JPS59119662A - Astigmatism correction device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To correct an angle and a quantity independently by preparing a memory means, in which the value of sintheta and the value of costheta are stored respectively to each correction angle theta of astigmatism correction in a quadripole electromagnetic lens system, and reading out those values for processing. CONSTITUTION:A device provided with the first and second quadripole electromagnetic lenses P1-P4 and Q1-Q4 arranged at an angular separation of 45 deg. is provided in order to correct the secondary astigmatism of an electron microscope or the like. And a correction angle theta set by a potentiometer 17 is supplied to the first and the second ROM19 and 20, in which the values of sintheta and costheta corresponding to each value of theta are memorized, through an AD converter 18, followed by reading them out to control the exciting coils 5 and 6 of the electromagnetic lenses through the DA inverter 21 and 22 as well as the constant- current circuits 7 and 8. Further, the reference of the DA inverters 21 and 22 is changed by the potentiometer 25 in order to control current quantity. Accordingly, the angle and the quantity can be independently controlled thus improving feasibility of operation.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明は非点補正装置に関し、特に非点補正用の電相レ
ンズに供給する励磁電流を調整するだめの装置の改良に
関する。 電子顕微鏡、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、あ
るいは電子ビームリソグラフィー袋間等においては、２
次の非点収差を補正するため、第１図に示すようにＰｌ
、Ｐ２．Ｐ３．Ｐ／Ｉの／Ｉ極から成る第１の電磁レン
ズど、Ｑｌ、Ｑ２．Ｑ３゜Ｑ４の４極から成る第２の電
磁レンズとを７′Ｉ５゜だり離間して配量し、角θの向
きに坊ｒだけ非点補正を行なおうとする際には、第１．
第２の電磁レンズに各々以下の関係式 から与えられるＴＩ、１．２なる電流を供給ｌノで、各
４！ｉＰ１．Ｐ２．Ｐ３．Ｐ＝１の磁位が各々１ぜ１゜
−１１／　１　、　’４／　１　、−Ｘ１７１になるよ
うに励磁覆ると共に各極Ｑ１．Ｑ２．Ｑ３．Ｑ／ｌの磁
位が各々１４／　２　。 −η／２．１４／２．−１１７２になるように励磁して
いる。 ところで、ｌｉＩ！Ｉ磁電流を調節づ゛るための装置構
成は、従来第２図のようなものであった。第２図におい
て、１は補正量を調ｆ＋’ｌするための線形ポテンショ
メータ、２１．１補正の向きを調整するための正余弦ポ
テンショメータであり、補正角Ｏに対応した角瓜回ｉｌ
Ｉ／ｌツることによりｓｉｎ　ＯとＣＯＳθに対応する
信号を発生する。３．４は第１．第２の差動増幅器、５
．６は第１．第２の電磁レンズの励磁コイルである。こ
のｊζう’Ｊ従来の非点補止装岡は、正余弦ポテンショ
１メータ２ににって非点補正の角度０、線形ポテンショ
メータ１ににって補正のｌｉｌというＪ、うに、非点補
正の角度と準を独立に調整て・きるｆｆｆｉ所を右する
が、ｉＴ余弦ボブンショメータ２の精度を余り高くてき
イｒいため、補正の角度の精１σが不充分であるという
欠点を右する。このような欠点を解決Ｊ゛るため第３図
に示すにうに、励ｒａ−１イル５，６に電流を供給する
ための定電流回路７，８を第１．第２の線形ポテンショ
メータ９゜１０の出カイ菖号に基づいて制御するｊ：う
にした装置もある。尚、１１，１２，１３．１／Ｉば各
コイルに流れる電流をバランスさゼるためのポテンショ
メータであり、１５．１６は１．４準抵抗である。 しかしながら、この装置において（，１、補正の角■α
と量を独立に調節覆ることができず、補正が極めて面倒
である。 本発明はこのｊ；うな従来の欠点を解決し、高精度で簡
単に非員補正の調整が行い寄る非点補正装量を提供づる
ことを目的とづるもので、／１５°前間して設The present invention relates to an astigmatism correction device, and more particularly to an improvement in a device for adjusting an excitation current supplied to an electrophase lens for astigmatism correction. When using an electron microscope, scanning transmission electron microscope, scanning electron microscope, or between electron beam lithography bags, etc.
In order to correct the following astigmatism, Pl
, P2. P3. A first electromagnetic lens consisting of /I poles of P/I, Ql, Q2. When attempting to perform astigmatism correction by an angle r in the direction of the angle θ by placing the second electromagnetic lens consisting of four poles Q3° and Q4 at a distance of 7'I5°, the first.
The second electromagnetic lens is supplied with a current of TI of 1.2 given by the following relational expression, respectively, and 4! iP1. P2. P3. Each pole Q1. Q2. Q3. The magnetic potential of Q/l is 14/2 respectively. -η/2.14/2. It is excited so that it becomes -1172. By the way, liI! The conventional device configuration for adjusting the I magnetic current was as shown in FIG. In Fig. 2, 1 is a linear potentiometer for adjusting the amount of correction f+'l, 21.1 is a sine and cosine potentiometer for adjusting the direction of correction, and 1 is a linear potentiometer for adjusting the correction direction.
I/l generates signals corresponding to sin O and COS θ. 3.4 is the first. second differential amplifier, 5
．． 6 is the first. This is the excitation coil of the second electromagnetic lens. This jζU'J conventional astigmatism correction device uses sine cosine potentiometer 1 meter 2 to correct astigmatism angle 0, and linear potentiometer 1 to correct astigmatism angle 0. However, since the accuracy of the iT cosine bouncy meter 2 cannot be made too high, the accuracy of the angle of correction 1σ is insufficient. In order to solve this drawback, as shown in FIG. There is also a device in which the control is based on the output value of the second linear potentiometer 9-10. Note that 11, 12, 13.1/I are potentiometers for balancing the current flowing through each coil, and 15.16 is a 1.4 quasi-resistance. However, in this device (,1, correction angle ■α
and the amount cannot be adjusted independently, making correction extremely troublesome. The purpose of the present invention is to solve these conventional drawbacks and to provide a stigma correction amount that allows easy adjustment of the non-occupancy correction with high accuracy.

【Ｊられ
た第１．第２の４極電磁レンズを備え７ｊ装置にａ３い
て、非点補正の補正角度θを表すデジタル（；ｌｉ号を
発生する補正角度指示手段と、各０の値に対して各々ｓ
ｉｎ／７どＣｏｓ　Ｏの値を記憶している記憶手段と、
該補正角度指示手段よりの信ｇに基づいて該記憶手段に
記憶されたｓｉｎθとＣＯＳθを表り一信号を読み出す
ための手段と、該読み出されたｓ　ｉ　ｎθとＣＯＳθ
とを表す−デジタル信舅を各々アナ［１グ信月に変換づ
るための第１．第２のＤＡ変換器と、該第１．第２のＤ
Ａ変換器の出力信号に応じて各々前記第１．第２の４極
電磁レンズに直流電流を供給するための手段と、該第１
゜第２のＤＡ変換器に供給される基準信号をｉｉｌ”ｌ
　ｆｆ１ｉするための手段とを具備することを特徴どし
ている。 以下図面に基づぎ、本発明の実施例を詳述する。 第１図（，１本発明の一実施例を示すもので、第４図に
ａりいｒ　ｔＪ、第３図と同一の構成要素に対しては同
一番号がイ」されている。第４図において、１７は第１
の線形ポテンショメータであり、この第１のポテンショ
メータの一端は接地され、他端には例えば１０．２／Ｉ
Ｖの基準電圧Ｖｒｅｆ１が与えられている。該第１の線
形ボテンシ」メータの出力信号は１０ビツト出力のへ〇
変換器１８を介して第１．第２のＲＯＭ（リードオンリ
ーメモリ）１９．２０に供給されている。このＲＯＭの
ピッ１へ構成は１０２／１Ｘ１０ピツ１〜である。第１
のＲＯＭ１９のＯの６値に対応Ｊる番地にはｓｉｎθの
値が記憶されている。同様に第２のＲＯＭ２０のθの６
値に対応する番地にはＣｎ２Ｏの値が記憶されている。 これらＲＯＭ１９．２０より読み出されたデジタル信号
は各々例えば入力が１０ビツトの双極性ＤＡ変換器２１
．２２に供給される。これらＤＡ変換器２１．２２の出
力信号は第１．第４− ２の定電流回路７，８に供給される。これら定電流回路
７，８より供給される電流は前記励磁コイル５，６に供
給される。２５は第２の線形ポテンショメータであり、
この線形ポテンショメータの出力信号は前記ＤＡ変換器
２１．２２の基準信号入力端に供給されている。 このような構成において、いま非点補正しようとする角
度θが３０°であるとすると、第１の線形ポテンショメ
ータ１７を最小の位置から３０／３６０＝１／１２だけ
回転させる。前述したように：Ｖｒｅｆ１は１０．２４
Ｖであるから、第１のポテンショメータ１７の出力電圧
は約０．８５Ｖとなり、このときＲＯＭ１９の読み出し
番地を示すＡＤ変換器１８の出力は８５　（０００１０
１０１０１）となる。入力が１０ビツト特性のＤＡ変換
器を双極性で用いるので、これに合わせてＲＯＭ１９の
８５番地には５１２＋５１１ｓｉｎ　３０°−７６８（
１１００００００００）が書き込まれており、ＲＯＭ２
０の８５番地には５１２＋５１１ｃｏｓ　３０’　＝９
５５　（１１１０１１１０１１）が書き込、１、れてい
る。従っＣ１ΔＤ変換器１８よりの（ｇ号に早づ゛いて
各々ＲＯＭ１９．２０よりこれらの値が読み出され、Ｄ
Ａ変換器２１．２２に入力される。これら信シ３はＤΔ
疫換器２１．２２においてアナログ信号に変１φされる
ため、各々定電流回路７，８に０．５Ｖ、０．８６６Ｖ
の信号が供給される。その結果、定電流回路７，８から
これら入力電圧に比例した一定電流が各々励磁コイル５
，６に供給され、非点補正の角θは３０°となる。同様
に補１１＝の向さを表Ｊ−角Ｏを他の１ｆｆｆに設定づ
ると、このθに対応ＪるＲＯＭ１９．２０番地に記憶さ
れているｓｉｎ　Ｏ，ｃｏｓθに対応するデジタル値が
読み出され、これら読み出された値はＤＡ変換器２１．
２２においてアナログ信号に変換された１や、定電流回
路７，８に供給されるためこれら定電流回路７．８から
励磁コイル５，６に補正の角瓜をＯにするための電流が
供給され、ポテンショメータ１７で設定した通りの補正
角庶とづることができる。 そこで、非点補正の吊を調整しようとする場合には、第
２の線形ポテンショメータ２５を調整して、ＤＡ変換器
２１．２２に供給される基準信号の値を調整する。その
結果、ＤＡ変換器２１，２２の出力信号の比の値は固定
したまま、両ＤＡ変換器２１．２２の出力信弓値が変化
して、励磁コイル５，６に供給される電流が変化する。 従って、前記第（１）式にお（プる■の値が変化して、
非点補正の倍を調整することができる。 第５図は、他の実施例を示ずためのもので、上述した実
施例においては、ＲＯＭ１９．２０の読み出し番地を指
定する信号を線形ポテンショメータ１７の出力信号をΔ
Ｄ変換器１８によりデジタル信号に変換して作成するに
うにしたが、以下のようにしても良い。 即ち、２３は［］−タリエンコーグであり、この日−タ
リＴンコーダ２３は順方向に回転Ｊると回転角に比例し
た個数のパルスを出力し、逆方向に回転させるとパルス
数は回転角に比例するが位相が順方向時のパルスと１８
０°異ａるパルスを発生する。このロークリエンコーダ
２３のパルス信７− 舅は位相検出器２／Ｉに供給されており、位相検出器２
／ｌは供給されるパルス信号の位相を弁別してもし順方
向パルスであれば、供給されたパルスをアツブダウンカ
ウンク２５ヘアツブカウントパルスとして供給し、もし
逆方向パルスであれば、ダウンカラン１〜パルスとして
供給する。このＪｚうな構成によっても、第４図に示し
た実施例同様の効果を達成することができる。 第６図は更に他の実施例を説明するための図であり、こ
の図においては第４図に示した実施例と同一の構成要素
に対しては同一の番号を付しである。この実施例におい
ては、第４図にお【プる双極ｆ１のＤＡ変換器２１．２
２に代えて、単極性のＤＡ変換器２６．２７を用いてい
る。ＤＡ変換器２６の出力信号は第１．第２のスイッチ
２８８．２８ｂを介して各々増幅器２９ａ９反転増幅器
２９１）に供給されており、これら増幅器２９ａ　、２
９ｂの出力信号は各々スイッチ３０ａ、３０１）を介し
て定電流回路７に供給される。同様に単極性ＤＡ変換器
２７の出力信号はスイッチ３１ａ、３１８− １）を介して増幅器３２ａ９反転増幅器３２ｂに供給さ
れており、これら増幅器３２ａ　、３２ｂの出力信号は
スイッチ３３ａ　、３３ｂを介して定電流回路８に供給
される。３４は前記ＡＤ変換器１８よりの最上位１ビッ
ト信号に塁づいて前記スイッチ２８ａ　、２８ｈ　、３
０ａ　、３０ｂのオンオフを切換るための切換信号を発
生する論理回路である。 同様に３５は前記ＡＤ変換器１８よりの最上位から２ビ
ツトの出力信号に基づいて前記スイッチ３Ｉａ　、３１
ｂ　、３３ａ　、、３３ｂを切換るための切換信号を発
生する論理回路である。 このような構成において、△Ｄ変換器１８より非点補正
の向きθを表すデジタル信号が論理回路３４に与えられ
ると、この回路３４はこのデジタル信号の上位１ビツト
の値を判別し、この値が０であるときは角θが１８０°
より小さいのでスイッチ２８ａ　、３０ａをオーンにす
ると共にスイッチ２８ｂ、３０ｂをオフにし、逆にこの
値が１であるときは角θが１８０°以上であるため、ス
イッチ２８ａ　、３０ａをオフにすると共にスイッチ２
８’ｈ、３０１をオンにする。従って、ｓｉｎθの値が
ｆｌになる場合には中極性Ｄ△変換器２６の出力信号は
反転された後、定電流回路７に供給される。 同様に、論理回路３５は前記ＡＤ変換器１８より供給さ
れる上位２ビツトの仁君に基づいて、角θが９０°以上
２７０°以下の場合のみスイッチ３１ｂ、３３ｂをオン
にして、ＤＡ変換器２７の出力信号を反転増幅器３１１
】にＪ：つて反転させて定電流回路８に供給するように
スイッチ３１ａ、３１ｂ　、３３ａ　、３３ｂの切換え
を行なう。このＪ：うにして、単極性のＤＡ変換器を使
用しても、第４図に示して実施例と同様の効果を得るこ
とができるが、この実施例によれば、小さな容量のＲＯ
Ｍを用いて本発明を実ＩＭ′７ｉることができる。言い
代えれば、この実施例によれば、同じ容量のＲＯＭを用
いる場合には、補正角の粘度をＪ：り高くできる。 −Ｉ：　１２１ｉ　シたように、本発明に基づく装置に
おいては、非点補正の角度と量を独立に補正できるため
、操作性に優れているだけでなく、補正角度の精度１１
− 反転増幅器。 はＤＡ変換器のピッ１〜数を増すことにより高くη゛る
ことができる。[The first one that got J. A 7j device equipped with a second quadrupole electromagnetic lens has a correction angle indicating means for generating a digital signal (;li) representing the correction angle θ for astigmatism correction, and
a storage means for storing the value of Cos O in/7;
means for reading out a signal by representing sin θ and COS θ stored in the storage means based on the signal g from the correction angle indicating means;
- represents the first digit for converting each digital Shingen to Ana [1G Shingetsu]. a second DA converter; second D
According to the output signal of the A converter, the first. means for supplying direct current to a second quadrupole electromagnetic lens;
゜The reference signal supplied to the second DA converter
ff1i. Embodiments of the present invention will be described in detail below based on the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and FIG. 4 shows the same components as those in FIG. 3. In the figure, 17 is the first
one end of this first potentiometer is grounded and the other end is connected to a linear potentiometer of 10.2/I
A reference voltage Vref1 of V is given. The output signal of the first linear potentiometer is passed through a 10-bit output to/from converter 18 to the first linear potentiometer. It is supplied to a second ROM (read only memory) 19.20. The configuration of this ROM is 102/1×10 pins 1~. 1st
The value of sin θ is stored in the address J corresponding to the 6 values of O in the ROM 19. Similarly, 6 of θ of the second ROM 20
The value of Cn2O is stored at the address corresponding to the value. The digital signals read from these ROMs 19 and 20 are sent to a bipolar DA converter 21 with a 10-bit input, for example.
．． 22. The output signals of these DA converters 21 and 22 are the first. It is supplied to the 4-2 constant current circuits 7 and 8. Currents supplied from these constant current circuits 7 and 8 are supplied to the excitation coils 5 and 6. 25 is a second linear potentiometer;
The output signal of this linear potentiometer is supplied to the reference signal input terminal of the DA converter 21,22. In such a configuration, assuming that the angle θ to be corrected for astigmatism is 30°, the first linear potentiometer 17 is rotated by 30/360=1/12 from the minimum position. As mentioned above: Vref1 is 10.24
V, the output voltage of the first potentiometer 17 is approximately 0.85V, and at this time, the output of the AD converter 18 indicating the read address of the ROM 19 is 85 (00010
10101). Since a bipolar DA converter with 10-bit input characteristics is used, 512 + 511 sin 30° - 768 (
1100000000) is written in ROM2.
0, 85th address is 512+511cos 30' = 9
55 (1110111011) is written and 1 is written. Therefore, these values from the C1ΔD converter 18 (g) are read out from the ROM 19.20, respectively, and the D
It is input to A converters 21 and 22. These signals 3 are DΔ
Since it is converted into an analog signal by 1φ in the converter 21 and 22, 0.5V and 0.866V are applied to the constant current circuits 7 and 8, respectively.
signal is supplied. As a result, a constant current proportional to these input voltages is supplied from the constant current circuits 7 and 8 to the exciting coil 5, respectively.
, 6, and the angle θ for astigmatism correction is 30°. Similarly, if the direction of Complement 11 = is set to table J - angle O to another 1fff, the digital values corresponding to sin O and cos θ stored in ROM address 19 and 20 corresponding to this θ will be read out. These read values are sent to the DA converter 21.
1 converted into an analog signal in 22 and supplied to the constant current circuits 7 and 8, the constant current circuits 7 and 8 supply current to the excitation coils 5 and 6 to set the correction horn to O. , the correction angle as set by the potentiometer 17. Therefore, when it is desired to adjust the degree of astigmatism correction, the second linear potentiometer 25 is adjusted to adjust the value of the reference signal supplied to the DA converters 21 and 22. As a result, while the value of the ratio of the output signals of the DA converters 21 and 22 remains fixed, the output signal values of both the DA converters 21 and 22 change, and the current supplied to the excitation coils 5 and 6 changes. do. Therefore, the value of (pull ■) changes in the above equation (1),
The double of the stigma correction can be adjusted. FIG. 5 is for illustrating another embodiment; in the embodiment described above, the output signal of the linear potentiometer 17 is changed to Δ
Although the digital signal is converted into a digital signal by the D converter 18 and created, the following method may also be used. In other words, 23 is a []-Tali encoder, and on this day-Tali T encoder 23 outputs a number of pulses proportional to the rotation angle when rotated in the forward direction, and when rotated in the reverse direction, the number of pulses is proportional to the rotation angle. The pulse is proportional but the phase is in the forward direction and 18
Generate pulses that differ by 0° a. The pulse signal 7 of this low-resolution encoder 23 is supplied to the phase detector 2/I.
/l discriminates the phase of the supplied pulse signal; if it is a forward pulse, it supplies the supplied pulse as an up-down count pulse; if it is a reverse pulse, it supplies the supplied pulse as a down-count pulse; 1 to Supplied as pulses. Even with this configuration, effects similar to those of the embodiment shown in FIG. 4 can be achieved. FIG. 6 is a diagram for explaining still another embodiment, and in this figure, the same components as in the embodiment shown in FIG. 4 are given the same numbers. In this embodiment, the bipolar f1 DA converter 21.2 shown in FIG.
2, unipolar DA converters 26 and 27 are used. The output signal of the DA converter 26 is the first. The amplifiers 29a, 291) are supplied via the second switches 288, 28b to the inverting amplifiers 29a, 291), respectively.
The output signals of 9b are supplied to the constant current circuit 7 via switches 30a and 301), respectively. Similarly, the output signal of the unipolar DA converter 27 is supplied to the amplifier 32a9 and the inverting amplifier 32b via the switches 31a and 318-1), and the output signals of these amplifiers 32a and 32b are supplied to the inverting amplifier 32b via the switches 33a and 33b. The current is supplied to the current circuit 8. 34 is based on the most significant 1 bit signal from the AD converter 18 and switches the switches 28a, 28h, 3.
This is a logic circuit that generates a switching signal for switching ON/OFF of 0a and 30b. Similarly, reference numeral 35 connects the switches 3Ia and 31 based on the most significant 2-bit output signal from the AD converter 18.
This is a logic circuit that generates a switching signal for switching 33b, 33a, and 33b. In such a configuration, when a digital signal representing the direction of astigmatism correction θ is supplied from the ΔD converter 18 to the logic circuit 34, this circuit 34 determines the value of the upper 1 bit of this digital signal, and converts this value into When is 0, the angle θ is 180°
If this value is 1, the angle θ is 180 degrees or more, so the switches 28a and 30a are turned on and the switches 28b and 30b are turned off. 2
8'h, turn on 301. Therefore, when the value of sin θ becomes fl, the output signal of the intermediate polarity DΔ converter 26 is inverted and then supplied to the constant current circuit 7. Similarly, the logic circuit 35 turns on the switches 31b and 33b only when the angle θ is 90° or more and 270° or less based on the upper 2 bits supplied from the AD converter 18, and the DA converter 27 The output signal of the inverting amplifier 311
], the switches 31a, 31b, 33a, and 33b are switched so that the current is inverted and supplied to the constant current circuit 8. Even if a unipolar DA converter is used in this way, the same effect as the embodiment shown in FIG. 4 can be obtained, but according to this embodiment, the small capacity RO
The present invention can be implemented using M. In other words, according to this embodiment, when using ROMs of the same capacity, the viscosity of the correction angle can be increased by J:. -I: 121i As mentioned above, in the device based on the present invention, since the angle and amount of astigmatism correction can be corrected independently, it not only has excellent operability but also has an accuracy of 11.
- Inverting amplifier. can be increased by increasing the number of pins of the DA converter.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は非点補正用８極電磁レンズを説明するための図
、第２図は従来の非点補正装置の一例を説明するための
図、第３図は従来の他の非点補正装置の例を説明するた
めの図、第４図は本発明の一実施例を説明するための図
、第５図は本発明の他の実施例の要部を説明するための
図、第６図は本発明の更に他の実施例を説明り−るため
の図である。 １．９，１０．１７．２５：線型ポテンショメータ、２
；正余弦ポテンショメータ、３．’Ｉ：差動増幅器、５
，６：励磁コイル、７．８：定電流回路、１８：ＡＤ変
換器、１９，２０：ＲＯＭ。 ２１．２２．２６．２７：ＤＡ変換器、２３：ロークリ
エンコーダ、２／Ｉ：位相検出器、２５：アップダウン
カｒンンタ、２８ａ　、２８１１．３０ａ　。 ３０ｂ　、３１ａ　、３１ｂ　、３３ａ　、３３ｂ　　
：スイッチ、２９ａ　、３２ａ　：増幅器、２９ｂ、３
２ｔｌ　：１２− 特許出願人 日本電子株式会社 代表者　細腰　−夫Fig. 1 is a diagram for explaining an 8-pole electromagnetic lens for astigmatism correction, Fig. 2 is a diagram for explaining an example of a conventional astigmatism correction device, and Fig. 3 is a diagram for explaining another conventional astigmatism correction device. FIG. 4 is a diagram for explaining one embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram for explaining the main part of another embodiment of the present invention. FIG. 6 is a diagram for explaining an example of the present invention. FIG. 3 is a diagram for explaining still another embodiment of the present invention. 1.9, 10.17.25: Linear potentiometer, 2
; Sine cosine potentiometer; 3. 'I: Differential amplifier, 5
, 6: Excitation coil, 7.8: Constant current circuit, 18: AD converter, 19, 20: ROM. 21.22.26.27: DA converter, 23: Row encoder, 2/I: Phase detector, 25: Up/down counter, 28a, 2811.30a. 30b, 31a, 31b, 33a, 33b
: Switch, 29a, 32a : Amplifier, 29b, 3
2tl:12- Patent applicant JEOL Ltd. Representative Hosogoshi - Husband

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] ４５°離間して設（プられた第１．第２の４極電磁レン
ズを備えた装置において、非点補正の補正角度０を表す
デジタル信号を発生する補正角度指示手段と、各θの値
に対して各々ｓｉｎθとＣＯＳθの値を記憶している記
憶手段と、該補正角度指示手段よりの信号に基づいて該
記憶手段゛に記憶されたｓｉｎθとＣｎ２Ｏを表す信号
を読み出でための手段と、該読み出されたｓｉｎθとｃ
ｏｓ　Ｄとを表すデジタル信号を各々アナログ信号に変
換づるための第１．第２のＤＡ変換器と、該第１．第２
のＤＡ変換器の出力信号に応じて各々前記第１．第２の
４極電磁レンズに直流電流を供給するための手段と、該
第１．第２の１〕Δ変換器に供給される基準信号を調節
するｌζめの手段どを具備することを特徴どする非点補
正装置。In an apparatus equipped with first and second quadrupole electromagnetic lenses arranged 45 degrees apart, a correction angle indicating means for generating a digital signal representing a correction angle of 0 for astigmatism correction, and a value of each θ. storage means for storing values of sin θ and COS θ, respectively, and means for reading signals representing sin θ and Cn2O stored in the storage means based on signals from the correction angle indicating means. and the read sin θ and c
The first . a second DA converter; Second
The first . means for supplying direct current to the second quadrupole electromagnetic lens; 2nd 1] An astigmatism correction device characterized by comprising lζ-th means for adjusting the reference signal supplied to the Δ converter.