JPS58820B2 - 電界放出型電子銃 - Google Patents
電界放出型電子銃Info
- Publication number
- JPS58820B2 JPS58820B2 JP52012862A JP1286277A JPS58820B2 JP S58820 B2 JPS58820 B2 JP S58820B2 JP 52012862 A JP52012862 A JP 52012862A JP 1286277 A JP1286277 A JP 1286277A JP S58820 B2 JPS58820 B2 JP S58820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- cathode
- potential
- electron gun
- field emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電界放出型電子銃に関し、特に仮想光源の位置
変化を防止し得る上記電子銃に関する。
変化を防止し得る上記電子銃に関する。
一般に電界放出型電子銃においては陰極先端部でのガス
吸着、イオンボンバード等による放出電流の変化を防ぐ
ため例えば第１図に示す様に構成される。
吸着、イオンボンバード等による放出電流の変化を防ぐ
ため例えば第１図に示す様に構成される。
即ち針状陰極１と該陰極に対向し陰極から電子を放出さ
せるための電界を形成する第１陽極２と、該第１電極を
通過する電子を加速し且つ第１陽極とともに静電レンズ
を形成するための第２陽極３と、夫々の陽極に電圧を印
加するための電源４，５とより成る通常の電界放出型電
子銃にモニター電極６を設け、該モニター電極より得ら
れる放出電流に対応した信号に基づいて前記電源４の出
力電圧即ち第１陽極電位■１を変化させるようにしてい
る。
せるための電界を形成する第１陽極２と、該第１電極を
通過する電子を加速し且つ第１陽極とともに静電レンズ
を形成するための第２陽極３と、夫々の陽極に電圧を印
加するための電源４，５とより成る通常の電界放出型電
子銃にモニター電極６を設け、該モニター電極より得ら
れる放出電流に対応した信号に基づいて前記電源４の出
力電圧即ち第１陽極電位■１を変化させるようにしてい
る。
この様な構成にすれば負帰還回路が形成させるため得ら
れる放出電流を常に一定に保つことができる。
れる放出電流を常に一定に保つことができる。
しかしながらこの様に一定の放出電流を得るために第１
陽極の電位を変化させると、第１陽極、第２陽極間に形
成される静電レンズの焦点距離が変化し、その結果仮想
光源Ｐの位置が常に変動することとなる。
陽極の電位を変化させると、第１陽極、第２陽極間に形
成される静電レンズの焦点距離が変化し、その結果仮想
光源Ｐの位置が常に変動することとなる。
ここで第１図に示す陰極−第１陽極間距離Ｓ。
及び第１陽極上面−第２陽極下面間距離りに試みにＳ。
＝１ｃｍ。Ｌ＝２ｃｍという値をあてはめて第２陽極下
面−仮想光源Ｐ間の距離Ｓと陰極−第１陽極間電位ηと
の関係を算出してみると、例えば第３図の様な変化を示
す。
面−仮想光源Ｐ間の距離Ｓと陰極−第１陽極間電位ηと
の関係を算出してみると、例えば第３図の様な変化を示
す。
（尚同図において■。は陰極−第２陽間電位である。
）この様に仮想光源の位置が変動すると、例えば電子銃
を走査型電子顕微鏡に用いた場合試料に投射される電子
線の径が変化してしまい像の分解能が著しく低下する等
の悪影響が生じる。
を走査型電子顕微鏡に用いた場合試料に投射される電子
線の径が変化してしまい像の分解能が著しく低下する等
の悪影響が生じる。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、以下詳
説する。
説する。
第２図は本発明の一実施例を示す構成図であり、同図に
おいて１〜６は第１図に示された従来例と同一の構成要
素である。
おいて１〜６は第１図に示された従来例と同一の構成要
素である。
本発明では新たに第２陽極３の下方に電磁レンズ７が設
けられ、該レンズ７にはレンズ電源８より励磁電流が供
給される。
けられ、該レンズ７にはレンズ電源８より励磁電流が供
給される。
該レンズ電源８には陰極−第１陽極間電鍋が導入され、
レンズ７に供給される励磁電流は該陰極−第１陽極間電
位Ｖ□の値に応じて所定の関数に従って変化する。
レンズ７に供給される励磁電流は該陰極−第１陽極間電
位Ｖ□の値に応じて所定の関数に従って変化する。
即ち該関数としては陰極−第１陽極間電位Ｖ□の変化に
よって静電レンズ強度が弱くなった場合には電磁レンズ
の強度を強くし、静電レンズ強度が強くなった場合には
電磁レンズ強度を弱め、２つのレンズを合成した合成レ
ンズの強度が常に一定となる様な関数が選ばれ、非線形
素子等を用いて実現される。
よって静電レンズ強度が弱くなった場合には電磁レンズ
の強度を強くし、静電レンズ強度が強くなった場合には
電磁レンズ強度を弱め、２つのレンズを合成した合成レ
ンズの強度が常に一定となる様な関数が選ばれ、非線形
素子等を用いて実現される。
従って静電レンズ及び電磁レンズを通過して取り出され
た電子線の仮想光源位置は実質的に移動せず、しかも合
成レンズの強度を適宜設定することにより仮想光源を任
意の位置に設定することができる。
た電子線の仮想光源位置は実質的に移動せず、しかも合
成レンズの強度を適宜設定することにより仮想光源を任
意の位置に設定することができる。
尚上記は陰極−第２陽極間電位が一定の場合であったが
、陰極−第２陽極間電位は走査型電子顕微鏡等に用いた
場合、試料に応じて適当な値が選ばれるため多段階にわ
たって可変できる。
、陰極−第２陽極間電位は走査型電子顕微鏡等に用いた
場合、試料に応じて適当な値が選ばれるため多段階にわ
たって可変できる。
そのため隘極−第１陽極間電位ｖ１が一定であったとし
ても陰極−第２陽極間電位■。
ても陰極−第２陽極間電位■。
を変化させれば静電レンズ強度が変化し仮想光源位置が
変化してしまうことが第３図におけるＸ軸が■。
変化してしまうことが第３図におけるＸ軸が■。
／■１であられされていることからも理解できる。
この場合にはレンズ電源８には陰極−第１陽極間電位鳩
のみでなく陰極−第２陽極間電位Ｖ。
のみでなく陰極−第２陽極間電位Ｖ。
をも導入し、レンズ電源８において■。
と■、の比に応じて励磁電流を変化させればよい。
以上詳述した如く本発明によれば仮想光源位置を常に一
定に保つことのできる電界放出型電子銃を実現し得る。
定に保つことのできる電界放出型電子銃を実現し得る。
尚、上述した実施例においては電磁レンズを第２陽極の
下方に設けたが必ずしもその必要はなく、例えば陰極と
第１陽極との間に設けてもよいことは言うまでもない。
下方に設けたが必ずしもその必要はなく、例えば陰極と
第１陽極との間に設けてもよいことは言うまでもない。
第１図は従来の電界放出型電子銃の構成を示す図であり
、第２図は本発明の一実施例の構成を示す図である。 第３図は第１陽極電位と仮想光源位置との関係を示す図
である。 １：針状陰極、２：第１陽極、３：第２陽極、４．５：
電源、６：モニター電極、７：電磁レンズ、８：レンズ
電源。
、第２図は本発明の一実施例の構成を示す図である。 第３図は第１陽極電位と仮想光源位置との関係を示す図
である。 １：針状陰極、２：第１陽極、３：第２陽極、４．５：
電源、６：モニター電極、７：電磁レンズ、８：レンズ
電源。
Claims (1)
- １陰極と、該陰極との間に電界を形成するための第１陽
極と、陰極から電界放出され第１陽極を通過する電子線
を加速するための第２陽極と、第２陽極を通過した電子
線電流を検出するためのモニタ一手段と、該モニタ一手
段よりの検出信号に基づいて前記電子線電流が一定にな
るように陰極に対する第１陽極の電位を負帰還制御する
ための手段とを備えた電界放出型電子銃において、前記
陰極と第１陽極との間又は前記第２陽極の下方に電磁レ
ンズを設け、該電磁レンズの励磁電流を前記第１陽極電
位に応じて変化させる様にしたことを特徴とする電界放
出型電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52012862A JPS58820B2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電界放出型電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52012862A JPS58820B2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電界放出型電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5398187A JPS5398187A (en) | 1978-08-28 |
| JPS58820B2 true JPS58820B2 (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=11817213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52012862A Expired JPS58820B2 (ja) | 1977-02-08 | 1977-02-08 | 電界放出型電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58820B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0418523B2 (ja) * | 1985-07-30 | 1992-03-27 | Yamaguchi Prefecture |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494972A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-17 | ||
| JPS49132971A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-20 |
-
1977
- 1977-02-08 JP JP52012862A patent/JPS58820B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494972A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-17 | ||
| JPS49132971A (ja) * | 1973-04-25 | 1974-12-20 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0418523B2 (ja) * | 1985-07-30 | 1992-03-27 | Yamaguchi Prefecture |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5398187A (en) | 1978-08-28 |
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