JPS5877029A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a titled medium having the uniform magnetic film thickness, high coercive force and good head touch and adhesion properties etc., by providing a ground layer consisting of a Mg or its alloy between a flexible substrate and a sputter thin film magnetic layer. CONSTITUTION:On a ground layer consisting of an alloy of Mg or Mg and e.g. Al, Zn, Zr and Mn etc. is provided on a flexible substrate of a polymer molded product etc. by a method of sputtering etc., a thin film magnetic layer of Co-P and Co-Ni-P etc. is provided on the ground layer by sputtering.

Description

【発明の詳細な説明】 ■　発明の背景 Ａ技術分野 本発明は磁気記録媒体に関する。更に詳しくは１％に、
例えば、Ｃｏ　−Ｐ系またはｃｏ　−Ｎｉ−Ｐ系等のス
パッタ薄膜を磁性層とする連続薄膜形の磁気記録媒体に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION ■ Background of the Invention A Technical Field The present invention relates to magnetic recording media. For more details, please refer to 1%.
For example, the present invention relates to a continuous thin film type magnetic recording medium in which a magnetic layer is a sputtered thin film of Co-P system or co-Ni-P system.

Ｂ先行技術　゛ 近年、金属磁性薄膜を磁性層とする連続薄膜形の磁気記
録媒体が注目を集めている。B. Prior Art In recent years, continuous thin film magnetic recording media having a magnetic layer made of a metal magnetic thin film have attracted attention.

このような連続薄膜形の磁気記録媒体の磁性層としては
種々のものがある。There are various types of magnetic layers for such continuous thin film magnetic recording media.

磁性層の１つとしてＣｏ　−ＰないしＣｏ−Ｎｉ　−Ｐ
系薄膜を例にとって説明すると、従来、この薄膜は、鍍
金法によって作製されている。Co-P or Co-Ni-P as one of the magnetic layers
Taking a system thin film as an example, this thin film has conventionally been produced by a plating method.

しかし、これら鍍金法によるときには、先ず、薄膜の基
体に対する接着性と、膜の機械的強度とが低く、磁気ヘ
ッドとの摺接により、薄膜の摩耗、剥離が生じ、磁気特
性の経時変化を生じるという欠点がある。　また、磁性
層薄膜の表面性が悪く、特に高域での出力が低下すると
いう欠点もある。　更には、鍍金浴に存在するアルカリ
金属イオン、酸、塩基等が、薄膜中に混入し、この混入
不純物により、薄膜の磁気特性が経時劣化してしまった
リ、場合によっては、磁気ヘッド、を腐食するなどの不
都合もある。　加えて、その原因は明白でないが、特に
、オーディオ用テープに適用するとき、３３３　Ｈｚに
おける第３次高調波に対する歪が大きく、実用上問題と
なっている。However, when using these plating methods, the adhesion of the thin film to the substrate and the mechanical strength of the film are low, and the thin film wears and peels due to sliding contact with the magnetic head, causing changes in magnetic properties over time. There is a drawback. Another drawback is that the surface properties of the thin magnetic layer are poor, resulting in a drop in output, especially in high frequencies. Furthermore, alkali metal ions, acids, bases, etc. present in the plating bath can get mixed into the thin film, and these mixed impurities can cause the magnetic properties of the thin film to deteriorate over time. There are also disadvantages such as corrosion. In addition, although the cause is not clear, especially when applied to audio tapes, the third harmonic at 333 Hz suffers from large distortion, which poses a practical problem.

このような実状に鑑み、本−間者らは、先に、Ｃｏ　−
Ｐ系ないしＣｏ−Ｎ１−Ｐ系の薄膜磁性層をスパッタリ
ングにより形成した磁気記録媒体についての提案を咎っ
ている。In view of these actual circumstances, Hon-Masha et al.
It criticizes the proposal for a magnetic recording medium in which a P-based or Co-N1-P-based thin film magnetic layer is formed by sputtering.

このように磁性層をスパッタリングにより形成すると、
良好な磁気特性を示し、磁性層薄膜の機械的強度と接着
強度は鍍金法によるときよりも格段と高（、又その表面
性も良好となるとともに、更にこれらに加え、高温高湿
下での長期保存の際の磁気特性の経時変化もきわめて小
さく、又３．３３Ｈｚにおける第３次高調波に対する歪
もきわめて小さい。When the magnetic layer is formed by sputtering in this way,
It exhibits good magnetic properties, and the mechanical strength and adhesive strength of the magnetic layer thin film are much higher than those using the plating method (and its surface properties are also good. Changes in magnetic properties over time during long-term storage are also extremely small, and distortion to the third harmonic at 3.33 Hz is also extremely small.

しかし、このようなスパッタ薄膜磁性層をもつ磁気記録
媒体にも以下のような欠点かあ。However, magnetic recording media having such a sputtered thin film magnetic layer also have the following drawbacks.

まず、保磁力の点で、未だ十分満足できる特性が得られ
ていない。First, in terms of coercive force, sufficiently satisfactory characteristics have not yet been obtained.

また、磁性層スパッタ薄膜の膜厚がバラつく。　これは
スパッタ条件を厳密に維持しても生じるものであり、特
に長尺の基体上に連続的にスパッタリングを行うような
とき、このバラつきは無視できなくなり、テープ等の出
力変動の原因となる。Furthermore, the thickness of the sputtered thin film of the magnetic layer varies. This occurs even if sputtering conditions are strictly maintained, and especially when sputtering is performed continuously on a long substrate, this variation cannot be ignored and becomes a cause of output fluctuations for tapes, etc.

さらに、前記のように、磁性層表面の表面性は改善され
るものであるが、表面性は末だ十分とはいえず、ヘッド
タッチが悪（、高域°の出力が低い。Further, as mentioned above, although the surface properties of the magnetic layer are improved, the surface properties are still not sufficient, resulting in poor head touch (and low high-frequency output).

加えて、特に高分子成形物からなる可撓性基体を用いる
磁気テープでは、機械的強度、特に負荷を加えた後の残
留伸びの点で満足できない。　　　　　。In addition, especially magnetic tapes using flexible substrates made of polymer moldings are unsatisfactory in terms of mechanical strength, especially residual elongation after application of a load. .

また、可撓性基体と磁性層との接着性についても、必ず
しも十分でなく、多数回の走行により、磁性層の接着劣
化にもとづくと思われる出力低下があられれる。Furthermore, the adhesion between the flexible substrate and the magnetic layer is not necessarily sufficient, and after many runs, the output decreases, which is thought to be due to deterioration of the adhesion of the magnetic layer.

加えて、スパッタ薄膜を磁性層とするときには、そのＢ
Ｈループを測定すると、減磁曲線上等に、２つ以上の変
曲点があられれ、その微分曲線（ｄＢ／ｄＨ）　Ｋ極大
値が２つ以上出現することがある。　そして、このよう
な現象は、連続スパッタに際しう゛ンダムに生起し、テ
ープ等の媒体に対する適正バイアスの決定が複雑となっ
てしまう。In addition, when the sputtered thin film is used as a magnetic layer, the B
When measuring the H loop, two or more inflection points may appear on the demagnetization curve, and two or more K maximum values may appear on the differential curve (dB/dH). Such a phenomenon occurs randomly during continuous sputtering, making it complicated to determine the appropriate bias for a medium such as a tape.

これに対し、このような磁性層と可撓性基体との間に、
金属等の下地層を形成すれば、以上のような各種不都合
などは改善されるものと考えられる。On the other hand, between such a magnetic layer and a flexible substrate,
It is believed that the various inconveniences mentioned above can be alleviated by forming a base layer of metal or the like.

本発明者らの実験によれば、実際、アルミニウム、クロ
ム、チタン等の下地層な可撓性基体上に設層することに
より、上記した抜書すべ−き各特性が向上する。ことが
判明している。According to experiments conducted by the present inventors, each of the above-mentioned characteristics that should be noted above is actually improved by forming a layer on a flexible substrate such as aluminum, chromium, titanium, or the like. It turns out that.

しかし、これら諸特性の向上は必ずしも十分ではなく、
特性１最も良好な部類に属するアルミニウム、クロム、
チタン等の下地層を用いるときにも、特に保磁力、そし
て機械的強度、就中残留伸びの点、あるいは膜厚のバラ
つき等について、より一層の改良が望まれる。However, improvements in these characteristics are not necessarily sufficient;
Characteristic 1 Aluminum, chromium, which belongs to the best category
When using an underlayer made of titanium or the like, further improvements are desired, particularly in terms of coercive force, mechanical strength, especially residual elongation, and variations in film thickness.

なお、以上では、Ｃｏ　−ＰないしＣｏ−Ｎ１−Ｐ系の
スパッタ薄膜を例にとって説明したが、他の組成のスパ
ッタ薄膜についても上記諸特性がより一層向上する新規
な下地層の開発が望まれている。Although the above explanation has been given using Co-P or Co-N1-P sputtered thin films as an example, it is desired to develop new underlayers that further improve the above properties for sputtered thin films with other compositions. ing.

■　発明の目的 本発明は、このような実状に鑑みなされたものであって
、下地層を改良して、特に保磁力がきわめて高く、これ
に加え、磁性層膜厚が均一であり、またへラドタッチが
良好であり、さらに残留伸びが小さく、接着性が良好で
、しかもＢｉ（ループの変形の発生が少な（総合的にき
わめてすぐれた特性をもつ磁気記録媒体を提供すること
を、主たる目的とする。■ Purpose of the Invention The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and has been developed by improving the underlayer to have an extremely high coercive force, a uniform magnetic layer thickness, and a high coercive force. Our main objective is to provide a magnetic recording medium that has good rad touch, low residual elongation, good adhesion, and little deformation of Bi loops (overall excellent characteristics). do.

本発明者らは、このような目的につき鋭意研究を重ね、
本発明をなすに至ったものである。The present inventors have conducted extensive research for such purposes, and
This is what led to the present invention.

すなわち本発明は、 可撓性基体上に、２下地層を有し、当該下地層上に、薄
膜磁性層を有する磁気記録媒体において、上記下地層が
マグネシウムから形成されてなることを特徴とする磁気
記録媒体と可撓性基体上に、下地層を有し、当該下地　
゛層上に、薄膜磁性層を有する磁気記録媒体において、
上記下地層がマグネシウム合金から形成されでなること
を特徴とする磁気記録媒体とである。That is, the present invention provides a magnetic recording medium having two underlayers on a flexible substrate and a thin magnetic layer on the underlayer, characterized in that the underlayer is made of magnesium. A base layer is provided on the magnetic recording medium and the flexible substrate, and the base layer is
In a magnetic recording medium having a thin magnetic layer on the layer,
The magnetic recording medium is characterized in that the underlayer is made of a magnesium alloy.

■　発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。■Specific structure of the invention Hereinafter, a specific configuration of the present invention will be explained in detail.

本発明において用いる基体は、非磁性のものであり、可
撓性、特に、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド等
、の高分子成形物からなるものであることが好ましい。The substrate used in the present invention is preferably non-magnetic and flexible, particularly made of a molded polymer such as polyester, polyimide, polyamide, or the like.

本発明においては、とのよイな基体上に、マグネシウム
またはマグネシウム合金からなる下庵層を設層する。In the present invention, a lower layer made of magnesium or a magnesium alloy is provided on a similar substrate.

この場合、下地層はマグネシウム単一金属の他、マグネ
シウム合金であってもよい。In this case, the base layer may be made of a magnesium alloy as well as a single magnesium metal.

マグネシウム合金としては、マグネシウムを主成分とす
る各棟合金を用いることができる。As the magnesium alloy, various alloys containing magnesium as a main component can be used.

これらの、うち、特に好適なものとしては、Ａｔ、Ｚｎ
　、Ｚｒ　’、　Ｍｎおよび希土類元素のうちの少なく
とも１檀を、好ましくは３Ｑｗｔ％以下、−より好、ま
しくは０．１〜３’Ｏｗｔ％、さらに好ましくは１〜２
０ｗｔ％含むものを挙げることができる。Among these, particularly preferred are At, Zn
, Zr', Mn and rare earth elements, preferably at most 3Qwt%, - more preferably from 0.1 to 3'Owt%, even more preferably from 1 to 2
Examples include those containing 0 wt%.

なお、このような下地層は、通常、５０〜５０００Ａ程
度の厚さとされる。Note that such a base layer usually has a thickness of about 50 to 5000A.

また、その形成法としては真空蒸着、スパッタリング、
イオンブレーティング、メッキ等種々の方法いずれによ
ってもよいが、特に、スパッタリングを用いるのが好適
である。In addition, its formation methods include vacuum evaporation, sputtering,
Although various methods such as ion blasting and plating may be used, it is particularly preferable to use sputtering.

このような下地層上には磁性層が設層される。A magnetic layer is provided on such an underlayer.

磁性層としては、種々の組成をもつものでよく、Ｃｏ　
−Ｎｉ系やＣｏ　−１（ｅ系等Ｊｉ　ｋ　）ものであっ
てもよい。　ただ、上記した緒特性がより一層向上する
点で、Ｃｏ　−１−ＰまたはＣｏ　−Ｎｉ−Ｐ系合金か
らなることが好ましい。The magnetic layer may have various compositions, including Co
-Ni-based or Co-1 (e-based, etc. Jik) materials may be used. However, it is preferable to use Co-1-P or Co-Ni-P alloy, since the above-described properties are further improved.

この場合、Ｃｏ　−ＰまたはＣＯ−ぺｉ−Ｐ系としては
、（”１００−Ｘ　”！’　）　　　　Ｐ　　と表わし
たとき、Ｘ、すなわちＣｏ　／　（Ｃｏ　＋　Ｎｉ　）
重量比は０〜３５重量％であることが好ましい。In this case, as a Co-P or CO-pei-P system, when expressed as ("100-X"!') P, X, that is, Co / (Co + Ni)
The weight ratio is preferably 0 to 35% by weight.

Ｘが３５重量％を超えると、磁気特性、特に保磁力Ｈｃ
が低下してしまうからである。When X exceeds 35% by weight, the magnetic properties, especially the coercive force Hc
This is because the amount decreases.

この場合、保磁力Ｈｃの点で、Ｘがθ〜３０］ｉ量％、
％に０〜２８重量％であれば、より好ましい結果を得る
。In this case, in terms of coercive force Hc, X is θ~30]i amount%,
If the amount is 0 to 28% by weight, more preferable results will be obtained.

一方、ｙ、すなわちＰ含量は、０より大で、６重量％以
下であることが好ましい。　６重量％を超えると、やは
り磁気特性、特に保磁力Ｈｃが低下してしまう。、　　
この場合、保磁力Ｈｃの点では、ｙ−ｂ′−１〜６重量
％、より好ましくは１．５〜５．５重量％であｉば、好
ましい結果を得る。On the other hand, y, that is, the P content, is preferably greater than 0 and 6% by weight or less. If it exceeds 6% by weight, the magnetic properties, particularly the coercive force Hc, will deteriorate. ,
In this case, in terms of coercive force Hc, favorable results can be obtained if y-b'-1 to 6% by weight, more preferably 1.5 to 5.5% by weight.

なお、以上のような組成において、薄膜中には、更に第
３ないし４成分として、例えばＣ０１Ｎｉ以外の他の遷
移金属元素等、例えばＦｅ　、　Ｃｒ　、　Ｍｎ　、　
Ｍｏなどの１種以上が、全体の１０重量％以下の範囲で
含有されていてもよい。In addition, in the above composition, the thin film further contains other transition metal elements other than C01Ni, such as Fe, Cr, Mn, etc., as the third or fourth component.
One or more types such as Mo may be contained in an amount of 10% by weight or less of the total weight.

と９ような磁性層薄膜の厚さについては、特に制限はな
く、磁気記録媒体がアナログ記録を行うものであるか、
ディジタル記録を行うものであるか、あるいはどのよう
な用途に用いるか等に応じ、種々の厚さとすればよい。There are no particular restrictions on the thickness of the magnetic layer thin film such as 9.
Various thicknesses may be used depending on whether digital recording is to be performed or what kind of use it is used for.

ただ、通常は、５００Ａ〜数μ慣程度の厚さの連続薄膜
として、可撓性基体上に形成されるものである。However, it is usually formed on a flexible substrate as a continuous thin film with a thickness of approximately 500 Å to several μm.

このような本発明における磁性層薄膜は、最も好ましい
態様においては、上記の基体上に、スパッタリングによ
って被着形成される。In the most preferred embodiment, the magnetic layer thin film according to the present invention is formed on the above-mentioned substrate by sputtering.

用いるスパッタリングとしては、いわゆるＲＦスパッタ
であっても、又いわゆるＤＣスパッタであってもよく、
その装置構成も２極、４極等いずれであってもよい。　
・更には、いわゆるマグネトロンスパッタを用いてもよ
く、又場合によっては、Ｐ等を流しな“がら行う、いわ
ゆる反応性スパッタによることもできる。The sputtering used may be so-called RF sputtering or so-called DC sputtering,
The device configuration may be either 2-pole, 4-pole, etc.
- Furthermore, so-called magnetron sputtering may be used, and in some cases, so-called reactive sputtering, which is performed while flowing P or the like, may also be used.

用いるターゲットとしては、通常の場合は、上記組成の
Ｃｏ　−ＰまたはＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ等の焼結体を用い
ればよい。In normal cases, a sintered body such as Co--P or Co--Ni--P having the above composition may be used as the target.

一方、衝−イオンのイオン源としては、通常、Ａｒ、Ｋ
ｒ、Ｘｅ等の不活性ガスを用いればよい。　そして、こ
れらの不活性ガスは、動作時において、２Ｘ１０　”Ｔ
ｏｒｒ以上の圧力に維持することが好ましい。　このよ
うな圧力未満では、得られる薄膜の磁気特性、特に保磁
力比が低下してしまうからである。On the other hand, as an ion source for negative ions, Ar, K,
An inert gas such as r, Xe, etc. may be used. And these inert gases are 2X10”T during operation.
It is preferable to maintain the pressure at or above. This is because if the pressure is less than this, the magnetic properties of the obtained thin film, especially the coercive force ratio, will deteriorate.

一方、動作時の圧力を上げれば、スパッタレートは低下
してしまう。　このため、動作時の圧力は、一般に５Ｘ
１α−”〜２Ｘ１０　”　Ｔｏｒｒ程度とすることが好
ましい。On the other hand, if the operating pressure is increased, the sputtering rate will decrease. Therefore, the operating pressure is generally 5X
It is preferable to set it to about 1α-” to 2×10” Torr.

なお、プレート電圧、プレート電流、極間間隙等には特
別の制限はなく、これらは、条件に応じ、任意の値に設
定することができる。Note that there are no particular restrictions on the plate voltage, plate current, gap between electrodes, etc., and these can be set to arbitrary values depending on the conditions.

なお、このようにして形成される磁性層薄膜上には、必
要に応じ、保護層が設層される。Note that a protective layer is provided on the magnetic layer thin film thus formed, if necessary.

、このような本発明の磁気記録媒体は、アナログないし
ディジタルの磁気記録を行う、各種磁気テープ、磁気デ
ィスク、磁気ドラム、磁気シート、磁気カード、磁気ス
ケール等として、有用であるが、％に磁気テープとして
好適である。The magnetic recording medium of the present invention is useful as various magnetic tapes, magnetic disks, magnetic drums, magnetic sheets, magnetic cards, magnetic scales, etc. for performing analog or digital magnetic recording. Suitable as tape.

■−発明の具体的効果 本発明によれば、磁性層の膜厚のバラツキがきわめて少
なく、テープ等の出方変動がきわめて小さい。(2)--Specific Effects of the Invention According to the present invention, there is very little variation in the thickness of the magnetic layer and very little variation in the way the tape comes out.

また、磁性層表面の表面性が良好であり、ヘッドタッチ
が向上し、高域の出力が高い。In addition, the surface properties of the magnetic layer are good, the head touch is improved, and the high-frequency output is high.

さらに、負荷後の残留伸びは小さく、テープの機械的強
度が高い。Furthermore, the residual elongation after loading is small and the mechanical strength of the tape is high.

また、磁性層の接着強度もきわめて高い。Furthermore, the adhesive strength of the magnetic layer is extremely high.

加えて、ＢＨルーズの減磁曲線上に２つ以上の変曲点が
生じることも少ない。In addition, two or more inflection points rarely occur on the BH loose demagnetization curve.

そして、きわめて高い保磁力を示す。It also exhibits an extremely high coercive force.

し合金からなる下 地層を用いるとぎと些較したとき、保磁力は格段と高い
ものとなる。The coercive force is much higher than that of a sword using an underlayer made of a carbonaceous alloy.

層を用い、るときと、比−較して、残留伸びが減少し、
ＢＨループ９の変形の発生が少な（なる。Compared to when using layers, residual elongation is reduced,
The occurrence of deformation of the BH loop 9 is reduced.

モし、て、スパッタ薄膜をＣｏ、−ＰまたはＣ。Then, sputter a thin film of Co, -P or C.

−Ｎｉ　−ｐ系のものとしたときには、保磁力の向上と
、残留伸びおよびＢ）ｌルーズの変形の発生の減少とに
加え、他の金属ないし合金からなる下地層を用いるとき
と比較して、磁性層の膜厚のバラつきが減少し、出方変
動が格段と減少し、また表面性が格段と良好となり、高
域出力が筒くなる。-Ni-p-based material not only improves coercive force and reduces residual elongation and B) loose deformation, but also improves coercivity compared to when using an underlayer made of other metals or alloys. , variations in the thickness of the magnetic layer are reduced, variations in the appearance are significantly reduced, the surface properties are much better, and the high-frequency output becomes more stable.

この場合、下地層をマグネシウム合金とするときには、
マグネシウ、ム下地層と比較して、接着の劣化がきわめ
て少なくなり、残留伸びが減少する。In this case, when the base layer is made of magnesium alloy,
Compared to Mg and Mn underlayers, adhesive deterioration is extremely low and residual elongation is reduced.

Ｖ実験例 本発明者らは、本発明の効果を確認するた“め種々実験
を行った。　以下にその１例を示す。V Experimental Examples The present inventors conducted various experiments to confirm the effects of the present invention. One example is shown below.

実験例１゜ 、　可撓性基体として、連続長尺の９μ鵠厚のポリエチ
レンテレフタレ、−トフィルムヲ’１６種類、用意した
。Experimental Example 1: As flexible substrates, 16 types of continuous long polyethylene terephthalate films with a thickness of 9 μm were prepared.

この１６種類の基体のうち、一つは、何ら下地層を形成
せず、また、４種には、表１に示されるように、それぞ
れ本発明に従い、Ｍｆ、Ｍｆ−１０ｗｔ％　Ａｔ−０，
１Ｍｎ　、　Ｍｆ　−９ｗｔ％Ａｔ−２Ｚｎ　−０，１
ＭｎおよびＭｆ　−４，５ｗｔ％Ｚｎ−０，７Ｚｒから
なる下地層を形成した。Among these 16 types of substrates, one does not form any underlayer, and four types have Mf, Mf-10wt% At-0, Mf-10wt% At-0,
1Mn, Mf-9wt%At-2Zn-0,1
A base layer consisting of Mn and Mf-4,5wt% Zn-0,7Zr was formed.

さらに、残り１１種には、比較のため、表１に示される
ように、それぞれ、ＡＰ、Ｃｕ。Furthermore, the remaining 11 types include AP and Cu, respectively, as shown in Table 1 for comparison.

Ａｔ、　Ｓｎ、　Ｚｎ、　Ｎｉ　％Ｔｉ　％Ｃｒ、　Ｍ
ｏ、　Ｃｕ　−Ｂｅ合金およびＳＵＳ　３０４からなる
下地層を形成した。At, Sn, Zn, Ni %Ti %Cr, M
o. A base layer made of Cu-Be alloy and SUS 304 was formed.

各下地層の形成は、ＤＣ″スパッタリングにより行った
。Each base layer was formed by DC'' sputtering.

この場合、ターゲットとし工は・、対応する金属ないし
合金を用い、プレート電圧２ＫＶ、投入電力１．８Ｗ／
−とし、衝撃イオンとしては、アルゴンを用い、動作ア
ルゴン圧は、７Ｘ１０−”Ｔｏｒｒに維持した。　　基
体を連続的に走行させ、各下地層厚がそれぞれ１００Ｏ
ＡとなるようＫした。In this case, the target is machined using a corresponding metal or alloy, plate voltage 2KV, input power 1.8W/
-, argon was used as bombardment ions, and the operating argon pressure was maintained at 7X10-''Torr.The substrate was run continuously, and the thickness of each base layer was 100O
I made K so that it would be A.

次いで、これら１６種の基体フィルムに、Ｃｏ−Ｎ１−
Ｐ＠磁性層形成した。　磁性層の形成は、やはり、ＤＣ
スパッタリングにより行った。Next, Co-N1- was added to these 16 types of base films.
A P@magnetic layer was formed. Formation of the magnetic layer is still DC
This was done by sputtering.

この場合、ターゲットとしては％　（ＣｏＱ８６Ｎｉｏ
よ５　）　ｔｉｅ　Ｐ＆組成となるように作製した焼結
体を用いた。　また、下地層におけると同様プレート電
圧は２ＫＶ、投入電圧は１．８Ｗ／ａｉ、動作アルゴン
圧は７Ｘ１０　”Ｔｏｒｒとした。In this case, the target is % (CoQ86Nio
5) A sintered body manufactured to have a tie P& composition was used. Further, as in the underlayer, the plate voltage was 2 KV, the input voltage was 1.8 W/ai, and the operating argon pressure was 7 x 10'' Torr.

上記のように下地層を形成した１０；１１［の基体厚の
上記組成のＧｏ　−Ｎｉ　−Ｐ薄膜磁性層を形成した。A Go--Ni--P thin film magnetic layer having the above composition and a substrate thickness of 10:11 was formed by forming the underlayer as described above.

次に、これらそれぞれを、３．８１鴎幅にスリットし、
常法に従い、Ｃ−１２０カセツトとした０ このように形成した１６種の媒体につき、各種特性を評
価した。Next, each of these was slit to a width of 3.81 mm,
According to a conventional method, various characteristics were evaluated for the 16 types of media thus formed into C-120 cassettes.

測定された媒体の保磁力Ｈｃを、下記表１に示す。The measured coercive force Hc of the medium is shown in Table 1 below.

次に、これら轡媒体テープに、８ＫＨｚ、ＯｄＢのシグ
ナルを記録した後、再生し、（テープ速度４．７６ｃｍ
／　Ｓｅｃ　）Ｃ−１２０テープでの出力変動中（ＶＵ
）を測定し、主として磁性層膜厚のバラツキに起因する
出力変動の大小を評価した。結果を表１に示す。Next, 8KHz, OdB signals were recorded on these media tapes and then played back (at a tape speed of 4.76cm).
/Sec) During output fluctuation on C-120 tape (VU
) was measured to evaluate the magnitude of output fluctuation mainly caused by variations in the thickness of the magnetic layer. The results are shown in Table 1.

また、主として、表面性の測知によってまじるヘシドタ
ッチを評価するため、１４ＫＨｚＭＯＬを測定した。　
結果を表ＩＫ示す。In addition, 14 KHz MOL was measured mainly to evaluate hesidian touch by measuring surface properties.
The results are shown in Table IK.

次いで、テープ強度を評価するため、各媒体を１ｍ表に
裁断し、その一端を固定してつるし、他端に、２００ｔ
の荷重を１分間かけその後の伸びを測定した。　このよ
うにして測定した残留伸び（％）を、表ＩＫ示す。Next, in order to evaluate the tape strength, each medium was cut into 1 m squares, one end of which was fixed and hung, and a 200 t tape was placed on the other end.
A load was applied for 1 minute, and the elongation was then measured. The residual elongation (%) thus measured is shown in Table IK.

これとは別に、磁性層の接着性を評価するため、各媒体
カセットテープに記録を行った後、２５℃相対湿度６０
％にて、４．７６α／　ｓｅｃの走行を５００回行い、
その後再生して、５ｄＢ以下のレベル低下が何回あるか
を測定した。Separately, in order to evaluate the adhesion of the magnetic layer, after recording on each media cassette tape,
%, run 500 times at 4.76α/sec,
After that, it was played back and the number of times the level decreased by 5 dB or less was measured.

接着性の劣化結果を表ＩＫ示す。The adhesive deterioration results are shown in Table IK.

さらに、これらとは別に、Ｃ−１２０テ一プ１巻（１７
８ｍ）＆Ｃ）き、２ｍおきに９０箇所サンプリングして
、そのＢＨループを測定し、ＢＨルーズの減磁曲線に２
つ以上の変曲点があられれる変形箇所の数を測定した。Furthermore, apart from these, one volume of C-120 tape (17
8m) & C), sampled at 90 locations every 2m, measured the BH loop, and added 2 to the BH loose demagnetization curve.
The number of deformed locations with three or more inflection points was measured.

結果を表１に示す。The results are shown in Table 1.

表１゛に示される結果から、本発明の媒体は、他の下地
層を設けるときと比較して、保磁力　、がきわめて高り
、シかも膜厚のバラつきにもとづく出力変−巾、表面性
にもとづくヘッドタッチ、残留めび、接着性、およびＢ
Ｈループの変形の発生において、すべての特性とも最も
すぐれた値を示すことがわかる。From the results shown in Table 1, the media of the present invention has an extremely high coercive force compared to the media provided with other underlayers, and the output variation and surface properties due to variations in film thickness may also be affected. Based on head touch, residual clasp, adhesion, and B
It can be seen that all characteristics exhibit the best values in the occurrence of H-loop deformation.

なお、上記各媒体につき、磁性層上Ｋ、ポリ塩化ビニリ
デンとアクリル酸エステルに、−グリセリンモノステア
レートを含有させた保護層を０．３μ鶴厚にて設層した
ところ、表１とほぼ同等の結果を得た。For each of the above-mentioned media, a protective layer containing -glycerol monostearate in polyvinylidene chloride and acrylic ester was formed on the magnetic layer at a thickness of 0.3 μm, and the results were almost the same as in Table 1. I got the result.

実験例２゜ され暮ようＫかえた他は、実験例１と全く同様に各媒体
を作製し、実験例１における各特性の評価を行った。Experimental Example 2 Each medium was prepared in exactly the same manner as in Experimental Example 1, except that the medium was changed, and the characteristics in Experimental Example 1 were evaluated.

表２に示される結果から、本発明の効果が明らかである
。From the results shown in Table 2, the effects of the present invention are clear.

代理人　弁理士　　石　井　陽　−Agent Patent Attorney Yo Ishii -

Claims (1)

【特許請求の範囲】 ｌ　可撓性基体上に、下地層を有し、当該下地層上に、
スパッタ薄膜磁性層を有する磁気記録媒体において、上
記下地層がマグネシウムから形成されてなることを特徴
とする磁気記録媒体。 ２　可撓性基体上に、下地層を有し、当該下地層上に、
スパッタ薄膜磁性層を有する磁気記録媒体において、上
記下地層がマグネシウム合金から形成されてなることを
特徴とする磁気記録媒体。[Claims] l A base layer is provided on a flexible substrate, and on the base layer,
A magnetic recording medium having a sputtered thin film magnetic layer, wherein the underlayer is made of magnesium. 2. A base layer is provided on the flexible substrate, and on the base layer,
1. A magnetic recording medium having a sputtered thin film magnetic layer, wherein the underlayer is made of a magnesium alloy.