JPS5850475A - 酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法 - Google Patents
酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法Info
- Publication number
- JPS5850475A JPS5850475A JP56149201A JP14920181A JPS5850475A JP S5850475 A JPS5850475 A JP S5850475A JP 56149201 A JP56149201 A JP 56149201A JP 14920181 A JP14920181 A JP 14920181A JP S5850475 A JPS5850475 A JP S5850475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- sample
- heat treatment
- current
- characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、避雷器等に使用する酸化亜鉛非直線抵抗体の
特性、特に寿命特性の良否を判別する試験方法に関する
もの、である0 周知の通シ、ZnO素子(酸化亜鉛非直線抵抗体)はす
ぐれfC電圧−電流特性の非直線性を有しておp1避雷
器、サージアブゾーバ等に多用されている。このZnO
素子は酸化亜鉛を主成分とする焼結体であって、セラミ
ックス半導体に属する。
特性、特に寿命特性の良否を判別する試験方法に関する
もの、である0 周知の通シ、ZnO素子(酸化亜鉛非直線抵抗体)はす
ぐれfC電圧−電流特性の非直線性を有しておp1避雷
器、サージアブゾーバ等に多用されている。このZnO
素子は酸化亜鉛を主成分とする焼結体であって、セラミ
ックス半導体に属する。
このため、製造工程中の焼成工程、ガラスコーティング
工程における加熱処理が特性に及ぼす影響は大きく、特
にガラスコーティング工程での熱処理温度は寿命特性を
大きく左右する。
工程における加熱処理が特性に及ぼす影響は大きく、特
にガラスコーティング工程での熱処理温度は寿命特性を
大きく左右する。
即ち、加熱処理に起因するロット不良は、誤配合や不純
物の混入とは異なって化学分析による原因調査が不可能
であ夛、原因の追求には電気炉の運転記録のチェックが
頼シとなるが、「略正常」に運転されたとの記録があっ
ても特性不良の場合がおる。この場合は、iMx(エレ
クトロマイクロアナライザ)等を用いた結晶構造分析が
行われるが、焼結性の相異、γ変態の有無では表わされ
ない状況、例えば焼結は充分であシ、Bi冨03はγ変
態していても寿命特性が悪いといった状況については、
そn以上原因を調査し、工程をチェックする平文てがな
い。
物の混入とは異なって化学分析による原因調査が不可能
であ夛、原因の追求には電気炉の運転記録のチェックが
頼シとなるが、「略正常」に運転されたとの記録があっ
ても特性不良の場合がおる。この場合は、iMx(エレ
クトロマイクロアナライザ)等を用いた結晶構造分析が
行われるが、焼結性の相異、γ変態の有無では表わされ
ない状況、例えば焼結は充分であシ、Bi冨03はγ変
態していても寿命特性が悪いといった状況については、
そn以上原因を調査し、工程をチェックする平文てがな
い。
上記の寿命特性の良否の判別は、一般に製造工程の最終
段階あるいは完了後に他の各種の電気特性の評価と共に
行わnる。寿命特性は直流課電など課電試験によって測
定している。この試験は所定の条件下(例えば140℃
−70チv1)において漏れ電流の経時変化を調べるも
のであシ、特性測定に長時間を必要とする。
段階あるいは完了後に他の各種の電気特性の評価と共に
行わnる。寿命特性は直流課電など課電試験によって測
定している。この試験は所定の条件下(例えば140℃
−70チv1)において漏れ電流の経時変化を調べるも
のであシ、特性測定に長時間を必要とする。
また、成形後に同様な焼成を行ったZnO素子でも、寿
命特性を最良とする熱処理温度はロット番号等によって
異なるため、製造ラインでは数レベルの熱処理を行い、
実際に課電寿命試験を行ってその特性を確認してから処
理温度を決定しており、製造に長い時間が必要となる。
命特性を最良とする熱処理温度はロット番号等によって
異なるため、製造ラインでは数レベルの熱処理を行い、
実際に課電寿命試験を行ってその特性を確認してから処
理温度を決定しており、製造に長い時間が必要となる。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、熱刺激*(
yL特性と寿命特性との相関関係を利用することによシ
、短時間で的確に酸化亜鉛非直線抵抗体の寿命特性の良
否を判定できる酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法を提供
することを目的とする。
yL特性と寿命特性との相関関係を利用することによシ
、短時間で的確に酸化亜鉛非直線抵抗体の寿命特性の良
否を判定できる酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法を提供
することを目的とする。
以下、本発明方法の実施の態様を図面を参照しながら詳
細に説明する。
細に説明する。
まず、熱刺激電流(防電緩和電流とも称される)につい
て説明する。第1図(a) (1)) (d) f′i
測定特定時体温度、電圧、′iW流を示すもので、Zn
O素子に25℃(室温でも可)で電圧を印加した後、温
度を一150℃まで冷却する。この後、素子′電極間を
短絡するとともに、一定の昇温速度で素体温度を上昇さ
せると、第1図(C)に示すように上昇した試料温度に
対応して、1つの大きなピークとその両側にそ扛より小
さいピークを有する形でtvltが流れる。こnが熱刺
滅電渾(TS Oと称する)であ夛、ピークは左より(
工1)e (Is )、 (工3)、(工′s)と称さ
れる。
て説明する。第1図(a) (1)) (d) f′i
測定特定時体温度、電圧、′iW流を示すもので、Zn
O素子に25℃(室温でも可)で電圧を印加した後、温
度を一150℃まで冷却する。この後、素子′電極間を
短絡するとともに、一定の昇温速度で素体温度を上昇さ
せると、第1図(C)に示すように上昇した試料温度に
対応して、1つの大きなピークとその両側にそ扛より小
さいピークを有する形でtvltが流れる。こnが熱刺
滅電渾(TS Oと称する)であ夛、ピークは左より(
工1)e (Is )、 (工3)、(工′s)と称さ
れる。
上述の電流測定を熱処理なしの試料(第1の試料と称す
る)、最適熱処理の試料(第2の試料)及び過熱熱処理
の試料(第3の試料)に対して実施したところ、第2図
に示すようなTSO特性が得られ友。ただし、熱処理は
いずれも焼成後の熱処理についてである。図中、特性1
(At)Fi第1の試料、特性線(!2)は第2の試料
、特性線(13)は第3の試料のTSOである。ピーク
値について\ みると、第2の試料が第1.第3の試料の中間にあり、
パターン的にハ蝦大のピーク(工3 ピーク)は第2の
試料が最も左に位置している。これからは、TSOビー
クが熱処理温度に関連していることが推測さ牡る〇 また、上記の各試料についてその寿命特性を直流課電寿
命試験(試験条件140℃−7Q%vl )によって
求めたところ、第3図の結果が得られた。
る)、最適熱処理の試料(第2の試料)及び過熱熱処理
の試料(第3の試料)に対して実施したところ、第2図
に示すようなTSO特性が得られ友。ただし、熱処理は
いずれも焼成後の熱処理についてである。図中、特性1
(At)Fi第1の試料、特性線(!2)は第2の試料
、特性線(13)は第3の試料のTSOである。ピーク
値について\ みると、第2の試料が第1.第3の試料の中間にあり、
パターン的にハ蝦大のピーク(工3 ピーク)は第2の
試料が最も左に位置している。これからは、TSOビー
クが熱処理温度に関連していることが推測さ牡る〇 また、上記の各試料についてその寿命特性を直流課電寿
命試験(試験条件140℃−7Q%vl )によって
求めたところ、第3図の結果が得られた。
即ち、漏n′電流の増加傾向(Qoy(工/工り)は第
2の試料(%性腺(ms))に比較して第1.第3の試
料(%性腺(ml)、 (ms ))の変化の方が大幅
となる。これから、熱処理温度が寿命特性に大いに影響
していることは明白であシ、更に寿命特性とTSOビー
クに相関関係があることが明らかである。
2の試料(%性腺(ms))に比較して第1.第3の試
料(%性腺(ml)、 (ms ))の変化の方が大幅
となる。これから、熱処理温度が寿命特性に大いに影響
していることは明白であシ、更に寿命特性とTSOビー
クに相関関係があることが明らかである。
前記両特性図(第2図及び第3図)からTSOビークの
値と最大となる温度とによj)ZnO素子の寿命特性の
良否を判別できるであろうとの推察は十分成立つが、T
sCビークの安定度をみるために同じ温間で熱処理した
2試料(第4.第5の試料)についてそのTooピーク
及び寿命特性(04rLm流の経時変化)を測定したと
ころ、第4図及び第5図の結果が得らnた。特性+vi
l(fin )、(ma )が第4の試料、特性11M
(fig )、(ms )が第5の試料であって、両
特性大略同様な特性を示しておシ、熱処理温度、’1’
so特性及び寿命特性の関連性からTSOビークの値と
最大となる温度とによシ寿命考性の良否を判別した場合
にその結果が正確であることの傍証となる。
値と最大となる温度とによj)ZnO素子の寿命特性の
良否を判別できるであろうとの推察は十分成立つが、T
sCビークの安定度をみるために同じ温間で熱処理した
2試料(第4.第5の試料)についてそのTooピーク
及び寿命特性(04rLm流の経時変化)を測定したと
ころ、第4図及び第5図の結果が得らnた。特性+vi
l(fin )、(ma )が第4の試料、特性11M
(fig )、(ms )が第5の試料であって、両
特性大略同様な特性を示しておシ、熱処理温度、’1’
so特性及び寿命特性の関連性からTSOビークの値と
最大となる温度とによシ寿命考性の良否を判別した場合
にその結果が正確であることの傍証となる。
要するに、ZnO素子の寿命特性は、構造解析給米(第
1の試料以外は全てBi、O,はγ変態している)よυ
もTSOビークの(工1)、(1意)及び(工S)ピー
クとの相関関係として顕著に現われておfi、TSO特
性によってZnO素子の寿命特性の良否を短時間で的確
に判別することが可能となる。この結果、完成品として
のZnO素子の試験時間が大幅に短縮され、またあるロ
ットの最適熱処理温度を決定する際、直流課電寿命試験
を行うことな(、TSO特性の測定によって短時間で選
定することができ、製造に要する時間の短縮が図れる。
1の試料以外は全てBi、O,はγ変態している)よυ
もTSOビークの(工1)、(1意)及び(工S)ピー
クとの相関関係として顕著に現われておfi、TSO特
性によってZnO素子の寿命特性の良否を短時間で的確
に判別することが可能となる。この結果、完成品として
のZnO素子の試験時間が大幅に短縮され、またあるロ
ットの最適熱処理温度を決定する際、直流課電寿命試験
を行うことな(、TSO特性の測定によって短時間で選
定することができ、製造に要する時間の短縮が図れる。
しかも、熱処理温度の決定が短時間でなされるに伴い、
中断の次めの累体の移動、保管の省略が可能になる、ロ
ット毎VC通正な熱処理が行わrているかどうかを藺単
にチェックできる、など工程管理上のメリットも大であ
る。
中断の次めの累体の移動、保管の省略が可能になる、ロ
ット毎VC通正な熱処理が行わrているかどうかを藺単
にチェックできる、など工程管理上のメリットも大であ
る。
以上のように本発明によれば、ZnO素子のTSOを測
定し、そのピークによJZnO素子の特性、特に寿命特
性の良否を短時間で的確に判別することができ、ガラス
コーティングエ根における熱処理温度の決定の際に適用
すれば処理温度を速やかに決定できる。また、ロヅト毎
に適正な熱処理が行わnているか否かのチェックを容易
に実施し得るので、工程チェックが適切に行われるよう
になシ、品質向上に貢献可能となる。
定し、そのピークによJZnO素子の特性、特に寿命特
性の良否を短時間で的確に判別することができ、ガラス
コーティングエ根における熱処理温度の決定の際に適用
すれば処理温度を速やかに決定できる。また、ロヅト毎
に適正な熱処理が行わnているか否かのチェックを容易
に実施し得るので、工程チェックが適切に行われるよう
になシ、品質向上に貢献可能となる。
ii図(a) j 、(b)! 、 (0)はT 80
6114定1iel素体温度、電圧、電流を示す図、第
2図は各試料(ZnO素子)のTSOビークの%性図、
第3図は同試料の寿命特性図、第4図及び第5図は同一
温度で熱処理した試料のTSOピークの特性図及び寿命
特性図である。
6114定1iel素体温度、電圧、電流を示す図、第
2図は各試料(ZnO素子)のTSOビークの%性図、
第3図は同試料の寿命特性図、第4図及び第5図は同一
温度で熱処理した試料のTSOピークの特性図及び寿命
特性図である。
Claims (1)
- (1) 酸化亜鉛非直線抵抗体の熱刺滅′#を流特性
を求め、そのピーク値よ#)#I化亜鉛非直線抵抗体の
寿命特性の良否を判定することを特徴とする酸化亜鉛非
直線抵抗体の試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56149201A JPS5850475A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56149201A JPS5850475A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5850475A true JPS5850475A (ja) | 1983-03-24 |
Family
ID=15470027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56149201A Pending JPS5850475A (ja) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | 酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5850475A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2164604A1 (es) * | 2000-05-17 | 2002-02-16 | Univ Catalunya Politecnica | Horno cilindrico para medidas de corrientes estimuladas termicamente en recubrimientos aislantes. |
CN102175936A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 广东电网公司电力科学研究院 | 一种配网避雷器给定置信水平下非限制性预期运行寿命评估方法 |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP56149201A patent/JPS5850475A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2164604A1 (es) * | 2000-05-17 | 2002-02-16 | Univ Catalunya Politecnica | Horno cilindrico para medidas de corrientes estimuladas termicamente en recubrimientos aislantes. |
CN102175936A (zh) * | 2011-01-19 | 2011-09-07 | 广东电网公司电力科学研究院 | 一种配网避雷器给定置信水平下非限制性预期运行寿命评估方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5485097A (en) | Method of electrically measuring a thin oxide thickness by tunnel voltage | |
Pobegen et al. | Understanding temperature acceleration for NBTI | |
EP0464243B1 (de) | Sauerstoffsensor mit halbleitendem Galliumoxid | |
US10883946B2 (en) | Method for testing phase transformation point of aluminum alloy | |
JPS5850475A (ja) | 酸化亜鉛非直線抵抗体の試験方法 | |
US3414811A (en) | Method and apparatus for testing the resistance characteristics of selfheated electrical resistors | |
CN115480118A (zh) | Mlcc器件可靠性快速评估方法、***、设备及介质 | |
DE2731660A1 (de) | Waermestrahlungs-referenzquelle | |
DE102018113090B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur automatischen, rückführbaren Kalibrierung von Thermometern zur Umgebungstemperaturmessung | |
JPS6196475A (ja) | セラミックコンデンサのスクリ−ニング方法 | |
KR102164784B1 (ko) | 열전냉각소자의 수명시험 방법 | |
DE69105770T2 (de) | Sauerstoffsensor. | |
RU2018148C1 (ru) | Способ контроля полупроводниковых интегральных схем | |
JPH06201761A (ja) | 絶縁膜の経時絶縁破壊特性測定方法 | |
US1285920A (en) | Method of and apparatus for determining transformation-points. | |
EP1962070B1 (de) | Hochtemperatursensor und Verfahren zu dessen Überprüfung | |
DE4025644A1 (de) | Waermeempfindlicher stroemungssensor | |
US3950176A (en) | Semiconducting glasses and the method of preparation thereof | |
JP2584093B2 (ja) | 絶縁膜の信頼性評価方法 | |
SU1089048A1 (ru) | Способ контрол теплового режима процесса графитации | |
US3426643A (en) | Electro-monitoring method and apparatus | |
DE3910148C2 (ja) | ||
US20060289478A1 (en) | Method for sorting positive temperature coefficient (ptc) elements | |
DE19509873C1 (de) | Verfahren zur Messung der Temperatur mit einem Metalloxidsensor | |
KR820002057B1 (ko) | 반도체 집적회로에 있어서 금속전극의 휴징(Fusing) 성질을 이용한 저항의 정밀가공 방법 |