JPS5871544A - 電子ビ−ムによる物質処理装置 - Google Patents
電子ビ−ムによる物質処理装置Info
- Publication number
- JPS5871544A JPS5871544A JP16948381A JP16948381A JPS5871544A JP S5871544 A JPS5871544 A JP S5871544A JP 16948381 A JP16948381 A JP 16948381A JP 16948381 A JP16948381 A JP 16948381A JP S5871544 A JPS5871544 A JP S5871544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- deflection
- electron
- constitution
- arcing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高速の電子ビームを当てて工作物の熱処理、
溶解、溶接などを行う電子ビームによる物質処理装置に
関するものである。
溶解、溶接などを行う電子ビームによる物質処理装置に
関するものである。
主に金属体からなる物質を処理するのに電子ビーム照射
の加熱効果を利用している装置では、電子ビーム放出源
（電子銃）付近を良い真空状態に保つ必要がある。とこ
ろが、物質（工作物）に電子ビームを入射させるとガス
が放出され、場合によってはかなりの金属ペーパーも発
生する。これらのガスや金属ペーパーが電子銃側に侵入
すると電子針のフィラメント−グリッド−アノード相互
間の電圧印加部分が短絡し電子ビーム放出電流の制御が
きかなくなるという状態（アーキング）に至シ易くなる
。
の加熱効果を利用している装置では、電子ビーム放出源
（電子銃）付近を良い真空状態に保つ必要がある。とこ
ろが、物質（工作物）に電子ビームを入射させるとガス
が放出され、場合によってはかなりの金属ペーパーも発
生する。これらのガスや金属ペーパーが電子銃側に侵入
すると電子針のフィラメント−グリッド−アノード相互
間の電圧印加部分が短絡し電子ビーム放出電流の制御が
きかなくなるという状態（アーキング）に至シ易くなる
。
例えは、電子ビームによシ工作物の済接を行う１子ビ一
ム溶接機においてアルミニウム系合金をワンパスの沼は
込み深さ数十關以上で突き合わせ溶接しようとすると、
比較的多量の金属ペーパーが電子銃側に到達しアーキン
グを訪発し易かった。
ム溶接機においてアルミニウム系合金をワンパスの沼は
込み深さ数十關以上で突き合わせ溶接しようとすると、
比較的多量の金属ペーパーが電子銃側に到達しアーキン
グを訪発し易かった。
従来、このようなアーキングの発生を抑制する対策の一
つとして電子ビームの通路を曲げるビーム偏向方式を採
用することがあった。すなわち第１図に示す如く、電子
銃１と電子レンズ２との中間に電子ビーム偏向装置３を
置く構成とし電子ビーム４の通路を曲げることにより工
作物５からの金属ペーパーカどが電子銃１１１１＋へ届
きにくいようにしている。この第１図のような構成では
、偏向系３の位置で電子ビーム４の断藺積がある程度波
がっているため電子ビーム通路もそれに応じた太さが必
要である。従ってその通路を通って相当量の金属ペーパ
ーなどが同図の上方へ向かい％電子ビーム４の偏向角を
大きくしないと電子銃への金属ペーパーなどの侵入を充
分小さくすることができない。電子ビーム４が太い領域
でそれを大きく曲げると電子ビーム４の集束状態が大幅
に乱れたシ。
つとして電子ビームの通路を曲げるビーム偏向方式を採
用することがあった。すなわち第１図に示す如く、電子
銃１と電子レンズ２との中間に電子ビーム偏向装置３を
置く構成とし電子ビーム４の通路を曲げることにより工
作物５からの金属ペーパーカどが電子銃１１１１＋へ届
きにくいようにしている。この第１図のような構成では
、偏向系３の位置で電子ビーム４の断藺積がある程度波
がっているため電子ビーム通路もそれに応じた太さが必
要である。従ってその通路を通って相当量の金属ペーパ
ーなどが同図の上方へ向かい％電子ビーム４の偏向角を
大きくしないと電子銃への金属ペーパーなどの侵入を充
分小さくすることができない。電子ビーム４が太い領域
でそれを大きく曲げると電子ビーム４の集束状態が大幅
に乱れたシ。
外部条件の変化などにより工作物５上の１子ビーム４の
入射位置が変動し易くなりたりするという欠点が牛する
。
入射位置が変動し易くなりたりするという欠点が牛する
。
この発明の目的は、従来よりも小さなビーム偏向角でア
ーキングの発生を有効に防止できる電子ビームによる物
質処理装置を提供するものである。
ーキングの発生を有効に防止できる電子ビームによる物
質処理装置を提供するものである。
そのため本発明の電子ビームによる物質処理装置は、電
子銃と工作物との中間に電子ビーム集束域を形成し、該
集束域付近に電子ビーム偏向装置と電子ビーム通過用孔
を有する隔壁（オリフィス部）を配設している。
子銃と工作物との中間に電子ビーム集束域を形成し、該
集束域付近に電子ビーム偏向装置と電子ビーム通過用孔
を有する隔壁（オリフィス部）を配設している。
この発明の内容を更に明らかにするため以下に図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
第２図は本発明による物質処理装置の一実施例としての
電子ビーム溶接機の一部断面説明図である。電子銃１（
フィラメント２１．グリッド２２．アノード塾からなる
。）が発生する電子ビーム４は予ｌ１ｌｌ集東レンズ６
で集束され集束＃’ｌ形成する。集束域７付近に電子ビ
ーム偵向装置３とオリフィス部８を設け、物質処理室９
内の工作物５側からの金属ペーパーや放出ガスの電子銃
１側への侵入を最小限度に抑えている。電子銃室１０内
のガスは排気管１１に連なる真空ポンプ系（図示せず）
で排気され、物質処理室９に設けた排気管１２にも別の
真空ポンプ系（図示せず）が接続されている。なお、中
間排気管１３を設けて前記電子銃室１０と物質処理室９
との中間段１４を排気するようにしてもよい。電子レン
ズ２が工作物５上での電子と−ム４０入射断面の大きさ
を調整（集束）シ１図示してない回転駆動系で回転され
る工作物５の継目１５に電子ビーム４を入射し接合する
。
電子ビーム溶接機の一部断面説明図である。電子銃１（
フィラメント２１．グリッド２２．アノード塾からなる
。）が発生する電子ビーム４は予ｌ１ｌｌ集東レンズ６
で集束され集束＃’ｌ形成する。集束域７付近に電子ビ
ーム偵向装置３とオリフィス部８を設け、物質処理室９
内の工作物５側からの金属ペーパーや放出ガスの電子銃
１側への侵入を最小限度に抑えている。電子銃室１０内
のガスは排気管１１に連なる真空ポンプ系（図示せず）
で排気され、物質処理室９に設けた排気管１２にも別の
真空ポンプ系（図示せず）が接続されている。なお、中
間排気管１３を設けて前記電子銃室１０と物質処理室９
との中間段１４を排気するようにしてもよい。電子レン
ズ２が工作物５上での電子と−ム４０入射断面の大きさ
を調整（集束）シ１図示してない回転駆動系で回転され
る工作物５の継目１５に電子ビーム４を入射し接合する
。
この第２図のような機成をとることによりアーキング対
策のための所要偏向角は従来の第１図の如き構成の場合
の約半分あるいはそれ以下（例えば従来４０°偏向して
いた所を２０＠偏向で同程度以上の効果が得られる。）
ですむようになる。そして第２図で図示したように電子
ビーム４をその細くなった領域で偏向しているので偏向
角が小さいことともあいまって偏向用磁界（あるいは電
界）分布の不均一などに基づくビーム集束への悪影ＷＦ
ｉ非常に小さくなシ、また偏向角を小さくできるので電
子ビーム照射位置の安定性が向上し、更に装置製作が容
易になるなど多大な集用的効果が得られる。
策のための所要偏向角は従来の第１図の如き構成の場合
の約半分あるいはそれ以下（例えば従来４０°偏向して
いた所を２０＠偏向で同程度以上の効果が得られる。）
ですむようになる。そして第２図で図示したように電子
ビーム４をその細くなった領域で偏向しているので偏向
角が小さいことともあいまって偏向用磁界（あるいは電
界）分布の不均一などに基づくビーム集束への悪影ＷＦ
ｉ非常に小さくなシ、また偏向角を小さくできるので電
子ビーム照射位置の安定性が向上し、更に装置製作が容
易になるなど多大な集用的効果が得られる。
第１図は従来の電子ビーム溶接機をビーム偏向系などを
示す説明図、＠２図は本発明の電子ビームによる物質処
理装置の一実施例を示す一部断面図である。 ｌ・・・・・・電子銃、２・・・・・・電子レンズ、３
・・・・・・電子ビーム偏向装置％ ４・・・・・・電
子ビーム、５・・・・・・工作物、６・・・・・・予備
集束レンズ、７・・・・・・集束域、８・・・・・・オ
リアイス部、９・・・・・・物質処理室、１０・・・・
・・電子銃＊、１１．１２・・・・・・排気管。
示す説明図、＠２図は本発明の電子ビームによる物質処
理装置の一実施例を示す一部断面図である。 ｌ・・・・・・電子銃、２・・・・・・電子レンズ、３
・・・・・・電子ビーム偏向装置％ ４・・・・・・電
子ビーム、５・・・・・・工作物、６・・・・・・予備
集束レンズ、７・・・・・・集束域、８・・・・・・オ
リアイス部、９・・・・・・物質処理室、１０・・・・
・・電子銃＊、１１．１２・・・・・・排気管。
Claims (1)
- 電子ビーム放出源（電子銃）と工作物との中間に電子ビ
ーム集束域を形成し、骸集束域付近に電子ビーム偏向装
置と電子ビーム通過用孔を有する隔壁（オリアイス部）
を配設してなる電子ビームによる物質処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16948381A JPS5871544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子ビ−ムによる物質処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16948381A JPS5871544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子ビ−ムによる物質処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5871544A true JPS5871544A (ja) | 1983-04-28 |
Family
ID=15887369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16948381A Pending JPS5871544A (ja) | 1981-10-23 | 1981-10-23 | 電子ビ−ムによる物質処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5871544A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110838427A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-25 | 中国航空制造技术研究院 | 一种用于熔丝增材制造的电子枪装置 |
-
1981
- 1981-10-23 JP JP16948381A patent/JPS5871544A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110838427A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-25 | 中国航空制造技术研究院 | 一种用于熔丝增材制造的电子枪装置 |
| CN110838427B (zh) * | 2019-11-20 | 2022-04-29 | 中国航空制造技术研究院 | 一种用于熔丝增材制造的电子枪装置 |
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