JPS5892811A - 超音波式厚さ測定方法 - Google Patents
超音波式厚さ測定方法Info
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- JPS5892811A JPS5892811A JP55172076A JP17207680A JPS5892811A JP S5892811 A JPS5892811 A JP S5892811A JP 55172076 A JP55172076 A JP 55172076A JP 17207680 A JP17207680 A JP 17207680A JP S5892811 A JPS5892811 A JP S5892811A
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- Japan
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- thickness
- pulse
- pulses
- resolution
- clock
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は周期的に超音波パルスを被検体の一面に入射し
その底面からの反射エコーの時間の遅れを測定すること
により、該被検体の厚さを測定する超音波式厚さ測定方
法に関する。
その底面からの反射エコーの時間の遅れを測定すること
により、該被検体の厚さを測定する超音波式厚さ測定方
法に関する。
本発明の目的は上述した反射エコーの遅れ時間を測定す
るために用いるクロックパルスの位相を入射パルスの時
系列順に適宜変えて計数することにより、測定分解能の
向上を計り、あるいは分解能を低下させることなくクロ
ックパルスの周波数を適宜低くすることを可能にする方
法を提供することにある。
るために用いるクロックパルスの位相を入射パルスの時
系列順に適宜変えて計数することにより、測定分解能の
向上を計り、あるいは分解能を低下させることなくクロ
ックパルスの周波数を適宜低くすることを可能にする方
法を提供することにある。
以下図面を用いて説明する。従来の一般的な超音波式厚
さ測定装置の構成と動作を示すと第1図に示すように同
期信号発信器1により制御さhて一定の周期T1で電気
的パルスを生成するパルス送信器2、この電気的、4ル
スを超音波パルスに変換し、かつ反射エコーの音圧に受
信してパルス電圧に変換する探触子3、このパルス電圧
を増幅する増幅部4、反射エコーの遅れ時間T、に等し
い電気的ハルス幅ヲ作ル厚すパルス幅マルチバイブレー
タ−5、該厚さパルスと水晶発振器を含むり07クパル
ス発振器6の電圧とを受けるア/トゲ−ドアを通過した
クロックパルスを計数する計測部8、該計測部8の計測
量を表示する表示部9、および各部に供電する電源部S
から構成される装置このような測定装置において、前記
探触子3を被検材10の一面に当接させてパルス送信器
2から周期T、の電気的繰返しパルスを探M子3に印加
すると、探触子3からは牙2図(イ)に示す如き波形の
超音波パルスが周期T1で被検材10に入射し底面I!
で反射して時間T、だけ遅わて再び探触子3に達し、第
2図(嗜に示す如き波形の超音波反射パルスが受信され
直ちに探触子3により該反射パルスに対応したパルス電
圧に変換され、更に増幅部4により増幅される。上記遅
れ時間T、は被検材の厚さを貰い超音波の該被検材中の
伝搬速度をCとすればT1=2w/C3である。そして
厚さパルス幅マルチバイブレータ−5は同期信号発振器
lの出力でONし、続いて増幅部4からの最初の受信反
射パルス電圧でOFF L、反射パルスの遅れ時間T!
に相当する第2図ヒ→に示すような厚さパルス電圧12
を作り、この厚さパルス電圧12はアンドゲート7に送
られる。他方クロックパルス発振器6において水晶発振
器によって作られ〆第2図に)に示すようなりロックパ
ルス13がアンドゲート7に送られ、アンドゲート7か
らは牙2図(ホ)に示すようなりロックパルス列14が
計測部8に送られて演算素子によりクロックパルス列1
4を計数する。
さ測定装置の構成と動作を示すと第1図に示すように同
期信号発信器1により制御さhて一定の周期T1で電気
的パルスを生成するパルス送信器2、この電気的、4ル
スを超音波パルスに変換し、かつ反射エコーの音圧に受
信してパルス電圧に変換する探触子3、このパルス電圧
を増幅する増幅部4、反射エコーの遅れ時間T、に等し
い電気的ハルス幅ヲ作ル厚すパルス幅マルチバイブレー
タ−5、該厚さパルスと水晶発振器を含むり07クパル
ス発振器6の電圧とを受けるア/トゲ−ドアを通過した
クロックパルスを計数する計測部8、該計測部8の計測
量を表示する表示部9、および各部に供電する電源部S
から構成される装置このような測定装置において、前記
探触子3を被検材10の一面に当接させてパルス送信器
2から周期T、の電気的繰返しパルスを探M子3に印加
すると、探触子3からは牙2図(イ)に示す如き波形の
超音波パルスが周期T1で被検材10に入射し底面I!
で反射して時間T、だけ遅わて再び探触子3に達し、第
2図(嗜に示す如き波形の超音波反射パルスが受信され
直ちに探触子3により該反射パルスに対応したパルス電
圧に変換され、更に増幅部4により増幅される。上記遅
れ時間T、は被検材の厚さを貰い超音波の該被検材中の
伝搬速度をCとすればT1=2w/C3である。そして
厚さパルス幅マルチバイブレータ−5は同期信号発振器
lの出力でONし、続いて増幅部4からの最初の受信反
射パルス電圧でOFF L、反射パルスの遅れ時間T!
に相当する第2図ヒ→に示すような厚さパルス電圧12
を作り、この厚さパルス電圧12はアンドゲート7に送
られる。他方クロックパルス発振器6において水晶発振
器によって作られ〆第2図に)に示すようなりロックパ
ルス13がアンドゲート7に送られ、アンドゲート7か
らは牙2図(ホ)に示すようなりロックパルス列14が
計測部8に送られて演算素子によりクロックパルス列1
4を計数する。
クロックパルス列!4に含まレルクロノクノくルスの数
がnであればTs=2 W7’ C= TsX nであ
り、W = Cj X TsX n/ 2 として得られるので、これを表示部9により表示する。
がnであればTs=2 W7’ C= TsX nであ
り、W = Cj X TsX n/ 2 として得られるので、これを表示部9により表示する。
上述従来例の説明においては、原理上の説明には影響を
与えないので同期発振器1と厚さノくルス幅マルチバイ
ブレータ−の間に通常挿入される零点調整部を省いて説
明した。
与えないので同期発振器1と厚さノくルス幅マルチバイ
ブレータ−の間に通常挿入される零点調整部を省いて説
明した。
近時超音波式厚さ計の分解能に対するユーザーの要求が
厳しくなり、被検材中の音速は約10.000tn/B
まで、測定分解能は0 、1mm以上が要求されてきた
。音速10,000m/8.分解能0.1mとしたとき
従来例のような□方法においては、クロンクパクロック
パルスの周波数50MH,が必要となる〇一方、現段階
においては50MHzのような鵠い上限周波数の半導体
ICは消費電力が大きくかつ非常に高価であり、製品価
格が高くなる欠点があった。
厳しくなり、被検材中の音速は約10.000tn/B
まで、測定分解能は0 、1mm以上が要求されてきた
。音速10,000m/8.分解能0.1mとしたとき
従来例のような□方法においては、クロンクパクロック
パルスの周波数50MH,が必要となる〇一方、現段階
においては50MHzのような鵠い上限周波数の半導体
ICは消費電力が大きくかつ非常に高価であり、製品価
格が高くなる欠点があった。
本発明は上記の点に鑑み、所望の分解能を変えることな
く、シかも低い周波数のクロックパルスを用いて、被検
体の厚さを測定する方法を提供する目的でなされたもの
であり、以下図面を用いて本発明の実施例についてその
構成と動作1(ついて歎明すもなお原理上の説明の範囲
では影響を与えないので、従来例の場合と同じく零点調
整部を省略して説明する。
く、シかも低い周波数のクロックパルスを用いて、被検
体の厚さを測定する方法を提供する目的でなされたもの
であり、以下図面を用いて本発明の実施例についてその
構成と動作1(ついて歎明すもなお原理上の説明の範囲
では影響を与えないので、従来例の場合と同じく零点調
整部を省略して説明する。
第3図は本発明の実施例のブロック図であり、位相制御
回路20.音速設定回路21を設ける他は、第1図に示
す従来例の測定回路と同じ構成である。本実施例の各部
の波形を第4図に示す0第4図(1は周期T+で被検材
に入射する超音波パルスで順次P1、P−・・・で示す
。同図11は被検材の底面からの超音波反射エコーで、
上記P3、Pg、・・・に対応するものをRISRx、
・・・で示す。同図e月家厚さパルス幅マイチバイブレ
ーター5の出力側における遅れ時間T、に等しいパルス
幅の厚さパルス電圧12を示し、以下説明のために区分
して示す必要があるときは上記P1、P2、・・・に対
応するものをそれぞれ12−1.12−2、・・・とじ
、て区分することがある。ここまでの動作は、従来例と
同様である。クロックパルス発振器6燐水晶発振器を備
え同期信号発振器の制御の下に周wAT4のクロックパ
ルスを発生させるが、前記入射ハ/L/ x Pl、
Pg、・・・の時刻をt、、tx、・・・としたとき位
相制御回路2oの信号を受けて、時刻t、十T、とt8
.1x+T*とt8、・・・の中間の適宜時刻t%、t
J、・・・において前記クロックパルスの位相を2π/
N (ラジアン)づつ進める。(あるいは遅らせる。)
そこで、クロックパルス発振器6の出力は牙4図に)に
示すように、クロックパルスは、その位相がt、〜t:
I間はφ。、t、+〜t、1間はφ。
回路20.音速設定回路21を設ける他は、第1図に示
す従来例の測定回路と同じ構成である。本実施例の各部
の波形を第4図に示す0第4図(1は周期T+で被検材
に入射する超音波パルスで順次P1、P−・・・で示す
。同図11は被検材の底面からの超音波反射エコーで、
上記P3、Pg、・・・に対応するものをRISRx、
・・・で示す。同図e月家厚さパルス幅マイチバイブレ
ーター5の出力側における遅れ時間T、に等しいパルス
幅の厚さパルス電圧12を示し、以下説明のために区分
して示す必要があるときは上記P1、P2、・・・に対
応するものをそれぞれ12−1.12−2、・・・とじ
、て区分することがある。ここまでの動作は、従来例と
同様である。クロックパルス発振器6燐水晶発振器を備
え同期信号発振器の制御の下に周wAT4のクロックパ
ルスを発生させるが、前記入射ハ/L/ x Pl、
Pg、・・・の時刻をt、、tx、・・・としたとき位
相制御回路2oの信号を受けて、時刻t、十T、とt8
.1x+T*とt8、・・・の中間の適宜時刻t%、t
J、・・・において前記クロックパルスの位相を2π/
N (ラジアン)づつ進める。(あるいは遅らせる。)
そこで、クロックパルス発振器6の出力は牙4図に)に
示すように、クロックパルスは、その位相がt、〜t:
I間はφ。、t、+〜t、1間はφ。
+2(/N、 t、’ −t、I間はφ。+(2π/
N)×2、・、・のクロックパルスが出力されてア/ト
ゲ−ドアに入力される。一方アンドゲート7には前記厚
さパルス電圧[2が入力されるので、アンドゲードアか
らは第4図(ホ)に示すようなそれぞれ2π/Nづつ位
相がずれているパルス列23−1.23−2.23−3
100.が順次計測部8に入力される。計測部8におい
ては、演算素子により23−1.23−2、・・・、2
3−Nの相続くN個のパルス列についてクロノクツくル
スヲ計fullし、一方被検材中の音速に関する係数が
音訓設定回路21から入力されて、クロノクツ(ルス計
量値に上記係数による理論積を演算して、表示装置9に
出力し、被検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ
。のパルス23−1は前記従来例の・くルス14−と同
等のものである。
N)×2、・、・のクロックパルスが出力されてア/ト
ゲ−ドアに入力される。一方アンドゲート7には前記厚
さパルス電圧[2が入力されるので、アンドゲードアか
らは第4図(ホ)に示すようなそれぞれ2π/Nづつ位
相がずれているパルス列23−1.23−2.23−3
100.が順次計測部8に入力される。計測部8におい
ては、演算素子により23−1.23−2、・・・、2
3−Nの相続くN個のパルス列についてクロノクツくル
スヲ計fullし、一方被検材中の音速に関する係数が
音訓設定回路21から入力されて、クロノクツ(ルス計
量値に上記係数による理論積を演算して、表示装置9に
出力し、被検材の厚さを表示する。ここで上記位相がφ
。のパルス23−1は前記従来例の・くルス14−と同
等のものである。
次に本実施例についてその効果を説明する。先ず説明の
便のために厚さパルスの時間幅TIが2 Tl(Tlは
クロックパルスの周期)、φ。=0でN=4すなわちク
ロックパルス列23−1.23−2.23−3.23−
4が順次2π/4ラジアン(90°)づつ位相がずれて
いる場合につき第5図を用いて説明する。第5図(イ)
は厚さパルス12を代表して示す。同図C口)、P’l
、G”l、(ホ)はそれぞれ上記クロッ(ト)、例、f
lJlfまクロックパルスの立上りで計数するとして、
それぞれ厚さパルス12−1.12−2.12−3.1
2−4を測定するためのクロノクツ(ルス数を縦太線で
対応して示す。第5図(へ)は従来方法に対応するもの
で、計数値は2であるが、図より明らかに判かるように
クロックパルスの1サイクル(1凶にAで示す範囲)づ
つ計数するので、従来方法の分解能は範囲Aに対応する
Tlとなる。同図仕)、例、(IJlにおいては位相が
逐次90°づつずれて上記第5図(へ)のクロックパル
スの中間位置で計数されそれぞれ計喀値2となり、同図
(へ)〜(す)の4回の計数を行えばクロックパルスの
総計数値は合計8となる。この場合の分解能は同図(1
刀で2を計数した時点以後の範囲(同図にBで示す)に
対応するT、/4であることは明らかである。すなわち
従来例に相当する第5図(ハ)の場合に比し分解能は4
倍良好となる。換言すれば、クロックパルスの位相を変
えない従来方法でクロックパルスの周期をTl/4 (
周波数としては4倍)として測定した場合に相当する分
解能を有することとなる。
便のために厚さパルスの時間幅TIが2 Tl(Tlは
クロックパルスの周期)、φ。=0でN=4すなわちク
ロックパルス列23−1.23−2.23−3.23−
4が順次2π/4ラジアン(90°)づつ位相がずれて
いる場合につき第5図を用いて説明する。第5図(イ)
は厚さパルス12を代表して示す。同図C口)、P’l
、G”l、(ホ)はそれぞれ上記クロッ(ト)、例、f
lJlfまクロックパルスの立上りで計数するとして、
それぞれ厚さパルス12−1.12−2.12−3.1
2−4を測定するためのクロノクツ(ルス数を縦太線で
対応して示す。第5図(へ)は従来方法に対応するもの
で、計数値は2であるが、図より明らかに判かるように
クロックパルスの1サイクル(1凶にAで示す範囲)づ
つ計数するので、従来方法の分解能は範囲Aに対応する
Tlとなる。同図仕)、例、(IJlにおいては位相が
逐次90°づつずれて上記第5図(へ)のクロックパル
スの中間位置で計数されそれぞれ計喀値2となり、同図
(へ)〜(す)の4回の計数を行えばクロックパルスの
総計数値は合計8となる。この場合の分解能は同図(1
刀で2を計数した時点以後の範囲(同図にBで示す)に
対応するT、/4であることは明らかである。すなわち
従来例に相当する第5図(ハ)の場合に比し分解能は4
倍良好となる。換言すれば、クロックパルスの位相を変
えない従来方法でクロックパルスの周期をTl/4 (
周波数としては4倍)として測定した場合に相当する分
解能を有することとなる。
クロックパルスの周期をTl/4とした場合のクロック
パルスを第5図(ヌ)に、また、これにより厚さパルス
12を計数する状況を同図四に示す。
パルスを第5図(ヌ)に、また、これにより厚さパルス
12を計数する状況を同図四に示す。
以上の特別の例から類推して容易に判かるように、一般
酌にいって、厚さパルスの幅T、を周期T。
酌にいって、厚さパルスの幅T、を周期T。
のクロックパルスで測定する場合、クロックパルス計測
値がnであれば、被検材の厚さW=CXT。
値がnであれば、被検材の厚さW=CXT。
X?!、/2で表わされ、厚さの分解能はC,T、/’
lである。(従来の測定方法に対応する。) 一方、厚さ幅T2を測定する方法として、周期N T、
のクロックパルスで相次ぐN個の厚さパルス(それぞれ
のパルス幅はTl)を2π/Nづつ位相を変えて測定す
るときは、カウント数は ’r、xN=’rzNT、
T。
lである。(従来の測定方法に対応する。) 一方、厚さ幅T2を測定する方法として、周期N T、
のクロックパルスで相次ぐN個の厚さパルス(それぞれ
のパルス幅はTl)を2π/Nづつ位相を変えて測定す
るときは、カウント数は ’r、xN=’rzNT、
T。
=n、厚さW= CX T4X n/ 2で表わされ、
分解能はc’ra/2となり、前述の従来の方法と同一
分解能が、従来方法に比しクロックパルスの周波数を1
/Nに下げてもえられることとなる。
分解能はc’ra/2となり、前述の従来の方法と同一
分解能が、従来方法に比しクロックパルスの周波数を1
/Nに下げてもえられることとなる。
次にもし厚さパルス幅T2を測定するに当って、周期’
Taのクロックパルスで相次ぐ1個の厚さパルスを2π
/ N lづつ位相を変えて測定するときは、厚さの分
解能はCT、72N’となり、前記p従来の方法に比べ
てN1倍良好となる。
Taのクロックパルスで相次ぐ1個の厚さパルスを2π
/ N lづつ位相を変えて測定するときは、厚さの分
解能はCT、72N’となり、前記p従来の方法に比べ
てN1倍良好となる。
本発明の、最も簡単な具体例を述べれば、クロックパル
ス周波数を現時点では入手し、易く価格が比較的低摩な
ICが使用できる2 5 MH2とし、クロックパルス
の位相を180°移相して2個の厚さ・シルスを計測す
ることにより、音速10,000 m/sの被検材の厚
さを0.1園の分解能で測定することができる構成とし
、音速5950m/sの鋼材を測定するときは、計測さ
れたクロックパルス数に音速詮定値を595 ON/S
にセットすることにより0.595を掛ける演算を行な
わせ、音速6,260fi/Sのアルミ材C)ときは計
測されたクロックパルス数に0.626を掛ける演算を
行りわせて小数点以下1桁で表示を行なうことができる
。さらにクロックパルスの位相を18°移相して20個
の厚さパルスを計測すれば、小数点以下2桁の表示を行
なうことができる。
ス周波数を現時点では入手し、易く価格が比較的低摩な
ICが使用できる2 5 MH2とし、クロックパルス
の位相を180°移相して2個の厚さ・シルスを計測す
ることにより、音速10,000 m/sの被検材の厚
さを0.1園の分解能で測定することができる構成とし
、音速5950m/sの鋼材を測定するときは、計測さ
れたクロックパルス数に音速詮定値を595 ON/S
にセットすることにより0.595を掛ける演算を行な
わせ、音速6,260fi/Sのアルミ材C)ときは計
測されたクロックパルス数に0.626を掛ける演算を
行りわせて小数点以下1桁で表示を行なうことができる
。さらにクロックパルスの位相を18°移相して20個
の厚さパルスを計測すれば、小数点以下2桁の表示を行
なうことができる。
本発明は上記の如く2π/Nづつ位相をずらしたクロッ
クパルスにより、N個の厚さパルスを計測する方法であ
るので、従来の方法でクロックパルスの周波数をN倍に
した測定に相当する厚さ測定ができるので厚さ測定がN
倍の分解能で実施できる方法であり、また一方では高い
上限周波数の高価なICを用いることを避は製品のコス
トダウンを可能とすることができる。
クパルスにより、N個の厚さパルスを計測する方法であ
るので、従来の方法でクロックパルスの周波数をN倍に
した測定に相当する厚さ測定ができるので厚さ測定がN
倍の分解能で実施できる方法であり、また一方では高い
上限周波数の高価なICを用いることを避は製品のコス
トダウンを可能とすることができる。
第1図〜第2図は従来の一般的な超音波式厚さ測定装置
に係り、第1図はそのブロック図、第2図は各部の波形
を示し、第3図〜第5図は本発明の実施例に係り、第3
図はそのプロ、り図、第4図はその各部における波形、
第5図(イj−萌は特定の例について計測動作を説明す
る要図、同図し)四は上記特定例に相当する計測例を説
明するための要図である。 、′1 1:同期信号発振器、 2:パルス送信器、 3:探計
子、 4;増幅部、 5:厚さパルス発振器、6:クロ
ックパルス発振器、 7:アンドゲート、8:計測6[
)、 9:表示部、 lO:被検材、12:厚さパルス
、 20:位相制御回路、 21:音速設定回路、
22.22−1.22−2・・・:クロックパルス、2
3.23−1.23−2・・・:クロックパルス列、
S:電源部。 特許出願人 株式会社帝通電子研究所代理人 久
高 稔 第 1 図 す 第2f71 →鵠腎 第 5y!J 第4図 手 続 補 正 脣 昭和56年7月12日 特許庁長官 島田春樹 殿 1、事件の表示 昭和55年特許願第17207t5 号2、発明の名称 超音波式厚さ測定方法 3、補正をする者 事件との関係 特許…願人 住所 名称 株式会社帝通電子研究所 4、代理人 5、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 5、明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後3 20 ク
ロックパルス13 T3の周期を有するクロックパルス
13 4 18 (20+1秒) (20ナノ秒)
715T4′は T4は 以上 1、事件の表示 昭和55年特許願第 172076号 2、発明の名称 超袴波式厚さ測定方法 6、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 株式会社帝通電子研究所 4、代理人 6M歪の内東 明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後3 20
クロックパルス13 T3の周期を有するクロックパル
ス13 4 1B (20+1秒) (20ナノ秒)
7 15 T4’は T4は以上
に係り、第1図はそのブロック図、第2図は各部の波形
を示し、第3図〜第5図は本発明の実施例に係り、第3
図はそのプロ、り図、第4図はその各部における波形、
第5図(イj−萌は特定の例について計測動作を説明す
る要図、同図し)四は上記特定例に相当する計測例を説
明するための要図である。 、′1 1:同期信号発振器、 2:パルス送信器、 3:探計
子、 4;増幅部、 5:厚さパルス発振器、6:クロ
ックパルス発振器、 7:アンドゲート、8:計測6[
)、 9:表示部、 lO:被検材、12:厚さパルス
、 20:位相制御回路、 21:音速設定回路、
22.22−1.22−2・・・:クロックパルス、2
3.23−1.23−2・・・:クロックパルス列、
S:電源部。 特許出願人 株式会社帝通電子研究所代理人 久
高 稔 第 1 図 す 第2f71 →鵠腎 第 5y!J 第4図 手 続 補 正 脣 昭和56年7月12日 特許庁長官 島田春樹 殿 1、事件の表示 昭和55年特許願第17207t5 号2、発明の名称 超音波式厚さ測定方法 3、補正をする者 事件との関係 特許…願人 住所 名称 株式会社帝通電子研究所 4、代理人 5、補正の対象 明細書の〔発明の詳細な説明〕の欄 5、明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後3 20 ク
ロックパルス13 T3の周期を有するクロックパルス
13 4 18 (20+1秒) (20ナノ秒)
715T4′は T4は 以上 1、事件の表示 昭和55年特許願第 172076号 2、発明の名称 超袴波式厚さ測定方法 6、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 株式会社帝通電子研究所 4、代理人 6M歪の内東 明細書中に次の補正を行なう。 頁 行 補正前 補正後3 20
クロックパルス13 T3の周期を有するクロックパル
ス13 4 1B (20+1秒) (20ナノ秒)
7 15 T4’は T4は以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 周期的に超音波パルスを被検材の一面に入射してその底
面からの反射エコーの時間の遅れを測定して該被検材の
厚さを測定する超音波式厚さ測定方法において、 上記厚さに相当する厚さパルスを測定するクロックパル
スの位相を2π/Nラジアン(Nは2以上の整数)づつ
順次ずらせて相次ぐN個の厚さパルスを計数し、この計
数量に該被検材中の音速に対応する補正を演算してその
厚さをデジタル表示することを特徴とする超音波式厚さ
測定方法。
Priority Applications (5)
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---|---|---|---|
JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
US06/274,451 US4388830A (en) | 1980-12-08 | 1981-06-17 | Method and apparatus for measurement of thickness utilizing ultrasonic pulses |
DE19813126138 DE3126138A1 (de) | 1980-12-08 | 1981-07-02 | Verfahren und vorrichtung zur messung der dicke eines werkstuecks mit ultraschallimpulsen |
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JP55172076A JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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JP55172076A Granted JPS5892811A (ja) | 1980-12-08 | 1980-12-08 | 超音波式厚さ測定方法 |
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Patent Citations (1)
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JPS52137370A (en) * | 1976-05-11 | 1977-11-16 | Krautkraemer Gmbh | Method of measuring thickness of object |
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