JPS5859740A - Vacuum workpiece holder - Google Patents
Vacuum workpiece holderInfo
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- JPS5859740A JPS5859740A JP15336382A JP15336382A JPS5859740A JP S5859740 A JPS5859740 A JP S5859740A JP 15336382 A JP15336382 A JP 15336382A JP 15336382 A JP15336382 A JP 15336382A JP S5859740 A JPS5859740 A JP S5859740A
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- vacuum
- workpiece
- workpiece holder
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/01—Means for holding or positioning work
- B26D7/018—Holding the work by suction
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワークピースを保持する真空チャック（９）
あるいは同様のデバイスに関し、詳細には、チャックが
調整なしで各種の異なったサイズのワークピースを取り
扱うことができ、かなり小容量の真空源しか必要とせず
、しかもワークピースによって覆われない部分にいかな
るマスキングあるいけ他のシーリングも必要としないと
いう前述のデバイスにおける改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum chuck (9) or similar device for holding workpieces, in particular the chuck is capable of handling workpieces of various different sizes without adjustment and has a considerable It concerns an improvement in the aforementioned device which requires only a small vacuum source and does not require any masking or other sealing on the parts not covered by the workpiece.
本発明が関係する汎用形の真空ワークピースホルダーは
周知であり９例えば米国特許第２，６９４，３３７号、
第２，９９３，８２４号及び第３，２９４，３９２号中
に開示されている。このような従来技術のデバイスにお
いては、ワークピース支持表面は真空チャンバーあるい
は他の真空空間の上にある多孔性部材を備えている。ワ
ークピースが支持表面上に配置された時に、真空空間か
ら多孔性部材を通る真空圧力がワークピースの底面に加
えられ、大気圧と共にこのワークピースをしっかりと支
持表面に押しつける力をワークピースに加えさせる。し
かし。General-purpose vacuum workpiece holders to which the present invention pertains are well known,9 e.g., U.S. Pat.
No. 2,993,824 and No. 3,294,392. In such prior art devices, the workpiece support surface comprises a porous member overlying a vacuum chamber or other vacuum space. When the workpiece is placed on the support surface, vacuum pressure from the vacuum space through the porous member is applied to the bottom surface of the workpiece, which together with atmospheric pressure exerts a force on the workpiece that presses the workpiece firmly against the support surface. let but.
ワークピースが支持表面を全て覆うことができない場合
には、その露出部分を通った空気洩れが。If the workpiece cannot cover all of the supporting surface, air leaks through its exposed parts.
（１０）
しけしは真空空間の真空圧力の低下により不適当な保持
力をワークピースに与えたり、あるいは洩れにも関わら
ず真空空間の実質的な真空を保持できる極めて大容量の
真空ポンプを必要とさせる。(10) Pressure pumps either provide inadequate holding force to the workpiece due to reduced vacuum pressure in the vacuum space, or require extremely large capacity vacuum pumps that can maintain a substantial vacuum in the vacuum space despite leaks. Let it be.
この洩れの問題を解決するために、米国特許第２．６９
４．６３７号は、ワークピースにより覆われた支持部拐
のその部分だけを多孔性にするために個々に開かれある
いは閉じられる支持部材に接続された極めて多数の弁を
開示している。米ＶｊＪ％許第３．２９４，３９２号は
、真空空間への空気洩れを７−ルするために、支持表面
の露出部分上に空気不透過性プラスチックシートあるい
はブランケットを使用することを開示している。To solve this leakage problem, U.S. Patent No. 2.69
No. 4.637 discloses a large number of valves connected to a support member that are individually opened or closed in order to render porous only that part of the support member covered by the workpiece. No. 3,294,392 discloses the use of an air-impermeable plastic sheet or blanket over the exposed portion of the support surface to prevent air leakage into the vacuum space. There is.
米国特許第２，６９４．３３７号及び米国特許第６．２
９４，３９２号により示唆された漏れ問題の解決法は両
刀共に欠乏を有している。U.S. Patent No. 2,694.337 and U.S. Patent No. 6.2
The solution to the leakage problem suggested by No. 94,392 has deficiencies on both sides.
本発明の目的は、これらの特許により開示されたデバイ
スの形式の改良である改良された真空チャックあるいは
ワークピースホールグーを提供することである。It is an object of the present invention to provide an improved vacuum chuck or workpiece hoist that is an improvement on the types of devices disclosed by these patents.
（１］）
本発明の別の目的は５次に続くワークピースが同じ大き
さのものか異なった大きさのものかに無関係に、あるワ
ークピースから別のワークピースへ切り換える時に、マ
スキング、パルピング（ｖａｌｖｉｎｇ）あるいは支持
部材の他の条件づけを必要とせずに広い範囲のワークピ
ース係合ズを取り扱うことができる真空チャックあるい
はワークピース係合ノ４゛−を提供することである。す
なわち５本発明のワークピースボールダーは、ワークピ
ースが比較的無孔性であり支持表面の形状に一般に順応
するあるいは順応できる底面を崩している場合にたけ、
馬えられたいかなるワークピースも直ちに受は取り十分
に保持し、広いザイズ範囲内にある。(1]) Another object of the present invention is to perform masking, pulping, and It is an object of the present invention to provide a vacuum chuck or workpiece engager 4 that can handle a wide range of workpiece engagers without the need for valving or other conditioning of the support member. That is, the workpiece boulder of the present invention is suitable for cases where the workpiece is relatively non-porous and has a collapsed bottom surface that generally conforms or is capable of conforming to the shape of the supporting surface.
Any workpiece picked up can be immediately picked up and held well within a wide size range.
本発明の別の目的は９人手及び動作することが割合安価
である比較的小容量のポンプあるいは他の真空源だけを
必要とする前述の特性をもった真空チャックあるいはワ
ークピースホールグーを提供することである。It is another object of the present invention to provide a vacuum chuck or workpiece hole having the aforementioned characteristics that requires only 9 hands and a relatively small capacity pump or other vacuum source that is relatively inexpensive to operate. That's true.
本発明の別の目的は、剛性のあるいは半剛性の（１２）
ブロック、金属のプレートあるいはシート、木あるいは
プラスチックあるいは紙のフレキンブルシート、カード
ボード、プラスチックあるいは合成祠料等の曲面あるい
は平面の底面を有する各種の異なった形式のワークピー
ス向けに設計されこれに使用される前述の特性をもった
ワークピースホールグーを提供することである。Another object of the invention is to provide curved or flat bottom surfaces of rigid or semi-rigid (12) blocks, metal plates or sheets, flexible sheets of wood or plastic or paper, cardboard, plastic or synthetic abrasives, etc. It is an object of the present invention to provide a workpiece hole goo having the above-mentioned characteristics that is designed and used for various types of workpieces having different types of workpieces.
本発明の他の目的及び利点は以下の詳細な説明及び添伺
図面及び特許請求の範囲から明らかである。Other objects and advantages of the invention will be apparent from the following detailed description and accompanying drawings, and from the claims.
本発明は、互いに分離されかつワークピース保持面積上
に分布された複数の吸引セルにより、ワークピース係合
できる表面の部分及び他の部分からなるワークピース保
持面積を確定する手段を備えるワークピースホールグー
にある。各吸引セルの外向き面は付加のワークピース支
持を与えるために空所の部分及びワークピースに係合で
きる材料の表面の他の部分から成るように全く空所かあ
るいはスクリーン状の性質のものである。各吸引セルは
、セル面の空所部分９面積より数倍小さい（１３）
実効断面積を有する制限を含む排他的に接続された流通
路によって真空空間に接続され、これによりセルがワー
クピースにより覆われない時には大気から真空空間への
空気の極めて小さい流れだけを可能にししかしワークピ
ースにより覆われた時にはセル面の空所面積が真空にさ
れることを決して可能にしない。The present invention provides a workpiece hole with means for determining a workpiece holding area consisting of a part of the workpiece engageable surface and another part by means of a plurality of suction cells separated from each other and distributed over the workpiece holding area. It's in Goo. The outward facing surface of each suction cell is entirely void or screen-like in nature, consisting of a portion of the void and another portion of the surface of the material capable of engaging the workpiece to provide additional workpiece support. It is. Each suction cell is connected to the vacuum space by an exclusively connected flow channel containing a restriction with an effective cross-sectional area several times smaller than the area of the void part 9 of the cell surface (13), which allows the cell to be When uncovered it allows only a very small flow of air from the atmosphere into the vacuum space, but when covered by the workpiece it never allows the void area of the cell face to be evacuated.
本発明はまたワークピースをホールグー上に置きかつこ
のホールグーから取り除くために真空空間から真空を通
す通気弁を備えた吸引セルの各種の異なった構造にあり
、この吸引セルは一様な大きさで及び／あるいはワーク
ピース保持面上に分布しているかあるいは一様でない大
きさで及び／あるいはワークピース保持面上に分布して
いる。The invention also resides in different constructions of suction cells with vent valves for passing vacuum from the vacuum space to place the workpiece on the hole goo and to remove it from the hole goo, the suction cell being of uniform size. and/or distributed on the workpiece holding surface or with non-uniform size and/or distributed on the workpiece holding surface.
本発明のワークピースホールグ゛−は、実質的に無孔性
であって割合なめらかな底面を有する各種の異なった大
きさ及び形式のワークピースに使用するために設計され
た。ワークピースが平面あるいは曲面の底面によって剛
性がある場合には、真空ホールグーは順応する平面のあ
るいは曲面のワ（１４）
−クピース支持表面を有するように設計されている。ワ
ークピースが支持表面の各種の異なった形状に順応でき
るフレキンプル材料片である場合には、ワークピースホ
ールダーは支持表面の形状がどのようであろうともワー
クピースが加工されながら所望の条件にワークピースを
保持する必要かあるように設計されでいる。ワークピー
スホールダーは丑だ地面あるいは他の支持部材に対して
静止しておりかつ手あるいは機械により移動される工具
あるいは器具と共に使用されるか、あるいはこのボール
ダーが手あるいは機械により移動できかつ静止した工具
あるいは器具と共に使用される。The workpiece hole ring of the present invention is designed for use with a variety of different sizes and types of workpieces that are substantially non-porous and have a relatively smooth bottom surface. If the workpiece is rigid with a flat or curved bottom surface, the vacuum hole is designed with a compliant flat or curved workpiece support surface. If the workpiece is a flexible piece of material that can conform to a variety of different shapes of the supporting surface, the workpiece holder is capable of adjusting the workpiece to the desired conditions while it is being machined, whatever the shape of the supporting surface. It's designed to hold whatever you need it to. The workpiece holder is used with a tool or implement that is stationary relative to a ground or other support member and is moved by hand or machine, or the workpiece holder is used with a tool or implement that is stationary and that is moveable by hand or machine and is stationary. Or used with equipment.
本発明の実施例では、ワークピースホールダーは平らな
ワークピース支持表面を有するように示されかつ一般に
静止特性のものとして示されているが、支持表面のこの
ような平面性及びホールダーの静止特性は本発明に必須
では７′ｔくかつ例示のためにたけ選択されている。Although in embodiments of the present invention the workpiece holder is shown as having a flat workpiece support surface and is generally shown as having static characteristics, such planarity of the support surface and the static characteristics of the holder are Only 7' are essential to the invention and have been selected for illustrative purposes only.
第１図、第２図及び第６図において１本発明ヶ具体化し
たワークピース係合表面−１４が示され（１５）
ている。このワークピースホールダーはワークピースと
係合する表面２０及び分布した複数の吸引セル２２．２
２を含む上向き加工面１８を与えるメインプレート１６
を備えている。このメインプレー１・１６は、金属ある
いはプラスチック等の空気不透過性＠別の剛体２４から
成り、かつその頂部表面上にラテックス、ネオプレン、
シリコンゴムあるいはウレタン等の弾性材料からなる層
２６を１賄えている。この層２６は摩擦表面として機能
し、ワークピース保持面積上のワークピースろ１（第１
図）の滑りを抑止しかつワークピースとこのワークピー
スが覆うセル２２．２２との間シールを促進する。しか
し９層２６はすべての場合に必要ではなく、所望ならば
省くことができる。この層２６は、剛体２４の頂部表面
上にスプレーあるいは塗布することにより、あるいは剛
体２４の頂部表面に刺着された別個のシート接着剤ある
いは他のものとして付着することにより伺加される。In FIGS. 1, 2, and 6, one embodiment of the workpiece engaging surface 14 of the present invention is shown (15). The workpiece holder has a workpiece-engaging surface 20 and a plurality of distributed suction cells 22.2.
A main plate 16 providing an upwardly facing machining surface 18 containing 2
It is equipped with This main play 1, 16 consists of another air-impermeable rigid body 24, such as metal or plastic, and on its top surface latex, neoprene, etc.
One layer 26 made of an elastic material such as silicone rubber or urethane is provided. This layer 26 acts as a friction surface and serves as a friction surface for the workpiece filter 1 (first
(Fig.) and promotes a seal between the workpiece and the cell 22.22 it covers. However, nine layers 26 are not necessary in all cases and can be omitted if desired. This layer 26 is applied by spraying or painting onto the top surface of the rigid body 24, or by depositing it as a separate sheet of adhesive or otherwise affixed to the top surface of the rigid body 24.
ホールダー１８の真空セル２２．２２は、ワークピース
係合表面２０と同じ高さの上向き開口面（１６）
２９．２９を有する円筒形くぼみ２８．２８により形成
されている。ワークピース係合表面２０はくぼみ２．．
８ 、２８間にのびかつこれらを完全に取り囲んでおり
、そのため各くぼみを互いに表面２０内に配置された線
に涜って空間的に分離する。The vacuum cell 22.22 of the holder 18 is formed by a cylindrical recess 28.28 with an upwardly facing open surface (16) 29.29 flush with the workpiece engaging surface 20. The workpiece engaging surface 20 has an indentation 2. ．．
8, 28 and completely surrounds them, thus spatially separating each recess from each other by a line located in the surface 20.
くぼみは実質的に一様な大きさ及び形状のものであって
、ワークピース保持面１８上に均等に分布している。く
ぼみは円形断面のものとして示されているが、これは決
定的なことではなく、所望ならば任意の他の断面もとり
得る。The depressions are of substantially uniform size and shape and are evenly distributed on the workpiece holding surface 18. Although the recesses are shown as being of circular cross-section, this is not critical and may take any other cross-section if desired.
くぼみ２８．２８の下には真空空間あるいはチャンバー
３０が図示のようにプレート１６にシール状に伺加され
た底部プレート３２によって覆われたメインプレート１
６の底部内の空胴により確定されている。真空空間ろ０
の一部分はくぼみ２８．２８の各々の下にあり、各くぼ
みはそれぞれくぼみの底部から真空空間にのひた小開口
３４からなる排他的な流通路によって真空空間に接続さ
れている。開口３４の実効直径はその関連したくぼみ２
８の外向面の面積より数倍小さく、その（１７）
結果この面がワークピースにより覆われない時には極め
て少量の空気だけが所与の時間内に大気からこの開口を
通って真空空間へ流れる。すなわち。Below the recesses 28 and 28 a vacuum space or chamber 30 is formed as shown in the main plate 1 covered by a bottom plate 32 which is sealingly added to the plate 16.
6 is defined by the cavity in the bottom. Vacuum space 0
A portion of the recesses 28, 28 lies beneath each recess 28, each recess being connected to the vacuum space by an exclusive flow path consisting of a small opening 34 extending from the bottom of the recess into the vacuum space. The effective diameter of the aperture 34 is the diameter of its associated recess 2
8 is several times smaller than the area of the outward facing surface of (17) so that when this surface is not covered by the workpiece, only a very small amount of air flows from the atmosphere through this opening into the vacuum space in a given time. Namely.
開口３４はその小さい断面積及びその長さの両方のため
にそこを流れる空気流に対して高い抵抗性を与える制限
として機能する。このように、ワークピース３１がまず
ホールレダー１４」二に置かれた時に、覆われたくぼみ
２８．２８に関連する孔３４．３４は空気がこのくぼみ
から排出されることを可能にし、くほみを真空にしかつ
ワークピース保持力を発生する。この覆われたくぼみの
真空化はくぼみの容積がかなり小さいために極めて迅速
に行なわれる。しかし、ワークピースによっては覆われ
ないま＼残ったくぼみ２８．２８に関しては、開口３４
．３４を通って流れる空気の全量は許容できる真空がか
なり小さい容量の真空ポンプ３５（第６図）によっても
真空空間６０内に維持できるほど依然として十分に小さ
い。吸引セルの数、大きさ、形状及び間隔、開口３４．
３４の大きさ、及び真空ポンプ３５の太きさげホールダ
（１８）
−が設けられる使用装置に極めて大きく依存している。The opening 34 acts as a highly resistant restriction to the airflow flowing therethrough both due to its small cross-sectional area and its length. Thus, when the workpiece 31 is first placed on the hole radar 14'', the hole 34.34 associated with the covered recess 28.28 allows air to escape from this recess and the recess to create a vacuum and generate workpiece holding force. Vacuuming of this covered recess takes place very quickly because of the relatively small volume of the recess. However, with respect to the recess 28.28 that remains uncovered by the workpiece, the opening 34
．． The total amount of air flowing through 34 is still small enough that the permissible vacuum can be maintained within vacuum space 60 even by a vacuum pump 35 (FIG. 6) of much smaller capacity. Number, size, shape and spacing of suction cells, openings 34.
34 and the thickness of the vacuum pump 35 are extremely dependent on the equipment used in which the lower holder (18) is provided.
しかし、１例として、ホールダーは図示のように１２行
及び１２列に清って互いに１インチ離れた直径３／４イ
ンチの円筒形くぼみ２８．２８によって決定される１４
４個の吸引セル２２．２２を有し、開口３４．３４はほ
ぼ０．０１０インチの直径と約１／８インチの長さとを
もっている。このような構成のホールダーによって、１
／８馬力のモーターによって駆動される真空ポンプ３５
はホールダーを正しく作用させるのに十分である。とに
かく、ホールダーに使用されるポンプあるいけ他の真空
源の容量は、ワークピースが全く面１８上に受けられな
かった結果として吸引セル２２．２２の全部が露出され
た時に真空空間６０内に約５インチの水銀より大きい適
当な真空を維持することができるような程度である。However, as an example, the holder may be defined by 3/4 inch diameter cylindrical recesses 28.28 spaced 1 inch apart from each other in 12 rows and 12 columns as shown.
There are four suction cells 22.22, and the apertures 34.34 have a diameter of approximately 0.010 inch and a length of approximately 1/8 inch. With a folder configured like this, 1
Vacuum pump 35 driven by /8 horsepower motor
is sufficient to make the holder work properly. In any case, the capacity of the pump or other vacuum source used in the holder is such that approximately Such is the extent that a suitable vacuum of greater than 5 inches of mercury can be maintained.
図示のように、真空ポンプ３５は真空空間３０とつなが
っている真空ライン３乙によってホールダ−１４に接続
されている。好適には真空ポンプはホールダーが異なっ
た連続するワークピースに（１９）
使用されても連続的に動作するようなものである。As shown, the vacuum pump 35 is connected to the holder 14 by a vacuum line 3 which is connected to the vacuum space 30. Preferably, the vacuum pump is such that it operates continuously even if the holder is used for different successive workpieces (19).
ホールダーに対してワークピースを前後に移動するため
に、ホールダーは図示のようにベント３８とこのベント
内にマニュアル動作弁４０とを含んでいる。To move the workpiece back and forth relative to the holder, the holder includes a vent 38 and a manually operated valve 40 within the vent as shown.
図示弁４０はばね４２により閉じた位置に上方へ偏移さ
れ、開いた位置にマニュアルに押し下けられる。開いた
位置でポート４４がベント３８に一直線になり、真空空
間６０を大気へ通気する。The illustrated valve 40 is biased upwardly into a closed position by a spring 42 and manually pushed down into an open position. In the open position, port 44 is aligned with vent 38 and vents vacuum space 60 to atmosphere.
そのため、ワークピースがホールシダ−１８」二に配置
されるべき時に、弁４０が押し下げられ真空空間ろ０を
通気する。この通気が作用している間。Therefore, when the workpiece is to be placed in the hole cedar 18, the valve 40 is depressed to vent the vacuum space filter 0. While this ventilation is in action.
ワークピースは保持面１８上に置かれ、この保持面上を
容易にすべることができこれを所望の位置まで運ぶ。弁
４０は次に解放されベントろ８を閉じ、空間３０を真空
にしかつ覆われた吸引セル２２．２２を通してワークピ
ースに真空を与える。The workpiece is placed on the holding surface 18, on which it can easily slide to bring it to the desired position. Valve 40 is then opened to close vent filter 8, evacuate space 30 and apply vacuum to the workpiece through covered suction cell 22.22.
ワークピースをホールダーから取り除くために。To remove the workpiece from the holder.
弁４０は再び押し下げられ、真空を真空空間から及び覆
われた吸引セルから解放し、これにより保（２０）
持方をワークピースから取り除きかつこれをホールダー
から容易に持ち上げられることを可能にする。The valve 40 is pressed down again, releasing the vacuum from the vacuum space and from the covered suction cell, thereby removing the retainer (20) from the workpiece and allowing it to be easily lifted from the holder.
第４図、第５図及び第６図は別の実施例のワークピース
係合表面−４６を示している。ホールダー４６は面５０
上に一様に分布した均一な大きさの複数の円筒形くぼみ
５２．５２を有する平らな頂部表面５０を備えるメイン
プレート４８を含んでいる。頂部表面５０は次にフレキ
シブルシート５乙により覆われ、このシート５３の頂部
表向がホールダーに加工面５６を与える。このシートは
好適にはその上のワークピースのすべりを抑止する摩擦
特性をその表面に与える材料からできている。4, 5, and 6 illustrate another embodiment of the workpiece engaging surface-46. Holder 46 has surface 50
It includes a main plate 48 with a flat top surface 50 having a plurality of uniformly sized cylindrical indentations 52,52 evenly distributed thereon. The top surface 50 is then covered by a flexible sheet 5B, the top surface of which provides a working surface 56 for the holder. The sheet is preferably made of a material that provides its surface with frictional properties that inhibit sliding of the workpiece thereon.
この材料はまた好適にはワークピースの底面とホールダ
ーの吸引セルとの間のシールを助ける弾性材料である。This material is also preferably an elastic material that aids in the seal between the bottom surface of the workpiece and the suction cell of the holder.
各種の異なった材料がシート５３に使用でき１例えばウ
レタンあるいはネオプレンのシートである。くぼみ５２
．５２を覆いこれらと整合するシートの面積はホールダ
ー４６の吸引セル５８．５８から成り、吸引セル５８．
５８を囲（２１）
む頂部シートの面積はワークピース係合表面６０である
。A variety of different materials can be used for sheet 53, such as urethane or neoprene sheets. Hollow 52
．． The area of the sheet covering and aligned with the suction cells 58.52 of the holder 46 consists of the suction cells 58.58 of the holder 46.
The area of the top sheet surrounding (21) 58 is the workpiece engaging surface 60.
ホールダ−１４のものと同様の真空空間６０がホールタ
ー４６内に含凍れ、くぼみ５２．５２の各々の下にある
。各〈ぼみ５２と真空空間３０との間の連結は各くぼみ
の底部のかなり大きい開口６２により与えられる。この
連結はくぼみと真空空間との間の空気の流れに実質的な
抵抗を与えない。各吸引セル５８と真空空間６０との間
の流通路に制限を与える手段はシート５３内の小開口６
４により与えられ、各吸引セル５８に１つの開口６４が
ある。A vacuum space 60 similar to that of holder 14 is contained within halter 46 and under each of the recesses 52,52. Connection between each well 52 and the vacuum space 30 is provided by a sizable opening 62 at the bottom of each well. This connection provides no substantial resistance to air flow between the cavity and the vacuum space. The means for restricting the flow path between each suction cell 58 and the vacuum space 60 is a small opening 6 in the sheet 53.
4, with one opening 64 in each suction cell 58.
各〈ぼみ５２内に発生された真空は第５図に示されたよ
うにシート５３０重なった部分をその中に引き、これに
より吸引セル５８．５８に吸引カップの形状及び外形を
与える。そのため、ワークピース係合表面６０と同じ高
さにある各吸引セルの上向きあるいは外向き面６６は完
全に空隙である。第５図のワークピース３１等がホール
グー４６上に置かれた時に、ワークピースにより覆さく
２２）
れたセル５８．５８は開口６４．６４を介して空気を引
くことによって真空化される。この真空圧力は覆われた
セルの開口頂部面６６．６６を通ってワークピース２８
の底面に与えられ、ホールダーに向かって下方にワーク
ピースに衝き当る保持力を発生する。これが生じた時に
、シート５３はワークピース２８とプレート４８との間
で押され。The vacuum created within each well 52 draws the overlapping portions of sheets 530 therein as shown in FIG. 5, thereby giving the suction cells 58,58 the shape and contour of a suction cup. As such, the upwardly facing or outwardly facing surface 66 of each suction cell, which is flush with the workpiece engaging surface 60, is completely void. When a workpiece 31, etc. of FIG. 5 is placed on the hole goo 46, the cells 58,58 covered by the workpiece 22) are evacuated by drawing air through the openings 64,64. This vacuum pressure passes through the open top surface 66,66 of the covered cell to the workpiece 28.
is applied to the bottom surface of the holder to generate a holding force that strikes the workpiece downward toward the holder. When this occurs, sheet 53 is pressed between workpiece 28 and plate 48.
各覆わわた吸引セル５８及びワークピース底部の縁の周
りにンールを形成し、外部空気のセル内への漏れを抑止
する。A noon is formed around the edges of each covered suction cell 58 and the bottom of the workpiece to prevent external air from leaking into the cell.
再び、ホールダ−１４の開口３４．ろ４に関して、開口
６４．６４を形成する制限の太きさけ。Again, the opening 34 of the holder 14. Regarding the filter 4, the thickness of the limit forming the opening 64.64.
極めて小さいので、覆われないセル５８．５８を介して
流れる空気の全量は覆われないセルの数に無関係に比較
的小さい容量の真空源によって、適当な真空度が真空空
間６０内に維持できるほど十分に小さい。It is so small that the total amount of air flowing through the uncovered cells 58, 58 can be maintained in the vacuum space 60 by a vacuum source of relatively small capacity, regardless of the number of uncovered cells. Small enough.
第６図に示されるように、ホールダ−４６の各穴６４は
、シート５３を通して押されるドリルあおるいは加熱貫
通工具によって形成されるような（２３）
個別の開口である。しかし、別の形式の開口も設けるこ
とができ、その別の形式の１例として第７図は、いかな
る材料をも取り除かずに鋭い刃をシート５６を介して押
しつけることによって形成された小スリットからなる開
口６４′を開示している。As shown in FIG. 6, each hole 64 in holder 46 is a separate opening (23) such as that formed by a drill or heated penetration tool forced through sheet 53. However, other types of openings can also be provided, one example of which is shown in FIG. 7 from a small slit formed by forcing a sharp blade through the sheet 56 without removing any material. An opening 64' is disclosed.
関連のくぼみが真空にされた時に、スリット６４′は空
気がこのスリットを通ってくぼみ内に流れることを可能
にするだけ十分に開く。When the associated cavity is evacuated, the slit 64' opens sufficiently to allow air to flow through the slit and into the cavity.
第４図、第５図及び第６図のホールダーにおいて、くぼ
み５２．５２は空であり、その結果くぼみが真空にされ
た時にシート５３０重なった部分がくぼみ内の真空度に
応じた可変量及びシート材料の弾性によりくぼみ内に引
き込まれる。シート５ろがある場合に望捷しい極めて薄
いならば、シートラくぼみ５２．５２に引き込むことは
シートを破ったり、あるいはシートをくぼみの底部に係
合して開口６４．６４のいくつかを閉じてしまう。In the holders of FIGS. 4, 5, and 6, the recesses 52,52 are empty so that when the recesses are evacuated, the overlapping portion of the sheets 530 is reduced by a variable amount depending on the degree of vacuum within the recesses. The elasticity of the sheet material draws it into the recess. If the sheet 5 is extremely thin, which is desirable if the sheet 5 is present, drawing the sheet into the recess 52.52 will either tear the sheet or close some of the openings 64.64 by engaging the sheet at the bottom of the recess. Put it away.
これを防止するために、各くぼみは比８図のホールダ−
４６′に示されたようにプレート４８の頂部表面５０よ
り少したけ低く配置された頂部表面を（２４）
有するフェルトあるいは焼結金属のブロック等の空気通
過性介挿物６８を備えている。従って、第８図に示され
たように、介挿物６８．６Ｂはくぼみ５２．５２内に引
き込まれるシート５ろの部分を係合させ、シーＩ・５６
の不要な伸びあるいは他の望ましくない変形を伴なわず
に吸引セル５８゜５８の生成を可能にする。To prevent this, each recess should be
An air permeable insert 68, such as a block of felt or sintered metal, is provided having a top surface (24) located slightly lower than the top surface 50 of plate 48, as shown at 46'. Thus, as shown in FIG.
This allows the creation of suction cells 58° 58 without unnecessary stretching or other undesirable deformations.
前述のホールダ−１４及び４６の各々において。In each of the aforementioned holders 14 and 46.
各吸引セルはワークピースに全く支持を与えない完全に
空の外側面を有している。ワークピースの支持は各種の
セルを取り囲んだワークピース係合表面により完全に与
えられる。そのため、これらのホールダーは、吸引セル
により占められた面積内に支持力がないことにより軍人
に変形されない比較的剛性のワークピースに使用するの
に適する。Each suction cell has a completely empty outer surface that provides no support to the workpiece. Workpiece support is provided entirely by workpiece engaging surfaces surrounding the various cells. These holders are therefore suitable for use with relatively rigid workpieces that will not be deformed by military personnel due to the lack of supporting forces within the area occupied by the suction cells.
しかし、これらは紙あるいは同様の薄いフレキシブルワ
ークピースを保持することを十分には行なえはい。この
問題を解決しこのようなフレキシブルワークピース用ホ
ールダーを提供するために。However, these do not adequately hold paper or similar thin flexible workpieces. To solve this problem and provide a holder for such flexible workpieces.
吸引セルはこの吸引セルの面にワークピース支持（２５
）
力を与えるように部分的に空隙でかつ部分的にワークピ
ース底部に係合する材料から成るスクリーン状外側面を
有するように設計されている。第９図、第１０図及び第
１１図はこのように構成された６つのホールダーを開示
している。これらのホールダーは第１図ないし第３図の
ホールダー１４と同様に大きい部分にあり、かつ同じ参
照査号が与えられ再び説明する必要がないホールダ−１
４の部分と同じ部分にある。The suction cell has a workpiece support (25
) Designed with a screen-like outer surface of material that is partially void and partially engages the bottom of the workpiece to provide a force. 9, 10 and 11 disclose six holders configured in this manner. These folders are in a large part similar to folder 14 in Figures 1 to 3, and are given the same reference numbers and do not need to be described again.
It is in the same part as part 4.
第９図は各くぼみ２８がワークピース係合表面２０と同
じ高さの頂部表面８０を有する空気通過性介挿物７Ｂで
満たされたホールダー７６を示している。例えば、各介
挿物８０は焼結金属あるいは剛性フェルトからできてい
る。FIG. 9 shows a holder 76 in which each recess 28 is filled with an air permeable insert 7B having a top surface 80 flush with the workpiece engaging surface 20. FIG. For example, each insert 80 is made of sintered metal or rigid felt.
第１０図は各くぼみがこのくぼみの肩付上側部分に受け
られる剛性金属あるいはプラスチックから成る開口ブレ
ートによりホールダーに関連されるホールダー８２を示
している。各プレート８４は、プレート１６のワークピ
ース係合表面２０と同じ高さの頂部表面８６を有し、及
びこれを通り（２６）
かつ下にあるくぼみ２８．２８の各々とつながっている
多数のかなり大きい直径の開口９４，９４１４１えてい
る。従って、１つのくぼみ２８に関連しかつ輿１１図に
破線９６で四重れている開口９４．９４の各クラスタは
１つの吸引セルを含み。FIG. 10 shows a holder 82 in which each recess is associated with the holder by an aperture plate of rigid metal or plastic received in the shouldered upper portion of the recess. Each plate 84 has a top surface 86 that is flush with the workpiece engaging surface 20 of plate 16, and has a number of wells extending therethrough (26) and communicating with each of the underlying recesses 28, 28. Large diameter openings 94, 94141 are provided. Thus, each cluster of openings 94.94 associated with one recess 28 and quadrupled by dashed lines 96 in the drawing 11 contains one suction cell.
吸引セル面９６．９６の間のシート９２の頂部表面がホ
ールグ−１４のワークピース係合面２０と同様のワーク
ピース係合面２０’を力える。The top surface of the sheet 92 between the suction cell surfaces 96.96 forces a workpiece engaging surface 20' similar to the workpiece engaging surface 20 of the hole group 14.
前述のホールグーの全てにおいて、吸引セルは実質的に
一様な大きさでかつワークピース保持面」二に均一に分
布されて示されている。しかし、これは必ずしも必要で
はなく、小さいワークピースが常にワークピース保持面
の１つの位置に配置きれるべきことがわかっているなら
ば、多数のかなり小さい太きさの吸引セルをその位置に
与えること及び一般にその位置からの距離が増加される
につれて徐々に吸引セルの大きさ及び間隔を増加させる
ことが望ましい。このようなホールグーは例えば第１２
図に９８で示され、−１８だ複数の吸引セル１００，１
００を含んでいる。これらの吸引セ（２７）
ルはその大きさ及び分布を除いては前述のセルどれか１
つに同じであり、ホールグ−９８の残りの構造も前述の
ホールグーのどれか１つに等しい。In all of the foregoing holes, the suction cells are shown to be substantially uniform in size and uniformly distributed on the workpiece holding surface. However, this is not necessarily necessary, and if it is known that a small workpiece should always be able to be placed in one position on the workpiece holding surface, then a number of suction cells of fairly small diameter can be provided in that position. and it is generally desirable to gradually increase the size and spacing of the suction cells as the distance from their location is increased. Such a hall goo is, for example, the 12th
A plurality of suction cells 100,1 indicated at 98 in the figure and -18
Contains 00. These suction cells (27) are similar to any of the cells described above except for their size and distribution.
The remaining structure of Hall-Goo-98 is also equal to any one of the Hall-Goos described above.
ボールター９８はワークピース保持面１０２を有し、こ
の面１０２の２つの縁に清ってワークピースを保持面子
に正しく位置決めするのを助けるために２つの直線縁１
０４及び１０６を有している。The vaulter 98 has a workpiece holding surface 102 with two straight edges 102 on the two edges of this surface 102 to aid in properly positioning the workpiece on the holding surface.
04 and 106.
短形のワークピースを取り扱う時には、ワークピースは
その縁の２つを動かしそれぞれ直線縁１０４及び１０６
に係合することによりホールグー９８」二に配置される
。；ｆ：のため、小さいワークピースは第１２図に示さ
れたように、常にホールグーの上側左手隅に配置される
。これを保持する際に。When handling a rectangular workpiece, the workpiece moves two of its edges, straight edges 104 and 106 respectively.
By engaging with the hole 98, it is placed in the second hole. ;f: Therefore, the small workpiece is always placed in the upper left-hand corner of the hole goo, as shown in FIG. in holding this.
ワークピース保持面１０．２の上側左手隅にある真空空
間１００，１００は比較的小さい大きさのものでありか
つ互いに比較的に接近して配置されているが、別の吸引
セル１００，１００が大きさが増大し、上側左手隅から
の距離が増すにつれてより広く配置される。この吸引セ
ルの配列は、かなリノ数の吸引セルが小さいワークピー
スにより覆（２８）
われ−７Ｃわ、にふされしい保持力を力え、−力同時に
。The vacuum spaces 100, 100 in the upper left-hand corner of the workpiece holding surface 10.2 are of relatively small size and are arranged relatively close to each other, whereas further suction cells 100, 100 It increases in size and is placed wider as the distance from the upper left-hand corner increases. This arrangement of suction cells is such that the suction cells of the Kana Reno number can be covered by a small workpiece (28) and apply a suitable holding force to the workpiece.
セルが一様な大きさ及び一様な分布の場合よりも少ない
数の吸引セルを露出して残すことにより真空空間への空
気の漏れを低減する。大きいワークピースがホールグー
９８の上に置かれた時に、覆われた吸引セルはワークピ
ースをホールグーに保持する十分な力を与える。上側左
手隅からはなれた面積にある広い間隔の大きい吸引セル
はワークピースの先端を保持するのに十分でるる。By leaving fewer suction cells exposed than if the cells were of uniform size and uniform distribution, air leakage into the vacuum space is reduced. When a large workpiece is placed on the hole goo 98, the covered suction cell provides sufficient force to hold the workpiece on the hole goo. Large, widely spaced suction cells in the area remote from the upper left-hand corner are sufficient to hold the tip of the workpiece.
第４図、第５図及び第６図のホールグー４６に関連して
、頂部シート５６は１％定のワークピースに必要とされ
る開口６４．６４をユーザーがその中にパンチする（
ｐｕｎＣｈ ｉｎｇ ）無孔性シートとしてユーザーに
供給される。つ捷り１例えば、ホールグーが大きいワー
クピース保持面積と多数のくぼみ５２．５２を持ってい
る場合である。使用できるワークピース保持面積よりも
実質的に小さいワークピースを保持するためホールグー
を使用した時には、オペレータはワークピースで覆われ
るくぼみ用の開口だけを力えるためにシートに開口（２
９）
６４．６４をパンチする。勿論、頂部シートは取り替え
ることかでき、必要に応じて新しい無孔性シートが使用
されパンチされる。壕だ、このパンチプロセスは容易で
あり少ない費用で行なうことができる。In conjunction with the holes 46 of FIGS. 4, 5, and 6, the top sheet 56 has openings 64, 64 required for the 1% workpiece into which the user punches (
punchChing) is supplied to the user as a non-porous sheet. For example, if the hole has a large workpiece holding area and a large number of recesses 52.52. When using a hole gourd to hold a workpiece that is substantially smaller than the available workpiece holding area, the operator must open the opening (2
9) Punch 64.64. Of course, the top sheet can be replaced and a new non-porous sheet can be used and punched if necessary. Well, this punching process is easy and can be done at low cost.
第１図は本発明を具体化した真空ワークピースホールグ
ーあるいはチャックを示す胴伊１図、第２図は第１図の
線２−２に清ってとられた部分縦断血図、第６図は真空
ポンプと結合された第１図のワークホールグーを示す斜
視図、第４図は本発明の別の実施例のワークホールグー
を示す斜視図。
第５図は第４図の線５−５に市ってとられた部分縦断面
図、第６図は第４図のデバイスの真空セルの１つの面を
示す部分平面図、第７図は第６図と同様であるがホール
グーの頂部シート内に開口を決める制限の別の形式を示
す図、第８図は第５図と同様であるが本発明の別の実施
例を示す図、第９図は本発明の更に別の実施例のワーク
ホールグーの一部分を示す部分断面余１祝図、第１０図
は第（３０）
９図と同様であるが本発明の別の実施例のワークピール
ダーを示す図、第１１図は第９図と同様であるが本発明
の更に別の実施例のワークホールダーを示す図、第１２
図は本発明の別のワークホールダーを示す余１視図であ
る。
１４ ：ワークピースホールダー １６ 二メインプレ
ート１８：ワークピース保持而２２：吸引セル２４：空
気不透過性剛体２６：弾 性層２８：〈 ぼみ
６０：真空空間ろ１：ワークピース ３４＝小 開
ロ３５：真空ポンプ ４０：弁
特許出願人 ガーバー・サイエンティフィック・プロ
ダクツ・インコーホレーテッド
（３１）
Ｗ 市1 is a diagram showing a vacuum workpiece hole or chuck embodying the present invention; FIG. 2 is a partial vertical cross-sectional diagram taken along line 2-2 of FIG. 1; FIG. 4 is a perspective view showing the work hole of FIG. 1 combined with a vacuum pump, and FIG. 4 is a perspective view of the work hole of another embodiment of the present invention. 5 is a partial longitudinal cross-sectional view taken along line 5--5 of FIG. 4; FIG. 6 is a partial plan view showing one side of the vacuum cell of the device of FIG. 4; and FIG. FIG. 6 is a view similar to FIG. 6 but showing another form of restriction for defining an opening in the top sheet of the hole goo; FIG. 8 is a view similar to FIG. 5 but showing another embodiment of the invention; Figure 9 is a partial cross-sectional view showing a part of the work hole in yet another embodiment of the present invention, and Figure 10 is similar to Figure 9 (30), but shows a workpiece in another embodiment of the present invention. Figure 11, which shows a peeler, is similar to Figure 9, but shows a work holder according to yet another embodiment of the invention, Figure 12.
The figure is a first perspective view showing another work holder of the present invention. 14: Workpiece holder 16 Two main plates 18: Workpiece holder 22: Suction cell 24: Air impermeable rigid body 26: Elastic layer 28: < Indentation
60: Vacuum space 1: Workpiece 34 = Small open 35: Vacuum pump 40: Valve patent applicant Gerber Scientific Products, Inc. (31) W City
Claims (1)
性材料からなるワークピース保合表面をなし他の部分が
この面積上に分布した複数の吸引セルをなしているこの
ワークピース保持面積を確定する手段と、真空源に接続
するように設けられた真空空間を確定する手段と、各流
通路が前記セルの１つの外向き面と前記真空空間との間
にのびた複数の流通路を確定する手段とを有し、前記セ
ルが前記表面に設けられた線に清って互いに空間的に分
離されるように各セルが完全に前記ワークピース係合表
面の部分により囲まれ、更に各セルはその面が空隙部分
の少なくとも１部分をなしている前記ワークピース係合
表面と同じ高さの外向き面を有している形式の真空ワー
クピースホールダーにおいて、前記流通路確定手段は、
真空が前記真空空間（６０）内に発生された時に実質的
な圧力降（１） 下が制限の両端間に発生するように前記吸引セル（２２
，５８，１００）の関連の１つの前記空隙部分の面Ｃ２
９，６６）の面積より数倍小さい実効断面積を有する制
限を確定する手段（３４，６４’。 ６４′）を前記流通路の各々に備えており、かつ前記吸
引セルの関連の１つの前記面（２９，６６）がワークピ
ースにより覆われていないことを特徴とする真空ワーク
ピースホールダー。 （２、特許請求の範囲第（１１項において、前記ワーク
ピース保持面を確定する手段がその頂部表面上に分布し
た複数のくぼみ（２８，２８）を壱する頂部表面（１８
）を有するプレート（１６）を備え、前記くぼみが前記
吸引セル（２２，２２）から成り、前記くぼみ間に位置
した前記頂部表面の部分が前記ワークピース係合表面を
含むことを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （３）特許請求の範囲第（２）項において、前記真空空
間（゛ろＯ）の一部分が前記くほみ（２８，２８）の各
々の下に配置され、前記制限確定手段が前記流通路の各
々に対し、関連のくぼみの底部から前（２） 記真空空間へ通る小開口（６４）を含むことを特徴とす
る真空ワークピースホールダー。 （４）特許請求の範囲第＋１１項において、前記ワーク
ピース保持面を確定する手段が、その上に分布した複数
のくぼみ（５２，５２）を有する頂部表面（５０）を有
するプレート（４８）と、前記プレートの前記頂部表面
上にひろがりかつ前記くぼみを覆う空気不透過性フレキ
シブル材料からなるシート（５３ンとを備え、該シート
がこのシートを通りかつ前記くぼみの各々とつながって
いる複数の小開口（６４，６４’）を含み、前記シート
の外側上に位置し前記くぼみと整合する空間が前記吸引
セル（５８，５８）をなし、そして前記シート内の小開
口が前記制限をなすことを特徴とする真空ワークピース
ホールダー。 （５）特許請求の範囲第（４）項において、空気不透過
性フレキシブル材料からなる前記シート（５３）は弾性
材側のシートから成ることを特徴とする真空ワークピー
スホールダー。 （６）特許請求の範囲第（４）項において、前記空気（
３） 不透過性フレキシブル材料の７−ト（５３）が実質的に
ウレタン材の７−トから成ることを特徴とする真空ワー
クピースホールダー。 （７）特許請求の範囲第（４）項において、前記小開口
（６４）の各々が前記シート材における個別の穴である
ことを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （８）特許請求の範囲第（４）項において、前記小開口
（６４’）の各々が前記シート材におけるスリットであ
ることを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （９）特許請求の範囲第（４）項ないしく８）の１にお
いて、前記真空空間（ろ０）の１部分が前記くぼみの各
々の下に配置され、前記流通路確定手段が前記〈はみの
各々の底部から前記真空空間へのびたかなり大きい開口
（６２）を含むことを特徴とする真空ワークピースホー
ルダー。 （１０）特許請求の範囲第（４）項ないしく８）の１に
おいて、更に、前記フレキシブル材のシートが該シート
の底部表面と頂部表面との間に存在する圧力差（４） により前記くぼみ（５２）内に引き込１れた時に。 各介挿物が前記くぼみ（５２，５２）の各１つを受けか
つ前記フレキシブル材のシート（５３）の関連部分の底
部表面に係合しこれを支持するように構成された複数の
かなり剛性の空気通過性介挿物（６８，６８）を含むこ
とを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （１１）特許請求の範囲第００）項において、前記介挿
物（６８，６８）がフェルト片から成ることを特徴とす
る真空ワークピースホールダー。 （１２、特許請求の範囲第（１０）項において、前記介
挿物（６８，６８）が焼結金属片から成ることを特徴と
する真空ワークピースホールダー。 （１３）特許請求の範囲第（１）項において、前記ワー
クピース保持面を確定する手段が、その上に分布した複
数のくぼみ（２８，２８）を有する頂部表面（２０）を
有するプレート（１６）と、前記くぼみを受ける複数の
かなり剛性の空気通過性介挿物（７８，８４）とを備え
、前記プレートの頂部表面の前記くぼみ間に位置した部
分が前記ワークピ（５） 一ス係合表面をなし、前記介挿物が前記ワークピース係
合表面と同じ高さの外向き面（８０，８６）を有し、前
記介挿物の各々が前記吸引セルの各１つをなすことを特
徴とする真空ワークピースホールダー。 （１４）特許請求の範囲第（１３）項において、更に、
前記介挿物（７８，７８）の各々が焼結金属片であるこ
とを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （！５）特許請求の範囲第（１３）項において、谷介挿
物（８４，８４）の各々が、一般的にその頂部表面に垂
直にこれを通る複数の個別の開口を有する剛性部材から
成ることを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （１６）特許請求の範囲第（１３）項において、前記真
空空間（３０）の１部分が前記くぼみの各々の下に配置
され、＠配流通路の各々に対して制限を確定する手段が
関連のくぼみの底部から前記真空空間に通る小開口（ろ
４）をなしていることを特徴とする真空ワークピースホ
ールダー。 （１７）特許請求の範囲第（１）項において、前記ワー
（６） クピース保持面を確定する手段が、その」−に分布した
複数のくぼみ（２８，２８）を有する頂部表面を有する
プレート（＋６）と、前記プレートの前記頂部表面を覆
っている剛性シー） （９２）とを備え。 前記シート（９２）が前記くぼみの各々に対して前記シ
ートを通り、かつ前記吸引セルの１つを確定する前記く
ぼみとつながっている複数の個別の開口（９４，９４）
を有することを特徴とする真空ワークピースホールダー
。 （１８）特許請求の範囲第（１号項において、更に、前
記真空空間（ろ０）の１部分が前記くぼみの各々の下に
配置され、前記流通路の各々に対して制限を確定する手
段が関連のくぼみの底部から前記真空空間へ通る小開口
（３４）から成ることを特徴とする真空ワークビースホ
ールダー。 （１９）特許請求の範囲第ｉｌ＋ 、 ＋２１ 、 （
４） 、 （１３）〜（１７）のうちの１において、前
記真空空間（３０）と大気との間にのびるベント（３８
）を確定する手段と。 前記ベントを選択的に開放及び閉成する弁（４０）とを
含む真空ワークビースホールダー。 （７） （２、特許請求の範囲第０９）において、更に、前記弁
（４０）が、前記ベントを閉じる位置までこの弁を偏位
する手段（４２）と、この弁をマニュアルに前記偏移手
段の力にさからって前記ベントを開放する位置まで移動
するマニュアル動作手段とを備えることを特徴とする真
空ワークビースホールダー。 （２、特許請求の範囲第＋１１項において、更に、前記
吸引セル（２２，５８、Ｉ Ｄｏ）の全てが、実質的に
一様な大きさで、かつ前記ワークピース保持面上に実質
的に一様に分布した形状である外向き面（２９，６６）
を有することを特徴とする真空ワークピースホールダー
。 （２、特許請求の範囲第（１）において、更に、前記ワ
ークピース保持面が、小面積の外向き面を有しかつ互い
に対して密着して配置された吸引セル（１００，１０［
１）を含む１方の部分と、かなり大きい面積の外向き面
を有しかつ互いにかなり広く配置された吸引セル（１０
０，１００）を含む他方の部分とを有することを特徴と
する真空シー（８） クビースホールダー。 〔２、特許請求の範囲第＋１１項において、真空源（３
５）が前記真空空間（３０）に接続され、前記吸引セル
（２２，５８，１００）の全てがワークピースによって
覆われなかった時に実質的な真空が前記真空源によって
前記真空空間内に維持できるように前記制限（３４、６
４、６４’）の大きさ及び前記真空源の容量が決められ
ていることを特徴とする真空ワークピースホールダー。 （２、特許請求の範囲第（１）項において、真空源（３
５）が前記真空空間（６０）に接続され、前記吸引セル
（２２，５８，１００）の全てがワークピースによって
覆われなかった時にはソ５インチの水銀あるいはそれよ
り大きい真空が前記真空源の動作によって前記真空空間
内に維持できるように前記制限（３４、６４、６４’）
の大きさ及び前記真空源の容量が決められていることを
特徴とする真空ワークビースホールダー。[Scope of Claims] (1) A part of the workpiece holding area forms a workpiece holding surface made of an air-impermeable material, and another part forms a plurality of suction cells distributed over this area. means for defining a piece holding area; means for defining a vacuum space arranged to connect to a vacuum source; and means for defining a flow path, each cell being completely surrounded by a portion of the workpiece engaging surface such that the cells are spatially separated from each other along lines provided on the surface. , further comprising: a vacuum workpiece holder of the type in which each cell has an outwardly facing surface coplanar with said workpiece engaging surface whose surface forms at least a portion of the void portion; teeth,
The suction cell (22) is arranged such that when a vacuum is created within the vacuum space (60) a substantial pressure drop (1) occurs between the ends of the restriction.
, 58, 100), the surface C2 of one of the void portions related to
means (34, 64'. 64') for determining a restriction having an effective cross-sectional area several times smaller than the area of the area of the suction cell (34, 64';64') and of the associated one of the suction cells; Vacuum workpiece holder, characterized in that the faces (29, 66) are not covered by the workpiece. (2. Claim No. 11, wherein the means for defining the workpiece holding surface comprises a top surface (18, 28) distributed on the top surface thereof.
), the recesses comprising the suction cells (22, 22), and the portion of the top surface located between the recesses comprising the workpiece engaging surface. workpiece holder. (3) In claim (2), a portion of the vacuum space (28) is arranged under each of the holes (28, 28), and the limit determining means is arranged in the flow path. 2. A vacuum workpiece holder characterized in that it comprises, for each of the above, a small opening (64) passing from the bottom of the associated recess into the vacuum space. (4) According to claim no. , a sheet (53) of air-impermeable flexible material extending over the top surface of the plate and covering the recesses, with a plurality of small holes passing through the sheet and communicating with each of the recesses. that a space containing an opening (64, 64') and located on the outside of said sheet and aligned with said depression constitutes said suction cell (58, 58), and that a small opening in said sheet constitutes said restriction; A vacuum workpiece holder characterized by: (5) A vacuum workpiece according to claim (4), characterized in that the sheet (53) made of an air-impermeable flexible material is made of a sheet on the elastic material side. Piece holder. (6) In claim (4), the air (
3) A vacuum workpiece holder, characterized in that the 7-t (53) of impermeable flexible material consists essentially of 7-t of urethane material. (7) A vacuum workpiece holder according to claim (4), characterized in that each of said small openings (64) is an individual hole in said sheet material. (8) A vacuum workpiece holder according to claim (4), characterized in that each of the small openings (64') is a slit in the sheet material. (9) In Claims (4) to 8)-1, a portion of the vacuum space (filter 0) is arranged under each of the recesses, and the flow path determining means is arranged so that the A vacuum workpiece holder characterized in that it includes a sizable opening (62) extending from the bottom of each of the holes into said vacuum space. (10) Claims (4) to 8)(1), further comprising: the sheet of flexible material forming the indentation due to a pressure difference (4) existing between a bottom surface and a top surface of the sheet. (52) When you are drawn inside. a plurality of substantially rigid inserts, each insert configured to receive a respective one of said recesses (52, 52) and to engage and support a bottom surface of an associated portion of said sheet (53) of flexible material; A vacuum workpiece holder characterized in that it comprises an air permeable insert (68, 68). (11) A vacuum workpiece holder according to claim 00, characterized in that the inserts (68, 68) are made of felt pieces. (12) A vacuum workpiece holder according to claim (10), characterized in that the inserts (68, 68) are made of a sintered metal piece. (13) Claim (10) ), wherein the means for defining said workpiece holding surface comprises a plate (16) having a top surface (20) with a plurality of indentations (28, 28) distributed thereon, and a plurality of large plates receiving said indentations. a rigid air permeable insert (78, 84), the portion of the top surface of the plate located between the recesses forming a first engagement surface for the work piece (5); A vacuum workpiece holder characterized in that the vacuum workpiece holder has an outwardly facing surface (80, 86) flush with the workpiece engaging surface, each of said inserts forming a respective one of said suction cells. (14) ) In claim (13), further:
Vacuum workpiece holder, characterized in that each of said inserts (78, 78) is a piece of sintered metal. (!5) In claim (13), each valley insert (84, 84) comprises a rigid member having a plurality of discrete openings therethrough generally perpendicular to its top surface. A vacuum workpiece holder characterized by: (16) According to claim (13), a portion of the vacuum space (30) is arranged below each of the recesses, and means for determining a restriction are associated with each of the distribution passages. A vacuum workpiece holder characterized in that a small opening (filter 4) is formed through the bottom of the recess into the vacuum space. (17) In claim (1), it is provided that the means for defining the workpiece holding surface comprises a plate (6) having a top surface having a plurality of indentations (28, 28) distributed therein; +6) and a rigid sheath (92) covering said top surface of said plate. a plurality of individual openings (94, 94) through which the sheet (92) passes for each of the recesses and communicates with the recess defining one of the suction cells;
A vacuum workpiece holder characterized by having: (18) Claim No. 1, further comprising a portion of the vacuum space (filter 0) disposed below each of the recesses, and means for determining a restriction for each of the flow passages. vacuum workpiece holder, characterized in that the opening (34) passes from the bottom of the associated recess into the vacuum space. (19) Claims il+, +21, (
4) In one of (13) to (17), a vent (38) extending between the vacuum space (30) and the atmosphere;
). a valve (40) for selectively opening and closing said vent. (7) In (2. Claim No. 09), the valve (40) further includes means (42) for deflecting the valve to a position where the vent is closed; A vacuum workpiece holder comprising: manual operation means for moving the vent to a position where the vent is opened against the force of the means. (2. Claim No. Outward facing surface (29,66) with uniformly distributed shape
A vacuum workpiece holder characterized by having: (2. Claim No. (1) further provides suction cells (100, 10[
1) and suction cells (10
0.0,100). [2. In claim No. +11, a vacuum source (3)
5) is connected to the vacuum space (30) and a substantial vacuum can be maintained in the vacuum space by the vacuum source when all of the suction cells (22, 58, 100) are not covered by a workpiece; The said limit (34, 6
4,64') and the capacity of the vacuum source is determined. (2. In claim (1), a vacuum source (3)
5) is connected to the vacuum space (60), and when not all of the suction cells (22, 58, 100) are covered by the workpiece, a vacuum of 5 inches of mercury or greater is applied to the operation of the vacuum source. the restriction (34, 64, 64') so that it can be maintained within the vacuum space by
A vacuum workpiece holder characterized in that the size of the vacuum workpiece and the capacity of the vacuum source are determined.
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