JPS587974Y2 - ion source - Google Patents
ion sourceInfo
- Publication number
- JPS587974Y2 JPS587974Y2 JP17635477U JP17635477U JPS587974Y2 JP S587974 Y2 JPS587974 Y2 JP S587974Y2 JP 17635477 U JP17635477 U JP 17635477U JP 17635477 U JP17635477 U JP 17635477U JP S587974 Y2 JPS587974 Y2 JP S587974Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- slit
- cathode plate
- emitter
- plate
- Prior art date
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- Expired
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は質量分析装置等に用いられるイオン源に関し、
特に電界電離或いは電界脱離イオン源に関するものであ
る。[Detailed description of the invention] The present invention relates to an ion source used in mass spectrometers, etc.
In particular, it relates to field ionization or field desorption ion sources.
近時新しい型のイオン源として電界電離或いは電界脱離
によるイオン化を行い得るイオン源が発達している。Recently, a new type of ion source that can perform ionization by field ionization or field desorption has been developed.
斯かるイオン源は例えば第１図に示す様にエミッタ１．
カソードプレート２及びイオンを引出したり加速するた
めにカソードプレートトの背後に並べられた各種電極３
を主体として構成される。Such an ion source includes, for example, an emitter 1, as shown in FIG.
A cathode plate 2 and various electrodes 3 arranged behind the cathode plate for extracting and accelerating ions.
It is mainly composed of
上記エミッタ１は絶縁基台４．該基台４を貫通する２本
の支持電極５及び該支持電極間にわたされたエミッタワ
イヤ６とから構成される。The emitter 1 is mounted on an insulating base 4. It is composed of two supporting electrodes 5 passing through the base 4 and an emitter wire 6 passed between the supporting electrodes.
該エミッタワイヤ６の表面には多数のカーボンの針状結
晶（カーボンニードル）が成長させてあり該カーボンニ
ードルに試料を付着させる。A large number of needle-like carbon crystals (carbon needles) are grown on the surface of the emitter wire 6, and a sample is attached to the carbon needles.
そして該エミッタワイヤ６はカソードプレートト２に設
けられたスリット７に近接して配置され、両者の間には
例えば１０Ｋｖ程度の高電圧が印加される。The emitter wire 6 is placed close to a slit 7 provided in the cathode plate 2, and a high voltage of about 10 Kv, for example, is applied between the two.
そのためエミッタワイヤとスリットの間に強電界が形成
され、該強電界によって試料のイオン化が行われる。Therefore, a strong electric field is formed between the emitter wire and the slit, and the sample is ionized by the strong electric field.
この様な従来のイオン源では、イオン化された試料等が
カソードプレートに付着して該カソードプレートが汚染
されやすいため例えば５０検体乃至１００検体程度の分
析を行う毎にイオン源ブロックを解体してカソードプレ
ートを取り出して洗浄する必要があり、作業が繁雑にな
ると共に作業中の破損、誤組立等が発生する危険性も増
大する結果となっている。In such conventional ion sources, the ion source block is disassembled and the cathode is removed every time 50 to 100 samples are analyzed, because ionized samples and the like tend to adhere to the cathode plate and contaminate the cathode plate. It is necessary to take out the plate and wash it, which makes the work complicated and increases the risk of damage or incorrect assembly during the work.
本考案者は上述した従来の問題点を解決すべく、実験を
繰返し行った結果イオン化された試料等によって、汚染
されるのはカソードプレート全体ではなく、カソードプ
レートに開けられたスリットの周縁部付近に集中してい
ることを発見した。In order to solve the above-mentioned conventional problems, the inventor of the present invention discovered that after repeated experiments, it is not the entire cathode plate that is contaminated by ionized samples, etc., but the area around the periphery of the slit in the cathode plate. I found that I was concentrating on
第２はこの様な発見に基づいてなされた本考案の一実施
例を示す図であり、同図においてカソードプレート２の
スリット部分は切欠かれ、該切欠部に別個に設けたスリ
ット板２ａが挿入されるようになっている。The second figure shows an embodiment of the present invention based on such a discovery. In the figure, the slit portion of the cathode plate 2 is cut out, and a separately provided slit plate 2a is inserted into the cutout. It is now possible to do so.
そして該スリット板２ａの上端部にピンセット等によっ
て上記スリット板２ａを引上げるための環が固着されて
いる。A ring for pulling up the slit plate 2a is fixed to the upper end of the slit plate 2a using tweezers or the like.
斯かる構成となせば汚染が集中するカソードプレートの
スリット部分のみを極めて容易に、取出して洗浄するこ
とができ、作業性は著しく向上する。With such a configuration, only the slit portion of the cathode plate where contamination is concentrated can be taken out and cleaned very easily, and work efficiency is significantly improved.
又スリット板を、多数用意しておけば、スリット板の交
換だけですぐに測定を開始できる。Furthermore, if a large number of slit plates are prepared, measurement can be started immediately by simply replacing the slit plates.
第１図は従来のイオン源を説明するための図であり、第
２図は本考案の一実施例を示す図である。
１：エミッタ、２：カソードプレート、２ａニスリツト
板、７：スリット。FIG. 1 is a diagram for explaining a conventional ion source, and FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. 1: emitter, 2: cathode plate, 2a slit plate, 7: slit.
Claims (1)
と対向する位置にスリットが設けられたカソードプレー
トを備えたイオン源において、前記カソードプレートの
スリットが設けられた部分を別個に形成し、該部分のみ
をイオン源から脱着可能に設けたことを特徴とするイオ
ン源。In an ion source equipped with an emitter and a cathode plate disposed close to the emitter and provided with a slit at a position facing the emitter, the portion of the cathode plate provided with the slit is formed separately, and only the portion is provided with the slit. An ion source characterized in that an ion source is provided so as to be detachable from the ion source.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635477U JPS587974Y2 (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | ion source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17635477U JPS587974Y2 (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | ion source |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54103285U JPS54103285U (en) | 1979-07-20 |
| JPS587974Y2 true JPS587974Y2 (en) | 1983-02-12 |
Family
ID=29184803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17635477U Expired JPS587974Y2 (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | ion source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587974Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2635028B2 (en) * | 1986-10-24 | 1997-07-30 | 株式会社日立製作所 | Microwave ion source |
| JP2791911B2 (en) * | 1989-11-14 | 1998-08-27 | 東京エレクトロン株式会社 | Ion source |
-
1977
- 1977-12-29 JP JP17635477U patent/JPS587974Y2/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54103285U (en) | 1979-07-20 |
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