JPS5855376A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPS5855376A JPS5855376A JP56152140A JP15214081A JPS5855376A JP S5855376 A JPS5855376 A JP S5855376A JP 56152140 A JP56152140 A JP 56152140A JP 15214081 A JP15214081 A JP 15214081A JP S5855376 A JPS5855376 A JP S5855376A
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- Japan
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- sintered body
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- sintered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社窒化アル1=ウム焼結体の製造方法に係り、′
1LKWIpじくは、窒化アル之ニウム自身が本質的に
有している高熱伝導性等の優れた諸特性を略その11維
持・発揮して−ると共に、高緻密質である窒化アル1=
ウム焼結体の製造方法に関する。
1LKWIpじくは、窒化アル之ニウム自身が本質的に
有している高熱伝導性等の優れた諸特性を略その11維
持・発揮して−ると共に、高緻密質である窒化アル1=
ウム焼結体の製造方法に関する。
窒化アル1=ウム(AJN )焼結体は、耐熱性、耐食
性及び耐熱衝撃性などの高温材貴とし【の必須の特徴を
有していると共に1高熱伝導性を有する材料とし【注目
を集めている。
性及び耐熱衝撃性などの高温材貴とし【の必須の特徴を
有していると共に1高熱伝導性を有する材料とし【注目
を集めている。
ところで、これらの諸特性をAjN焼結体に発揮させる
Kは、jLIN焼結体が緻密質であることが必要とされ
る0この為、従来から緻密fk jkjN焼結体を製造
する技術の確立に精力が注がれている。
Kは、jLIN焼結体が緻密質であることが必要とされ
る0この為、従来から緻密fk jkjN焼結体を製造
する技術の確立に精力が注がれている。
かかるm焼結体線、通常、A/N粉末を加圧成形、常圧
焼結して得られるのであるが、A/N粉末を単独で用−
ゐと、焼結性が良くない為に、緻密な焼結体が得られず
、焼結密度は、uNの真密度に対して、高々80襲前後
と極めて低いものであった。
焼結して得られるのであるが、A/N粉末を単独で用−
ゐと、焼結性が良くない為に、緻密な焼結体が得られず
、焼結密度は、uNの真密度に対して、高々80襲前後
と極めて低いものであった。
この為、ホット・プレスを用いた加圧焼結の方法を活用
することも試みられたが、良好な結果は得られてい表い
@また、AjN粉末に酸化イツトリウム(Y10□)や
醗化ランタンlatom)等の希土類元素の酸化物を焼
結助剤とし【添加して焼結する方法も試みられ【おり、
可成良質の焼結体が得られている。
することも試みられたが、良好な結果は得られてい表い
@また、AjN粉末に酸化イツトリウム(Y10□)や
醗化ランタンlatom)等の希土類元素の酸化物を焼
結助剤とし【添加して焼結する方法も試みられ【おり、
可成良質の焼結体が得られている。
しかしながら、希土類元素の酸化物は高価な為に1コス
Fの面で難点がある上、A/N −Yt Os系焼結体
は、klN単独の焼結体と比べて、熱伝導度が低下する
領内にあり、A/N本来の高熱伝導性を維持・発揮する
ことがで禽ないという難点があった。
Fの面で難点がある上、A/N −Yt Os系焼結体
は、klN単独の焼結体と比べて、熱伝導度が低下する
領内にあり、A/N本来の高熱伝導性を維持・発揮する
ことがで禽ないという難点があった。
特11@50−23411 号公報、もしくは窯業協
会誌第SS*、330〜336頁(1981) Kt
i、ムjN11末にカルシウム、バリウムもしく社スト
ロンチウムの酸化物、もしくは炭酸塩の粉末を添加して
焼結するAjN焼結体の製造方法が開示されている。か
かる添加物を用いたA/N焼結体は、幻Rの真密度に対
して95〜98%、或−は99%を超える焼結密度を有
する高緻密質のものとなる〇ところが、かかる高緻密化
を達成する為KFi、通常の非酸化性雰囲気下にお−て
は、焼結温度を1800℃以上とする必賛がある。従っ
て、焼結炉の消耗度が高く、或−は製品コストが高くな
るといった経済面での難点があった。
会誌第SS*、330〜336頁(1981) Kt
i、ムjN11末にカルシウム、バリウムもしく社スト
ロンチウムの酸化物、もしくは炭酸塩の粉末を添加して
焼結するAjN焼結体の製造方法が開示されている。か
かる添加物を用いたA/N焼結体は、幻Rの真密度に対
して95〜98%、或−は99%を超える焼結密度を有
する高緻密質のものとなる〇ところが、かかる高緻密化
を達成する為KFi、通常の非酸化性雰囲気下にお−て
は、焼結温度を1800℃以上とする必賛がある。従っ
て、焼結炉の消耗度が高く、或−は製品コストが高くな
るといった経済面での難点があった。
本発明の目的は、従来の窒化アルミニウム焼結体の製造
方法が有して−た上述の不都合な鱗消して、窒化アルS
ニウム自身が本質的に有している高熱伝導性等の優れた
諸特性を略その11維持・発揮して−ると共に高緻密質
である窒化アルにラム焼結体を、比較的(低い焼結温度
で製造する方法を提供することkある。
方法が有して−た上述の不都合な鱗消して、窒化アルS
ニウム自身が本質的に有している高熱伝導性等の優れた
諸特性を略その11維持・発揮して−ると共に高緻密質
である窒化アルにラム焼結体を、比較的(低い焼結温度
で製造する方法を提供することkある。
即ち、本発明の窒化アルr=ウム焼結体の製造方法社、
窒化アルミニウム粉末に、カルシウム、バリウム及びス
トロンチウムから選ばれた少なくと%1種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成忙よってチタン酸塩となりつる、カル
シウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と、
チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量として
、0.1〜15重量%添加して混合した後、この混合粉
末を成形、次いで焼結することを特徴とするものである
。
窒化アルミニウム粉末に、カルシウム、バリウム及びス
トロンチウムから選ばれた少なくと%1種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成忙よってチタン酸塩となりつる、カル
シウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と、
チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量として
、0.1〜15重量%添加して混合した後、この混合粉
末を成形、次いで焼結することを特徴とするものである
。
本発明の最も特徴とする部分は、窒化アルミニウム(A
/N )粉末を成形、焼結するに際して、予め該AjN
粉末に、カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも1種のチタン酸塩を添加することに
ある。
/N )粉末を成形、焼結するに際して、予め該AjN
粉末に、カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも1種のチタン酸塩を添加することに
ある。
本発明に用いる、前記チタン酸塩は、通常は、メタチタ
ン酸カルシウム(CaTi0. ) 、メタチタン酸バ
リウム(BaTi0= >%しく祉メタチタン酸ストロ
ンチウム(8rTiOs )であるが、例えば、オルト
チタン酸バリウム(Cat Ti0i ) 、オルトチ
タン酸バリウム(B’* TlO4) sオルトチタン
酸スト騨ンチウム(arm Ti0i )等の前記メタ
チタン酸塩以外のCaO1laOもしくは8rOとT1
0,02或分系複合酸化物であっても良−0或−は、焼
成によって、これらのチタン酸塩を生成する、カルシウ
ム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物、炭酸塩
、硝酸塩、硫酸塩等と、TlO,とり2或分系混合粉末
を用いても良−6これらのチタン酸塩もしくは混合粉末
は、1種でも2種以上の混合系としても用−ることがで
き、AjN粉末への添加量が微量であつ【も有効に働く
0例えば、前記混合粉末の全組成重量を100重量悌と
して、CaTl0.、BaT10gもしく d 8rT
iO,K換算して、0.1重量襲程度でも有効に作用し
”C、AjN焼結体の良熱伝導性等の優れた一特性を損
なうむとなく、高緻密化することができる。また、添加
量が余り多くなると、MN焼結体の優れた性質が失なわ
れる。側光ば、前記CaTiOs s BaT10Bも
しくは8rTiOm に換算して、15重量囁を超え
て添加すると、結晶粒の成長が顕著になり、焼結体の強
度が次第に低下すると共に熱伝導性も低下する。従がっ
て、前記カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも1種のチタン酸塩の添加量は0.1
〜15重量外重量和は、0.2〜10重量%添加するこ
とが好ましい。
ン酸カルシウム(CaTi0. ) 、メタチタン酸バ
リウム(BaTi0= >%しく祉メタチタン酸ストロ
ンチウム(8rTiOs )であるが、例えば、オルト
チタン酸バリウム(Cat Ti0i ) 、オルトチ
タン酸バリウム(B’* TlO4) sオルトチタン
酸スト騨ンチウム(arm Ti0i )等の前記メタ
チタン酸塩以外のCaO1laOもしくは8rOとT1
0,02或分系複合酸化物であっても良−0或−は、焼
成によって、これらのチタン酸塩を生成する、カルシウ
ム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物、炭酸塩
、硝酸塩、硫酸塩等と、TlO,とり2或分系混合粉末
を用いても良−6これらのチタン酸塩もしくは混合粉末
は、1種でも2種以上の混合系としても用−ることがで
き、AjN粉末への添加量が微量であつ【も有効に働く
0例えば、前記混合粉末の全組成重量を100重量悌と
して、CaTl0.、BaT10gもしく d 8rT
iO,K換算して、0.1重量襲程度でも有効に作用し
”C、AjN焼結体の良熱伝導性等の優れた一特性を損
なうむとなく、高緻密化することができる。また、添加
量が余り多くなると、MN焼結体の優れた性質が失なわ
れる。側光ば、前記CaTiOs s BaT10Bも
しくは8rTiOm に換算して、15重量囁を超え
て添加すると、結晶粒の成長が顕著になり、焼結体の強
度が次第に低下すると共に熱伝導性も低下する。従がっ
て、前記カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも1種のチタン酸塩の添加量は0.1
〜15重量外重量和は、0.2〜10重量%添加するこ
とが好ましい。
前記混合粉末には、更に、パラフィン、ステアリン醗、
PVA等の結合剤を成形助剤として添加しても良い。
PVA等の結合剤を成形助剤として添加しても良い。
本発明に用いる、前記窒化アルミニウム粉末は、焼結性
を良くする為に、粒径が5μm以下、更にti2μm以
下のものであることが好ましい。
を良くする為に、粒径が5μm以下、更にti2μm以
下のものであることが好ましい。
かくして得られる混合粉末を、常温圧縮などして成形し
た後、得られた成形体を焼結する。焼結社、重化防止の
為に、窒素ガス(Nl ) 、アルヅンガス(人r)、
木葉ガス(ル)、もしくはこれらの混合ガス、又は、N
、十−酸化炭素(CO)混合ガス等の非酸化性ガス雰囲
気、或−は真空中で行なうのが好ましく、焼結温度は1
500〜1900℃、更には、1s50〜1800℃で
あることが好ましい。
た後、得られた成形体を焼結する。焼結社、重化防止の
為に、窒素ガス(Nl ) 、アルヅンガス(人r)、
木葉ガス(ル)、もしくはこれらの混合ガス、又は、N
、十−酸化炭素(CO)混合ガス等の非酸化性ガス雰囲
気、或−は真空中で行なうのが好ましく、焼結温度は1
500〜1900℃、更には、1s50〜1800℃で
あることが好ましい。
1500℃未満であると、高緻密質の焼結体が得られな
一01900℃を超えると、MNの分堺が始まる為であ
る。また、添加物として、焼成によってチタン酸塩を生
成する前記混合粉末、もしくは前記結合剤を用いる場合
には、前記成形体を仮焼する工程を設けると良い。
一01900℃を超えると、MNの分堺が始まる為であ
る。また、添加物として、焼成によってチタン酸塩を生
成する前記混合粉末、もしくは前記結合剤を用いる場合
には、前記成形体を仮焼する工程を設けると良い。
また、以上の説明においては、前記混合粉末を常温圧縮
により成形し、次いで常圧焼結し一″C−るのであるが
、本発明方法においては、前記混合粉末をホラF・プレ
ス等を用−て加圧焼結しても良く、或−は、得られた焼
結体を、熱間静水圧加圧(HI P’)処理などして、
更に高緻密化しても良いO′ 本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法によれ7ば
、窒化−アル々ニウム粉末に、カルシウム、バリウム及
びストロンチウムから選ばれた少なくとも1種のチタン
酸塩を添加して得られた混合粉末を、成形、焼結するこ
とkより、AjNの真密度に近−焼結密度を有する高緻
密質の焼結体を得ることができる。しかも、uN粉末に
アルカリ土類元素の酸化物等を添加する、従来の方法が
、かかる高緻密質の焼結体を得る為に、焼結温度を16
00℃以上とする必要があったのと比べて、本発明方法
によれば、1500℃以上の焼結温度でも、AJNの真
密度に対して、99%を超える焼結密度を得ることがで
きる。しかも、AjN自身が本質的に有している、高熱
伝導性及び耐熱性、耐食性、耐熱衝撃性などの優れた護
持性を良好に維持・発揮する焼結体が得られる。
により成形し、次いで常圧焼結し一″C−るのであるが
、本発明方法においては、前記混合粉末をホラF・プレ
ス等を用−て加圧焼結しても良く、或−は、得られた焼
結体を、熱間静水圧加圧(HI P’)処理などして、
更に高緻密化しても良いO′ 本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法によれ7ば
、窒化−アル々ニウム粉末に、カルシウム、バリウム及
びストロンチウムから選ばれた少なくとも1種のチタン
酸塩を添加して得られた混合粉末を、成形、焼結するこ
とkより、AjNの真密度に近−焼結密度を有する高緻
密質の焼結体を得ることができる。しかも、uN粉末に
アルカリ土類元素の酸化物等を添加する、従来の方法が
、かかる高緻密質の焼結体を得る為に、焼結温度を16
00℃以上とする必要があったのと比べて、本発明方法
によれば、1500℃以上の焼結温度でも、AJNの真
密度に対して、99%を超える焼結密度を得ることがで
きる。しかも、AjN自身が本質的に有している、高熱
伝導性及び耐熱性、耐食性、耐熱衝撃性などの優れた護
持性を良好に維持・発揮する焼結体が得られる。
一一一一−−−−−
実施例1
平均粒径0.9声mのムIN粉末95重量部と、平均粒
径1.6μmのCaTi0.粉末5重量部とを配合して
混合し、更にパイシ〆−としてI#ラフイン5重量部を
添加混合した。得られた混合粉末を1 ton/−の成
形圧で成形して40so*X40■XIO■の板状成形
体を得た・この成形体を凡 気流中で400℃まで予め
加熱した後、仁の試料なAjNルツI内に入れ、試料の
周N K AjN粉末を、つめ粉とし1充填した後SN
富雰囲気中、1700℃で60分間焼結破しめた。この
結果、AJNの真密度に対して97襲の相対密度を有す
る、高緻密質で且つ高熱伝導性を有する焼結体を得た。
径1.6μmのCaTi0.粉末5重量部とを配合して
混合し、更にパイシ〆−としてI#ラフイン5重量部を
添加混合した。得られた混合粉末を1 ton/−の成
形圧で成形して40so*X40■XIO■の板状成形
体を得た・この成形体を凡 気流中で400℃まで予め
加熱した後、仁の試料なAjNルツI内に入れ、試料の
周N K AjN粉末を、つめ粉とし1充填した後SN
富雰囲気中、1700℃で60分間焼結破しめた。この
結果、AJNの真密度に対して97襲の相対密度を有す
る、高緻密質で且つ高熱伝導性を有する焼結体を得た。
比較例l
CaTiOs 粉末を配合しな≠以外轄、実施例1と
同一粒径、同一組成の混合粉末を用い【、同一の方法に
よe*結体を得た。得られた焼結体は相対密度75襲の
多孔質体であった。
同一粒径、同一組成の混合粉末を用い【、同一の方法に
よe*結体を得た。得られた焼結体は相対密度75襲の
多孔質体であった。
実施例2〜9、参考例1
実施例2〜9及び参考例1として、第1表の組成を有す
る各混合粉末を得、この混合粉末を1実施例1と同一条
件で成形し【同−膨軟の成形体を得た。次−でこの成形
体を刈、雰囲気中、400℃重で予め加熱した後、Aj
Nルツー内に入れ、周N K AjN粉末をつめ粉とし
て充填し、凡雰囲気中、1700℃で30時間焼結した
。得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した
0結呆をs1表に示した。
る各混合粉末を得、この混合粉末を1実施例1と同一条
件で成形し【同−膨軟の成形体を得た。次−でこの成形
体を刈、雰囲気中、400℃重で予め加熱した後、Aj
Nルツー内に入れ、周N K AjN粉末をつめ粉とし
て充填し、凡雰囲気中、1700℃で30時間焼結した
。得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した
0結呆をs1表に示した。
第 1 表
第1表から明らかな様に、本発明方法により得られた窒
化アル1ニウム焼結体は、高緻密質で、機械的強度の高
ψものである。
化アル1ニウム焼結体は、高緻密質で、機械的強度の高
ψものである。
実施例10〜15、比較例2
実施例1O〜15、比較例2として、第2表の組成を有
する各混合粉末を得、この混合粉末を、実施例1と同一
条件で成形し【同一形状の成形体を得た・次−でこの成
形体をN、雰囲気中、400℃まで予め加熱した後、)
JNNフッ内に入れ、周囲K AjN粉末をつめ粉とし
て充填し、N、雰囲気中、第2表に示した焼結温度で3
時間焼結した。
する各混合粉末を得、この混合粉末を、実施例1と同一
条件で成形し【同一形状の成形体を得た・次−でこの成
形体をN、雰囲気中、400℃まで予め加熱した後、)
JNNフッ内に入れ、周囲K AjN粉末をつめ粉とし
て充填し、N、雰囲気中、第2表に示した焼結温度で3
時間焼結した。
得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した◇
結果を第2表に示した。
結果を第2表に示した。
第 2 表
第2表から明らかなように1本発明方法によれば、15
50℃という極めて低い焼結温度においても相対密度9
0%以上の高密度を有し1機械的強度の大である窒化ア
ルミニウム焼結体が得られる。
50℃という極めて低い焼結温度においても相対密度9
0%以上の高密度を有し1機械的強度の大である窒化ア
ルミニウム焼結体が得られる。
実施例16
平均粒径t、sxmのAjN粉末95重量部と、平均粒
径0.3μmのBILCO,粉末2重量部及び平均粒径
0.8μmのTie、粉末3重量部とを配合して混合し
、更にパイン〆−とし″′Cパラフィン5重量部を添加
、混合した。かくして得られた混合粉末を、実施例1と
同一条件により成形、焼結した。得られた焼結体の相対
密度は、96.SJGであった。
径0.3μmのBILCO,粉末2重量部及び平均粒径
0.8μmのTie、粉末3重量部とを配合して混合し
、更にパイン〆−とし″′Cパラフィン5重量部を添加
、混合した。かくして得られた混合粉末を、実施例1と
同一条件により成形、焼結した。得られた焼結体の相対
密度は、96.SJGであった。
実施例17
平均粒径1.5μmのムjN粉末95重ffi部と、平
均粒径1.2μmの8rTiO,粉末5重社部とを配合
して混合し、更にバインダーとしてノ々ラフイン5重量
部を添加、混合した。かくして得られた混合粉末を、実
施例1と同一条件により成形、焼結した。
均粒径1.2μmの8rTiO,粉末5重社部とを配合
して混合し、更にバインダーとしてノ々ラフイン5重量
部を添加、混合した。かくして得られた混合粉末を、実
施例1と同一条件により成形、焼結した。
得られた焼結体の相対密度は、97.5−であった。
実施例18
平均粒径1.2μm lF) AjN粉末g1重量撮と
、平均粒径1.4μm f) BaTiOs粉末1重量
部とを配合して混合し、更にバインダーとしてパラフィ
ン5重量部を添加、混合した。かくして得られた混合粉
末を、実施例1と同一条件により成形し2o諺yiX1
0■の円板状成形体を得、次いでこの成形体を実施例1
と同一条件により焼結したところ、高緻密質で良熱伝導
性の焼結体が得られた。
、平均粒径1.4μm f) BaTiOs粉末1重量
部とを配合して混合し、更にバインダーとしてパラフィ
ン5重量部を添加、混合した。かくして得られた混合粉
末を、実施例1と同一条件により成形し2o諺yiX1
0■の円板状成形体を得、次いでこの成形体を実施例1
と同一条件により焼結したところ、高緻密質で良熱伝導
性の焼結体が得られた。
Claims (1)
- 窒化アルミニウム粉末に1カルシウム、バリウム及びス
)ロンチウムから選杜れた少なくとも1種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成によってチタンlI塩となシうる、カ
ルシウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と
、チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量とし
て、0.1〜15重量襲重量上添加合した後、この混合
粉末を成形、次−で焼結することを特徴とする窒化アル
ミニウム焼結体のII造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56152140A JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56152140A JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5855376A true JPS5855376A (ja) | 1983-04-01 |
JPS646141B2 JPS646141B2 (ja) | 1989-02-02 |
Family
ID=15533908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56152140A Granted JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5855376A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6096578A (ja) * | 1983-10-15 | 1985-05-30 | ヴエー・ツエー・ヘレウス・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクター・ハフツング | 温度平衡材の製法 |
JPS62153173A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-07-08 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
JPS6317262A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH0283266A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-23 | Murata Mfg Co Ltd | AlN焼結体の製造方法 |
US5001089A (en) * | 1985-06-28 | 1991-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body |
JPH07176656A (ja) * | 1985-06-28 | 1995-07-14 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体放熱板及びその製造方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5273700A (en) * | 1990-10-29 | 1993-12-28 | Sumitomo Electric Industries Ltd. | Aluminum nitride sintered body and process for producing the same |
JPH05533U (ja) * | 1991-06-21 | 1993-01-08 | 天龍工業株式会社 | 乗物用座席 |
-
1981
- 1981-09-28 JP JP56152140A patent/JPS5855376A/ja active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH0217508B2 (ja) * | 1983-10-15 | 1990-04-20 | Heraeus Gmbh W C | |
JPS62153173A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-07-08 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
US5001089A (en) * | 1985-06-28 | 1991-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body |
JPH07176656A (ja) * | 1985-06-28 | 1995-07-14 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体放熱板及びその製造方法 |
JPS6317262A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPH0283266A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-23 | Murata Mfg Co Ltd | AlN焼結体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS646141B2 (ja) | 1989-02-02 |
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