
ことを目的とづるもので、/15°前間して設The present invention relates to an astigmatism correction device, and more particularly to an improvement in a device for adjusting an excitation current supplied to an electrophase lens for astigmatism correction. When using an electron microscope, scanning transmission electron microscope, scanning electron microscope, or between electron beam lithography bags, etc.
In order to correct the following astigmatism, Pl
, P2. P3. A first electromagnetic lens consisting of /I poles of P/I, Ql, Q2. When attempting to perform astigmatism correction by an angle r in the direction of the angle θ by placing the second electromagnetic lens consisting of four poles Q3° and Q4 at a distance of 7'I5°, the first.
The second electromagnetic lens is supplied with a current of TI of 1.2 given by the following relational expression, respectively, and 4! iP1. P2. P3. Each pole Q1. Q2. Q3. The magnetic potential of Q/l is 14/2 respectively. -η/2.14/2. It is excited so that it becomes -1172. By the way, liI! The conventional device configuration for adjusting the I magnetic current was as shown in FIG. In Fig. 2, 1 is a linear potentiometer for adjusting the amount of correction f+'l, 21.1 is a sine and cosine potentiometer for adjusting the direction of correction, and 1 is a linear potentiometer for adjusting the correction direction.
I/l generates signals corresponding to sin O and COS θ. 3.4 is the first. second differential amplifier, 5
.. 6 is the first. This is the excitation coil of the second electromagnetic lens. This jζU'J conventional astigmatism correction device uses sine cosine potentiometer 1 meter 2 to correct astigmatism angle 0, and linear potentiometer 1 to correct astigmatism angle 0. However, since the accuracy of the iT cosine bouncy meter 2 cannot be made too high, the accuracy of the angle of correction 1σ is insufficient. In order to solve this drawback, as shown in FIG. There is also a device in which the control is based on the output value of the second linear potentiometer 9-10. Note that 11, 12, 13.1/I are potentiometers for balancing the current flowing through each coil, and 15.16 is a 1.4 quasi-resistance. However, in this device (,1, correction angle ■α
and the amount cannot be adjusted independently, making correction extremely troublesome. The purpose of the present invention is to solve these conventional drawbacks and to provide a stigma correction amount that allows easy adjustment of the non-occupancy correction with high accuracy.
【Jられ
た第1.第2の4極電磁レンズを備え7j装置にa3い
て、非点補正の補正角度θを表すデジタル(;li号を
発生する補正角度指示手段と、各0の値に対して各々s
in/7どCos Oの値を記憶している記憶手段と、
該補正角度指示手段よりの信gに基づいて該記憶手段に
記憶されたsinθとCOSθを表り一信号を読み出す
ための手段と、該読み出されたs i nθとCOSθ
とを表す−デジタル信舅を各々アナ[1グ信月に変換づ
るための第1.第2のDA変換器と、該第1.第2のD
A変換器の出力信号に応じて各々前記第1.第2の4極
電磁レンズに直流電流を供給するための手段と、該第1
゜第2のDA変換器に供給される基準信号をiil”l
ff1iするための手段とを具備することを特徴どし
ている。
以下図面に基づぎ、本発明の実施例を詳述する。
第1図(,1本発明の一実施例を示すもので、第4図に
aりいr tJ、第3図と同一の構成要素に対しては同
一番号がイ」されている。第4図において、17は第1
の線形ポテンショメータであり、この第1のポテンショ
メータの一端は接地され、他端には例えば10.2/I
Vの基準電圧Vref1が与えられている。該第1の線
形ボテンシ」メータの出力信号は10ビツト出力のへ〇
変換器18を介して第1.第2のROM(リードオンリ
ーメモリ)19.20に供給されている。このROMの
ピッ1へ構成は102/1X10ピツ1〜である。第1
のROM19のOの6値に対応Jる番地にはsinθの
値が記憶されている。同様に第2のROM20のθの6
値に対応する番地にはCn2Oの値が記憶されている。
これらROM19.20より読み出されたデジタル信号
は各々例えば入力が10ビツトの双極性DA変換器21
.22に供給される。これらDA変換器21.22の出
力信号は第1.第4−
2の定電流回路7,8に供給される。これら定電流回路
7,8より供給される電流は前記励磁コイル5,6に供
給される。25は第2の線形ポテンショメータであり、
この線形ポテンショメータの出力信号は前記DA変換器
21.22の基準信号入力端に供給されている。
このような構成において、いま非点補正しようとする角
度θが30°であるとすると、第1の線形ポテンショメ
ータ17を最小の位置から30/360=1/12だけ
回転させる。前述したように:Vref1は10.24
Vであるから、第1のポテンショメータ17の出力電圧
は約0.85Vとなり、このときROM19の読み出し
番地を示すAD変換器18の出力は85 (00010
10101)となる。入力が10ビツト特性のDA変換
器を双極性で用いるので、これに合わせてROM19の
85番地には512+511sin 30°−768(
1100000000)が書き込まれており、ROM2
0の85番地には512+511cos 30’ =9
55 (1110111011)が書き込、1、れてい
る。従っC1ΔD変換器18よりの(g号に早づ゛いて
各々ROM19.20よりこれらの値が読み出され、D
A変換器21.22に入力される。これら信シ3はDΔ
疫換器21.22においてアナログ信号に変1φされる
ため、各々定電流回路7,8に0.5V、0.866V
の信号が供給される。その結果、定電流回路7,8から
これら入力電圧に比例した一定電流が各々励磁コイル5
,6に供給され、非点補正の角θは30°となる。同様
に補11=の向さを表J−角Oを他の1fffに設定づ
ると、このθに対応JるROM19.20番地に記憶さ
れているsin O,cosθに対応するデジタル値が
読み出され、これら読み出された値はDA変換器21.
22においてアナログ信号に変換された1や、定電流回
路7,8に供給されるためこれら定電流回路7.8から
励磁コイル5,6に補正の角瓜をOにするための電流が
供給され、ポテンショメータ17で設定した通りの補正
角庶とづることができる。
そこで、非点補正の吊を調整しようとする場合には、第
2の線形ポテンショメータ25を調整して、DA変換器
21.22に供給される基準信号の値を調整する。その
結果、DA変換器21,22の出力信号の比の値は固定
したまま、両DA変換器21.22の出力信弓値が変化
して、励磁コイル5,6に供給される電流が変化する。
従って、前記第(1)式にお(プる■の値が変化して、
非点補正の倍を調整することができる。
第5図は、他の実施例を示ずためのもので、上述した実
施例においては、ROM19.20の読み出し番地を指
定する信号を線形ポテンショメータ17の出力信号をΔ
D変換器18によりデジタル信号に変換して作成するに
うにしたが、以下のようにしても良い。
即ち、23は[]−タリエンコーグであり、この日−タ
リTンコーダ23は順方向に回転Jると回転角に比例し
た個数のパルスを出力し、逆方向に回転させるとパルス
数は回転角に比例するが位相が順方向時のパルスと18
0°異aるパルスを発生する。このロークリエンコーダ
23のパルス信7−
舅は位相検出器2/Iに供給されており、位相検出器2
/lは供給されるパルス信号の位相を弁別してもし順方
向パルスであれば、供給されたパルスをアツブダウンカ
ウンク25ヘアツブカウントパルスとして供給し、もし
逆方向パルスであれば、ダウンカラン1〜パルスとして
供給する。このJzうな構成によっても、第4図に示し
た実施例同様の効果を達成することができる。
第6図は更に他の実施例を説明するための図であり、こ
の図においては第4図に示した実施例と同一の構成要素
に対しては同一の番号を付しである。この実施例におい
ては、第4図にお【プる双極f1のDA変換器21.2
2に代えて、単極性のDA変換器26.27を用いてい
る。DA変換器26の出力信号は第1.第2のスイッチ
288.28bを介して各々増幅器29a9反転増幅器
291)に供給されており、これら増幅器29a 、2
9bの出力信号は各々スイッチ30a、301)を介し
て定電流回路7に供給される。同様に単極性DA変換器
27の出力信号はスイッチ31a、318−
1)を介して増幅器32a9反転増幅器32bに供給さ
れており、これら増幅器32a 、32bの出力信号は
スイッチ33a 、33bを介して定電流回路8に供給
される。34は前記AD変換器18よりの最上位1ビッ
ト信号に塁づいて前記スイッチ28a 、28h 、3
0a 、30bのオンオフを切換るための切換信号を発
生する論理回路である。
同様に35は前記AD変換器18よりの最上位から2ビ
ツトの出力信号に基づいて前記スイッチ3Ia 、31
b 、33a 、、33bを切換るための切換信号を発
生する論理回路である。
このような構成において、△D変換器18より非点補正
の向きθを表すデジタル信号が論理回路34に与えられ
ると、この回路34はこのデジタル信号の上位1ビツト
の値を判別し、この値が0であるときは角θが180°
より小さいのでスイッチ28a 、30aをオーンにす
ると共にスイッチ28b、30bをオフにし、逆にこの
値が1であるときは角θが180°以上であるため、ス
イッチ28a 、30aをオフにすると共にスイッチ2
8’h、301をオンにする。従って、sinθの値が
flになる場合には中極性D△変換器26の出力信号は
反転された後、定電流回路7に供給される。
同様に、論理回路35は前記AD変換器18より供給さ
れる上位2ビツトの仁君に基づいて、角θが90°以上
270°以下の場合のみスイッチ31b、33bをオン
にして、DA変換器27の出力信号を反転増幅器311
】にJ:つて反転させて定電流回路8に供給するように
スイッチ31a、31b 、33a 、33bの切換え
を行なう。このJ:うにして、単極性のDA変換器を使
用しても、第4図に示して実施例と同様の効果を得るこ
とができるが、この実施例によれば、小さな容量のRO
Mを用いて本発明を実IM′7iることができる。言い
代えれば、この実施例によれば、同じ容量のROMを用
いる場合には、補正角の粘度をJ:り高くできる。
−I: 121i シたように、本発明に基づく装置に
おいては、非点補正の角度と量を独立に補正できるため
、操作性に優れているだけでなく、補正角度の精度11
−
反転増幅器。
はDA変換器のピッ1〜数を増すことにより高くη゛る
ことができる。[The first one that got J. A 7j device equipped with a second quadrupole electromagnetic lens has a correction angle indicating means for generating a digital signal (;li) representing the correction angle θ for astigmatism correction, and
a storage means for storing the value of Cos O in/7;
means for reading out a signal by representing sin θ and COS θ stored in the storage means based on the signal g from the correction angle indicating means;
- represents the first digit for converting each digital Shingen to Ana [1G Shingetsu]. a second DA converter; second D
According to the output signal of the A converter, the first. means for supplying direct current to a second quadrupole electromagnetic lens;
゜The reference signal supplied to the second DA converter
ff1i. Embodiments of the present invention will be described in detail below based on the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows the same components as those in FIG. 3. In the figure, 17 is the first
one end of this first potentiometer is grounded and the other end is connected to a linear potentiometer of 10.2/I
A reference voltage Vref1 of V is given. The output signal of the first linear potentiometer is passed through a 10-bit output to/from converter 18 to the first linear potentiometer. It is supplied to a second ROM (read only memory) 19.20. The configuration of this ROM is 102/1×10 pins 1~. 1st
The value of sin θ is stored in the address J corresponding to the 6 values of O in the ROM 19. Similarly, 6 of θ of the second ROM 20
The value of Cn2O is stored at the address corresponding to the value. The digital signals read from these ROMs 19 and 20 are sent to a bipolar DA converter 21 with a 10-bit input, for example.
.. 22. The output signals of these DA converters 21 and 22 are the first. It is supplied to the 4-2 constant current circuits 7 and 8. Currents supplied from these constant current circuits 7 and 8 are supplied to the excitation coils 5 and 6. 25 is a second linear potentiometer;
The output signal of this linear potentiometer is supplied to the reference signal input terminal of the DA converter 21,22. In such a configuration, assuming that the angle θ to be corrected for astigmatism is 30°, the first linear potentiometer 17 is rotated by 30/360=1/12 from the minimum position. As mentioned above: Vref1 is 10.24
V, the output voltage of the first potentiometer 17 is approximately 0.85V, and at this time, the output of the AD converter 18 indicating the read address of the ROM 19 is 85 (00010
10101). Since a bipolar DA converter with 10-bit input characteristics is used, 512 + 511 sin 30° - 768 (
1100000000) is written in ROM2.
0, 85th address is 512+511cos 30' = 9
55 (1110111011) is written and 1 is written. Therefore, these values from the C1ΔD converter 18 (g) are read out from the ROM 19.20, respectively, and the D
It is input to A converters 21 and 22. These signals 3 are DΔ
Since it is converted into an analog signal by 1φ in the converter 21 and 22, 0.5V and 0.866V are applied to the constant current circuits 7 and 8, respectively.
signal is supplied. As a result, a constant current proportional to these input voltages is supplied from the constant current circuits 7 and 8 to the exciting coil 5, respectively.
, 6, and the angle θ for astigmatism correction is 30°. Similarly, if the direction of Complement 11 = is set to table J - angle O to another 1fff, the digital values corresponding to sin O and cos θ stored in ROM address 19 and 20 corresponding to this θ will be read out. These read values are sent to the DA converter 21.
1 converted into an analog signal in 22 and supplied to the constant current circuits 7 and 8, the constant current circuits 7 and 8 supply current to the excitation coils 5 and 6 to set the correction horn to O. , the correction angle as set by the potentiometer 17. Therefore, when it is desired to adjust the degree of astigmatism correction, the second linear potentiometer 25 is adjusted to adjust the value of the reference signal supplied to the DA converters 21 and 22. As a result, while the value of the ratio of the output signals of the DA converters 21 and 22 remains fixed, the output signal values of both the DA converters 21 and 22 change, and the current supplied to the excitation coils 5 and 6 changes. do. Therefore, the value of (pull ■) changes in the above equation (1),
The double of the stigma correction can be adjusted. FIG. 5 is for illustrating another embodiment; in the embodiment described above, the output signal of the linear potentiometer 17 is changed to Δ
Although the digital signal is converted into a digital signal by the D converter 18 and created, the following method may also be used. In other words, 23 is a []-Tali encoder, and on this day-Tali T encoder 23 outputs a number of pulses proportional to the rotation angle when rotated in the forward direction, and when rotated in the reverse direction, the number of pulses is proportional to the rotation angle. The pulse is proportional but the phase is in the forward direction and 18
Generate pulses that differ by 0° a. The pulse signal 7 of this low-resolution encoder 23 is supplied to the phase detector 2/I.
/l discriminates the phase of the supplied pulse signal; if it is a forward pulse, it supplies the supplied pulse as an up-down count pulse; if it is a reverse pulse, it supplies the supplied pulse as a down-count pulse; 1 to Supplied as pulses. Even with this configuration, effects similar to those of the embodiment shown in FIG. 4 can be achieved. FIG. 6 is a diagram for explaining still another embodiment, and in this figure, the same components as in the embodiment shown in FIG. 4 are given the same numbers. In this embodiment, the bipolar f1 DA converter 21.2 shown in FIG.
2, unipolar DA converters 26 and 27 are used. The output signal of the DA converter 26 is the first. The amplifiers 29a, 291) are supplied via the second switches 288, 28b to the inverting amplifiers 29a, 291), respectively.
The output signals of 9b are supplied to the constant current circuit 7 via switches 30a and 301), respectively. Similarly, the output signal of the unipolar DA converter 27 is supplied to the amplifier 32a9 and the inverting amplifier 32b via the switches 31a and 318-1), and the output signals of these amplifiers 32a and 32b are supplied to the inverting amplifier 32b via the switches 33a and 33b. The current is supplied to the current circuit 8. 34 is based on the most significant 1 bit signal from the AD converter 18 and switches the switches 28a, 28h, 3.
This is a logic circuit that generates a switching signal for switching ON/OFF of 0a and 30b. Similarly, reference numeral 35 connects the switches 3Ia and 31 based on the most significant 2-bit output signal from the AD converter 18.
This is a logic circuit that generates a switching signal for switching 33b, 33a, and 33b. In such a configuration, when a digital signal representing the direction of astigmatism correction θ is supplied from the ΔD converter 18 to the logic circuit 34, this circuit 34 determines the value of the upper 1 bit of this digital signal, and converts this value into When is 0, the angle θ is 180°
If this value is 1, the angle θ is 180 degrees or more, so the switches 28a and 30a are turned on and the switches 28b and 30b are turned off. 2
8'h, turn on 301. Therefore, when the value of sin θ becomes fl, the output signal of the intermediate polarity DΔ converter 26 is inverted and then supplied to the constant current circuit 7. Similarly, the logic circuit 35 turns on the switches 31b and 33b only when the angle θ is 90° or more and 270° or less based on the upper 2 bits supplied from the AD converter 18, and the DA converter 27 The output signal of the inverting amplifier 311
], the switches 31a, 31b, 33a, and 33b are switched so that the current is inverted and supplied to the constant current circuit 8. Even if a unipolar DA converter is used in this way, the same effect as the embodiment shown in FIG. 4 can be obtained, but according to this embodiment, the small capacity RO
The present invention can be implemented using M. In other words, according to this embodiment, when using ROMs of the same capacity, the viscosity of the correction angle can be increased by J:. -I: 121i As mentioned above, in the device based on the present invention, since the angle and amount of astigmatism correction can be corrected independently, it not only has excellent operability but also has an accuracy of 11.
- Inverting amplifier. can be increased by increasing the number of pins of the DA converter.
第1図は非点補正用8極電磁レンズを説明するための図
、第2図は従来の非点補正装置の一例を説明するための
図、第3図は従来の他の非点補正装置の例を説明するた
めの図、第4図は本発明の一実施例を説明するための図
、第5図は本発明の他の実施例の要部を説明するための
図、第6図は本発明の更に他の実施例を説明り−るため
の図である。
1.9,10.17.25:線型ポテンショメータ、2
;正余弦ポテンショメータ、3.’I:差動増幅器、5
,6:励磁コイル、7.8:定電流回路、18:AD変
換器、19,20:ROM。
21.22.26.27:DA変換器、23:ロークリ
エンコーダ、2/I:位相検出器、25:アップダウン
カrンンタ、28a 、2811.30a 。
30b 、31a 、31b 、33a 、33b
:スイッチ、29a 、32a :増幅器、29b、3
2tl :12−
特許出願人
日本電子株式会社
代表者 細腰 −夫Fig. 1 is a diagram for explaining an 8-pole electromagnetic lens for astigmatism correction, Fig. 2 is a diagram for explaining an example of a conventional astigmatism correction device, and Fig. 3 is a diagram for explaining another conventional astigmatism correction device. FIG. 4 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram for explaining the main part of another embodiment of the present invention. FIG. 6 is a diagram for explaining an example of the present invention. FIG. 3 is a diagram for explaining still another embodiment of the present invention. 1.9, 10.17.25: Linear potentiometer, 2
; Sine cosine potentiometer; 3. 'I: Differential amplifier, 5
, 6: Excitation coil, 7.8: Constant current circuit, 18: AD converter, 19, 20: ROM. 21.22.26.27: DA converter, 23: Row encoder, 2/I: Phase detector, 25: Up/down counter, 28a, 2811.30a. 30b, 31a, 31b, 33a, 33b
: Switch, 29a, 32a : Amplifier, 29b, 3
2tl:12- Patent applicant JEOL Ltd. Representative Hosogoshi - Husband
Claims (1)
ズを備えた装置において、非点補正の補正角度0を表す
デジタル信号を発生する補正角度指示手段と、各θの値
に対して各々sinθとCOSθの値を記憶している記
憶手段と、該補正角度指示手段よりの信号に基づいて該
記憶手段゛に記憶されたsinθとCn2Oを表す信号
を読み出でための手段と、該読み出されたsinθとc
os Dとを表すデジタル信号を各々アナログ信号に変
換づるための第1.第2のDA変換器と、該第1.第2
のDA変換器の出力信号に応じて各々前記第1.第2の
4極電磁レンズに直流電流を供給するための手段と、該
第1.第2の1〕Δ変換器に供給される基準信号を調節
するlζめの手段どを具備することを特徴どする非点補
正装置。In an apparatus equipped with first and second quadrupole electromagnetic lenses arranged 45 degrees apart, a correction angle indicating means for generating a digital signal representing a correction angle of 0 for astigmatism correction, and a value of each θ. storage means for storing values of sin θ and COS θ, respectively, and means for reading signals representing sin θ and Cn2O stored in the storage means based on signals from the correction angle indicating means. and the read sin θ and c
The first . a second DA converter; Second
The first . means for supplying direct current to the second quadrupole electromagnetic lens; 2nd 1] An astigmatism correction device characterized by comprising lζ-th means for adjusting the reference signal supplied to the Δ converter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23054482A JPS59119662A (en) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | Astigmatism correction device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23054482A JPS59119662A (en) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | Astigmatism correction device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59119662A true JPS59119662A (en) | 1984-07-10 |
Family
ID=16909417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23054482A Pending JPS59119662A (en) | 1982-12-27 | 1982-12-27 | Astigmatism correction device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59119662A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6343349U (en) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | ||
US7335097B2 (en) | 2001-11-28 | 2008-02-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Document carrier sheet |
-
1982
- 1982-12-27 JP JP23054482A patent/JPS59119662A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6343349U (en) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | ||
US7335097B2 (en) | 2001-11-28 | 2008-02-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Document carrier sheet |
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