JPS5850313A - Pre-loading adjustment device - Google Patents
Pre-loading adjustment deviceInfo
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- JPS5850313A JPS5850313A JP14897281A JP14897281A JPS5850313A JP S5850313 A JPS5850313 A JP S5850313A JP 14897281 A JP14897281 A JP 14897281A JP 14897281 A JP14897281 A JP 14897281A JP S5850313 A JPS5850313 A JP S5850313A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/06—Ball or roller bearings
- F16C25/08—Ball or roller bearings self-adjusting
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はたとえはベアリングを内装した回転機器など
の組立時に、そのベアリング（：予圧を与えて調整する
予圧調整装置（１関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a preload adjustment device (1) that applies and adjusts a preload to a bearing, for example, when assembling a rotating device incorporating a bearing.
ベアリング（二与える予圧を圧力検出器１：よって検出
しながら予圧調整する予圧調整装置が知られている。第
１図は従来の予圧調整装置を示すもので、１は支持台で
ある。この支持台１にはシャフト２とベアリング３およ
び回転体４とからなる回転機器５が支持されている。こ
の回転機器５の上部にはシャフト２（−嵌合し、ベアリ
ング３（二予圧を与えた状態で固定される予圧ボス６が
設けられ、この予圧ホス６（二はシャフト２（二固定す
るための固定ねじ７が螺挿されている。上記支持台１の
上部（二は上下動テーブル８が設けられ、これはハンド
ル９（−よって上下動し、上下動テーブル８に設けた押
圧子１０を上記予圧ポス６に当接して予圧ポス６に所望
の予圧を与えるようになっている。また、このときの予
圧は荷１ｔｒｔｌｏａによって表示され、この荷重計１
０２を見ながら予圧ボス６に所定の予圧を与えた状態で
上記固定ねじ７（：よって予圧ボス６をシャフト２（二
固定するようにしている。A preload adjustment device is known that adjusts the preload while detecting the preload applied to the bearing (2) by a pressure detector 1. Fig. 1 shows a conventional preload adjustment device, and 1 is a support. A rotating device 5 consisting of a shaft 2, a bearing 3, and a rotary body 4 is supported on the table 1.The rotating device 5 has a shaft 2 (fitted therein) and a bearing 3 (in a preloaded state) A preload boss 6 is provided, and a fixing screw 7 for fixing the preload hub 6 (2 is the shaft 2 (2) is screwed into the upper part of the support base 1 (2 is the vertical movable table 8). A handle 9 is provided, which moves up and down, so that a presser 10 provided on a vertically movable table 8 comes into contact with the preload post 6 to apply a desired preload to the preload post 6. The preload at this time is indicated by the load 1trtloa, and this load cell 1
02, while applying a predetermined preload to the preload boss 6, the fixing screw 7 (: Therefore, the preload boss 6 is fixed to the shaft 2 (2).
しかしながら、上述のよう（：構成された予圧調整装置
は、予圧ホス６がＰ９ｒ足の予圧に設定されてもこの予
圧ボス６を回転ネジ７によってシャフトに固定するとき
に回転ネジ７（二よる外乱力によって予圧ボス６が変位
して予圧誤差か生しることがあるｆＪｊ 、この予圧誤
差を確認することができない。たとえは、第２図で示す
ように、予圧ホス６の予圧がＦに設定されても、その予
圧ホス６の固定時ｆ二回転ネジ７による外乱力ｆ（二よ
ってｅたけ変位し、 Ｋｅ （Ｋ １４ベアリング軸間
剛性でありこの埴は外乱力ｆ（二等しい）の予圧岨差力
ｊ生してもこのときの予圧は荷重則１０ａで検出できな
い。したかって、説示予圧と実際の予圧とは誤差か生じ
、設定予圧の状態で予圧ホス６を固定することができな
いという欠点がある。However, the preload adjustment device configured as described above (:) is configured such that even if the preload boss 6 is set to a preload of P9r, when the preload boss 6 is fixed to the shaft by the rotary screw 7, the If the preload boss 6 is displaced by force and a preload error fJj occurs, this preload error cannot be confirmed.For example, as shown in Fig. 2, if the preload of the preload boss 6 is set to F Even if the preload 6 is fixed, the disturbance force f (2) due to the two rotation screws 7 causes a displacement of e, and Ke (K 14 is the rigidity between the shafts of the bearings, and this is the preload of the disturbance force f (2 equal) Even if a differential force j is generated, the preload at this time cannot be detected using the load law 10a.Therefore, there will be an error between the indicated preload and the actual preload, and the preload host 6 cannot be fixed at the set preload. There are drawbacks.
この発明は上記小端に着目してなされたもので、その目
的とするところは、予圧調整時（−生じる予圧誤差を測
定し、その誤差分を補正すること（二よって予圧調整を
止ｅ ｌ１行なうことができる予圧調整装置を提供しよ
うとするものである。This invention was made with a focus on the above-mentioned small end, and its purpose is to measure the preload error that occurs during preload adjustment and to correct the error (2) to stop the preload adjustment. The present invention aims to provide a preload adjustment device that can perform the following steps.
まず、この発明の原理につぃτ第３図および第４図にも
とづいて説明すると、被予圧機器であるベアリングａお
よび支持台１の軸方向剛性を１（１、予圧ボスｂと圧力
検出器ｃとの間の剛性をに２とし、それぞれの間で予圧
１ｉ″がががっており、圧力４矢出器Ｃは固定されてい
るものとする。このとき予圧ホスｂを固定ねしで固定し
、その結果ｅたけ予圧ホスｂか変位すると、ベアリング
ａ（１約する予圧はに、ｅ たけ増加し、出力検出器
Ｃに対する予圧はに２ｅだけ減少する。First, the principle of the present invention will be explained based on Figs. It is assumed that the rigidity between C and C is set to 2, that the preload 1i'' is ramped between each, and that the pressure 4 arrow C is fixed. If the preload b is displaced by an amount e, the preload on the bearing a increases by an amount e, and the preload on the output detector C decreases by an amount e.
そこで、第４図で示すよう（１圧力検出器Ｃに加わる予
圧の変化量を取り出し、ベアリングａ９１１１の予圧変
化（二換算し、その値を表示するとともに設疋値内であ
るか否かを表示判定装置ｄで判定するものである。Therefore, as shown in FIG. The determination is made by the determination device d.
９丁、この発明を図面にボす一実施例にもとづいて説明
する。第５図および第６図中１１は本体で、これ（二基
台１２とこの基台１２（二立設された支持体１３とから
構成されている。基台１２−１：−二は後述する被予圧
機器１４を支持する支持台１５が設けられている。この
支持台１５は被予圧機器１４を揺動自在（二文承する球
面座１６（二よって形成され、この球面座１６の底部（
二は空気至１２が設けられている。そして、この空気室
Ｊ７は分岐配管１８をフ１゛シて尚圧望気供給源１９ａ
と負仝吸引諒１９ｂと（二連通している。さらに、上記
被予圧機器１４はフランジ２０ａを廟したシャフト２０
とこのシャフト２０（二嵌合されたベアリンク２１．２
１および回転体２２とから構成された本体部２゛３と、
上記シャフト２０（二嵌合されかつ上部のベアリング２
ノ（二接合する予圧部拐である予圧ホス２４とから構成
されている。そして、この被予圧機器Ｊ４は上記予圧ホ
ス２４を上（＝して支持台１５上に支持されており、こ
の予圧ボス２４にはシャフト２０と固定するたｙ）の固
定ねじ２５が螺挿されている。9, this invention will be explained based on an embodiment shown in the drawings. Reference numeral 11 in FIGS. 5 and 6 is the main body, which is composed of two bases 12 and two erected supports 13. Bases 12-1 and 2 are described later. A support stand 15 is provided to support the preloaded device 14.This support stand 15 is formed by a spherical seat 16 (2) which supports the preloaded device 14, and the bottom part of this spherical seat 16 is (
Second, an air connection 12 is provided. This air chamber J7 is connected to the branch pipe 18 and connected to the still-pressure desired air supply source 19a.
and the negative suction pipe 19b (two are in communication with each other).Furthermore, the preloaded device 14 has a shaft 20 with a flange 20a.
This shaft 20 (two mated bear links 21.2
1 and a rotating body 22;
The shaft 20 (two fitted and upper bearings 2
The device J4 to be preloaded is supported on a support base 15 with the preload hose 24 above (=), and this preload A fixing screw 25 for fixing to the shaft 20 is screwed into the boss 24.
一力、上記支持体１３の上部（二は上記被予圧機器１４
に予圧を与える加圧機構２６が設けられ℃いる。この加
圧機構２６（二ついて説明すると、２７はＤＣ）ルクモ
ータで、この回転軸２８はカンプリング２９を介して送
りねじ軸３０に連結されている。この送りねじ軸３ｏは
上下ｉ４部が軸受３１．３１に回転自在（＝軸支されて
おり、中間部は送りテーブル３２のめねじ部（図示しな
い。）（二螺合されている。さしく二、上記込すテーブ
ル３２は支持体１３に上下方向（二設けた〕Ｊイド杆３
３．３３＋＝よって上下方向スライド自在に支持されて
おり、この送りテーブル３２（二は予圧用シャフト３４
が上下動自在（二貫通している。この予圧用シャフト３
４は送りテーブル３２（二ｅ ＋ｔ ｉすだリニアガイ
ド３５（二よって支承されているととも（＝、上端部（
＝はピン３６．３６を介して予圧用はね３７．３７の上
端部か連結されている。そして、この予圧用ばね３７．
３７の下端部はＩＪ 、−アガイド３５の外側壁にビン
３８．３８を介して連結されている。さらに、上記予圧
用シャフト３４の下端部（二は犬夜部３９が設けられ、
この大径部３９は圧力検出器４０をブｒ Ｌ−Ｃ予圧リ
ング４１（＝連結されている。そして、予圧リング４１
は上記被予圧機器１４の予圧ボス２４に当接している。First, the upper part of the support 13 (second is the preloaded device 14)
A pressurizing mechanism 26 is provided to apply a preload. This pressurizing mechanism 26 (27 is a DC motor) has a rotary shaft 28 connected to a feed screw shaft 30 via a compression ring 29. The upper and lower parts of this feed screw shaft 3o are rotatably supported by bearings 31 and 31, and the middle part is screwed into the female thread part (not shown) of the feed table 32. 2. The table 32 to be inserted is mounted on the support 13 in the vertical direction (two J-id rods 3 are provided).
3.33+=Therefore, it is supported so that it can freely slide in the vertical direction, and this feed table 32 (the second is the preload shaft 34
is vertically movable (through two holes).This preload shaft 3
4 is supported by the feed table 32 (2 e + t i Suda linear guide 35 (2) (=, upper end (
= is connected to the upper end of the preload spring 37.37 via a pin 36.36. This preload spring 37.
The lower end of 37 is connected to the outer wall of IJ-A guide 35 via a pin 38.38. Further, a lower end portion of the preloading shaft 34 (second portion 39 is provided),
This large diameter portion 39 connects the pressure detector 40 to the L-C preload ring 41 (=connected.
is in contact with the preload boss 24 of the device 14 to be preloaded.
また、予圧用シャフト３４の大径部３９（二はフラング
装＠ｉ４；ｉｔが設けられている。このクランプ装置４
２は上記大径部３９に嵌合する板はね環４３、この板は
ね堀４３に嵌合した璋；仄のクラ７ クチュープ４４お
よびこのクランクチューブ４４に尚庄空気を供給する尚
出空気供給官４５とから構成され、クランクチューブ４
４を尚圧空気（＝よって膨張して仮はね環４３を径方向
（二紬小して大径部３９を予圧（１灼し外乱をあたえず
握持クランプするよう（二構成・されている。In addition, a large diameter portion 39 of the preload shaft 34 is provided with a flang device @i4;
Reference numeral 2 denotes a plate spring ring 43 that fits into the large diameter portion 39, a spring that fits into this plate spring ring 43; It consists of a supply officer 45 and a crank tube 4.
4 is pressurized air (=Therefore, the temporary spring ring 43 is expanded in the radial direction (2) and the large diameter part 39 is preloaded (1) so that it can be gripped and clamped without causing any disturbance (2). There is.
また、出力検出器４０は表示判定装置４６（＝電気的に
接続され、予圧用シャフト３４（二よって被予圧機器１
４に与えられる荷重を検出し、設定ｆｉｇ’以内にある
か否かを判定して表示するようになっている。なお、４
７は予圧ボス２４の固定オツじ２５を弛緩もしくは締付
ける電動ドライバである。In addition, the output detector 40 is electrically connected to the display determination device 46 (= electrically connected to the preload shaft 34 (2) and the preloaded device 1
4 is detected, it is determined whether the load is within the setting fig', and the result is displayed. In addition, 4
7 is an electric screwdriver for loosening or tightening the fixing screw 25 of the preload boss 24.
ツキ（二、上述のように構成された予圧調整装置の作用
（二ついて説明する。ます、被予圧機器１４が支持台１
５の球面座１６に載置されると、球面座１６は高圧空気
供給源１９ａから空気室よ
１７（二送り込象れる空気によってわずか（二浮上し、
揺動自在となる。この状態で、ＤＣ）ルクモータ２７が
作動すると、送りねじ軸３０が回転し、送りテーブル３
２はガイド杆３３，３３（１泊って下降する。したがっ
て、送りテーブル３２とともにリニアガイド３５も下降
し、予圧用はね３７．３７を介して予圧用シャフト３４
が下降する。このため、予圧用シャフト３４と圧力検出
器４０を介し℃連結されている予圧リング４）は被予圧
機器１４の予圧ボス２４に予圧を与えること（−なる。(2) The operation of the preload adjustment device configured as described above (I will explain it in two parts. First, the preloaded equipment 14 is placed on the support base 1
When the spherical seat 16 is placed on the spherical seat 16 of 5, the spherical seat 16 rises slightly due to the air fed into the air chamber 17 from the high-pressure air supply source 19a.
It can be swung freely. In this state, when the DC motor 27 operates, the feed screw shaft 30 rotates and the feed table 3
2 is the guide rod 33, 33 (which descends overnight. Therefore, the linear guide 35 also descends together with the feed table 32, and the preload shaft 34 is moved through the preload springs 37 and 37.
descends. Therefore, the preload ring 4 ) which is connected to the preload shaft 34 via the pressure detector 40 applies a preload to the preload boss 24 of the preloaded device 14 (-).
このとき、予圧ボス２４に与えられる荷重は圧力検出器
４０（二よって検出され、この検出信号は表示判定装置
４６に入力される。この状態で球面座１６が所定の姿勢
に位置決めされると、空気室１７は真空吸引源１９ｂと
連通して真空吸引され、球面座１６は真空吸引力（二よ
って固定される。そして、圧力検出器４０からの信号が
設定値と一致するど、ＤＣ）ルクモータ２２は停止し、
送りテーブル３２が停止するとともにクランプ装置４２
が作動する。すなわち、重比空気供給管４５がら高圧空
気が供給され、クランプチューブ４４が膨張するため板
はね環４３は径方向（二縮小して予圧用シャフト３４の
大径部３９を握持クランプする。したがって、予圧用シ
ャフト３４はクランプ装置４２（二よって固定的（二保
持されるため、この状態で、電動ドライバ４７によって
予圧ボス２４の固定ねじ２５を締付けると、予圧ボス２
４は固定ねじ２５（二上ってシャフト２０と一体的に固
定される。このとき、すなわち予圧ボス２４の固定時（
二手圧変化が生じた場合（二は圧力検出器４０からの出
力信号（二よって表示判定装ｆ４６１＝表示されるため
、予圧変化１が設定値から外れた場合（二は、予圧ボス
２４の固定ねじ２５を緩めて憎め肉すことができる。At this time, the load applied to the preload boss 24 is detected by the pressure detector 40 (2), and this detection signal is input to the display determination device 46. When the spherical seat 16 is positioned in a predetermined posture in this state, The air chamber 17 communicates with the vacuum suction source 19b to be vacuumed, and the spherical seat 16 is fixed by the vacuum suction force (2).When the signal from the pressure detector 40 matches the set value, the DC motor 22 stopped,
When the feed table 32 stops, the clamp device 42
is activated. That is, high pressure air is supplied from the gravity air supply pipe 45 and the clamp tube 44 expands, so that the plate ring 43 contracts in the radial direction (2) and grips and clamps the large diameter portion 39 of the preload shaft 34. Therefore, since the preload shaft 34 is fixedly held by the clamp device 42, when the fixing screw 25 of the preload boss 24 is tightened with the electric driver 47 in this state, the preload boss 2
4 is a fixing screw 25 (screwed up and fixed integrally with the shaft 20. At this time, that is, when the preload boss 24 is fixed (
2) When a pressure change occurs (2) the output signal from the pressure detector 40 (2), the display judgment device f461 = is displayed, so if the preload change 1 deviates from the set value (2) the preload boss 24 is fixed You can loosen the screw 25 and tighten it.
このよう（二し℃、表示判定装置４６からＯＫ倍信号出
ると、クランプ装置４２のクランプが解除され、Ｌ）Ｃ
）ルクモータ２７が逆転し℃予圧用シャフト３４は上昇
される。したがって、支持台１５上の被予圧機器１４は
取り外されること（−なる。In this way, when the OK signal is output from the display determination device 46, the clamp of the clamp device 42 is released, and the L)C
) The torque motor 27 is reversely rotated, and the °C preload shaft 34 is raised. Therefore, the preloaded device 14 on the support stand 15 is removed (-).
なお・上記一実施例において、予圧ボス２４の上面を被
予圧機器１４のベアリング２１の剛性と同等かそれ以上
の剛性の予圧リング４）で保持すれば、予圧ボス２４の
固定時に発生する予圧変化をゼロ（二するフィードバン
ク力がベアリング２１（第４図（二おけるに、ｅ）以外
（二も予圧リング４１で発生するため（第４図における
に２ｅ）予圧変化が起りにくくなり（フィードバック力
とじては（ｋｌ＋に２ ） ｅとなる）予圧調整精度を
向上することができる。In the above embodiment, if the upper surface of the preload boss 24 is held by a preload ring 4) having a rigidity equal to or greater than the rigidity of the bearing 21 of the preloaded device 14, the preload change that occurs when the preload boss 24 is fixed can be reduced. Since the feed bank force that makes the current zero (2) is generated in the preload ring 41 other than the bearing 21 (Figure 4 (2, e)), preload changes are less likely to occur (feedback force As a result, the preload adjustment accuracy can be improved (kl+ becomes 2)e.
また、上記一実施例（二おいては、圧力検出器を予圧用
ンヤフトと予圧リングとの間に介在して設けたが、この
発明は上記実施例（＝限定されず、被予圧機器の支持台
に出力検出器を設けてもよいこと勿論である。Further, in the above embodiment (2), the pressure detector was provided interposed between the preload shaft and the preload ring, but the present invention is applicable to the above embodiment (= not limited to Of course, an output detector may be provided on the stand.
また上記実施例では予圧ボス２４にスづし予圧用シャフ
ト３４にある予圧用はね３７を介して予圧を加え、その
後予圧用シャフト３４をクランプ装置４２で固定してい
るが、予圧用ンヤフト３４を送りテーブル３２とへ体と
してクランプ装置４２なしで直接Ｌ）Ｃ）ルクモータ２
７で予圧を加え、被予圧機器を固定してもよい。Further, in the above embodiment, preload is applied to the preload boss 24 via the preload spring 37 on the preload shaft 34, and then the preload shaft 34 is fixed with the clamp device 42. L) C) Luk motor 2 directly without the clamping device 42 as a feed table 32 and body
Preload may be applied in step 7 and the preloaded equipment may be fixed.
この発明はり、上説明したよう（二、支持台（二支持さ
れた被予圧機器の予圧部材に加圧機構によって所定の予
圧を与えた状態で、その予圧部材を被予圧機器の本体部
（二固定するもの（二おいて、上記加圧機構（二よる予
圧および予圧部材の固定の予圧変化を圧力検出器によっ
て検出するようにしたから、予圧部材の同定時に予圧変
化が生じてもその変化量を修正することができ、予圧調
整を正確１１行なうことができる。したがって、予圧調
整不良率を減少することができ、製品の品質の向上を図
ることができる。As explained above, the present invention has the following advantages: When the preload member of the supported preloaded device is applied with a predetermined preload by the pressurizing mechanism, the preload member is moved to the main body of the preloaded device (2. (2) Since the pressure detector detects the preload due to the above-mentioned pressurizing mechanism (2) and the preload change of the fixed preload member, even if a preload change occurs when identifying the preload member, the amount of change can be easily detected. can be corrected, and the preload adjustment can be performed accurately.Therefore, the rate of defective preload adjustment can be reduced, and the quality of the product can be improved.
第１は従来の予圧調整装置を示す一部切欠した正面図、
第２図は同じく作用祝明図、第３図および第４図はこの
発明の原理を示す説明図、第５図および第６図はこの発
明の一笑施例な示すもので、第５図は側面図、第６図は
一部切欠した正面図である。
１４・・・被予圧機器、１５・・・支持台、２３・・・
本体部、２４・・・予圧ボス（予圧部材）、２６・・・
加圧機構、４０・・圧力検出器。
出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦一The first is a partially cutaway front view showing a conventional preload adjustment device;
FIG. 2 is a diagram showing the operation of the invention, FIGS. 3 and 4 are explanatory diagrams showing the principle of the invention, and FIGS. 5 and 6 are simplified examples of the invention. The side view and FIG. 6 are partially cutaway front views. 14... Preloaded equipment, 15... Support stand, 23...
Main body part, 24... Preload boss (preload member), 26...
Pressure mechanism, 40...pressure detector. Applicant's agent Patent attorney Hikoichi Suzue Takeshi
Claims (1)
に固定する予圧部材とからなる被予圧機器を支持する支
持台と、この支持台（二上記被予圧機器を介して設けら
れ上記予圧部材に予圧荷重を加える加圧機構と、この加
圧機構によって予圧を与えた状態で上記予圧部材を本体
部（二固定する固定手段と、上記加圧機構および支持台
のいずれか一方に設けられ予圧部材（二加えられる予圧
を検出する圧力検出器とを具備したことを特徴とする予
圧調整装置。A support stand for supporting a preloaded device consisting of a main body part and a preload member fixed to the main body part in a state where a preload is applied; A pressure mechanism that applies a preload load to the preload member, a fixing means for fixing the preload member to the main body (2) with the preload applied by the pressure mechanism, and a fixing means provided on either the pressure mechanism or the support base. 1. A preload adjustment device comprising: a preload member (2) and a pressure detector for detecting an applied preload.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897281A JPS5850313A (en) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | Pre-loading adjustment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14897281A JPS5850313A (en) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | Pre-loading adjustment device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5850313A true JPS5850313A (en) | 1983-03-24 |
Family
ID=15464786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14897281A Pending JPS5850313A (en) | 1981-09-21 | 1981-09-21 | Pre-loading adjustment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5850313A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6210271A (en) * | 1985-07-05 | 1987-01-19 | ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション | Target structure of sputtering coating apparatus |
-
1981
- 1981-09-21 JP JP14897281A patent/JPS5850313A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6210271A (en) * | 1985-07-05 | 1987-01-19 | ウエスチングハウス エレクトリック コ−ポレ−ション | Target structure of sputtering coating apparatus |
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