JPS5842632U - 発光分光分析装置用分光器装置 - Google Patents

発光分光分析装置用分光器装置

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JPS5842632U
JPS5842632U JP13739381U JP13739381U JPS5842632U JP S5842632 U JPS5842632 U JP S5842632U JP 13739381 U JP13739381 U JP 13739381U JP 13739381 U JP13739381 U JP 13739381U JP S5842632 U JPS5842632 U JP S5842632U
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JP
Japan
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spectrometer
emission
leak valve
vacuum pump
injecting
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Pending
Application number
JP13739381U
Other languages
English (en)
Inventor
高田　紳一
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案による発光分光分析装置用分光器装置を
示すもので、第１図は全体を示す構成図、第２図は要部
の拡大断面図である。 １は分光器、２は入力部、３は第１リークバルブ、４は
フローメータ、５はガスボンベ、６は出力部、７はオイ
ルトラップ、８は真空ポンプ、９は第２リークバルブ、
１０はケース、１１は入力開口部、１２は出力開口部、
１３は遮蔽板、１４は真空計である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回折格子を有する分光器と、この分光器の一端に接続さ
    れ不活性ガスを分光器内に注入するためのリークバルブ
    と、このリークバルブに接続されたガス源と、この分光
    器の他端に設けられたオイルトラップと、このオイルト
    ラップに設けられた真空ポンプとを備え、前記リークバ
    ルブから微量の不活性ガスを分光器内に注入しつつ真空
    ポンプを作動させることにより分光器内を減圧の不活性
    雰囲気に保持する構成よりなることを特徴とする発光分
    光分析装置用分光器装置。
JP13739381U 1981-09-16 1981-09-16 発光分光分析装置用分光器装置 Pending JPS5842632U (ja)

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JPS5842632U true JPS5842632U (ja) 1983-03-22

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ID=29930673

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