JPS585523A - 静圧流体スライド装置 - Google Patents
静圧流体スライド装置Info
- Publication number
- JPS585523A JPS585523A JP10282381A JP10282381A JPS585523A JP S585523 A JPS585523 A JP S585523A JP 10282381 A JP10282381 A JP 10282381A JP 10282381 A JP10282381 A JP 10282381A JP S585523 A JPS585523 A JP S585523A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- outside
- guide
- hydraulic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、静圧流体軸受金用いたスライド装置に関する
ものであり、特に作動油の漏出がなく、2、 かつ装置全体全コンパクトにしたスライド装置を提供す
るものである。
ものであり、特に作動油の漏出がなく、2、 かつ装置全体全コンパクトにしたスライド装置を提供す
るものである。
従来静圧流体軸受を用いたスライド機構には次のような
長所があり、近年多くの装置に用いられている。
長所があり、近年多くの装置に用いられている。
i スライド部の摩擦抵抗が小さ−。
11 スライド部の摩耗がなく寿命が長い。
111 ボールやコロに比べて軸受剛性が大きい。
1v 流体の平均効果により、ガイドの加工精度より
も高い精度の直進性が得られる。
も高い精度の直進性が得られる。
このように静圧流体軸受には優fLk点がある反面、ス
ライド機構に用いると作動油の漏出が発生しやすく、装
置に用いる際の取扱いがむずかしいという欠点があった
。このため比較的寸法の小さいものに対し−Cは静圧流
体軸受を使用することがむずかしかった。
ライド機構に用いると作動油の漏出が発生しやすく、装
置に用いる際の取扱いがむずかしいという欠点があった
。このため比較的寸法の小さいものに対し−Cは静圧流
体軸受を使用することがむずかしかった。
以下第1〜6図全相いて従来例全説明する。第1〜3図
は一般的なスライド機構で、ガイド1に沿ってスライド
ブロック2が摺動する。第4図は静圧流体軸受に作動油
全供給するための油圧ユニ3 パ−7 ツト3の回路図である。
は一般的なスライド機構で、ガイド1に沿ってスライド
ブロック2が摺動する。第4図は静圧流体軸受に作動油
全供給するための油圧ユニ3 パ−7 ツト3の回路図である。
ガイド1に摺動可能に嵌合したスライドブロック2の内
面には、ボケ、ット4があり、第1油道5から絞り6を
通して油圧が供給される。矢印Pは油圧の供給を示し矢
印Tはタンク12への戻りを示す。ポケット4の外側に
は第2油道7があるOポケット4と第2油道7のパター
ンは第5図に示す。ポケット4に対向するガイド1の面
8とポケット4の捷わりのランド部9の間には間隙10
がある。一般にこの間隙は10〜2o〔μm〕程度であ
る。
面には、ボケ、ット4があり、第1油道5から絞り6を
通して油圧が供給される。矢印Pは油圧の供給を示し矢
印Tはタンク12への戻りを示す。ポケット4の外側に
は第2油道7があるOポケット4と第2油道7のパター
ンは第5図に示す。ポケット4に対向するガイド1の面
8とポケット4の捷わりのランド部9の間には間隙10
がある。一般にこの間隙は10〜2o〔μm〕程度であ
る。
今、第4図に示すように油圧ユニット3のポンプ11に
より加圧された作動油が第1油道6、絞り6を通ってポ
ケット4に供給さnると、スライドブロック2とガイド
1との間は流体潤滑状態になる。ポケット4から間隙1
0全通って流出した作動油は第2油道7ケ通り油圧ユニ
ット3のタンク12に戻る。油圧ユニット3のタンク1
2は大気圧であるが、スライドプロ、り2の第2の油道
7における作動油の油圧は、タンク12とスライドブロ
ック2の間に配管損失があるので、大気圧より高くなる
。このため作動油はスライドブロック2とガイド1の間
隙より漏出する。
より加圧された作動油が第1油道6、絞り6を通ってポ
ケット4に供給さnると、スライドブロック2とガイド
1との間は流体潤滑状態になる。ポケット4から間隙1
0全通って流出した作動油は第2油道7ケ通り油圧ユニ
ット3のタンク12に戻る。油圧ユニット3のタンク1
2は大気圧であるが、スライドプロ、り2の第2の油道
7における作動油の油圧は、タンク12とスライドブロ
ック2の間に配管損失があるので、大気圧より高くなる
。このため作動油はスライドブロック2とガイド1の間
隙より漏出する。
本発明は1反上のような欠点全排除したものであり、即
ち、静圧流体軸受における作動油の漏出全防いだスライ
ド装置全提供するものである。
ち、静圧流体軸受における作動油の漏出全防いだスライ
ド装置全提供するものである。
以下にその実施例?第6〜第8図により詳細に説明する
。
。
第6図は実施例の断面図であり、第8図は油圧及び空圧
回路図である。
回路図である。
第6図においてガイド13に沿って、スライドブロック
14が摺動する。ガイド13に摺動可能に嵌合したスラ
イドブロック14の内面にはポケット15があり、第1
油道16から絞り17ケ通して油圧が供給される。ポケ
ット16の外側には第2油道18、第3油道19、更に
外側には#!0がある。ここに矢印pH油圧の供給、矢
印T−Dは作動油のタンク24への戻り、矢印A。はエ
アの供給全示す。
14が摺動する。ガイド13に摺動可能に嵌合したスラ
イドブロック14の内面にはポケット15があり、第1
油道16から絞り17ケ通して油圧が供給される。ポケ
ット16の外側には第2油道18、第3油道19、更に
外側には#!0がある。ここに矢印pH油圧の供給、矢
印T−Dは作動油のタンク24への戻り、矢印A。はエ
アの供給全示す。
ボケ1.ト16.第2油道18.第3油道19及5 −
。
。
び溝20のパターンは第7図に示す。
ポケット16に対向するガイド13の面21とスライド
プロ、り14との間には間隙22があも一般にこの間隙
は10〜20(μm)程度である。
プロ、り14との間には間隙22があも一般にこの間隙
は10〜20(μm)程度である。
次に第8図により油圧及び空圧回路図について説明する
。
。
油圧ユニット23は静圧軸受に油圧全供給するためのも
のである。タンク24の作動油はモータ26で駆動され
るポンプ26により、フィルタ27を通して吸上げられ
、加圧される。ポンプ26から吐出された油圧は、切換
弁28を通り第1油道16、絞り17を経てポケット1
6に達する。ポケット15から間隙22全通って流出し
た作動油の大部分は第2油道18を通りタンク24に戻
る。
のである。タンク24の作動油はモータ26で駆動され
るポンプ26により、フィルタ27を通して吸上げられ
、加圧される。ポンプ26から吐出された油圧は、切換
弁28を通り第1油道16、絞り17を経てポケット1
6に達する。ポケット15から間隙22全通って流出し
た作動油の大部分は第2油道18を通りタンク24に戻
る。
第2油道18から更に外側の第3油道19に漏出した作
動油は、モータ29により駆動されるポンプ30により
強制的に吸引され、タンク24に戻される。このため第
3油道19から、更に外側に作動油が漏出することはな
い。第3油道19の更に外側の溝20には外部のエア源
31からエアが6ベー7 道19の作動油はポンプ30で吸引されるため、第3油
道は負圧になり、外部から大気が侵入すんこれとともに
外部の異物、とくに本発明のスライド装置全工作機械、
等に組込んだときには、切断や切削油がガイド13とス
ライドブロック14との間に入り、スライド装置を損傷
する恐れがある。
動油は、モータ29により駆動されるポンプ30により
強制的に吸引され、タンク24に戻される。このため第
3油道19から、更に外側に作動油が漏出することはな
い。第3油道19の更に外側の溝20には外部のエア源
31からエアが6ベー7 道19の作動油はポンプ30で吸引されるため、第3油
道は負圧になり、外部から大気が侵入すんこれとともに
外部の異物、とくに本発明のスライド装置全工作機械、
等に組込んだときには、切断や切削油がガイド13とス
ライドブロック14との間に入り、スライド装置を損傷
する恐れがある。
しかし溝20に清浄なエアを供給し、溝2oの圧力全大
気圧より高くすることにより異物の侵入はなく々る。
気圧より高くすることにより異物の侵入はなく々る。
また第3油道19を設けずに第2油道の作動ポンプ30
で強・制約に回収することも考えられるが作動油の流量
が多く、ポンプ3oに大型のものが必要となるため実用
的でない。
で強・制約に回収することも考えられるが作動油の流量
が多く、ポンプ3oに大型のものが必要となるため実用
的でない。
以上のように本発明のスライド装置では、流体軸受のポ
ケット16の外側に設けた第2油道18で作動油の大部
分全油圧ユニット23に戻し、第2油道の更に外側に設
けた第3油道19に漏出した作動油紮ポンプ3oで強制
的に油圧ユニット237ページ に戻しているのでスライド装置の外部に作動油が清浄な
エアを供給しているので、異物がガイド13とスライド
ブロック14との間に侵入することがない。このため異
物によるスライド装置の損傷がない。
ケット16の外側に設けた第2油道18で作動油の大部
分全油圧ユニット23に戻し、第2油道の更に外側に設
けた第3油道19に漏出した作動油紮ポンプ3oで強制
的に油圧ユニット237ページ に戻しているのでスライド装置の外部に作動油が清浄な
エアを供給しているので、異物がガイド13とスライド
ブロック14との間に侵入することがない。このため異
物によるスライド装置の損傷がない。
また一般に静圧軸受を用いたスライド装置は小型にする
と作動油の漏出が著しく増加するが、本発明のものは漏
出の恐れがないので装置をコンパクトに設計できる。
と作動油の漏出が著しく増加するが、本発明のものは漏
出の恐れがないので装置をコンパクトに設計できる。
以上説明したように本発明は作動油の漏出のないコンパ
クトな静圧流体軸受構造のスライド装置を提供するもの
である。
クトな静圧流体軸受構造のスライド装置を提供するもの
である。
第1図はスライド機構の正面図、第2図は第1図のAR
線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド
機構の断面図、第3図は第1図のB B’線断面図で、
従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド機構の断面図
・第4図は従来の静圧流体軸受構造分用いたスライド装
置の油圧回路図、第5図は従来の静圧流体軸受構造を用
いたスライド機構におけるポケット及び第2油道のパタ
ーン図、第6図は本発明の一実施例における静圧流体ス
ライド装置の断面図、第7図は同装置のパター図、第8
図は同装置の油圧及び空圧回路図である。 1.13・・・・・・ガイド、2.14・・・・・・ス
ライドブロック、4.15・・・・拳・ポケット、6.
17・・・・・・絞り、5.16・・・・・・第1油道
、7,18・・・・・・第2油道、19・・・・・・第
3油道、20・・・・・・溝、31・・・・・・エア源
。
線断面図で、従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド
機構の断面図、第3図は第1図のB B’線断面図で、
従来の静圧流体軸受構造を用いたスライド機構の断面図
・第4図は従来の静圧流体軸受構造分用いたスライド装
置の油圧回路図、第5図は従来の静圧流体軸受構造を用
いたスライド機構におけるポケット及び第2油道のパタ
ーン図、第6図は本発明の一実施例における静圧流体ス
ライド装置の断面図、第7図は同装置のパター図、第8
図は同装置の油圧及び空圧回路図である。 1.13・・・・・・ガイド、2.14・・・・・・ス
ライドブロック、4.15・・・・拳・ポケット、6.
17・・・・・・絞り、5.16・・・・・・第1油道
、7,18・・・・・・第2油道、19・・・・・・第
3油道、20・・・・・・溝、31・・・・・・エア源
。
Claims (1)
- ガイドと、このガイドとの間に圧力流体全流入して前記
ガイドに沿って摺動するスライドブロックとから構成さ
れる静圧流体スライド装置において、前記ガイドとの対
向面に設けられたポケットと、このポケットに絞り手段
全通して圧力流体を導くよう設けられた第1油道と、前
記ポケットの外側に前記ポケットから流出した流体全回
収するよう設けられた第2油道と、この第2油道の外側
に設けられた第3油道と、前記第3油道に流出した流体
全吸引する手段と、前記第3油道の外側に設けられた溝
部と、この溝部にエア全供給する手段とを有したことを
特徴とする静圧流体スライド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10282381A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10282381A JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS585523A true JPS585523A (ja) | 1983-01-12 |
JPS6119848B2 JPS6119848B2 (ja) | 1986-05-19 |
Family
ID=14337737
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10282381A Granted JPS585523A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 静圧流体スライド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS585523A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999066221A1 (fr) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Palier a gaz sous pression statique, etage mettant en oeuvre ce palier, et dispositif optique dote de cet etage |
US6467960B1 (en) | 2000-08-18 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Air bearing linear guide for use in a vacuum |
US6499880B2 (en) | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
KR100601205B1 (ko) | 2004-10-25 | 2006-07-13 | (주)하이드로 메틱스 | 유압을 이용한 고하중 테이블 부상 및 이송장치 |
KR100908087B1 (ko) | 2007-06-01 | 2009-07-16 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 공기 반부상 슬라이드 장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MX2020008961A (es) | 2018-02-28 | 2020-10-05 | Jfe Steel Corp | Lamina de metal para moldeado por prensado, dispositivo de moldeado por prensado, y metodo de produccion para componente prensado. |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP10282381A patent/JPS585523A/ja active Granted
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999066221A1 (fr) * | 1998-06-17 | 1999-12-23 | Nikon Corporation | Palier a gaz sous pression statique, etage mettant en oeuvre ce palier, et dispositif optique dote de cet etage |
US6328473B1 (en) | 1998-06-17 | 2001-12-11 | Nikon Corporation | Static air-bearing and stage apparatus using the bearing and optical apparatus using the stage apparatus |
US6499880B2 (en) | 1999-02-19 | 2002-12-31 | Nikon Corporation | Static pressure air bearing |
US6735867B2 (en) | 1999-02-19 | 2004-05-18 | Nikon Corporation | Method of making a static pressure air bearing |
US6467960B1 (en) | 2000-08-18 | 2002-10-22 | Nikon Corporation | Air bearing linear guide for use in a vacuum |
KR100601205B1 (ko) | 2004-10-25 | 2006-07-13 | (주)하이드로 메틱스 | 유압을 이용한 고하중 테이블 부상 및 이송장치 |
KR100908087B1 (ko) | 2007-06-01 | 2009-07-16 | 화천기공 주식회사 | 공작기계용 공기 반부상 슬라이드 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6119848B2 (ja) | 1986-05-19 |
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