JPS586132A - 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 - Google Patents
電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法Info
- Publication number
- JPS586132A JPS586132A JP56104024A JP10402481A JPS586132A JP S586132 A JPS586132 A JP S586132A JP 56104024 A JP56104024 A JP 56104024A JP 10402481 A JP10402481 A JP 10402481A JP S586132 A JPS586132 A JP S586132A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflection
- correction
- circuit
- electron beam
- scanning
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子ビーム露光装置における電子ビーム偏肉補
正方法とその装置に関する。
正方法とその装置に関する。
電子ビーム露光装置には電子ビームを偏向するためO偏
向器が用iもれて一為、鎗記働崗IIO偏向感1′#1
lRIIIi数に対′して一電ではなく、高−周緻数に
一均1しては儒肉感j11が低下して(To畳倫を有し
”thゐ@11目的には馬−陶皺黴管で7ラツト電もO
が良%/%0″tIあるが、夷−には高−馬毅黴になる
と角電#l勢の影響によ)儒崗感II!が低下してくる
。
向器が用iもれて一為、鎗記働崗IIO偏向感1′#1
lRIIIi数に対′して一電ではなく、高−周緻数に
一均1しては儒肉感j11が低下して(To畳倫を有し
”thゐ@11目的には馬−陶皺黴管で7ラツト電もO
が良%/%0″tIあるが、夷−には高−馬毅黴になる
と角電#l勢の影響によ)儒崗感II!が低下してくる
。
(1)式は、従来性なわれてvhた偏向量の鴫!管機わ
す式である。
す式である。
(1)弐Kか−て、ム〜D紘X軸◇補正係歇鳶−H、#
iy軸の補正係数で6カ、ム、Iはジアジl1lE量、
11、Fはアイー身rtイI補正係数、c、oは間転補
正係数、F、iiは台形歪補正係数である・崗tX e
Yは補正鍾個肉量、X’、71は補正偏向量である・ 〈υ弐Itch−て、高−周波微1c対する偏向感旋〇
低下は74−ル、P貨イI@正係歇の低下をil昧する
。
iy軸の補正係数で6カ、ム、Iはジアジl1lE量、
11、Fはアイー身rtイI補正係数、c、oは間転補
正係数、F、iiは台形歪補正係数である・崗tX e
Yは補正鍾個肉量、X’、71は補正偏向量である・ 〈υ弐Itch−て、高−周波微1c対する偏向感旋〇
低下は74−ル、P貨イI@正係歇の低下をil昧する
。
謝1gは傭向感fO低下による−一□IIa−化t示す
図である。装置が要求している線幅Fi(i)に示す線
1を要求していたとする。しかしながら繰シ返し周期が
短い走査で行なった場合には偏向感度が低下してしまい
、(b)に示す線幅しか得る・ことがで亀ない。
図である。装置が要求している線幅Fi(i)に示す線
1を要求していたとする。しかしながら繰シ返し周期が
短い走査で行なった場合には偏向感度が低下してしまい
、(b)に示す線幅しか得る・ことがで亀ない。
近年に至り、電子レジスト等や露光感度が向上し、露光
時間を短縮するため、走査線の速度は高速化してきた。
時間を短縮するため、走査線の速度は高速化してきた。
しかしながら前記偏向感度の高域での低下によって高速
化には限度があった。
化には限度があった。
本発明の目的に電子ビーム露光装置における高速走査を
行なっても偏向感度が一定となる電子ビーム偏向補正方
式を提供することにある。
行なっても偏向感度が一定となる電子ビーム偏向補正方
式を提供することにある。
本発明の%黴とするとζろは電子ビーム露光装置におい
て、走査速度によって決定される偏向信号の繰〕返し周
期に対応した予め求めたメモリに格納されている偏向感
度補正データを用いて描画矩形の走査幅の補正を行なう
電子ビーム偏向補正方式を提供すると七にある。
て、走査速度によって決定される偏向信号の繰〕返し周
期に対応した予め求めたメモリに格納されている偏向感
度補正データを用いて描画矩形の走査幅の補正を行なう
電子ビーム偏向補正方式を提供すると七にある。
以下、本発明の実施例を用いて本発明の詳細な説1lI
Iを行なう。
Iを行なう。
111図は本穐@O與論例である。走査信号軸生回路3
0偏向l出力4は偏向補正回路zの偏向量入力6に、走
査幅デーI出カフは繰)返し111g算出回絡8の走査
幅データ入カ参にそれヤれ蒙続畜れる。繰〉返し周期算
出am魯t)In、夕入力10にはクロック趨路11が
接続されて−る。繰)返し絢期算出回路80周期算出出
力l雪はアドレスセレクタ13【介して偏肉感度補正メ
峰914のアドレス11に入る。偏向感度補正メモリ1
44D補正出力16は偏向感度補正量W14!111路
170補正入力111に入る。フィーkftイI補正係
歇1は偏向感度補正量−瞥鵡路170補正係数入力l−
に入る。偏向感度補正量gp**a路17の出力2゜は
偏向補正回路5の補正入力21に入る。偏肉補正回路5
の出力22は偏向アンf2aを介して偏向コイル24に
接続される。
0偏向l出力4は偏向補正回路zの偏向量入力6に、走
査幅デーI出カフは繰)返し111g算出回絡8の走査
幅データ入カ参にそれヤれ蒙続畜れる。繰〉返し周期算
出am魯t)In、夕入力10にはクロック趨路11が
接続されて−る。繰)返し絢期算出回路80周期算出出
力l雪はアドレスセレクタ13【介して偏肉感度補正メ
峰914のアドレス11に入る。偏向感度補正メモリ1
44D補正出力16は偏向感度補正量W14!111路
170補正入力111に入る。フィーkftイI補正係
歇1は偏向感度補正量−瞥鵡路170補正係数入力l−
に入る。偏向感度補正量gp**a路17の出力2゜は
偏向補正回路5の補正入力21に入る。偏肉補正回路5
の出力22は偏向アンf2aを介して偏向コイル24に
接続される。
走査信号置去回路3によってll生された偏向量XFi
偏向補正回路6に入る。鵞た走査幅データは繰ル返し周
期算゛出回路8において繰)返し周期が求められる。繰
p返し周期算出−路8にて求めら九た#虻繰夛返し周期
はアドレスセレクタ13によって周期に対応したアドレ
スに変換される。アドレスセレクタ13の出力は偏向感
度補正メモリ14のアドレスに入)、前記繰シ返し周期
に対応し大偏向感度補正値4Bを選択する。前記−向感
度補正メモ1714の出力すなわち偏向感度補正値iB
は偏向感度補正量調整回路17に入シ、他の入力すなわ
ち、フィールドサイズ補正係数Bと前記偏向感度補正量
調整回路17で加算される。偏向感度補正量調整回路1
7の出力信号すなわち(B+ΔB)は偏向補正回路5に
入る。偏向補正回路5では先に入力された偏向量Xと前
記(Bx4B)とさらに予め前記偏向補正回路内に格納
されているシフト補正量ム、回転補正係数C1台形歪補
正係数Ft用いて補正後偏向量X′ヲ求める。偏向補正
回路5においては(2)式のような計算が行なわれる。
偏向補正回路6に入る。鵞た走査幅データは繰ル返し周
期算゛出回路8において繰)返し周期が求められる。繰
p返し周期算出−路8にて求めら九た#虻繰夛返し周期
はアドレスセレクタ13によって周期に対応したアドレ
スに変換される。アドレスセレクタ13の出力は偏向感
度補正メモリ14のアドレスに入)、前記繰シ返し周期
に対応し大偏向感度補正値4Bを選択する。前記−向感
度補正メモ1714の出力すなわち偏向感度補正値iB
は偏向感度補正量調整回路17に入シ、他の入力すなわ
ち、フィールドサイズ補正係数Bと前記偏向感度補正量
調整回路17で加算される。偏向感度補正量調整回路1
7の出力信号すなわち(B+ΔB)は偏向補正回路5に
入る。偏向補正回路5では先に入力された偏向量Xと前
記(Bx4B)とさらに予め前記偏向補正回路内に格納
されているシフト補正量ム、回転補正係数C1台形歪補
正係数Ft用いて補正後偏向量X′ヲ求める。偏向補正
回路5においては(2)式のような計算が行なわれる。
X−ム+(1千B+ΔII)X+CY+DXY (
2)(2)式Fi(1)式の右辺#!2項のXの係数に
iBが加わったものである。すなわち、ノBが従来、走
査幅によって偏向感度が異なりてしまう一1itを補正
するも(5) のである。
2)(2)式Fi(1)式の右辺#!2項のXの係数に
iBが加わったものである。すなわち、ノBが従来、走
査幅によって偏向感度が異なりてしまう一1itを補正
するも(5) のである。
偏向補正回路5の出力すなわち補正後偏向量X′は偏向
アンプに入夛、偏向アンlではX’0 @を増幅して偏
向コイル24に出力すゐ。
アンプに入夛、偏向アンlではX’0 @を増幅して偏
向コイル24に出力すゐ。
実施例で#iX軸のみKついて説明したが、Y軸も同様
にして行なうことがで龜る。そO場合には(3)式に示
す計算が偏向補正回路器で行なわれる。
にして行なうことがで龜る。そO場合には(3)式に示
す計算が偏向補正回路器で行なわれる。
Y’−E+(HF+)F)Y+GX+ HXY
(3)第2図の本発明の実施例において、偏向
補正回路5の各係数A、C,Dが予め格゛納されている
場合について説明したが、これは外部から入力すること
も可能である。さらにり■、り回路11は繰シ返し周期
算出回路80周期#19!におけるクロ。
(3)第2図の本発明の実施例において、偏向
補正回路5の各係数A、C,Dが予め格゛納されている
場合について説明したが、これは外部から入力すること
も可能である。さらにり■、り回路11は繰シ返し周期
算出回路80周期#19!におけるクロ。
りを与えているものであ)、繰シ返し周期算出回路8内
に有することもできる。
に有することもできる。
以上、本発明の集施例會用いて本発@を詳細にわたりて
説明した。本発明の電子ビーム偏向補正方式によれば、
走査密度によって決定される偏向信号の繰〕返し周期に
対応した偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査幅
の補正を行なうこと(6) によシ、高速走査が可能となる。
説明した。本発明の電子ビーム偏向補正方式によれば、
走査密度によって決定される偏向信号の繰〕返し周期に
対応した偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査幅
の補正を行なうこと(6) によシ、高速走査が可能となる。
第1図は走査線を示す図、第2図は零発−の実施例を示
す図である。 3・・・走査信号発生回路、5・−偏向補正回路、8・
・・繰シ返し周期算出回路、13−アドレスセレクタ、
14・・・偏向感度補正メモリ、17・・・偏向感度補
正量駒整回路。
す図である。 3・・・走査信号発生回路、5・−偏向補正回路、8・
・・繰シ返し周期算出回路、13−アドレスセレクタ、
14・・・偏向感度補正メモリ、17・・・偏向感度補
正量駒整回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)描−矩形の走査幅を決める走査信号発生手段と前記
走査信号の繰シ返し周期を算出する周期算出手段と前記
周期に対応した偏向感度の補正値ムるζ七を41黴とす
る電子ビーム露光装置。 2) 走査適度によりて決定される偏向信号の繰 −p
返し周期に対応した予め求めたメモリに格納されて−る
偏向感度補正データを用いて描画矩形の走査−の補正を
行なうことを特徴とする電子ビーム偏向補正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56104024A JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56104024A JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS586132A true JPS586132A (ja) | 1983-01-13 |
Family
ID=14369682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56104024A Pending JPS586132A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 電子ビ−ム露光装置および電子ビ−ム偏向補正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS586132A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60119199A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
JPH07177599A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-07-14 | Ge Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子の製造方法及び超音波探触子 |
DE202010018479U1 (de) | 2009-10-02 | 2017-01-10 | Tgw Mechanics Gmbh | Fördereinrichtung mit verbesserter Positionserkennung geförderter Objekte |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP56104024A patent/JPS586132A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60119199A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子 |
JPH051680B2 (ja) * | 1983-11-30 | 1993-01-08 | Yokokawa Medeikaru Shisutemu Kk | |
JPH07177599A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-07-14 | Ge Yokogawa Medical Syst Ltd | 超音波探触子の製造方法及び超音波探触子 |
DE202010018479U1 (de) | 2009-10-02 | 2017-01-10 | Tgw Mechanics Gmbh | Fördereinrichtung mit verbesserter Positionserkennung geförderter Objekte |
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