JPS589580A - リニアモ−タ - Google Patents

リニアモ−タ

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Publication number
JPS589580A
JPS589580A JP56106695A JP10669581A JPS589580A JP S589580 A JPS589580 A JP S589580A JP 56106695 A JP56106695 A JP 56106695A JP 10669581 A JP10669581 A JP 10669581A JP S589580 A JPS589580 A JP S589580A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electromagnet
moving piece
electric distortion
distortion elements
clamping
Prior art date
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Pending
Application number
JP56106695A
Other languages
English (en)
Inventor
Norito Suzuki
範人 鈴木
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Individual
Original Assignee
Individual
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS589580A publication Critical patent/JPS589580A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/023—Inchworm motors

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は精密な送りを行なうリニアモータに関するもの
である。
在来、二つの電磁石あるいは電歪素子等クランプ機能を
有する摺動子を−・つの電歪素子で連結し、連結した電
歪素子を伸縮せしめ、交互に摺動子をクランプせしめ尺
取り運動を行なうリニアモータが０．０１〜０．００１
μｍの精度を持ったりニアモータとして用いられていた
が、その送り運動は尺取り虫的で断続的であるという欠
点を有していた。
本発明は、連続的な送り運動を行なう精密なりニアモー
タに関するものであり、本発明により０．０１〜０．０
０１μｍの精度で制御を行ない得る簡易なりニアモータ
が実現され、廟精密連続送りを極めて簡易な機構で行な
い得ることとなった。
以下、本発明を図面によって説明する。
第１図は本発明の実施例である。二つのクランプ機能を
有する摺動子１．２は本例においては電磁石としている
。電磁石１．２は移動子５を介して連結された電歪素子
３．４により連結されている。
電磁石２に電流を流し磁性材料でできた台６に電磁石を
クランプし、電歪素子４および電歪素子５に印加する電
圧を変化せしめて二つの電歪素子を同時に伸ばすと電磁
石１および移動子５は左方向に移動する。次に電磁石１
をクランプし、電磁石２のクランプを除き、二つの電歪
素子３．４の印加電圧を変化せしめて同時に縮めると移
動子５および電磁石２は左方向に移動する。以上の操作
をくり返せば左方向への移動が行なわれ、クランプの順
序を逆にすれば右方向への移動が行なわれる。
この際電磁石１．２の運動は尺取り虫的であるが、電歪
素子３．４への印加電圧の増減の制御およびクランプの
タイミングの選定により移動子５の運動を連続的なもの
とすることができる。
印加電圧その他の制御は、移動子５あるいは移動子５に
より駆動される部分に反射面を取付はマイケルソン干渉
計を構成し干渉縞を測定することにより高精度で行なう
ことができる。またゼーマンレーザを用い光ビート信号
を利用することにより干渉縞の中間点の読みとりも可能
となるので光の波長に比して極めて小さい移動量の読み
とり、位置の制御が行なわれることになる。
第２図は他の実施例である。この例においては摺動子は
電歪素子９．１０および摺動板７．８より構成され、電
歪素子９．１０の変形により摺動子がクランプされ・電
歪素子１１．１２の伸縮によりガイド１４に沿って移動
子１３は連続的に移動する。
以上の電歪素子の代りに磁歪素子を用いることができる
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例、第２図は他の実施例である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 二つのクラップ機能を有する摺動子を、移動子を介して
    連結された複数個の電歪あるいは磁歪素子で連結する仁
    とを特徴とするりニアモータ
JP56106695A 1981-07-07 1981-07-07 リニアモ−タ Pending JPS589580A (ja)

Priority Applications (1)

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JP56106695A JPS589580A (ja) 1981-07-07 1981-07-07 リニアモ−タ

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JP56106695A JPS589580A (ja) 1981-07-07 1981-07-07 リニアモ−タ

Publications (1)

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JPS589580A true JPS589580A (ja) 1983-01-19

Family

ID=14440161

Family Applications (1)

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JP56106695A Pending JPS589580A (ja) 1981-07-07 1981-07-07 リニアモ−タ

Country Status (1)

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JP (1) JPS589580A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6223381A (ja) * 1985-07-23 1987-01-31 Ube Ind Ltd 圧電式アクチュエータ装置
JPH09121574A (ja) * 1995-10-26 1997-05-06 Fanuc Ltd リニア駆動機構

Cited By (3)

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JPH0470874B2 (ja) * 1985-07-23 1992-11-12 Ube Industries
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