JPS5842160U - 間接抵抗熱式蒸発源 - Google Patents
間接抵抗熱式蒸発源Info
- Publication number
- JPS5842160U JPS5842160U JP13819481U JP13819481U JPS5842160U JP S5842160 U JPS5842160 U JP S5842160U JP 13819481 U JP13819481 U JP 13819481U JP 13819481 U JP13819481 U JP 13819481U JP S5842160 U JPS5842160 U JP S5842160U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- indirect resistance
- thermal evaporation
- resistance thermal
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の間接抵抗加熱式蒸発源の概略図、第２図
はこの考案に係る間接抵抗加熱式蒸発源の概略図である
。 １・・・・・・ヒータ、２・・・・・・ルツボ、３・・
・・・・リフレクタ。
はこの考案に係る間接抵抗加熱式蒸発源の概略図である
。 １・・・・・・ヒータ、２・・・・・・ルツボ、３・・
・・・・リフレクタ。
Claims (1)
- 巻回しているヒータ中にルツボを挿着し、この外周面に
上板を有するリフレクタを配置してなる間接抵抗加熱式
蒸発源において、上記ルツボの上部をリフレクタの上板
の位置より高くして蒸発源を構成したことを特徴とする
間接抵抗加熱式蒸発源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819481U JPS5842160U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗熱式蒸発源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13819481U JPS5842160U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗熱式蒸発源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5842160U true JPS5842160U (ja) | 1983-03-19 |
Family
ID=29931426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13819481U Pending JPS5842160U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 間接抵抗熱式蒸発源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5842160U (ja) |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP13819481U patent/JPS5842160U/ja active Pending
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